【課題】高い空間分解能と高い時間分解能と簡便なモニタリングとを兼ね備えた走査型リアルタイム顕微システムを実現する。
【解決手段】走査型リアルタイム顕微システム１０ａは、Ｘ線ビームを照射する光源３と、光源３から照射されたＸ線ビームを集光するゾーンプレート１と、Ｘ線ビームを集光するゾーンプレート１を動かす駆動機構２とを備え、駆動機構２は、ゾーンプレート１に入射するＸ線ビームの進行方向に垂直な方向の周りにゾーンプレート１を回動させる。 （もっと読む）

【課題】 セルを解体する作業を簡素化できるセル解体装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線透過性を有するフィルム３２が液状の試料Ｓを収容する試料室３ａの少なくとも一部を形成する蛍光Ｘ線分析装置のセル３を、解体するためのセル解体装置１であって、フィルム３２を下方側に向けた状態でセル３を保持する保持部１１と、セル３が保持部１１で保持される際にフィルム３２を切断する刃部１２１と、刃部１２１よりも下方側に配置され、切断されたフィルム３２から流下する試料Ｓを受ける試料受部１３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管装置の故障を防止したり、使用不能となる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、使用方法改善のための検討が行えるＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置本体１０１に取り付けられ、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させることで、一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管装置１０であって、Ｘ線装置本体１０１の制御部５０と通信可能とする記憶部１８を備え、記憶部１８は、制御部５０と通信することにより、フィラメント１２の前回の使用終了日時情報、フィラメント１２への通電時間情報、フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。 （もっと読む）

【課題】 ボーリングにより得られたサンプルの採取時の状態を乱すことなく克明且つ正確に地盤の状況を把握することができる地盤状況の判定方法を提供する。
【解決手段】 コアパックチューブに収納した状態でボーリングマシンにより採取された地盤のサンプルをコア箱に収納するサンプル採取工程と、前記サンプルが収納された前記コア箱の裏面側にＸ線用の感光紙を配設する撮像準備工程と、コアパックチューブに収納した状態のまま前記サンプルが収納された前記コア箱の表面側から前記コア箱に向けてＸ線を照射することにより前記感光紙に前記サンプルのＸ線写真を撮像する撮像工程と、前記Ｘ線写真を撮像した感光紙を現像する工程と、現像した前記Ｘ線写真を観察して地盤における擾乱帯の内部構造を特定する観察工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を発散するように出射するＸ線源を用いた場合においても、高精度かつ高コントラストの撮影画像を得ることが可能なＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線撮影装置は、Ｘ線源と、第１周期の縞状の強度分布を生むタルボ効果を発現させる第１回折格子と、遮蔽部と透過部とが所定方向に第２周期で繰り返して縞状に配置され、かつ第１回折格子によって回折されたＸ線を更に回折する第２回折格子と、Ｘ線の強度の２次元分布を示す画像情報を得るＸ線検出手段とを備え、第２周期が、第１周期の約２倍であり、第２回折格子のうち、第１回折格子で回折されたＸ線が照射される面において、遮蔽部が占める面積の比率が１３％以上でかつ４１％以下であり、第２回折格子が、画像情報に係る画像にモアレ縞を発生させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、微小異物の検出を確実に行うことができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、物品にＸ線Ｓ１を照射し、シンチレータ３００による光変換をフォトダイオードアレイ（ＰＤＡと略記する）４００で検出することにより物品６００内の微小異物６１０を検出することができ、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００を積層したものである。特に、本発明の実施の形態に関するＸ線検査装置１００では、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００が積層され、Ｘ線検査装置１００ａでは、さらに防水部材７００が積層される。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された元素の量を全反射蛍光Ｘ線で測定するときの位置による誤差を低減すること。
【解決手段】基準元素を含有する非晶質層１５を表面に成膜した測定用ウェハ１０を作製するステップと、測定用ウェハ１０に励起光８が照射されたときに、その基準元素から発せられる基準蛍光Ｘ線の強度と非晶質層１５）の表面に存在する被測定元素１６から発せられる被測定蛍光Ｘ線の強度とに基づいて被測定元素１６の量を算出するステップとを備えている。このような元素量測定方法によれば、励起光８が非晶質層１５で回折して被測定元素１６に照射される程度の位置によるばらつきを低減し、さらに、その被測定蛍光Ｘ線の強度の入射角によるばらつきをその基準蛍光Ｘ線の強度に基づいて補正することができる。このため、このような元素量測定方法は、被測定元素１６の量の測定誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】プラントの筒状部材に放射線透過試験を実施する際に、作業者の被ばく線量を低減しつつ作業性を向上させる。
【解決手段】筒状部材の内側に支持手段およびガイドパイプを予め装着しておき、筒状部材の新規周溶接が完了してからガイドパイプの内部に試験用の放射線源を挿入して新規周溶接部分の放射線透過試験を行う。これにより、放射線透過試験を実施する作業員が長時間にわたって筒状部材の内部に居続ける必要がないから、作業員の被爆線量を低減できるばかりでなく、放射線透過試験の作業性を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透過画像にモアレ縞が発生する場合において、モアレ縞を消滅させる。
【解決手段】画像処理合成装置１４は、X線源１１と輝度倍増管１２とカメラ１３とから成る構成により得られた、被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。モアレ縞発生の場合には、回転機構制御部１５によって輝度倍増管１２とカメラ１３とを回転軸Ｃ２回りで同期回転させる（所定角度分回転）。そして、再び被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。これをモアレ縞が発生していないＸ線画像が得られるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折によるタイヤ用繊維コードの結晶構造解析を精度良く且つ迅速に行うことが可能な方法を提供する。
【解決手段】１本又は複数本のフィラメントに下撚りをかけて下撚り糸を形成し、該下撚り糸を複数合わせて上撚りをかけてなるタイヤ用繊維コードを上撚りから下撚りの順で解撚し、解されたフィラメントを真っ直ぐに伸ばし、高輝度Ｘ線回折によって、真っ直ぐに伸ばされたフィラメントの散乱パターンを取得することを特徴とするタイヤ用繊維コードの結晶構造解析方法である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、セル検査を用いて、基板表面に存在する欠陥を容易かつ高精度に検出することができる基板表面の検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 表面に複数の材料を含む基板１０上の欠陥３２を検査する基板表面の検査方法であって、
前記複数の材料のうち少なくとも２種類の材料のコントラストが所定範囲内となるようにランディングエネルギーが設定された電子ビームを、前記基板の表面に照射する電子ビーム照射工程と、
前記基板から発生した電子を検出し、前記２種類の材料からなるパターンが消去された又は薄くなった状態で前記基板の表面画像を取得する工程と、
取得された該表面画像において、背景画像と区別できるコントラストを有する対象物の像を、前記欠陥３２として検出する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロリトグラフィーのための物体の検査を可能にし、短い全長を有する反射型顕微鏡を提供する。
【解決手段】物体平面内での物体を検査する反射型Ｘ線顕微鏡であって、物体は、波長＜１００ｎｍ、特に、＜３０ｎｍの光線で照明され、像平面に拡大して結像され、第１鏡と第２鏡とを含み、物体平面から像平面までの光路内に配置される第１副系とを備える。反射型Ｘ線顕微鏡が光路内で第１副系に後置されて少なくとも第３鏡を有する第２副系を含むことにより特徴付けられる。 （もっと読む）

【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）

【課題】同一の生体組織試料について、電子像観察だけでなく、蛍光像観察、そして透視像観察等を行うことも可能な、複数の観察用光源を備えた多光源顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡の光源である電子銃とそれ以外の少なくとも１種の光源を有し、試料を同一位置で観察可能な多光源顕微鏡であって、蛍光を観察するための光学顕微鏡２０と走査型電子顕微鏡２とからなり、該走査型電子顕微鏡の電子ビームの光軸と同軸となるように該光学顕微鏡のカセグレン鏡１２が該走査型顕微鏡の鏡筒内に配置されてなり、反射面が非球面型であるカセグレン鏡を用いる。 （もっと読む）

本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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【課題】物体内の高コントラスト像を一度に、且つ容易に得ることのできる、新しい非破壊分析方法および非破壊分析装置を提供する。
【解決手段】 単色平行Ｘ線１を物体２に照射し、物体２からの屈折Ｘ線等３を透過型結晶分析体４ａに入射させ、その屈折Ｘ線等３を透過型結晶分析体４ａの動力学的回折作用によって前方方向回折Ｘ線４１ａと回折方向回折Ｘ線４２ａとに分光する際に、透過型結晶分析体４ａの厚さを、予め、物体がないときに、前方方向回折Ｘ線４１ａおよび回折方向回折Ｘ線４２ａのいずれか一方の強度が略ゼロとなるような厚さに設定する。 （もっと読む）

【課題】
電子線を応用した検査装置では、電子像を取得して欠陥の有無を判定していたため、画像の取得時間や画像データの転送速度、画像処理の速さなどで検査速度の向上に限界が生じていた。
【解決手段】
電子レンズ１１１の後焦点面に形成される回折スポットのうち、試料１０４から垂直に反射される電子が形成する部分を遮蔽物１１７で遮蔽し、その他の反射電子線を検出器１１２で検出し、その積分強度を入出力装置１１５でモニタすることにより異物や欠陥の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】高精細な画像が得られるとともに、検査時間も短縮できる放射線検査システム及び放射線検査の撮像方法を提供することにある。
【解決手段】検出器103は、放射線源102に対して検査対象物104を挟んで配置される。移動装置108，109は、放射線源と検出器とを検査対象物の長手方向であって、かつ同一方向に平行移動する。回転装置105は、放射線源が平行移動する軸方向に対して照射方向を回転する。中央制御装置205は、放射線源から照射される照射方向が第１の方向であるときに、移動装置を制御して、放射線源と検出器を同一方向に移動して撮像データを得、さらに、放射線源から照射される照射方向が第２の方向であるときに、移動装置を制御して、放射線源から照射される放射線を検出できる位置に検出器を移動した後、さらに、放射線源と検出器を同一方向に移動して撮像データを得る。 （もっと読む）

試料の画像データを処理する方法が開示されている。当該方法は、前記試料の少なくとも一部が重なっている複数の空間領域の第1画像と第2画像とのレジストレーションを行う手順、及び、前記のレジストレーションされた画像からのデータを処理することで、前記第1画像と第2画像から得られる画像に加えられる前記試料についての情報を有する合成画像データを取得する手順を有する。
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【課題】ブラッグピークの発現を低減させた中性子散乱実験用部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム、クロム、鉄及びニッケルからなる群から選択される少なくとも１種の金属２．８〜１２．８重量％並びにバナジウム８７．２〜９７．２重量％からなるバナジウム合金を含む中性子散乱実験用部材。 （もっと読む）