【課題】試料が搭載される基板（基材）の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部Ｘ線計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置と、放出されるＸ線を５０μｍ径以下の断面積に収束照射するＸ線光学素子と、蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光Ｘ線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光Ｘ線も計測可能な微小部Ｘ線計測装置では、Ｘ線の照射位置と前記Ｘ線検出器との間の蛍光Ｘ線の光路を蛍光Ｘ線の減衰を抑制する構造（真空又はヘリウム置換）とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 （もっと読む）

【課題】サンプリングレートを低減した多重エネルギー撮像を提供すること。
【解決手段】本開示は、単一エネルギー撮像で利用されるレートに匹敵するデータサンプリングレートを用いた２重エネルギーＸ線データ（６２、６４）の生成に関する。本技法によれば、従来の２重エネルギー撮像と比較して利用するｋＶｐ切替速度が低速となる。作成した画像において全角度分解能が達成される。 （もっと読む）

【課題】密閉容器においても、非破壊で、被検体の内容物と内容物表示物に記載の内容物との整合性の評価が可能な密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物が密閉容器に収容された被検体に放射線を側面から照射して前記被検体を透過した放射線をイメージセンサにより検出することにより放射線の強度に応じた強度信号を得る第１の信号取得工程と、前記第１の信号取得工程により得られた前記強度信号を処理して前記被検体の検査対象物の画像情報を生成する第１の画像情報生成工程と、前記第１の画像情報生成工程により得られた前記画像情報に基づいて、前記被検体の検査対象物と前記被検体の検査対象表示物に表示された検査対象物との整合性を判断する判断工程と、を有することを特徴とする密閉容器の非破壊検査方法を使用する。 （もっと読む）

【課題】強磁場中に配置されるマイクロチャンネルプレートでの二次電子増幅率の減少を抑制して散乱イオンの測定精度の低下を抑制できる散乱イオン分析装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る散乱イオン分析装置は、磁場形成手段１８と散乱イオン検出器２０とアパーチャ１６とを備え、散乱イオン検出器は、マイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）２２と二次電子の位置を検出する位置検出手段３０とバイアス電圧を印加するためのバイアス電源３２とを有し、ＭＣＰ２２では、磁場Ｂ方向に対し、微細貫通孔２６に入射する散乱イオンの入射方向が傾いているのと同じ側に微細貫通孔２６の中心軸２６ｂが傾き、且つ散乱イオンの入射方向の傾きよりも中心軸２６ｂの傾きが小さくなるように当該微細貫通孔２６が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】伝熱管の破損の有無及び破損箇所を高精度且つ短時間に検出できること。
【解決手段】蒸気発生器１０における伝熱管１１の破損の有無を確認するために、伝熱管の外管と内管の隙間を流れるＨｅガスが、伝熱管の破損箇所から漏出したことを検出するガス漏出第１検出器１６、ガス漏出第２検出器１８と、伝熱管の破損箇所を特定するために、伝熱管１１を挟んで対向配置された中性子発生装置３３と中性子検出イメージセンサ３４とを有し、中性子発生装置３３から放出された中性子が、外管と内管の隙間を流れて破損箇所から漏出したＨｅ３ガスにより吸収され、そのときの中性子の影を中性子検出イメージセンサ３４が２次元画像として検出するものである。 （もっと読む）

本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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１つ又は複数のサンプルからの電子を検出するシステム及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、本システム及び方法は、サンプル表面からの二次電子を偏向させるための１つ又は複数の磁場源を含む。
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【課題】ブラッグピークの発現を低減させた中性子散乱実験用部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム、クロム、鉄及びニッケルからなる群から選択される少なくとも１種の金属２．８〜１２．８重量％並びにバナジウム８７．２〜９７．２重量％からなるバナジウム合金を含む中性子散乱実験用部材。 （もっと読む）

手持ち型自蔵式蛍光Ｘ線（ＸＲＦ）分析装置（２００）が、ミリメートルサイズの特性寸法の試料（６０４）領域の元素組成を問い合わせるために試料（６０４）上に小さなＸ線スポットを生じさせる。分析装置（２００）は、Ｘ線ビーム（３０４）を試料（６０４）上の所望の場所に向かって照準合わせするＸ線源を有する。分析装置（２００）は、分析装置（２００）を照準合わせしやすいようＸ線スポットによって問い合わせされる又は問い合わせされそうである試料（６０４）の部分の方へ差し向けられたディジタルカメラ（３１６）を有するのが良い。分析装置は、Ｘ線ビーム（３０４）によって照明される又は照明されそうである試料（６０４）の部分を指示するよう表示画像中にレチクル（９０８，９１０）を発生させるのが良い。分析装置（２００）は、スポットと検出器（３１４）との間の光路に沿って位置決めされた検出器用コリメータ（１２００）を有するのが良い。分析装置（２００）は、ビーム（３０４）及び応答信号（３１２）が通過するチャンバと、パージガスをチャンバに提供するためのパージガスタンク（２５０２）の端部を受け入れる継手とを有するのが良い。分析装置（２００）は、チャンバ内に存在している周囲ガスの量を検出するよう動作するセンサを有するのが良い。分析装置（２００）内におけるレチクルの存在場所を較正する較正用標的（２２００）及び方法（２３００〜２３０８）が提供される。 （もっと読む）

【課題】Ｔａ膜に大気中の水素を吸着させ、更に大気中の酸素等と反応して得られたＴａＯｘ膜を有する試料に対してＳＩＭＳ分析を行い得られた結果と、ＨＦＳ分析を行い得られた結果とを比較するとＳＩＭＳ分析ではＴａＯｘとＴａとの界面で水素濃度ピークが見られるが、ＨＦＳ分析ではＴａ内部で水素濃度はほぼ一定の値で分布している。分析方法により分析結果が異なり金属内気相物質の分布を分析することは困難であった。
【解決手段】重水素をＴａ膜中に一様に分布するようイオン注入を行う。またＳＩＭＳ分析を行う際に酸素を真空装置中にリークさせて水素を検出する。スパッタによりＴａ膜が露出すると同時に酸素雰囲気によるＴａ膜表面の酸化が生じるためＴａ膜内部からの水素ガス離脱が抑制され水素の偽ピークが消失する。更に重水素の信号強度が一定になるよう制御することでより精密な水素の定量分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の強度を低下させることなく試料の微小領域に集光させることができるようにする。
【解決手段】試料１を載置する試料台１３と、１次Ｘ線を試料１の表面に対し全反射を起こす入射角で入射させる１次Ｘ線照射部２と、試料１の表面に対向して配置され、試料１から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器１１とを備えている。１次Ｘ線照射部２は１次Ｘ線を発生するＸ線源３、及びその１次Ｘ線を集光して試料１に照射するポリキャピラリーＸ線レンズ５を備え、さらに好ましくはポリキャピラリーＸ線レンズ５から出射した１次Ｘ線のうち試料表面に対して全反射条件を満たさない入射角をもつ１次Ｘ線を遮蔽するスリット７を備えている。 （もっと読む）

【課題】 供用状態または炉外取出し状態における被測定材料の中性子照射量、DPA、ヘリウム生成量、水素生成量等の放射線損傷量をその場で非破壊的に測定する。
【解決手段】 原子炉プラントに組込まれた状態または外された状態の被測定部材１９から放出されるγ線を測定する検出器本体１と、該検出器本体１を包囲して形成された放射線の遮蔽体と、該遮蔽体に前記検出器本体１と外部とを連通して設けられた細孔と、前記細孔の開口部を水密にシールする蓋と、を有して形成された検出器部５と、前記検出器本体１に接続され、前記γ線の測定データを分析して前記被測定部材１９に含まれる放射性核種とその量を求め、該求めた放射性核種の量と前記被測定部材１９の化学組成と前記放射線の照射時間履歴とに基づいて前記放射線の中性子量を算出し、算出した前記中性子量に基づいて前記放射線損傷量を算出する演算手段と、を含んで放射線損傷量測定装置を構成する。 （もっと読む）