【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 試料検査装置は、第１の面３２ａに試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を仕切るための開閉バルブ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】開閉蓋の開閉動作をより安全にし、かつ開閉動作の安全確保後、開閉蓋の開閉操作を短時間で再開できる開閉蓋の安全機構およびそれを有する分析装置を提供する。
【解決手段】一端を蓋回転軸３２に固定した開閉蓋３の安全機構１であって、回転駆動手段４に係合し、蓋回転軸３２の軸心を中心として回転する回転駆動板５と、蓋回転軸３２を回転軸とし、回転中心を中心とする円周に沿った長穴６２を有する回転板６１と回転駆動板５に固定した蓋支持軸７１とを、長穴６２と蓋支持軸７１とで嵌合した回転板支持手段６と、回転駆動板５に固定した第１位置センサ部８１と、回転板６１に固定した第２位置センサ部８３とを備え、第１位置センサ部８１と第２位置センサ部８３との離間距離が所定の距離以上になると回転駆動手段４を停止させる制御手段９とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出下限を改善し、重元素を主成分とする試料のみならず、軽元素を主成分とした試料に含有された微量な着目元素を定量することが可能である蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料Ｓを支持する試料台３と、所定の照射位置Ｐ１を中心として一次Ｘ線Ｐを照射するＸ線源４と、照射位置Ｐ１に向って配置され、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｑを検出する検出器５とを備えている。試料台３は、試料ＳをＸ線源４及び検出器５に近接させて固定する着脱自在の試料保持具１０を有し、被照射面Ｓ１を照射位置Ｐ１に一致させる第一の検査位置Ａ、または、試料Ｓを試料保持具１０に固定し、被照射面Ｓ２をＸ線源４に近接させるとともに、被検出面Ｓ３を検出器５に近接させる第二の検査位置Ｂのいずれか一方に、試料Ｓを選択的に配置して測定可能である。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の全ての測定点の位置を容易に把握することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物Ｓを配置するステージ１４と、被測定物Ｓの所定の領域の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器１２とＸ線検出器１２に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、ステージ１４を移動させるステージ駆動機構１６と、透視Ｘ線像に基づいて作成されたＸ線画像と被測定物Ｓの所定の領域を含むマスター画像との画像表示が行われる表示装置２３とを備えるＸ線検査装置１であって、マスター画像の特定の位置に測定点情報の画像表示を行うティーチング情報記憶制御手段３５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度変化によって膨張、収縮したとしても保持している試料の位置を変化させること無く、正確に位置決め、保持することが可能な試料保持機構、及び、この試料保持機構を備えた試料加工・観察装置に提供する。
【解決手段】試料加工・加工観察装置１は、試料保持機構２０を備えている。試料保持機構２０は、試料Ｓを保持する試料ホルダ２１と、試料ホルダ２１を着脱可能に支持するベース２２とを備える。これらの間には、回転可能に支持する回転支持部２７と、回転中心２７ａからＸ方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部２８と、Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に支持する当接支持部とが、着脱可能に設けられている。上面２１ａには、回転中心２７ａからＹ方向及びＸ方向に沿って配置され、試料Ｓの一辺Ｓ１及び他辺Ｓ２に当接するＸ方向位置決めピン３１及びＹ方向位置決めピン３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線測定光学系と被測定物との破損を防止しつつ、Ｘ線検出器又はステージを移動させることにより、様々な位置の被測定物の透視Ｘ線像を撮影できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器１２とＸ線源１１との間で被測定物を配置するステージ１４と、ステージ駆動機構とを備えるＸ線検査装置１であって、可視光像を撮影する光学カメラ１６と、ステージ１４を回転移動させつつ撮影された可視光像に基づいて、被測定物とＸ線測定光学系１３とが接触する可能性がある衝突危険領域を設定する衝突危険領域設定手段３２と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っているか否かを判定する衝突判定手段３３と、Ｘ線測定光学系１３の一部が衝突危険領域に入っていると判定したときに、Ｘ線測定光学系１３の全部が衝突危険領域に入っていないときの移動速度より遅い所定の移動速度にする移動速度制御手段５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 油浸絶縁ケーブルへ放射線を照射して撮影することによる内部診断を活線状態で行えるようにすること。
【解決手段】 放射線照射前に活線状態で採油を行い（ステップＳ１）、接続部へ部分放電を検出するための超音波センサ、クランププローブ等のセンサを取り付ける（ステップＳ２）。ついで、放射線を照射し写真撮影を行なう（ステップＳ３）。その際センサの出力変化を調べる（ステップＳ４）。センサの信号に変化がない場合には、放射線照射による撮影を継続し（ステップＳ７）、センサの信号に変化が出た時は、照射を一旦やめて、信号が元に戻るのを待って再び照射する（ステップＳ５）。センサの出力が元に戻らない場合は放射線診断を止める。放射線診断が終わったら採油を行い（ステップＳ８）、撮影結果と採油のガス分析結果により中間接続部の状況を判断する（ステップＳ９）。 （もっと読む）

【課題】試料上にレジスト材料が形成されていても、その表面形状を、ミラー電子プロジェクション式検査装置によって検出可能にするパターン検査技術を提供する。
【解決手段】試料７のレジスト材料表面に照射することでその表面の電気伝導度を上げることのできる波長（１６０〜２５０ｎｍ）の紫外光を、紫外光源３０より試料表面に対して全反射する角度（試料水平方向に対して約１０度以下）以下で入射させることにより、試料表面のみを導電性にするよう構成する。 （もっと読む）

【課題】試料を傾斜させることによって生じた分析対象領域の位置ずれを容易かつ簡便に補正できる元素分析方法を提供すること。
【解決手段】元素分析方法は、任意の角度に傾斜でき、かつ、任意の方向に移動可能な試料ステージ上に試料を載置する工程と、試料をステージ上に保持しつつ試料表面に電子線を走査し試料の電子顕微鏡画像を得る工程と、試料を移動させながら電子顕微鏡画像を用いて試料の分析対象領域の中心点を所定の測定位置に一致させる工程と、試料を所定の角度に傾斜させる工程と、傾斜後の前記領域の中心点が前記測定位置に一致するように試料の位置ずれを補正する工程と、試料に電子線を照射し分析対象領域から放出される特性Ｘ線を検出し前記領域の表面近傍に存在する物質の元素を分析する工程とを含む。 （もっと読む）

多色性エネルギー分布を持つ第一のＸ線ビームを用いて対象物の画像を検知するシステムと方法を開示する。一つの観点によれば、この方法は対象物の画像を検知する段階を含んでもよい。この方法は、多色性エネルギー分布を持つ第一のＸ線ビームを生成する段階を含んでもよい。更に、この方法は該第一のＸ線ビームを直接遮るように、モノクロメーター単結晶を、予め決めた位置に置き、予め決めたエネルギーレベルを持つ第二のＸ線ビームを生成する段階を含んでもよい。更に、この方法は、この対象物をこの第二のＸ線ビームが透過して、この対象物から透過したＸ線ビームが放射されるように、この第二のＸ線ビームの経路上に対象物を置くことができる。この透過したＸ線ビームを、アナライザー結晶上の入射角に向けることができる。更に、このアナライザー結晶から回折したビームにより、対象物の画像を検知することができる。
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【課題】注目部位のＸ線光軸方向の位置を正確に求め、透視拡大率の正確な値を求めることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 傾動機構１６と、被測定物の注目部位Ｓｐを基準状態で撮影した基準画像記憶部３６と、注目部位Ｓｐの傾斜状態形成部１６、３３と、基準状態でＸ線光軸とステージ面とが交差する交点Ｐ_１が傾斜状態のときのＸ線光軸とステージ面との交点Ｐ_２となるように、Ｘ線光軸の傾動動作に連動してステージを移動させるステージ追尾移動部１５、３４と、傾斜状態で撮影した画像を蓄積する傾斜画像記憶部３７と、基準画像から特徴情報を抽出する特徴情報抽出部３８と、特徴情報に基づいて傾斜画像中の注目部位を探索する注目部位探索部３９と、基準画像と傾斜画像との画像上の位置により注目部位の移動量（Ｄ）を算出する移動量算出部４０と、移動量（Ｄ）に基づいて注目部位の光軸方向の位置を算出する光軸方向位置算出部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 入力操作を行う際に、駆動機構の現在位置を把握できるようにし、また、リミット位置に達したことを把握できるようにして、操作性を向上させたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 ステージ１４と、Ｘ線測定光学系１３と、ステージ１４やＸ線検出器１２を移動する駆動機構部１６、１７と、ステージ１４やＸ線検出器１２の現在位置を検出する位置検出手段１８と、検出された現在位置と移動限界位置との位置関係を判定する位置判定部３５と、ステージ１４またはＸ線検出器１２を移動するためのスイッチ手段２４ｅ〜２４ｇを含む操作画面２４ｃを表示装置のモニタ画面２４ａに表示する操作画面表示制御部３３と、現在位置と移動限界位置との位置関係の判定結果に基づいて操作画面中のスイッチ手段の表示内容を変更するスイッチ手段表示変更部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 新たな被測定物について新たに条件設定を行う場合でも、操作者が適切なＸ線条件、画像処理条件の設定を容易に行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器と１２からなるＸ線測定光学系１３と、Ｘ線測定光学系１３を制御するとともに撮影した透視Ｘ線像の画像処理を行うことによりＸ線画像を作成して表示装置のモニタ画面に表示する制御を行う制御系２０とを備え、制御系２０は、Ｘ線発生装置のＸ線条件および透視Ｘ線像の画像処理条件を含むＸ線画像作成のための設定条件とその設定条件にて観察する観察部位の材質・厚さを含む観察部位情報とを関係付けて一括して登録した登録データを記憶する登録データ記憶領域５１を備え、観察部位情報の入力により登録データ記憶領域に蓄積された登録データに基づく条件設定を行う条件設定制御部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】断層画像を利用して異常を表示する装置の価格が上昇してしまうという課題があった。
【解決手段】回路形成体２０３を保持する回路形成体回転機構２０２と、回路形成体２０３にＸ線を照射するＸ線発生手段２０１と、回路形成体２０３を透過してきたＸ線を検出するＸ線検出手段２０４と、Ｘ線を利用して、回路形成体２０３の透過画像を作成し、あらかじめ用意された、良品の透過画像と、回路形成体２０３の透過画像とを比較し、比較の結果に応じて、回路形成体２０３における異常の有無を判定し、良品の透過画像を含む、その枚数よりも多い枚数の作成された良品の透過画像のセットを利用して、良品の断層画像を作成する制御コンピュータ２０８と、異常が有ると判定された場合には、回路形成体２０３の異常が有る透過画像に対応する良品の透過画像に基づいて決まる断層画像の部位に、異常を表示する表示手段２０９とを備えた、Ｘ線ＣＴ装置３０１である。 （もっと読む）

【課題】気体イオンビーム装置とＦＩＢとＳＥＭを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＳＥＭ鏡筒２と、気体イオンビーム鏡筒３と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸８と直交する回転軸１０とを持つ回転試料ステージ９と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム４と電子ビーム５と気体イオンビーム６とは、１点で交わり、かつＦＩＢ鏡筒１の軸とＳＥＭ鏡筒２の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸８と直交し、かつＦＩＢ鏡筒１の軸と気体イオンビーム鏡筒３の軸とユーセントリックチルト軸８とは一つの平面内にあるように配置する。 （もっと読む）

【課題】走査装置を通過するコンベヤシステムとの互換性を有し、かつ高速な走査が可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】物品を検査するＸ線画像化検査システムは、撮像容積（１６）の周りに延在し、放射されるＸ線が撮像容積を通過できるように配向された複数の点状放射源（１４）を構成するＸ線放射源（１０）を有する。Ｘ線検出器アレー（１２）は同様に走査容積の周りに延在し、点状放射源からの撮像容積（１６）を通過したＸ線を検出し、この検出されたＸ線に基づく出力信号を生成するように構成されている。コンベヤ（２０）は撮像容積（１６）を通過して物品が運ばれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検体をある程度拡大してＣＴ撮影することができ、速やかに観察位置変化させることができるとともに、この変化のための被検体の移動において、被検体をチャッキングしなおす必要のないＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置２とＸ線検出器３の間に、Ｘ線光軸Ｌと交わる回転軸Ｒを中心として回転する回転機構（４ａ，４ｂ）を設け、その上に、被検体Ｗを把持してその位置および姿勢を変化させる多関節ロボット４を配置することにより、被検体Ｗを回転軸Ｒに対して任意の位置および姿勢に位置決めすることを可能とし、被検体Ｗを把持したまま、適宜に多関節ロボット４を駆動することで、被検体Ｗの任意の位置を任意の方向でスライスした断層像が得られるようにする。 （もっと読む）

【課題】不均質な対象が検査される場合に、質を一定に維持しつつも測定時間の低減が達成され得るＣＴ方法を提供する。
【解決手段】検査対象の異なる角度位置での投影データが得られるＸ線によるノンメディカル応用分野における検査対象の投影データを読み取るためのＣＴ方法に関する。本発明によれば、各角度位置を読み取るための積分時間が検査対象のジオメトリ及び角度位置における検査対象の吸収特性によることが提供される。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。 （もっと読む）

【課題】 測定点間を移動する際の被測定物とＸ線測定光学系との衝突を予測し、衝突防止を図る。
【解決手段】 Ｘ線源１１とＸ線検出器１２との間に被測定物Ｓが位置するように被測定物を載置するためのステージ１４と、駆動機構１５とを備え、ステージ上に載置された被測定物の複数の測定点についてのＸ線検査を行うＸ線検査装置１において、光学カメラ画像に基づいて被測定物の立体形状を抽出する立体形状抽出部３６と、測定点に関する位置情報の入力を受ける測定点情報入力部３７と、測定点間を最短経路で移動させるときに移動中の被測定物が通過する範囲を抽出する通過範囲抽出部３８と、Ｘ線測定光学系１３と被測定物の通過範囲との位置関係とに基づいて衝突可能性を判定する衝突判定部４１と、衝突可能性がある場合に回避ルートを算出する回避ルート算出部４２とを備える。 （もっと読む）