【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）

液体からの放射線透過データを、構成要素の含有物の相対的な比率についての一部のデータが導き出され得る方法にて、取得するための方法および装置が記載される。この放射線源のスペクトル内の複数の周波数に亘る透過強度を分解することができる放射線源および放射線検出器システムは、各々のそのような周波数に対する透過強度データを生成するために用いられる。測定されたデータは、液体の少数の予期される構成要素の含有物について、その構成要素の含有物に関して、指数減衰法、すなわちｌ／ｌ_０＝ｅｘｐ［−（μ／ρ）ρｔ］によって与えられる関係に適合させ、その構成要素の含有物から、各々の構成要素の含有物の相対的な比率の指標を導き出すために、個々にまたは集合的に、質量減衰データを保存する質量減衰データライブラリと数値的に比較される。 （もっと読む）

【課題】ナノビーム電子回折法の格子歪測定精度を向上し、結晶試料における局所領域の応力・格子歪を高精度に測定する。
【解決手段】回折スポット１４と透過スポット１５の間隔（あるいは異なる回折スポットの間隔）１６（Ｋ）と格子面間隔ｄとの間には、Ｋ＝１／ｄの関係がある。従って、スポット間隔Ｋの変化から格子面間隔の変化、すなわち格子歪を知ることができる。コンデンサレンズ絞り２を明瞭に観察することにより、回折スポット間隔の測定精度を高くする。この結果、格子歪の測定精度が向上する。そこで、電子回折図形を観察し記録するステップにおいて、コンデンサレンズ絞り２に焦点が合うように中間レンズ１１を調整する。これにより、結晶試料４における局所領域の応力・格子歪を高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
エネルギー損失量と測定位置情報の二軸で形成される電子エネルギー損失スペクトル像について、各測定位置間での電子エネルギー損失スペクトルの相違点を高効率かつ高精度に補正する透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子分光器を備えた電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正システムであって、基準スペクトル像に含まれる基準位置のスペクトル及び基準位置以外のスペクトルの相違点に基き、分析対象試料のエネルギー損失スペクトル像の各測定位置のスペクトルを補正することを特徴とする補正システム。 （もっと読む）

【課題】特定の位置を高精度で検出できる、又は、位置を検出し、その検出したことを容易に知らせることができる位置計測方法及び位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測システム１を用いた位置計測方法によれば、モータ４２の回転軸４
３を回転させることで一対の永久磁石４４、４５が回転し、回転する一対の永久磁石４４
、４５から発生する回転磁束は、前記モータ４２の回転軸４３の延長線上に検出コイル６
１の不感帯部を形成するので、用前記検出コイル６１の位置を変えながら当該検出コイル
６１に誘起された信号を測定することで特定の位置を高精度で検出できる。 （もっと読む）

【課題】低被爆量で、生きた実験用小動物の放射線画像を生成可能な放射線画像生成装置を提供する。
【解決手段】変形窓２４は気体充填空間１４内側からの圧力により試料収容部材３０の押圧用窓３２から内側へ湾曲するように変形し、変形窓２４に押圧された押圧用窓３２も収容空間３０Ｒの内側へ湾曲するように変形しに示されるように、試料Ｔの観察部位を押し広げる。これにより、試料Ｔの観察部位は、押し広げ前よりも厚みが薄くなる。 （もっと読む）

【課題】 被写体に対応した正確な放射線画像を得ることのできる放射線照射装置を提供する。
【解決手段】 放射線を用いた撮像に用いられる放射線照射装置（１０）であって、撮像面と向かい合った面内に並んで配置され、被写体（３０）に対して放射線（Ｘ線）を照射する複数の放射線源（５０）と、複数の放射線源の駆動を制御するコントローラ（６１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】電解コンデンサが回路基板に搭載された状態であっても、その電解コンデンサの劣化状態を容易に判定できる劣化診断装置および劣化診断方法を提供する。
【解決手段】透過画像取得部８は、回路基板２０に対して一方からＸ線を照射し、回路基板２０を介して対向する他方において、透過したＸ線に応じた透過画像を取得する。画像処理部２は、ＣＣＤ部１６から電気信号を受けて回路基板２０の透過画像を生成し、その透過画像を濃淡画像（グレイ画像）に変換する。演算部４は、グレイ画像から濃淡値（グレイ値）の度数分布を生成するとともに、その度数分布において、電解コンデンサの劣化状態に応じて度数が変化する濃淡値の度数に基づいて劣化指標を算出する。演算部４は、この劣化指標に基づいて電解コンデンサ３４の劣化状態を判断する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透視画像の画質の向上と検出部の解像度の向上とを図り得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物４にＸ線を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２と、これらの間を通過するように被検査物４を搬送する搬送部３とを備えたＸ線検査装置を用いる。検出部２には、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層１１及び１２を含むＸ線検出素子（Ｘ線センサ１０）を備えさせる。Ｘ線検出素子における入射面の法線方向（ｚ´軸方向）は、Ｘ線６の照射方向（ｚ軸方向）と搬送方向（ｘ軸方向）とに平行なｚｘ平面内で、ｚ軸方向に対して傾斜させる。複数個のＸ線検出素子は、それぞれの入射面が、ｚ軸方向及びｘ軸方向に直交するｙ軸方向（紙面垂直方向）と、入射面内においてｙ軸方向に直交するｘ´軸方向とに沿ってアレイ状に並ぶように配置される。 （もっと読む）

【課題】小さな欠陥をもより簡単で容易に欠陥を検出できる放射線透過試験方法、特に、管体と管板とを接続する溶接部の小さい欠陥をもより簡単で容易に検査できる放射線透過試験方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、管体端部の溶接部を放射線検査する方法において、鉛板を該管体先端部に挿嵌し、該管体端部とは反対側の方向から挿入した放射線源から放射線を照射して行うことを特徴とし、遮蔽プラグによる小さな欠陥が検出し難くなることや、種々の遮蔽プラグを準備しておく必要がなく、小さい欠陥をもより簡単で容易に検査できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出素子の変換層におけるＸ線の突き抜けを抑制することにより、検出部の耐久性の向上が図られたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物４にＸ線６を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２とを備えたＸ線検査装置を用いる。検出部２には、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層１１及び１２を含むＸ線検出素子（Ｘ線センサ１０）を備えさせる。照射部１からのＸ線６の照射方向（ｚ軸方向）に対して、変換層１１の入射面１１ａの法線方向（ｚ´軸方向）が傾斜するように、Ｘ線検出素子が配置される。これにより、Ｘ線が変換層１１及び１２内を進行する距離は、変換層１１及び１２の厚みよりも長く設定される。 （もっと読む）

【課題】従来の光センサを内蔵するビームストップは、それを支える糸状の高分子や金属、あるいは膜状の高分子フィルムからなる支持体に配線が埋め込まれており、光センサで変換された電気的なシグナルがこの配線を介して導き出される。この場合、ビームストップの支持体およびその配線によって回折光の吸収が生じる。したがって、光センサを持つ光吸収体の近傍から外側で周囲360°に渡って吸収斑なく２次元検出できず、回折像の領域が制限される。
【解決手段】光センサを内蔵するビームストップで光を検出しかつ光の強度を減衰し、その近傍から外側で周囲360°に渡って吸収斑なく光源より下流に光を透過し、光センサを内蔵するビームストップで変換した電気的シグナルをその外部に伝達する装置およびシステムを提供することにある。本発明は、金属線による配線およびそれが埋め込まれた支持棒の代わりに、高いＸ線および光透過性を有しかつ導電層を有するフィルムを用いることを特徴とする。 （もっと読む）

Ｘ線撮像装置のための光学位置合わせシステムは、可視光点源と、そのための多軸ポジショナであってＸ線焦点スポットに対して固定して取り付けられものとを含む。ミラーまたはビームスプリッタがＸ線焦点スポットに対して固定して取り付けられ、Ｘ線源のビーム通路に配置される。ビームスプリッタは光源から放出される光を反射し、Ｘ線源から放出されるＸ線を伝達する。第１Ｘ線減衰グリッドは、Ｘ線源に対して固定して、かつ取り外し可能に取り付け可能であり、第１Ｘ線減衰パターンを有する。第２Ｘ線減衰グリッドは、第１グリッドに対して調整可能かつ取付可能であって、第１Ｘ線減衰パターンに対応する第２Ｘ線減衰パターンを有する。グリッドが位置合わせされるときに、減衰パターンもまた位置合わせされ、Ｘ線源からのＸ線とビームスプリッタから反射される光がそれらを通過することを可能にする。
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【課題】基板検査に要するトータルの処理時間が長くすることなく、ステージの駆動機構による位置ずれによって生じる欠陥位置の誤差を低減する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板のアレイ欠陥を検査するＴＦＴアレイ検査装置であり、ＴＦＴアレイ基板を載置して検査位置に移動するステージと、移動中のステージの画像を取得する画像取得部と、この画像取得手段で取得した画像データを用いて検査位置におけるステージの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、位置ずれ量算出部で算出したステージの位置ずれ量に基づいて、欠陥検査により得られたＴＦＴアレイの欠陥位置を補正する欠陥位置補正部とを備える。ステージが移動している間にステージの位置ずれ量を求めることによって、処理時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料である基板Ｓに一次電子ビームＢｐとして照射する電子銃１１と、一次電子ビームＢｐの照射を受けて基板Ｓから放出される二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して基板Ｓの状態を表わす信号を出力する電子検出部３０と、上記二次電子、上記反射電子および上記後方散乱電子の少なくともいずれかを導いて二次電子ビームＢｓとして拡大投影し、電子検出部３０のＭＣＰ検出器３１の検出面に結像させる二次光学系２０と、を備える基板検査装置１に、一次電子ビームＢｐの軌道と二次電子ビームＢｓの軌道との重複領域が縮小するように一次電子ビームＢｐを偏向する偏向器６８をさらに設ける。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮像方法による正確な再構成画像を、簡単な構成により得る。
【解決手段】複数の被検査体３の投影データよりその被検査体３の内部構造データを再構成するＸ線断層撮像装置であって、Ｘ線源１と、被検査体３の透過Ｘ線を撮像する二次元検出手段４と、Ｘ線源１のＸ線焦点１ａと二次元検出手段４との間に配置され、被検査体３を載置してＸ線源１から出射されたＸ線により形成される円錐の底面の中心とＸ線焦点を結ぶ線分とほぼ平行な回転軸Ｒ２を中心に、設定された角度変位で回転する回転機構と、回転軸Ｒ２に対し、被検査体３をその回転軸Ｒ２を中心線とする所定角度の頂角を持つ仮想円錐の円錐面１０に接した状態に把持する把持手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部に連通した空間内にある検査対象物を、その狭隘部の幅よりも広い範囲で撮像することができる放射線センサ及びその放射線センサを用いた非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に、検査対象物１００を挟んで検査対象物に向けて放射線を照射する放射線照射手段（Ｘ線照射手段１０）の反対側に配置され、検査対象物を透過した放射線を受けることにより検査対象物を撮像する放射線センサ（Ｘ線センサ２０）であって、放射線を検出する放射線検出器が長手方向に沿って列状に配置された棒状の放射線検出部（Ｘ線検出部２１）と、放射線検出器を支持して空間内に放射線検出部を支持するための棒状の支持部材と、放射線検出部と支持部材との間に設けられて支持部材に対する放射線検出部の角度を変更することができる接続部１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部内又は狭隘部に連通した空間内にある検査対象物の正確な画像を得ることができる非破壊検査装置及び非破壊検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に移動自在に配置されて、その空間内にある検査対象物の一部に放射線を照射する放射線照射部（Ｘ線照射部１１）と、その空間内に移動自在に配置されて検査対象物の一部を撮像する放射線カメラ（Ｘ線カメラ２１）と、検査対象物の一部を撮像する際に放射線照射部と放射線カメラとが所定の距離を隔てて配置されるように制御し、且つ検査対象物の一部を撮像した後それら移動させて検査対象物の他の一部を撮像するように制御する制御部３０と、検査対象物の一部の画像のそれぞれを組み合わせて検査対象物全体の画像を得る画像合成部４０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】架空送電線の腐食の程度を定量的に測定して評価（寿命予測）できる架空送電線の腐食測定方法、余寿命測定方法、ならびに腐食測定および余寿命測定装置を提供する。
【解決手段】架空送電線にＸ線を照射して得られたＸ線撮影データをディジタルデータ記録装置に記録し、前記Ｘ線撮影データに、異常箇所の性質に応じて前記Ｘ線撮影データが示す傾向に着目したクラスタ分類を施すとともに、前記架空送電線の長手方向に対して垂直方向の上下クラスタ値差の算出を含む処理をして腐食の程度を測定する架空送電線の腐食測定方法。上下クラスタ値差を複数のクラスに分類し、各クラスの相対頻度を入力値とするニューラルネットワークを構築する。 （もっと読む）

【課題】時間をかけずに簡便に、試料に対して同じ倍率、位置、及び、角度の外観状態の画像と内部状態の画像とを撮影することができるＸ線透視分析装置を提供する。
【解決手段】
分析対象となる試料１００が設置位置Ｐに設置される試料テーブル１０と、試料テーブル１０の設置位置Ｐに設置された試料１００を撮像する光学撮像装置１３と、試料テーブル１０の光学撮像装置１３が位置する側と反対の側から、光学撮像装置１３と設置位置Ｐとの間の光の行路Ｌと同軸となるようにＸ線を出力するＸ線照射装置１９と、入射されたＸ線を可視光に変換して射出する蛍光スクリーン１６と、蛍光スクリーン１６の位置を行路Ｌの路上と行路Ｌの路外とに変更する位置変更機構１７，１８と、を備える。 （もっと読む）