【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】２次元画像全体におけるスペクトルの変化等を直観的に把握することを補助するとともに、画像による様々な分析をより容易に進めることを可能とする画像表示装置を提供する。
【解決手段】波長域別画像データを、前記撮像対象について複数の波長域ごとに記憶する波長域別画像データ記憶部１２と、撮像された波長域の異なる複数の波長域別画像データを選択し、選択された各波長域別画像データから、それぞれ異なる基本色のみで表現され、各画素が各強度データにそれぞれ対応した輝度を有する基本色画像を構成する基本色画像データをそれぞれ作成する基本色画像データ作成部１３と、複数の基本色波長の異なる基本色画像データを合成して１つの合成画像データを作成する合成画像データ作成部１４と、前記合成画像データを画像として表示する合成画像表示部１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、複数の異なる種類の光ファイバを用いて測定を行なえる光スペクトラム測定装置を提供する。
【解決手段】光バンドパスフィルタの中心波長を変化させ、被測定光の光スペクトラムを測定する光スペクトラム測定装置であって、異なる種類の光ファイバに対応した複数個の光コネクタと、分岐側の各光ファイバが複数個の光コネクタとそれぞれ接続し、バンドル側が光バンドパスフィルタの光入力端に接続したバンドル光ファイバと、を備えた光スペクトラム測定装置。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第１の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における２次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 パッケージに設けられた光入射部に対して、パッケージ内に設けられた光通過部が位置決めされた分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光ユニット３０と、を備える。光検出ユニット２０は、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２を有する。分光ユニット３０は、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 パッケージに設けられた光入射部に対して、パッケージ内に設けられた光通過部が位置決めされた分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光モジュール３Ａと、を備える。分光モジュール３Ａは、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２が設けられた光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように光検出ユニット２０に固定され、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する分光ユニット３０と、を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】焦点合わせに要する時間を短縮できる分光撮像装置を提供する。
【解決手段】被写体からの光を集光する集光レンズ１０と、集光された光のうち、被写体のライン状領域からの光を通過させるスリット２１ａが形成された遮光部材２１と、分光手段２２と、光の強度をライン状領域の長手方向の位置及び波長ごとに検出することにより、ライン状領域の画像を取得する光検出手段２６と、光検出手段からライン状領域の画像を順次受け付けて、撮像領域の画像を取得する画像取得部４１と、被写体に対する集光レンズ、スリット、分光手段又は光検出手段の光軸方向の相対距離を変更して、画像の焦点を合わせる焦点合わせ手段３０とを具備し、画像取得部が、焦点を合わせようとする部分を含み被写体における撮像領域よりも狭い領域の画像を、相対距離を設定して取得し、狭い領域の画像の焦点が合うときの相対距離で、撮像領域の画像を取得するようにした。 （もっと読む）

【課題】必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及び顕微分光システムを提供する。
【解決手段】顕微分光システム１に用いられる分光器４０は、コリメート光学系４１と、分光素子４２と、集光光学系４３と、複数の反射鏡が、少なくとも分光素子４２による分光方向に１次元に配列され、少なくとも所定の１次元方向に回転可能な空間光変調素子４４と、空間光変調素子４４で反射された分光光を受光する投影光学系４５と、複数の受光素子４６ａが、少なくとも投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に配列された受光器４６と、を有し、受光器４６の配置位置は、投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に関して投影光学系４５の後側焦点位置である。 （もっと読む）

【課題】回転セクタ鏡の回転により測定光を異なるモードに振り分ける分光光度計において、各モードのデータ積算期間の設定に関する調整を容易にした分光光度計を提供する。
【解決手段】制御部２０は、変化検出部１９からモードＤ１を積算対象とする通知を受けると、遅延時間記憶部２１からモードＤ１に対応する遅延時間Td1を参照する。そして、変化検出部１９から通知を受けた時点から遅延時間Td1だけ経過した後にＡＤＣ１８にデータ採取信号を一定の期間送る。ＡＤＣ１８はデータ採取信号を受信している期間内で光検出器１７からの光強度信号のサンプリングとデジタル値への変換を行い、積算処理部２２に送る。積算処理部２２ではＡＤＣ１８から取得されたデータの積算が行われ、該積算値は制御部２０に送られた後、制御部２０によって積算値記憶部２３内のモードＤ１に対応する記憶領域内に保存される。 （もっと読む）

【課題】 調整治具を使用することなく、容易かつ正確にミラーの角度や位置を微調整することができる光度計を簡単な構成で提供する。
【解決手段】 光学素子２，４を保持する台座８が、ピン１１並びに取付ネジ１４によりベース１２に対してピン１１を支点として回動調整可能に取り付けられ、さらに、台座８の端縁近傍位置で当該台座８の移動調整を許容する間隔をあけて、ベース１２から突出する突起部１６ａが設けられており、台座８と突起部１６ａとの間に回動工具１８の先端を差し込んで回動することにより、台座８にピン１１を中心とする回転モーメントを与えて光学素子２，４のヨー方向の回動調整を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】 最良の波長分解性能を発揮する状態に調整することができる光学調整方法と調整治具を提供する。
【解決手段】 光源１６と、光源からの光を平行光束にする光学素子１７とを治具ベース１９上に備え、光学素子１７から射出される光が精密に平行光束となるように予め設定されている光学調整用の調整治具Ａを用意し、この調整治具Ａを光路上に配置し、調整治具Ａから射出される平行光束を第１ミラー２に送り、第１ミラー２により反射集光した光を入口スリット１に通過させてその近傍に配置した像観察部材２３に光束パターンを表示させ、この光束パターンに基づいて適正光束パターンになるように第１ミラー２または入口スリット１を移動させて第１ミラー２のフォーカスを調整する。 （もっと読む）

【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を用いた試料測定方法を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止する。 （もっと読む）

【課題】光の損失を抑制する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されたダイクロイックミラーアレイ２１と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと略平行に対面する反射部材２３と、を有する分光部５と、ダイクロイックミラーアレイ２１からの透過光を光電変換する光電面７と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍと、チャンネルＣ_ｍの各々に対応して設けられた複数のアノード１４とを有する光電子増倍管２と、を備え、分光部５は、ダイクロイックミラーアレイ２１と反射部材２３との間に透光性材料からなる透光ブロック２０を更に有し、透光ブロック２０の反射面２０ｃに反射部材２３が設けられ、反射面２０ｃと対向する分光面２０ｂにダイクロイックミラーアレイ２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最新のダイアモンド機械加工プロセスを用いて全てが作成される、モノリシックオフナー分光器及び、回折格子及びスリットのような、様々なコンポーネントの製造方法を提供する。
【解決手段】モノリシックオフナー分光器はダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。別の実施形態において、モノリシックオフナー分光器はダイアモンド機械加工プロセスで作成された金型を用いて作成される。また別の実施形態において、回折格子はダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。さらにまた別の実施形態において、回折格子はダイアモンド機械加工プロセスで作成された金型を用いて作成される。また別の実施形態において、スリットはダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。 （もっと読む）

【課題】応答速度が速く、小型の分光器を提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光器は、電気光学効果を有する電気光学結晶、および該電気光学結晶の内部に電界を印加するための電極対を含むビーム偏向器と、前記ビーム偏向器からの出射光を分光する分光手段と、該分光手段で分光された出射光の中から、任意の波長の光を選択する波長選択手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすＣＤ測定装置及び方法を提供すること。
【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する２つの偏光成分間の位相差（δ）を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分（ＤＣ）、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分（ＡＣ）をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比（ＡＣ／ＤＣ）に前記位相差の変調振幅（δ_０）を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定光の分光特性をより短時間かつ高精度に測定可能な分光特性測定方法および分光特性測定装置を提供する。
【解決手段】分光特性測定方法は、第１の波長範囲に検出感度を有する分光測定器に対して、その波長範囲が第１の波長範囲の一部である第２の波長範囲となっている光を入射させるステップと、分光測定器で検出された第１のスペクトルのうち第２の波長範囲以外の範囲に対応する部分から迷光成分を示す特性情報を取得するステップと、特性情報を第１の波長範囲のうち第２の波長範囲まで外挿処理することで、分光測定器に生じる迷光成分を示すパターンを取得するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】分析時間が長くなることやデータの精度を低下させることなく、光電子増倍管を用いた非稼動の検出器の保護を行う。また、測定精度を保証するため光電子増倍管を用いた検出器に印加される印加電圧の監視を行う。
【解決手段】ＡＤ変換器を増やすことなく、暗信号の安定待機時間中に、電圧を印加された光電子増倍管によって異常な出力を検知したときに光電子増倍管の電源をオフにする。また、測定信号安定待機時間中に、光電子増倍管を用いた検出器に印加される電圧の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図りつつ、分光特性の変化を防止し得る分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、パッケージ本体２と、パッケージ蓋７及び支持基板１１と、透過型グレーティング素子１３と、ミラー素子２０と、光検出素子１５と、を備えている。本体２には、空洞３が形成されている。蓋７及び基板１１は、空洞３の底面３ｂと対向するように本体２に取り付けられており、空洞３外から空洞３内に光Ｌを通過させる。グレーティング素子１３は、基板１１によって支持されており、空洞３外から入射した光Ｌを分光すると共に空洞３の底面３ｂ側に透過させる。ミラー素子２０は、空洞３の底面３ｂに配置されており、グレーティング素子１３によって分光された光Ｌを反射する。光検出素子１５は、基板１１によって支持されており、ミラー素子２０によって反射された光Ｌを検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面２ａから入射した光を透過させる光透過部２，３と、光透過部２，３の凸曲面３ａ上に設けられ、光透過部２，３を透過した光を分光して表面２ａ側に反射する分光部と、表面２ａ側に設けられ、分光部によって分光されて反射された光を検出する光検出素子７と、を備える分光モジュール１の製造方法は、凸曲面３ａに、回折層４を形成するための材料を配置し、材料にモールドを当接させ、材料を硬化させることにより、凸曲面３ａに沿って回折層４を形成する工程と、回折層４の表面に反射層６を形成することにより、分光部を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）