【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品を検査し、有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミック部品を提供する。
【解決手段】焼結体密度９８％以上であり、Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深での深さで検出される吸着有機物由来の炭素量が５ｍａｓｓ％以下であることを特徴とする半導体製造装置用セラミックス部品、更に、半導体製造装置の処理室内で曝露される主面の表面粗さが、表面平滑度でRａ１μｍ以下であることを特徴とする前記半導体製造装置用セラミックス部品である。 （もっと読む）

【課題】集積回路パッケージとプリント配線板の接合状態をより精度よく良否判定する検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
はんだ接合検査方法は、ＢＧＡパッケージ１０の表面に配置された複数のはんだボール５と、プリント配線板１１に設けられたランド１２とのはんだ接合を検査するはんだ接合検査方法であって、検出工程Ｓ１０１〜Ｓ１０２と、判定工程Ｓ１０３〜Ｓ１０８とを備えている。検出工程Ｓ１０１〜Ｓ１０２は、はんだ接合される部分にＸ線を照射することにより得られる情報から、ランド１２上に塗布されたはんだペースト１６に含まれ、かつ、はんだボール５に含まれない元素の分布を検出する。判定工程Ｓ１０３〜Ｓ１０８は、検出された元素の分布に基づいて、はんだ接合の良否を判定する。 （もっと読む）

【解決手段】基板に重ねられた材料の層の積重ねにおける１つの層の元素組成の面密度を確立するための方法及びコンピュータプログラムソフトウェア製品である。入射する透過性放射線は、１又は複数の元素のそれぞれに関連した複数の線の特性蛍光Ｘ線放射を励起する。連続する元素の特性蛍光の強度比に関する方程式の自己一致した解によって、連続した層の面密度が決定される。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は物品のラベル付け、検出、および管理するための方法、およびその装置を提供する。本発明の方法は物品のラベルを定義する工程を含む。前記ラベルは、前記物品の少なくとも１つの固有の化学元素および／または付加的化学元素を有し、ラベル付けされたデータを含有するデータベースを提供する工程と、物品により送信される信号を検出して検出データを生成し、前記データを前記データベース内のデータと比較する工程と、前記比較テストにしたがって、検出される物品が前記ラベル付けされた物品であるか否かを決定する工程と、前記データベース内の前記物品の少なくとも１つのメッセージを読み込む工程とを有する。本発明の物品ラベル付けおよび検出ソリューションは、識別、物品ラベル付け、別の物品との交換の防止、ロジスティック管理、統計分析、資産の保護、および責任所在の追跡など様々な分野の社会経済的管理および経営管理に使用可能なものである。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）

ラップ加工に用いられる粒子を含む研削材（砥粒）の圧潰強さを測定する方法及び装置が提供される。実施形態としての圧潰強さ試験機は、研削材を保持するカップと、カップを第１の方向に回転させる第１のモータと、カップ内に回転可能に嵌まり込んで研削材に接触するピストンと、ピストンを第１の方向とは逆の第２の方向に回転させる第２のモータと、第１及び第２のモータが回転している間にストンを研削材に押し付けて粒子を圧潰するプレスとを有する。粒子の初期粒径分布を求め、次に研削材に圧潰強さ試験機を用いてラップ加工の圧潰力にほぼ等しい圧潰力を及ぼす。粒子の圧潰後粒径分布を求め、初期粒径分布と圧潰後粒径分布を比較する。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰ法で試料の組成や面積密度を分析する蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、種々の試料について、簡便にしかもジオメトリ効果を十分現実に則し加味して理論強度を計算し、十分正確に定量分析できるものを提供する。
【解決手段】 仮定した組成に基づいて、試料13中の各元素から発生する２次Ｘ線6 の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段9 で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが一致するように、仮定した組成を逐次近似的に修正計算して、試料13の組成を算出する算出手段10とを備え、その算出手段10が、理論強度を計算するにあたり、試料13の大きさ、ならびに試料表面13a の各位置に照射される１次Ｘ線2 の強度および入射角φをパラメータとして、光路ごとに２次Ｘ線6 の理論強度をシミュレーション計算する。 （もっと読む）

【課題】金属帯上に塗布されるワックスの付着量を短時間で正確に測定することを可能としたワックス付着量測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のワックス付着量測定方法は、ワックスが付着された金属帯を、500〜950℃の温度で熱処理し、該熱処理前後の金属帯上の炭素量の差からワックスの付着量を求めることを特徴とする。さらに、蛍光Ｘ線分析法を用いて、熱処理前後の金属帯上の炭素量の差を求めることが好ましい。 （もっと読む）

この単色Ｘ線源は、ある元素を有する放出原子を含む材料からなるターゲットを特に含み、前記原子は、電子線照射によって必須的に前記原子のＫ層に位置する電子が励起される。前記材料は、通常固体状態であり、前記放出原子に束縛される、１つまたは複数の元素を表す構造化原子を用いて結合され、前記構造化原子は、前記放出原子によって放出される前記Ｘ線において２．３μｍ^−１以下の吸収係数を有する。前記構造化原子の原子番号は、前記放出原子の原子番号より小さい。
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【課題】成形、塗装後の圧延方向に沿った線状の模様（ルーパーライン）を防止し、成形後外観に優れるアルミニウム板材を得る。
【解決手段】飲料用ＤＩ缶成形後の缶側面を、圧延方向に対して垂直な直線上にて、炭素の面分析を行ったとき、Ｃのカウント数が全５０カ所の平均の１．５倍以上の面積が、５％以上である部分が、１０カ所以下とする。 また、板表面近傍断面において、平均結晶粒径が表面からの距離が１０μｍを超えて２０μｍ以下部分にある結晶の平均粒径の１／５以下である部分（異常部）の厚さを１０μｍ以下とする。 異常部の線密度や表面粗度を一定の範囲におさめるとより好ましい。 （もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 試料への電子線照射ダメージが抑えられる電子線照射量で、Ｓ／Ｎが良く試料の状態分析を２次元イメージとして得る。
【解決手段】 透過電子顕微鏡又は走査型透過電子顕微鏡のエネルギーフィルターを用いた試料の分析方法であって、所望の観察領域に電子照射を行う工程と、前記試料を透過した電子のエネルギーをエネルギーフィルターにより分光してＥＥＬＳスペクトルを得る工程と、前記ＥＥＬＳスペクトルにおけるプラズモン・ロス電子によるピークの位置及び強度を得る工程と、前記プラズモン・ロス電子のピーク位置及び強度を色情報及び輝度情報として２次元イメージを得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】フィルタで捕捉した微粒子をＸ線分析装置により元素分析する際、微粒子以外にフィルタのベース部材の元素も測定することになり、本来の測定対象の微粒子の元素を特定する上で障害となっていた。
【解決手段】分析用フィルタ１は、穴径１００ｎｍ〜１０００ｎｍのろ過穴３を複数有する樹脂からなるフィルタベース２と、フィルタベース２の片側の表面に金（Ａｕ）をイオンスパッタにて形成した金属被覆膜４とを有する。金属被覆膜４の膜厚は、Ｘ線分析装置の電子線が貫通しない程度で、ろ過穴３を塞がない程度が望ましく、４０ｎｍ〜１００ｎｍが好適である。 （もっと読む）

【課題】試料の表面分析方法を提供する。
【解決手段】（イ）Ｎ個の相異なる元素を含む試料表面のＭ個の相異なるデータポイントを設定し、各データポイントでの元素成分比を測定するステップと、（ロ）測定された元素成分比からデータポイント間の濃度距離値を計算するステップと、（ハ）計算されたデータポイント間の濃度距離値を利用し、試片表面の相分布を決定するステップとを含む試料表面での構成元素の成分比を利用した相分布を決定する試料表面の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】 成形品に形成された気孔に、特定のマーカー元素を分子内に有する樹脂を含有する樹脂組成物を充填した後、その形状を実質的に維持した状態で固形化して、このマーカー元素を検出することにより、成形品の表面や内部における気孔の分布を精度よく分析する方法を提供する。
【解決手段】 樹脂材料又は樹脂成形材料の成形品に形成された気孔の分布状態を分析する方法であって、
（ａ）ホウ素、窒素、フッ素、ケイ素、リン、硫黄、塩素、臭素、ヨウ素から選ばれるマーカー元素を分子内に有する樹脂を含有する樹脂組成物を、上記気孔内に充填する第１の工程と、
（ｂ）上記気孔内に充填された樹脂組成物を、その形状を実質的に維持して固形化する第２の工程と、
（ｃ）上記固形化した樹脂組成物中のマーカー元素を検出することにより、上記成形品に形成された気孔の分布状態を分析する第３の工程と、
を有することを特徴とする、成形品の気孔分布の分析方法。 （もっと読む）

【課題】 フェノール樹脂成形品中に含有されているフェノール樹脂の分散状態を正確に確認することができるフェノール樹脂の分析方法を提供することにある。
【解決手段】 フェノール樹脂を含有する組成物もしくはその硬化物中におけるフェノール樹脂の分散状態を分析する方法であって、前記フェノール樹脂にホウ素、窒素、フッ素、ケイ素、リン、硫黄、塩素、臭素、ヨウ素から選ばれる元素を有する官能基を導入し、該元素の分散状態を検出することにより、フェノール樹脂の分散状態を分析することを特徴とするフェノール樹脂の分析方法。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰ法で試料の組成を分析する蛍光Ｘ線分析装置などにおいて、非測定元素を多く含み、その原子番号を特定できない種々の試料について十分正確に分析できるものを提供する。
【解決手段】 仮定した元素の濃度に基づいて、試料13中の各元素から発生する２次Ｘ線4 の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段9 で測定した測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが一致するように、仮定した元素の濃度を逐次近似的に修正計算して、試料13における元素の濃度を算出する算出手段10を備え、その算出手段10が、蛍光Ｘ線4 を測定しない非測定元素については、平均原子番号を仮定して、対応する２次Ｘ線として散乱線4 を用い、理論強度と換算測定強度とが一致するように、仮定した平均原子番号を逐次近似的に修正計算する。 （もっと読む）

本発明は、次の工程を含む未知組成物の精油所固形ファウラントの同定方法に関する。即ち、固形ファウラント試料を得る工程、捕捉された原料を、溶剤を用いて試料から除去して、不溶分試料を得る工程、不溶分試料を、走査電子顕微鏡およびエネルギー分散Ｘ線で走査する工程、不溶分試料について、灰分試験を含む熱重量分析を行って、高分子、コーク、および無機元素の存在を決定する工程、不溶分試料について、元素炭素、水素、硫黄、窒素、ハロゲン、および金属の元素分析を行なう工程、不溶分試料について、光学顕微鏡試験を行なって、ワックス、アスファルテン、異方性コーク、および等方性コークの存在を決定する工程および固形ファウラントを同定する工程である。 （もっと読む）

【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で軽元素を含む絶縁体材料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な絶縁体中の軽元素分析・評価装置を提供する。
【解決手段】 この出願の発明による絶縁体試料中の軽元素分析・評価装置は、２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオン２を、軽元素を含む絶縁体試料３に照射するイオン発生源１と、正イオンの照射により絶縁体試料３中に含まれる軽元素から発生する特性Ｘ線を検出するＸ線検出器５と、絶縁体試料３を配置するチャンバー４を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で絶縁体材料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な絶縁体中の元素分析・評価方法を提供する。
【解決手段】 この出願の発明による絶縁体試料中の元素分析・評価方法は、２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素あるいは重元素を含む絶縁体試料へ照射することにより、絶縁体試料中に含まれる元素から特性Ｘ線を発生させ、発生した特性Ｘ線を検出することにより絶縁体試料中に含まれる元素の分析・評価を行うことを特徴とする。 （もっと読む）