【課題】Ｘ線回折装置において異なる波長のＸ線に基づいた測定データを１回の測定によって同時に取得できるようにする。異なる波長の回折線のデータを２次元検出器の受光面の全領域を使って取得することを可能とする。
【解決手段】Ｘ線発生源２から発生した特性Ｘ線を試料３に照射し、試料３で回折した特性Ｘ線をＸ線検出部器６のＸ線検出部１３によって検出する波長分別型Ｘ線回折装置１である。Ｘ線発生源２は、原子番号が異なる複数の金属によって構成され、それぞれの金属から互いに波長が異なる複数の特性Ｘ線を発生する。Ｘ線検出部１３は、それぞれがＸ線を受光してＸ線の波長に対応したパルス信号を出力する複数のピクセル１２で構成される。ピクセル１２のそれぞれに付設されておりピクセル１２の出力信号を特性Ｘ線の波長ごとに分別して出力する分別回路が設けられている。個々のピクセル１２において波長別にＸ線強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定精度の向上が図られるＸ線回折装置、を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折装置１０は、Ｘ線発生部２２と、２次元検出器５０と、スリット板４０とを備える。Ｘ線発生部２２は、Ｘ線を発生し、試料３０に向けて照射する。２次元検出器５０は、試料３０により回折されたＸ線を２次元的に受光し、その受光領域内の各点においてＸ線を検出する。スリット板４０は、試料３０と２次元検出器５０との間のＸ線の光路上に配置され、試料３０により回折されたＸ線を部分的に遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線回折測定により、結晶構造または分子構造が特定方向に配向した周期構造を有した基材表面に形成された薄膜由来のＸ線回折プロファイルを確実に得る。
【解決手段】 基材５の表面に薄膜７が形成された薄膜材料３を、Ｘ線の照射面積を超える中空を有する試料台１に固定して、薄膜７の回折Ｘ線を測定するＸ線回折測定方法において、薄膜材料３の初期設定面に対して入射されるＸ線の薄膜７への正射影線９を回転軸として薄膜材料３を回転させ、薄膜７にＸ線が入射される測定面を該薄膜の初期設定面に対して傾斜させた状態でＸ線を薄膜７に入射させ、薄膜７の回折Ｘ線を測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線吸収部に対し試料部を相対的に移動することのできる明瞭なイメージ画像を得る。
【解決手段】干渉性Ｘ線が発せられるＸ線源と、Ｘ線源からのＸ線をコリメートするコリメータと、Ｘ線を吸収又は反射する材料により形成されており、Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた参照穴及び透過窓とを有し、コリメートされたＸ線が照射されるＸ線吸収部と、透過窓を透過したＸ線が照射される位置の支持膜に試料が設置された試料部と、試料により生じる散乱Ｘ線と、参照穴を通過したＸ線との干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、検出器により得られたホログラムに基づき試料の内部構造のイメージ画像を得るためフーリエ変換を行う処理部と、を有し、試料部は、Ｘ線吸収部に対し相対的に移動させることができるものであって、試料部とＸ線吸収部とが接触、または、試料部とＸ線吸収部との間隔が４０μｍ以下となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０から出力されたＸ線３の照射により測定対象物２で発生した電子４が電子レンズ２０およびエネルギー分析器３０を経て検出器４０に到達したときに検出器４０により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ２０による電子４の減速が調整されて測定対象物２のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器４０により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物の強度を損なわず、鉄筋の状況を広範囲に簡易かつ安価に測定できる鉄筋状況測定方法を提供する。
【解決手段】 コンクリートの柱１等に鉄筋１１、帯筋１２が配筋されているコンクリート構造物において、当該構造物の表側に対して鉄筋１１が配筋されている裏側で、Ｘ線の撮影可能な範囲内で、構造物の側面と側面を斜め方向に貫通させる貫通孔２０を形成し、当該貫通孔２０に短冊状の感光フィルム３０を挿入し、構造物の表側からＸ線を照射して鉄筋状況を測定し、感光フィルム３０を抜いて下側の貫通孔２０ｂから樹脂を充填する鉄筋状況測定方法である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折測定により薄膜材料の結晶子径を簡易且つ高精度に測定する薄膜材料の結晶子径測定方法、薄膜に対するＸ線回折測定を行うための測定対象試料、及びこの測定対象試料の製造方法を提供する。
【解決手段】フィルム上に薄膜が形成されている被検試料を１０枚積層させ、Ｘ線が入射する側から数えて第１番目の被検試料１Ｊと第２番目の被検試料１Ｉとの間に標準粉末試料を仕込み、これを測定対象試料とする。この測定対象試料に対して透過法によるＸ線回折測定を行う。 （もっと読む）

【課題】酸素分離膜用材料の還元膨張率を適切に測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明により提供される還元膨張率測定方法は、酸素分離膜用材料の還元膨張率を測定する方法であって、測定対象となる材料１６について還元雰囲気下でＸ線回折測定を行い、その材料１６の還元雰囲気下における還元雰囲気下格子定数を求める工程と、材料１６について空気雰囲気下でＸ線回折測定を行い、その材料１６の空気雰囲気下における空気雰囲気下格子定数を求める工程と、得られた還元雰囲気下格子定数と空気雰囲気下格子定数とに基づいて、材料の還元膨張率を算出する工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】モルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を迅速に予測できる方法を提供すること。
【解決手段】セメントクリンカー又は当該セメントクリンカーを含むセメントの粉末Ｘ線回折結果をプロファイルフィッティング法により解析して、セメントクリンカーに含まれるクリンカー鉱物の結晶情報を得る第一工程と、結晶情報を基に、セメントクリンカーを含むセメントから得られるモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を予測する第二工程と、を有するモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量の予測方法。 （もっと読む）

【課題】イメージインテンシファイアおよび／またはＣＣＤカメラの幾何学的歪に起因する輝度ムラを確実に取り除くことができ、ひいては被検査物のＸ線画像の画質を向上させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】イメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線検出器２からのＸ線透過情報を補正する画像歪補正手段１３に加えて、同じくイメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線透過情報の輝度ムラを補正する輝度ムラ補正手段１４を設けることにより、検査対象物のＸ線画像の画質を向上させることができ、ひいては検査精度や測定精度の向上を達成することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作により高い精度で膨張剤を含むモルタルやコンクリートの乾燥収縮量を予測する方法の提供。
【解決手段】膨張モルタル又はコンクリートの乾燥収縮量を予測する方法であって、水中材齢７日のセメント硬化体について、セメントの水和反応に伴って生成されるエトリンガイトの量から前記膨張モルタル又はコンクリートの水中材齢７日の膨張量を推定することを特徴とする、膨張モルタル又はコンクリートの乾燥収縮量の予測方法。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能な小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッター
ポンプを配し，下流に必要最小限のイオンポンプ配して，両者を併用することにより達成
される。さらに，取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより，別の課題を解
決する。
【効果】カラム内の真空度を１０^−８Ｐａ台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置，例えば，小型の走査型電子顕微鏡，複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに，半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型ＳＥＭカラムを容易に内蔵できる。その他にも，半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料の径が大きくなっても、試料に対応した大面積の面状のＸ線検出器を、Ｘ線トポグラフの分解能を低下させること無く、使用できるようにする。また、試料の径が大きくなったことに対応して大面積の面状のＸ線検出器を使用することになった場合でも、Ｘ線検出部の全体形状を大きくしなくて済むようにする。
【解決手段】試料１１を線状のＸ線で走査したときに試料１１で回折したＸ線をＸ線検出器２８によって検出して平面的な回折像を得るＸ線トポグラフィ装置である。Ｘ線検出器２８は試料１１よりも大きい面積を有する円筒形状のイメージングプレート２８であり、線状のＸ線の走査移動Ｆに関連させてイメージングプレート２８を円筒形状の中心軸Ｘ０を中心としてα回転させる。円筒形状の中心軸Ｘ０は線状のＸ線の走査移動方向Ｆと直角方向に延在する。 （もっと読む）

貨物専用コンテナの内容物を検査する装置が、ジュウテリウム又はトリチウムイオンを与えるべく構成されたイオン源と、ジュウテリウム又はトリチウムの少なくとも一つを有する標的に向けて当該イオンを加速するべく構成された加速器とを有する中性子源とを含む。本装置はさらに放射線検出器を含み、当該中性子源は、当該コンテナ内に中性子束を送達するべく構成され、当該放射線検出器は、当該コンテナ内への当該中性子束の送達に引き続き当該コンテナから出る放射線を検出するべく構成される。
（もっと読む）

【課題】単結晶の加工変質層の評価を簡便かつ定量的にできるような非破壊検査を提供する。
【解決手段】単結晶の加工変質層を検出するための単結晶から得られるＸ線ロッキングカーブの解析方法であって、ピーク強度に対する裾部分の強度の比率に基づいて前記加工変質層を評価する方法である。この際、前記裾野部分の位置を、Ｘ線解析強度がバックグラウンドレベルまで減衰した位置、または、ピーク位置から±５０００秒離れた位置とする。 （もっと読む）

【課題】物品の製造日や製造ロット等の違いに起因して良品の画像に関する特徴値が変動する場合であっても、規定量に対する物品の過不足を適切に判定することが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品１２に対してＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品１２を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、Ｘ線検出部８の検出結果に基づいて物品のＸ線透過画像を作成し、当該画像に関する代表階調値と、上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１とを比較することにより、規定量に対する物品の過不足を判定する処理部９とを備え、処理部９は、直近の複数回の検査によって得られた複数の代表階調値に基づいて、現在設定されている上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１を変更する。 （もっと読む）

【課題】受光素子列に対する放射線遮蔽部材の位置決めを、簡易かつ確実に行うことが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検出部８は、基台２１と、基台２１の上面上に配置された基板２６と、基板２６の上面上に配置された受光素子列２７と、受光素子列２７の受光面を覆って配置されたシンチレータ２８と、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ及びスリット３４を有するコリメータ３３と、基台２１の上面の所定箇所から起立する円柱部材２２Ａ，２２Ｂとを有し、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ内に円柱部材２２Ａ，２２Ｂを挿通するとともに、基板２６の側面を円柱部材２２Ａ，２２Ｂに当接することにより、受光素子列２７がスリット３４の下方においてスリット３４に平行に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】大口径の配管を現地で非破壊検査ができる配管の断層撮影装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】配管検査装置本体１００は、放射線源１と２次元放射線検出器２を対向配置する支持装置３と、軸方向駆動機構１９と、支持装置３を介して、放射線源１と２次元放射線検出器２を、配管横方向に並進移動させる横方向駆動機構１７，１８を備えている。制御コンソール２３において、軸方向駆動機構１９による並進走査の距離を設定するとともに、横方向駆動機構１７，１８の並進移動の横方向最大移動距離を設定する。また、横方向駆動機構１７，１８による配管横方向の並進移動の間隔を、２次元放射線検出器２の配管横方向の幅と、放射線源１と２次元放射線検出器２間の距離と、放射線源１と配管１５の放射線源１側表面までの所定距離とにもとづいて決定する。 （もっと読む）

【課題】各Ｘ線センサからのＸ線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるＸ線検出器およびＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・およびセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・は、それぞれ所定間隔でそれぞれ一列に配置されていて、この所定間隔は、センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・と、これらのセンサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・のそれぞれに対応させたセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・と、の各対応点をそれぞれ結んだ各方向線が集束領域で集束するようにそれぞれ決定された。 （もっと読む）

【課題】既知の反射特性を有する第１層と、第１層上に形成された第２層を有するサンプルの検査方法を提供する。
【解決手段】本方法は、サンプル表面へ放射線を向けること、表面に対する仰角の関数として反射信号を生成するためにその表面で反射された放射線を検知することを含む。第１層からの放射線の反射による特徴は反射信号で同定される。同定された特徴と第１層の既知の反射特性とに対応して反射信号が較正される。その較正された反射信号は第２層の特性を決定するために分析される。他方で、向上された検査方法も同様に開示する。 （もっと読む）