顕微鏡用分光分析装置及び顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法
【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光源から試料に励起光が照射されると、顕微鏡に入射される試料が発する広い波長範囲に亘る多数の散乱光を分析する顕微鏡用分光分析装置に関し、特に高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置に関する。
具体的には、ラマン散乱やSERS(Surface Enhanced Raman Scattering、表面増強ラマン散乱と訳される)による散乱光を計測する際に使用される顕微鏡用分光分析装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、試料(測定対象)に励起用レーザ光束を照射たときに生ずる蛍光やラマ
ン散乱光などを顕微鏡を介して分光分析する顕微鏡用分光分析装置が提案されている。
【0003】
ここで、ラマン散乱とはレーザなどの単一波長を物質に照射することによって生じる非線形な光学現象であって、照射する単一波長光源の波長よりも若干波長シフト(長波長にも短波長にも)した散乱光が発生する現象である。なおラマン散乱では、照射光の強度を1とすると、10-14程度の微弱な光強度しか得られない。
【0004】
この波長シフト(ラマンシフト)したラマン散乱光スペクトルは物質固有のものであるため、ラマン散乱光に基づき試料がどのような物質であるかを特定できる。
このため、従来の顕微鏡用分光分析装置は、試料から発せられるラマン散乱光等を検出することにより、試料中に含まれる物質の化学構造及び物理的状態を特定することができる。なお従来の顕微鏡用分光分析装置によれば、試料は固体、液体、気体を問わず、かつ、非破壊での検出を行うことができる。
【0005】
また、SERSは、測定対象である試料においてナノサイズの金属構造の周囲に物質が存在するときに、レーザなどの単一波長光を照射することによって散乱光が生じる現象である。
具体的には、励起光を金属ナノ構造を有する試料に照射すると、金属表面において自由電子の粗密波である表面プラズモンが励起されてその領域における光電場が増強される。このため従来の顕微鏡用分光分析装置は、SERSに関し、金属ナノ構造周囲で発生し表面プラズモンにより増強されたラマン散乱光を計測する。
【0006】
図11は、従来の顕微鏡用分光分析装置の構成例を示した図である。
図11において、顕微鏡用分光分析装置は、照射光の一例である試料を励起光を出射する光源1と、光源1から入射された励起光を光軸に対して垂直な平面におけるXY方向のうちY方向に走査するY走査装置2と、Y走査装置2から試料までの光路中に配置され、試料に入射された光ビーム(入射光)のうち、異なる波長となって試料から対物レンズ5側に出射される出射光と光源から試料に入射される励起光(入射光)とを分離するビームスプリッタ3と、入射光をXY方向(水平方向)のうちX方向に走査するX走査装置4と、対物レンズ5と、Y方向に対応する方向に沿って配置された入射スリット6を有し、入射スリットを通過した出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器7と、分光器7で分散させた出射光を検出する2次元アレイ光検出手段8とを備える。
【0007】
Y走査装置2は、入射光の出射角を変化させて、入射光を偏向させる。これにより、試料上で入射光の入射位置がY方向に沿って変化する。すなわち、Y走査装置2は、入射光をY方向に走査する。
【0008】
Y走査装置2は、2次元アレイ光検出手段が1フレーム撮像する間に(言い換えれば、1フレームの露光時間よりも短い走査周期で)、励起光を少なくとも一回はY方向に走査する。
このとき光源からの励起光の入射位置は、露光時間内に入射スリット6上で、Y走査領域の一端から他端まで移動することになる。
【0009】
分光器7は入射スリット6を通過した出射光を波長に応じて空間的に分散(分光)させて2次元アレイ光検出手段8に出射する。
この出射光は分光器7によって入射スリットの方向と垂直な方向に分散される。すなわち、分光器7は、入射スリット6のライン状の開口部と垂直な方向に出射光を波長分散する。
なお分光器7は、回折格子(グレーティング)やプリズムなどの分光素子を備えており、入射スリット6から入射した光をその波長に応じて空間的に分散させる。
【0010】
2次元アレイ光検出手段8は、1回の露光でY走査装置2が光ビームを走査することで得られる試料のライン状の領域(試料上の入射スリット6の開口部に対応する領域)におけるラマン散乱光を検出する。
具体的には、2次元アレイ光検出手段8は、画素がn(行)×m(列)の画素で構成されるときは試料のm個の点でのスペクトルを1回の露光で測定する。
【0011】
この1フレームの撮像が終了すると、X走査装置4は、試料上での入射光の入射位置をX方向に1照明領域分だけずらす、いいかえれば、入射光をX方向に走査する。
具体的には、X走査装置4は、反射面の角度を変化させ、入射光の出射角させることによって入射光を偏光させて試料上での入射位置をX方向に1照明領域分だけずらす。
【0012】
再びY走査装置2が2次元アレイ光検出手段8により1フレーム撮像される間に励起光をY方向に走査し、2次元アレイ光検出手段8がラマン散乱光を検出し、X走査装置4は入射光をX方向に走査する。
これらの動作を2次元アレイ光検出手段8の画素がn(行)×m(列)の画素で構成される場合はn回行う。
【0013】
また、図示しない分析装置は、2次元アレイ光検出手段8が1回の露光で撮像した1フレームの画像データに基づき、走査範囲に応じたライン状の領域におけるラマン散乱光のスペクトル、いいかえれば複数の点(位置)で生じているラマン散乱光のスペクトルを測定することができる。
【0014】
これらのことにより、従来の顕微鏡用分光分析装置では、2次元アレイ光検出手段8が試料上の複数の点(位置)からのスペクトルを1度の露光で検出できるので、各点毎に撮像した画像データの転送が不要となり、2次元アレイ光検出手段8のCCDにおける電荷の転送回数及びCCDからのデータの転送回数を減少し、測定時間を短縮することができる。
【0015】
従来の顕微鏡用分光分析装置を記載した文献としては特許文献1、2、3などがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0016】
【特許文献1】特開2007−179002号公報
【特許文献2】特開2004−317676号公報
【特許文献3】特開2002−014043号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0017】
しかしながら、従来の顕微鏡用分光分析装置では、2次元アレイ光検出器8がフレームデータを転送する転送時間内にY走査装置2が試料のライン上でY方向にスキャンするので、2次元アレイ光検出器8への露光(撮像)時間が短くなってしまうという問題点があった。
この問題点に対しては、従来技術を応用して、微弱な光を分光撮像する場合にはスキャンを繰り返して2次元アレイ光検出器8による撮像を行えばよいが、この手法では高速な分光は困難であるという問題点があった。
【0018】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、励起光の集光ポイントをXY方向にラインスキャンする際に、X走査装置4が反射面の角度を変化させて集光ポイントをX方向へずらすので、Z方向の焦点距離がずれて、ピンボケな画像となってしまうという問題点があった。
この問題点は、ピンボケ画像を補正するために特許公開2004−317676号公報に記載されているような補正光学系を備えれば解消されるが、この手法では部品数が増加してしまう、装置が大型化、高価格化してしまうという問題点があった。
【0019】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、Y方向装置2、X方向装置4は、例えばモータを利用したガルバノミラーによる光偏向を利用しているが、両方向の回転軸を直角に配置すると、装置が大型化してしまうという問題点があった。
【0020】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、分光器7が回折格子などの光分散素子による固定光学系であるポリクロメータを備えている。
この場合、ポリクロメータは入射光を分散して(所定の角度をつけて)所定の波長範囲の光を取り出すので、平行光等の取り扱いが容易な光の状態へ修正するためにミラー、レンズなど、複数の光素子が必要となるという問題点があった。このため部品点数の増加につながり、装置が大型化、高価格化するという問題点があった。
【0021】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、分光器7が回折格子等を備える場合ではその光回折角度に波長依存性があるため(いいかえれば、波長と回折角度との関係がリニア(線形)ではないため)、等間隔の波長分解能を得られないという問題点があった。このため、等間隔の波長分解能を得られないと、試料中に含まれる物質の化学構造及び物理的状態を特定する際に、ある波長帯域では精密な分析ができなくなってしまうという問題点があった。
また、試料中に含まれる物質の化学構造及び物理的状態によっては、細かい波長帯域で得られる透過光の光強度の分析を行うことを要する場合があるが、分光器7が回折格子等を備える場合では透過波長帯域の幅の制御が困難で時間がかかる場合(例えばモノクロメータ等の場合)があり、精密で高速な分析ができないという問題点があった。
【0022】
本発明は上述の問題点を解決するものであり、その目的は、高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【0023】
このような目的を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、 光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置において、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、入射した光を透過させ透過波長帯域が可変であって、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段と、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正する光軸調整手段と、前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【0024】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置において、前記制御手段は、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して予め定められた複数の前記透過波長帯域を掃引することを特徴とする。
【0025】
請求項3記載の発明は、請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置において、前記制御手段は、前記2次元アレイ光検出手段を制御して前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を予め定められた時間間隔で撮像し、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して前記透過波長帯域を予め定められた間隔の波長帯域で変更することを特徴とする。
【0026】
請求項4記載の発明は、請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置において、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段または前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を透過した光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備え、前記制御手段は、前記偏光手段の前記偏光方向を変更することを特徴とする。
【0027】
請求項5記載の発明は、光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法において、第1の光学手段が、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にし、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過させ、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過させ、光透過の光学板からなる光軸調整手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正し、2次元アレイ光検出手段が、前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像し、制御手段が、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【0028】
本発明の顕微鏡用分光分析装置によれば、試料の2次元平面の領域を高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能となる点で有効である。また、構成される光学系にZ軸方向への焦点変化はないため、ボケのない鮮明な分光画像が得られる点で有効である。
更に、光軸調整手段を備えることにより、顕微観察される平面領域を走査しながら分光を行うことで使用者の所望の位置で分光できる点で有効である。
【0029】
本発明の顕微鏡用分光分析装置によれば、制御手段が2次元アレイ光検出手段と第1の可変バンドパスフィルタを協調動作するように制御することにより、2次元平面の領域を一度に分光撮像をすることが出来る点で有効である。
【0030】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、上述の構成とすることにより、少ない部品点数で、小型で、安価に、微弱な光であっても高速に予め定められた間隔の波長分解能でピンボケの無い鮮明な画像を取得することができる顕微鏡用分光分析装置を実現できる。
【0031】
また、本発明によれば、制御手段が、第1の可変バンドパスフィルタ手段のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的に変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光すること(高い時間分割波長分解能を得ること)が出来る点で有効である。
【0032】
また、本発明によれば、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する第2の可変バンドパスフィルタ手段を備え、制御手段は、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更し、第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域とを重複させることにより、複数の可変バンドパスフィルタを協調動作させることによって、連続した波長帯域に対し、高い光学波長分解能の分光が高速に行える点で有効である。
【0033】
また、本発明によれば、制御手段27は、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段の少なくともいずれかの透過波長帯域または重複透過帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光すること(高い時間分割波長分解能を得ること)が出来る点で有効である。
たとえば第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段が光入射角度調整型の場合には、フィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域または重複透過帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光すること(高い時間分割波長分解能を得ること)が出来る。
【0034】
また、本発明によれば、第2の可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備えたことにより、偏光依存性を持ったスペクトルの分光ができる点で有効である。
【0035】
また、本発明によれば、光軸調整手段を備えることにより、顕微観察される平面領域を走査しながら分光を行うことで使用者の所望の位置で分光できる点で有効である。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の一実施例の構成図である。
【図2】図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段が散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
【図3】可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【図4】可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する他の説明図である。
【図5】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の他の実施例の構成図である。
【図6】図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段と第2の可変バンドパスフィルタ手段の散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
【図7】第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【図8】第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関するその他の説明図である。
【図9】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図である。
【図10】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図である。
【図11】従来の顕微鏡用分光分析装置の構成例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0037】
本発明は、光源から試料に励起光が照射されると、顕微鏡に入射される試料が発する広い波長範囲に亘る多数の散乱光を分析する顕微鏡用分光分析装置に関し、第1の光学手段により平行光束にされた散乱光を透過させる透過波長帯域が可変である第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過し、2次元アレイ光検出手段が透過波長帯域の散乱光を撮像し、制御手段が2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更することにより、試料の2次元平面の領域を高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能とする顕微鏡用分光分析装置に関する。
以下、図面を用いて本発明の顕微鏡用分光分析装置を説明する。
【0038】
<第1の実施例>
図1は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の一実施例の構成図である。
【0039】
(構成の説明)
図1において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は主に、試料22に励起光を照射する白熱光源、レーザのような単一波長光源、広帯域光源等の光源20Aと、光源20Aからの励起光を集光する集光レンズ等により構成される光照射レンズ手段21と、光照射レンズ手段21により集光された励起光が照射され、ラマン散乱光等を生ずる測定対象である試料22と、図示しない顕微鏡の一部であって散乱光を平行光束にする対物レンズ等の第1の光学手段23と、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光干渉型や光入射角度チューニング型などの第1の可変バンドパスフィルタ手段24と、第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの入射光を集光する集光レンズである結像光学手段25と、結像光学手段25により集光された第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの散乱光を予め定められたタイミングで撮像するCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサなどの2次元アレイ光検出手段26と、2次元アレイ光検出手段26の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域を変更する制御手段27と、を備える。
【0040】
ここで、可変バンドパスフィルタ手段24と2次元アレイ光検出手段26は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき分光される波長領域(透過波長帯域)と撮像するタイミングとが制御される。
【0041】
なお、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、暗視野像を得る場合には光照射レンズ手段21がコンデンサレンズなどの光学系を有するものでもよい。
【0042】
また本発明の顕微鏡用分光分析装置は、試料を励起させるためのレーザ光を照射するレーザ光源などの光源20Bを有するものでもよく、たとえば光源20Aの光軸に対して予め定められた角度で試料22に照射するものでもよい。
光源20Bは光軸が光照射レンズ手段21の光軸と一致するように配置されるものでもよく、このときには光照射レンズ手段21はコンデンサレンズを有する。この場合、対物レンズ等の第1の光学手段23により構成される図示しない顕微鏡は暗視野顕微鏡として動作する。
【0043】
さらに本発明の顕微鏡用分光分析装置は、第1の可変バンドパスフィルタ24と2次元アレイ光検出手段26との間に設置され、第1の可変バンドパスフィルタ24からの透過光のうち特定の波長帯域の光強度を減衰(カット、阻止)するノッチフィルタ28を有するものでもよい。
【0044】
光源20Aおよび光照射レンズ手段21、第1の光学手段23、第1の可変バンドパスフィルタ24、ノッチフィルタ28、結像光学手段25、2次元アレイ光検出手段26は、図1のように、これらの光軸が共通の光軸となるように(光軸が一致するように)、いいかえれば無分岐の直線状になるように配置される。このように配置することで顕微鏡用分光分析装置全体を小型化できる。
【0045】
(主な構成要素の詳細な説明)
第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する。
具体的には、第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、膜面への入射角度の変化に応じて透過光に対しフィルタ特性が変わるフィルタ部とフィルタの角度を変化させる回転台などから構成される。
【0046】
図2は図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段が散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
図2において、第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、たとえば所定の透過可能な波長帯域の幅(間隔)Lを有する。第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、光のフィルタ部への入射角度を変更して、透過可能な波長の幅Lを維持しつつ透過波長帯域を制御する。
【0047】
たとえば、図2のように第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、透過波長帯域がL10からL19までの帯域(以下、L10という)、L20からL29までの帯域(以下、L20という)、L30からL39までの帯域(以下、L30という)の3種類に可変であり、第1の光学手段23からの散乱光C1(試料からの光に含まれるスペクトルの例)を、L10、L20、L30のいずれかの帯域における散乱光を透過する。
【0048】
制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24と2次元アレイ光検出手段26を制御して所定の透過波長帯域の光を所定のタイミングで撮像させる。
換言すれば、制御手段27は2次元アレイ光検出手段26と可変バンドパスフィルタ24を協調動作するように制御する。
制御手段27は、2次元アレイ光検出手段26を制御して散乱光を予め定められた時間間隔(たとえば等時間間隔)で撮像し、第1の可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域を予め定められた間隔(たとえば等間隔、ユーザ所望の間隔)の波長帯域で変更するものでもよい。
【0049】
図3は、図1の制御装置が可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段を制御して所定の透過波長帯域の光を撮像する際の、可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【0050】
図3において、上段のVBPF(可変バンドパスフィルタ)は可変バンドパスフィルタ24が透過する透過波長帯域L10、L20、L30への状態変化を示している。下段のCAM(2次元アレイ光検出手段)は、2次元アレイ光検出手段26により散乱光が撮像されるタイミングを示しており、ONの状態のときに露光され、撮像される。
【0051】
図3において、制御手段27は、図示しない記憶手段に格納される予め定められた2次元アレイ光検出手段26の撮像タイミング(ONになるタイミング)または撮像間隔にあわせて可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域L10、L20、L30を変更する。
具体的には、2次元アレイ光検出手段26が撮像するタイミングt1、t2、t3にあわせて、可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10、L20、L30とする。
制御手段27は、2次元アレイ光検出手段26の撮像動作が終了してから、可変バンドパスフィルタ24の透過波長帯域L10、L20、L30間を推移する。
【0052】
なお制御手段27は、各手段の動作を制御するCPU(Central Processing Unit)などからなるものでもよい。具体的には制御手段27は、図示しない記憶手段に格納されているOSなどを起動して、このOS上で記憶手段に格納されたプログラムを読み出して実行することにより分光分析装置全体を制御し、予め定められたタイミングまたは撮像間隔で可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域を変更させ、2次元アレイ光検出手段26に透過光を撮像させる。
【0053】
(動作・作用の説明)
本発明の顕微鏡用分光分析装置は上述のような構成で、次の動作を行なう。
(1−1)制御手段27は、予め定められたタイミングで第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10に制御する。
(1−2)光源20Aは、試料22に向けて励起光を照射する。
(1−3)励起光は、光照射レンズ手段21により集光され、試料22に照射される。
【0054】
(1−4)試料22では、照射された励起光によりラマン散乱光を生ずる。
(1−5)第1の光学手段23は、試料22により生じた散乱光を平行光束に変換する。
(1−6)第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち透過波長帯域L10の光を透過する。
【0055】
(1−7)結像光学手段25は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの入射光を集光する。
(1−8)2次元アレイ光検出手段26は、結像光学手段25により集光された第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの散乱光を撮像する。
(1−9)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
【0056】
(1−10)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL20に制御するとともに、2次元アレイ光検出手段26を制御してL20の透過光を撮像させる。
(1−11)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
(1−12)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL30に制御するとともに、2次元アレイ光検出手段26を制御してL30の透過光を撮像させる。
【0057】
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、第1の光学手段により平行光束にされた散乱光を透過させる透過波長帯域が可変である第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過し、2次元アレイ光検出手段が透過波長帯域の散乱光を撮像し、制御手段が2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更することにより、試料の2次元平面の領域を高速で予め定められた間隔の波長分解能(たとえば等間隔、ユーザ所望の任意の間隔等)で分光可能となる点で有効である。
また、構成される光学系にZ軸方向への焦点変化はないため、ボケのない鮮明な分光画像が得られる点で有効である。
【0058】
また、制御手段27が2次元アレイ光検出手段26と可変バンドパスフィルタ24を協調動作するように制御することにより、2次元平面の領域を一度に分光撮像をすることが出来る点で有効である。
【0059】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、上述の構成とすることにより、少ない部品点数で、小型で、安価に、微弱な光であっても高速に予め定められた間隔の波長分解能でピンボケの無い鮮明な画像を取得することができる顕微鏡用分光分析装置を実現できる。
【0060】
なお、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、本実施例では、説明の便宜上、可変バンドパスフィルタ24の透過波長帯域はL10、L20、L30としたが、可変バンドパスフィルタ24がより多くの透過波長帯域で散乱光を透過するものでもよい。
この場合は、制御手段が可変バンドパスフィルタ手段を制御して透過波長帯域を掃引すれば連続したスペクトル帯域を分光することが出来る点で有効である。
【0061】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、可変バンドパスフィルタ24の有する透過波長帯域の間隔が波長分解能となるため、帯域間隔が狭くかつ多数の透過波長帯域を有することにより高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
【0062】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、本実施例では、説明の便宜上、図2において、可変バンドパスフィルタ24の透過波長帯域はL10→L20→L30と階段状(離散的)に変化させるものとしたが、L10からL30までの透過波長帯域の変更を連続的または曲線的に変化させるものでもよい。この動作を図4を用いて説明する。
【0063】
図4は、可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する他の説明図である。
図4において、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させる。第1の可変バンドパスフィルタ手段24における変化させるフィルタ部の角度が0度に近づくほど、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段が、第1の可変バンドパスフィルタ手段のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させて透過波長帯域を連続的に変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光することが出来る点で有効である(高い時間分割波長分解能を得ることが出来る点で有効である)。
【0064】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段27が重複透過帯域の幅を変更させつつ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させるものでもよい。
たとえば、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段を制御して、細かい波長帯域で得られる透過光の光強度の分析を行う必要がある範囲では透過波長帯域の幅(L)を極狭いものとし、特に細かい帯域における透過光の光強度分析は不要である範囲では重複透過帯域の幅を広いものとする。
このため、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、所望の範囲については連続した波長帯域の分光が行うことができ、従来よりも高い時間分割波長分解能を得られ、かつ、全体として高速に分光分析ができる点で有効である。
【0065】
<第2の実施例>
本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、1または2以上の可変バンドパスフィルタをさらに第1の可変バンドパスフィルタと結像光学手段(またはノッチフィルタ)との間に設置して、複数の可変バンドパスフィルタを協調動作させることによって、一部重複した透過波長帯域に対し、高い光学波長分解能の分光を行うものであってもよい。
【0066】
図5は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の他の実施例の構成図であり、図1と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。
図1との相違点は、主に、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する第2の可変バンドパスフィルタ手段を備える点で相違する。また、制御手段が、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更し、第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域とを重複させる点で相違する。
【0067】
図5において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第1の可変バンドパスフィルタ24と結像光学手段25(またはノッチフィルタ27)との間に設置され、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、入射した散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光干渉型や光入射角度チューニング型などの第2の可変バンドパスフィルタ手段29を備える。
【0068】
第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、光のフィルタ部への入射角度を変更して、透過可能な波長の幅(たとえばL)を維持しつつ、透過波長帯域を制御する。
ここで、第2の可変バンドパスフィルタ29は、第1の可変バンドパスフィルタ24と異なる透過可能な波長の幅L´、または、略同一の透過可能な波長の幅Lを有する。
【0069】
また、第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき分光される波長領域(透過波長帯域)が制御される。
第2の可変バンドパスフィルタ29は、第1の可変バンドパスフィルタ24と略同一の透過可能な波長の幅Lを持つ場合には、制御手段27により透過波長帯域が異なるように制御される。
【0070】
図6は図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段と第2の可変バンドパスフィルタ手段の散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
図6において、第1の可変バンドパスフィルタ手段24および第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、略同一の透過可能な波長帯域の幅Lを有する。
第1の可変バンドパスフィルタ手段24と第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、光のフィルタ部への入射角度を変更して、透過可能な波長の幅Lを維持しつつ、透過波長帯域を制御する。
【0071】
図6において、第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、透過波長帯域がL10、L20、L30の3種類に可変である。
第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、透過波長帯域がL10´からL19´までの帯域(以下、L11という)、L20´からL29´までの帯域(以下、L21という)、L30´からL39´までの帯域(以下、L31という)の3種類に可変であり、L10とL11、L20とL21、L30とL31の透過波長帯域は、重複する。
【0072】
図6では、L10とL11の重複部分をL12、L20とL21の重複部分をL22、L30とL31の重複部分をL32として表している。
また、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域とが一部(または全部)重複した帯域を、以下「重複透過帯域」という。
【0073】
制御手段27は、図示しない記憶手段に格納される予め定められた2次元アレイ光検出手段26の撮像タイミング(ONになるタイミング)または撮像間隔にあわせて第1の可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域をL10、L20、L30に変更するとともに、第1の可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域L11、L21、L31に変更する。
【0074】
図7は、図1の制御装置が第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段を制御して所定の透過波長帯域の光を撮像する際の、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【0075】
図7において、VBPF1(第1の可変バンドパスフィルタ)は可変バンドパスフィルタ24が透過する透過波長帯域L10、L20、L30への状態変化を示している。VBPF2(第2の可変バンドパスフィルタ)は可変バンドパスフィルタ29が透過する透過波長帯域L11、L21、L31への状態変化を示している。
EFT(重複透過帯域)は、重複透過帯域のL12、L22、L32への状態変化を示している。
CAM(2次元アレイ光検出手段)は、2次元アレイ光検出手段26により撮像されるタイミングを示しており、ONの状態のときに露光され、撮像される。
【0076】
図7において、制御手段27は、記憶手段に格納される予め定められた2次元アレイ光検出手段26が撮像するタイミング(ONになるタイミング)t1、t2、t3、または撮像間隔にあわせて第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10、L20、L30とし、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL11、L21、L31とする。
換言すれば、重複透過帯域は、2次元アレイ光検出手段26が撮像するタイミングt1、t2、t3にあわせて、L12、L22、L32となる。
ここで波長帯域L12、L22、L32の波長の幅は一定の幅であってもよいし、異なるものでもよい。
【0077】
(動作・作用の説明)
本発明の顕微鏡用分光分析装置は上述のような構成で、次の動作を行なう。
(2−1)制御手段27は、予め定められたタイミングで第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10に制御するとともに、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL11に制御する。
(2−2)光源20Aは、試料22に向けて励起光を照射する。
(2−3)励起光は、光照射レンズ手段21によりされ、試料22に照射される。
【0078】
(2−4)試料22では、照射された励起光によりラマン散乱光を生ずる。
(2−5)第1の光学手段23は、試料22により生じた散乱光を平行光束に変換する。
(2−6)第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち透過波長帯域L10の光を透過する。
(2−7)第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24から入射した平行光束の散乱光のうち透過波長帯域L11の光を透過する。
すなわち、L10とL11との重複範囲であるL12における散乱光が透過される。
【0079】
(2−8)結像光学手段25は、第2の可変バンドパスフィルタ手段29からの入射光を集光する。
(2−9)2次元アレイ光検出手段26は、結像光学手段25により集光された第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの波長帯域L12における散乱光を撮像する。これにより本発明の顕微鏡用分光分析装置は、波長帯域L12の散乱光の光強度を測定できる。
(2−10)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
【0080】
(2−11)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL20に制御するとともに、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL21に制御し、2次元アレイ光検出手段26を制御してL22の透過光を撮像させる。
(2−12)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
(2−13)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL30に制御するとともに、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL31に制御し、2次元アレイ光検出手段26を制御してL32の透過光を撮像させる。
【0081】
このため、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、2つの可変バンドパスフィルタを協調動作させることにより、散乱光を所定の波長帯域の全て(または一部)において「重複透過帯域」ごとに透過でき、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
また重複透過帯域の範囲が狭い程(第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域の重複が極小である程)、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
【0082】
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する第2の可変バンドパスフィルタ手段を備え、制御手段は、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更し、第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域とを重複させることにより、複数の可変バンドパスフィルタを協調動作させることによって、連続した波長帯域に対し、高い光学波長分解能の分光分析が高速に行える点で有効である。
また、構成される光学系にZ軸方向への焦点変化はないため,ボケのない鮮明な分光画像が得られる点で有効である。
【0083】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、上述の構成とすることにより、少ない部品点数で、小型で、安価に、微弱な光であっても高速に予め定められた間隔の波長分解能でピンボケの無い鮮明な画像を取得することができる顕微鏡用分光分析装置を実現できる。
【0084】
なお、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、本実施例では、説明の便宜上、図7において、可変バンドパスフィルタ24、29の透過波長帯域はL10→L20→L30、L11→L21→L31と階段状(離散的)に変化させるものとしたが、L10からL30まで、L11からL31までの透過波長帯域の変更を連続的または曲線的に変化させ、散乱光を所定の波長帯域の全て(または一部)において、重複透過帯域ごとに透過させるものでもよい。
具体的には、制御手段27は、重複透過帯域の帯域幅を一定に保つように、第1の可変バンドパスフィルタ手段24のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させて透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させる。これにあわせて、制御手段27は、重複透過帯域の帯域幅を一定に保つように、第2の可変バンドパスフィルタ手段29のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させて透過波長帯域を連続的にL11からL31までの間で変化させる。以下図8を用いて説明する。
【0085】
図8は、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関するその他の説明図である。
図8において、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24および第2の可変バンドパスフィルタ手段29のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的にL10からL30まで、L11からL31の間で変化させる。このため重複透過帯域は、L12からL32までの間で連続的に変化する。
なお第1の可変バンドパスフィルタ手段24および第2の可変バンドパスフィルタ手段29における、変化させるフィルタ部の角度が0度に近づく程、また重複透過帯域の範囲が狭い程(第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域の重複が極小である程)、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
【0086】
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させることにより、連続した波長帯域の分光が行うことができ、従来よりも高い時間分割波長分解能を得ることが出来る点で有効である。
【0087】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段27が重複透過帯域の幅を変更させつつ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させるものでもよい。
たとえば、制御手段27は、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して、細かい波長帯域で得られる透過光の光強度の分析を行う必要がある範囲では重複透過帯域の幅を極狭いものとし、特に細かい帯域における透過光の光強度分析は不要である範囲では重複透過帯域の幅を広いものとする。
このため、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、所望の範囲については連続した波長帯域の分光が行うことができ、従来よりも高い時間分割波長分解能を得られ、かつ、全体として高速に分光分析ができる点で有効である。
【0088】
<第3の実施例>
本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、偏光フィルタを可変バンドパスフィルタと結像光学手段(またはノッチフィルタ28)との間に設置して、可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光するものでもよい。
【0089】
図9は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図であり、図3と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。
図3との相違点は、主に、第2の可変バンドパスフィルタ29を透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備えた点、制御手段27がこの偏光手段の偏光方向を変更制御する点である。
【0090】
図9において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第2の可変バンドパスフィルタ29と結像光学手段25(またはノッチフィルタ28)との間に設置され、第2の可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する、1/2波長板、1/4波長板などの偏光手段30を備える。
【0091】
偏光手段30は、入射した散乱光を直線偏光、円偏光、楕円偏光などに変換して出射する。また、偏光手段30は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき偏光方向が制御される。
【0092】
この結果、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第2の可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備えたことにより、偏光依存性を持ったスペクトルの分光ができる点で有効である。
【0093】
<第4の実施例>
本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、光軸を調整するための光軸調整手段を第1の光学手段23と第1の可変バンドパスフィルタ24との間に備え、第1の光学手段から入射された散乱光を光軸に対して垂直な平面におけるXY方向で生じた位置ずれを是正するものでもよい。
【0094】
図10は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図であり、図9と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。
図9との相違点は、主に、光軸を調整するための光軸調整手段を備えた点、制御手段がこの光軸調整手段を制御してXY方向で生じた位置ずれを是正するために散乱光の入射角度を制御する点である。
【0095】
図9までの構成では、第1の可変バンドパスフィルタ24、第2の可変バンドパスフィルタ29が光入射角度チューニング型である場合には、角度の調整如何によっては光軸のXY面における位置ずれが生じる問題点があった。本実施例は上述までの目的に加えて光軸調整手段を制御してXY方向で生じた位置ずれを是正できる点も目的とする。
【0096】
図10において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第1の光学手段23と可変バンドパスフィルタ24との間に設置され、散乱光の入射角度を変更制御して光軸を調整する光透過の光学板などの光軸調整手段31を備える。
【0097】
光軸調整手段31は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき散乱光の入射角度が制御される。
【0098】
この結果、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、光軸調整手段31が第1の可変バンドパスフィルタ24、第2の可変バンドパスフィルタ29における散乱光の入射角度に基づいて、第1の可変バンドパスフィルタ24からの散乱光の光軸に対して角度を変えて光軸のX、Y方向の位置を制御することにより、XY方向で生じた位置ずれを是正するために散乱光の入射角度を制御できる点で有効である。
また、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は光軸調整手段31を備えることにより、顕微観察される平面領域を走査しながら分光を行うことで使用者の所望の位置で分光できる点で有効である。
【符号の説明】
【0099】
20A 光源
21 光照射レンズ手段
22 試料
23 第1の光学手段(対物レンズ)
24 第1の可変バンドパスフィルタ手段
25 結像光学手段
26 2次元アレイ光検出手段
27 制御手段
28 ノッチフィルタ
29 第2の可変バンドパスフィルタ手段
30 偏光手段
31 光軸調整手段
【技術分野】
【0001】
本発明は、光源から試料に励起光が照射されると、顕微鏡に入射される試料が発する広い波長範囲に亘る多数の散乱光を分析する顕微鏡用分光分析装置に関し、特に高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置に関する。
具体的には、ラマン散乱やSERS(Surface Enhanced Raman Scattering、表面増強ラマン散乱と訳される)による散乱光を計測する際に使用される顕微鏡用分光分析装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、試料(測定対象)に励起用レーザ光束を照射たときに生ずる蛍光やラマ
ン散乱光などを顕微鏡を介して分光分析する顕微鏡用分光分析装置が提案されている。
【0003】
ここで、ラマン散乱とはレーザなどの単一波長を物質に照射することによって生じる非線形な光学現象であって、照射する単一波長光源の波長よりも若干波長シフト(長波長にも短波長にも)した散乱光が発生する現象である。なおラマン散乱では、照射光の強度を1とすると、10-14程度の微弱な光強度しか得られない。
【0004】
この波長シフト(ラマンシフト)したラマン散乱光スペクトルは物質固有のものであるため、ラマン散乱光に基づき試料がどのような物質であるかを特定できる。
このため、従来の顕微鏡用分光分析装置は、試料から発せられるラマン散乱光等を検出することにより、試料中に含まれる物質の化学構造及び物理的状態を特定することができる。なお従来の顕微鏡用分光分析装置によれば、試料は固体、液体、気体を問わず、かつ、非破壊での検出を行うことができる。
【0005】
また、SERSは、測定対象である試料においてナノサイズの金属構造の周囲に物質が存在するときに、レーザなどの単一波長光を照射することによって散乱光が生じる現象である。
具体的には、励起光を金属ナノ構造を有する試料に照射すると、金属表面において自由電子の粗密波である表面プラズモンが励起されてその領域における光電場が増強される。このため従来の顕微鏡用分光分析装置は、SERSに関し、金属ナノ構造周囲で発生し表面プラズモンにより増強されたラマン散乱光を計測する。
【0006】
図11は、従来の顕微鏡用分光分析装置の構成例を示した図である。
図11において、顕微鏡用分光分析装置は、照射光の一例である試料を励起光を出射する光源1と、光源1から入射された励起光を光軸に対して垂直な平面におけるXY方向のうちY方向に走査するY走査装置2と、Y走査装置2から試料までの光路中に配置され、試料に入射された光ビーム(入射光)のうち、異なる波長となって試料から対物レンズ5側に出射される出射光と光源から試料に入射される励起光(入射光)とを分離するビームスプリッタ3と、入射光をXY方向(水平方向)のうちX方向に走査するX走査装置4と、対物レンズ5と、Y方向に対応する方向に沿って配置された入射スリット6を有し、入射スリットを通過した出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器7と、分光器7で分散させた出射光を検出する2次元アレイ光検出手段8とを備える。
【0007】
Y走査装置2は、入射光の出射角を変化させて、入射光を偏向させる。これにより、試料上で入射光の入射位置がY方向に沿って変化する。すなわち、Y走査装置2は、入射光をY方向に走査する。
【0008】
Y走査装置2は、2次元アレイ光検出手段が1フレーム撮像する間に(言い換えれば、1フレームの露光時間よりも短い走査周期で)、励起光を少なくとも一回はY方向に走査する。
このとき光源からの励起光の入射位置は、露光時間内に入射スリット6上で、Y走査領域の一端から他端まで移動することになる。
【0009】
分光器7は入射スリット6を通過した出射光を波長に応じて空間的に分散(分光)させて2次元アレイ光検出手段8に出射する。
この出射光は分光器7によって入射スリットの方向と垂直な方向に分散される。すなわち、分光器7は、入射スリット6のライン状の開口部と垂直な方向に出射光を波長分散する。
なお分光器7は、回折格子(グレーティング)やプリズムなどの分光素子を備えており、入射スリット6から入射した光をその波長に応じて空間的に分散させる。
【0010】
2次元アレイ光検出手段8は、1回の露光でY走査装置2が光ビームを走査することで得られる試料のライン状の領域(試料上の入射スリット6の開口部に対応する領域)におけるラマン散乱光を検出する。
具体的には、2次元アレイ光検出手段8は、画素がn(行)×m(列)の画素で構成されるときは試料のm個の点でのスペクトルを1回の露光で測定する。
【0011】
この1フレームの撮像が終了すると、X走査装置4は、試料上での入射光の入射位置をX方向に1照明領域分だけずらす、いいかえれば、入射光をX方向に走査する。
具体的には、X走査装置4は、反射面の角度を変化させ、入射光の出射角させることによって入射光を偏光させて試料上での入射位置をX方向に1照明領域分だけずらす。
【0012】
再びY走査装置2が2次元アレイ光検出手段8により1フレーム撮像される間に励起光をY方向に走査し、2次元アレイ光検出手段8がラマン散乱光を検出し、X走査装置4は入射光をX方向に走査する。
これらの動作を2次元アレイ光検出手段8の画素がn(行)×m(列)の画素で構成される場合はn回行う。
【0013】
また、図示しない分析装置は、2次元アレイ光検出手段8が1回の露光で撮像した1フレームの画像データに基づき、走査範囲に応じたライン状の領域におけるラマン散乱光のスペクトル、いいかえれば複数の点(位置)で生じているラマン散乱光のスペクトルを測定することができる。
【0014】
これらのことにより、従来の顕微鏡用分光分析装置では、2次元アレイ光検出手段8が試料上の複数の点(位置)からのスペクトルを1度の露光で検出できるので、各点毎に撮像した画像データの転送が不要となり、2次元アレイ光検出手段8のCCDにおける電荷の転送回数及びCCDからのデータの転送回数を減少し、測定時間を短縮することができる。
【0015】
従来の顕微鏡用分光分析装置を記載した文献としては特許文献1、2、3などがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0016】
【特許文献1】特開2007−179002号公報
【特許文献2】特開2004−317676号公報
【特許文献3】特開2002−014043号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0017】
しかしながら、従来の顕微鏡用分光分析装置では、2次元アレイ光検出器8がフレームデータを転送する転送時間内にY走査装置2が試料のライン上でY方向にスキャンするので、2次元アレイ光検出器8への露光(撮像)時間が短くなってしまうという問題点があった。
この問題点に対しては、従来技術を応用して、微弱な光を分光撮像する場合にはスキャンを繰り返して2次元アレイ光検出器8による撮像を行えばよいが、この手法では高速な分光は困難であるという問題点があった。
【0018】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、励起光の集光ポイントをXY方向にラインスキャンする際に、X走査装置4が反射面の角度を変化させて集光ポイントをX方向へずらすので、Z方向の焦点距離がずれて、ピンボケな画像となってしまうという問題点があった。
この問題点は、ピンボケ画像を補正するために特許公開2004−317676号公報に記載されているような補正光学系を備えれば解消されるが、この手法では部品数が増加してしまう、装置が大型化、高価格化してしまうという問題点があった。
【0019】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、Y方向装置2、X方向装置4は、例えばモータを利用したガルバノミラーによる光偏向を利用しているが、両方向の回転軸を直角に配置すると、装置が大型化してしまうという問題点があった。
【0020】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、分光器7が回折格子などの光分散素子による固定光学系であるポリクロメータを備えている。
この場合、ポリクロメータは入射光を分散して(所定の角度をつけて)所定の波長範囲の光を取り出すので、平行光等の取り扱いが容易な光の状態へ修正するためにミラー、レンズなど、複数の光素子が必要となるという問題点があった。このため部品点数の増加につながり、装置が大型化、高価格化するという問題点があった。
【0021】
また、従来の顕微鏡用分光分析装置では、分光器7が回折格子等を備える場合ではその光回折角度に波長依存性があるため(いいかえれば、波長と回折角度との関係がリニア(線形)ではないため)、等間隔の波長分解能を得られないという問題点があった。このため、等間隔の波長分解能を得られないと、試料中に含まれる物質の化学構造及び物理的状態を特定する際に、ある波長帯域では精密な分析ができなくなってしまうという問題点があった。
また、試料中に含まれる物質の化学構造及び物理的状態によっては、細かい波長帯域で得られる透過光の光強度の分析を行うことを要する場合があるが、分光器7が回折格子等を備える場合では透過波長帯域の幅の制御が困難で時間がかかる場合(例えばモノクロメータ等の場合)があり、精密で高速な分析ができないという問題点があった。
【0022】
本発明は上述の問題点を解決するものであり、その目的は、高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【0023】
このような目的を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、 光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置において、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、入射した光を透過させ透過波長帯域が可変であって、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段と、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正する光軸調整手段と、前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【0024】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置において、前記制御手段は、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して予め定められた複数の前記透過波長帯域を掃引することを特徴とする。
【0025】
請求項3記載の発明は、請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置において、前記制御手段は、前記2次元アレイ光検出手段を制御して前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を予め定められた時間間隔で撮像し、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して前記透過波長帯域を予め定められた間隔の波長帯域で変更することを特徴とする。
【0026】
請求項4記載の発明は、請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置において、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段または前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を透過した光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備え、前記制御手段は、前記偏光手段の前記偏光方向を変更することを特徴とする。
【0027】
請求項5記載の発明は、光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法において、第1の光学手段が、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にし、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過させ、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過させ、光透過の光学板からなる光軸調整手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正し、2次元アレイ光検出手段が、前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像し、制御手段が、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【0028】
本発明の顕微鏡用分光分析装置によれば、試料の2次元平面の領域を高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能となる点で有効である。また、構成される光学系にZ軸方向への焦点変化はないため、ボケのない鮮明な分光画像が得られる点で有効である。
更に、光軸調整手段を備えることにより、顕微観察される平面領域を走査しながら分光を行うことで使用者の所望の位置で分光できる点で有効である。
【0029】
本発明の顕微鏡用分光分析装置によれば、制御手段が2次元アレイ光検出手段と第1の可変バンドパスフィルタを協調動作するように制御することにより、2次元平面の領域を一度に分光撮像をすることが出来る点で有効である。
【0030】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、上述の構成とすることにより、少ない部品点数で、小型で、安価に、微弱な光であっても高速に予め定められた間隔の波長分解能でピンボケの無い鮮明な画像を取得することができる顕微鏡用分光分析装置を実現できる。
【0031】
また、本発明によれば、制御手段が、第1の可変バンドパスフィルタ手段のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的に変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光すること(高い時間分割波長分解能を得ること)が出来る点で有効である。
【0032】
また、本発明によれば、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する第2の可変バンドパスフィルタ手段を備え、制御手段は、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更し、第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域とを重複させることにより、複数の可変バンドパスフィルタを協調動作させることによって、連続した波長帯域に対し、高い光学波長分解能の分光が高速に行える点で有効である。
【0033】
また、本発明によれば、制御手段27は、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段の少なくともいずれかの透過波長帯域または重複透過帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光すること(高い時間分割波長分解能を得ること)が出来る点で有効である。
たとえば第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段が光入射角度調整型の場合には、フィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域または重複透過帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光すること(高い時間分割波長分解能を得ること)が出来る。
【0034】
また、本発明によれば、第2の可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備えたことにより、偏光依存性を持ったスペクトルの分光ができる点で有効である。
【0035】
また、本発明によれば、光軸調整手段を備えることにより、顕微観察される平面領域を走査しながら分光を行うことで使用者の所望の位置で分光できる点で有効である。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の一実施例の構成図である。
【図2】図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段が散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
【図3】可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【図4】可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する他の説明図である。
【図5】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の他の実施例の構成図である。
【図6】図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段と第2の可変バンドパスフィルタ手段の散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
【図7】第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【図8】第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関するその他の説明図である。
【図9】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図である。
【図10】本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図である。
【図11】従来の顕微鏡用分光分析装置の構成例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0037】
本発明は、光源から試料に励起光が照射されると、顕微鏡に入射される試料が発する広い波長範囲に亘る多数の散乱光を分析する顕微鏡用分光分析装置に関し、第1の光学手段により平行光束にされた散乱光を透過させる透過波長帯域が可変である第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過し、2次元アレイ光検出手段が透過波長帯域の散乱光を撮像し、制御手段が2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更することにより、試料の2次元平面の領域を高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能とする顕微鏡用分光分析装置に関する。
以下、図面を用いて本発明の顕微鏡用分光分析装置を説明する。
【0038】
<第1の実施例>
図1は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の一実施例の構成図である。
【0039】
(構成の説明)
図1において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は主に、試料22に励起光を照射する白熱光源、レーザのような単一波長光源、広帯域光源等の光源20Aと、光源20Aからの励起光を集光する集光レンズ等により構成される光照射レンズ手段21と、光照射レンズ手段21により集光された励起光が照射され、ラマン散乱光等を生ずる測定対象である試料22と、図示しない顕微鏡の一部であって散乱光を平行光束にする対物レンズ等の第1の光学手段23と、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光干渉型や光入射角度チューニング型などの第1の可変バンドパスフィルタ手段24と、第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの入射光を集光する集光レンズである結像光学手段25と、結像光学手段25により集光された第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの散乱光を予め定められたタイミングで撮像するCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサなどの2次元アレイ光検出手段26と、2次元アレイ光検出手段26の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域を変更する制御手段27と、を備える。
【0040】
ここで、可変バンドパスフィルタ手段24と2次元アレイ光検出手段26は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき分光される波長領域(透過波長帯域)と撮像するタイミングとが制御される。
【0041】
なお、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、暗視野像を得る場合には光照射レンズ手段21がコンデンサレンズなどの光学系を有するものでもよい。
【0042】
また本発明の顕微鏡用分光分析装置は、試料を励起させるためのレーザ光を照射するレーザ光源などの光源20Bを有するものでもよく、たとえば光源20Aの光軸に対して予め定められた角度で試料22に照射するものでもよい。
光源20Bは光軸が光照射レンズ手段21の光軸と一致するように配置されるものでもよく、このときには光照射レンズ手段21はコンデンサレンズを有する。この場合、対物レンズ等の第1の光学手段23により構成される図示しない顕微鏡は暗視野顕微鏡として動作する。
【0043】
さらに本発明の顕微鏡用分光分析装置は、第1の可変バンドパスフィルタ24と2次元アレイ光検出手段26との間に設置され、第1の可変バンドパスフィルタ24からの透過光のうち特定の波長帯域の光強度を減衰(カット、阻止)するノッチフィルタ28を有するものでもよい。
【0044】
光源20Aおよび光照射レンズ手段21、第1の光学手段23、第1の可変バンドパスフィルタ24、ノッチフィルタ28、結像光学手段25、2次元アレイ光検出手段26は、図1のように、これらの光軸が共通の光軸となるように(光軸が一致するように)、いいかえれば無分岐の直線状になるように配置される。このように配置することで顕微鏡用分光分析装置全体を小型化できる。
【0045】
(主な構成要素の詳細な説明)
第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する。
具体的には、第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、膜面への入射角度の変化に応じて透過光に対しフィルタ特性が変わるフィルタ部とフィルタの角度を変化させる回転台などから構成される。
【0046】
図2は図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段が散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
図2において、第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、たとえば所定の透過可能な波長帯域の幅(間隔)Lを有する。第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、光のフィルタ部への入射角度を変更して、透過可能な波長の幅Lを維持しつつ透過波長帯域を制御する。
【0047】
たとえば、図2のように第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、透過波長帯域がL10からL19までの帯域(以下、L10という)、L20からL29までの帯域(以下、L20という)、L30からL39までの帯域(以下、L30という)の3種類に可変であり、第1の光学手段23からの散乱光C1(試料からの光に含まれるスペクトルの例)を、L10、L20、L30のいずれかの帯域における散乱光を透過する。
【0048】
制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24と2次元アレイ光検出手段26を制御して所定の透過波長帯域の光を所定のタイミングで撮像させる。
換言すれば、制御手段27は2次元アレイ光検出手段26と可変バンドパスフィルタ24を協調動作するように制御する。
制御手段27は、2次元アレイ光検出手段26を制御して散乱光を予め定められた時間間隔(たとえば等時間間隔)で撮像し、第1の可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域を予め定められた間隔(たとえば等間隔、ユーザ所望の間隔)の波長帯域で変更するものでもよい。
【0049】
図3は、図1の制御装置が可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段を制御して所定の透過波長帯域の光を撮像する際の、可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【0050】
図3において、上段のVBPF(可変バンドパスフィルタ)は可変バンドパスフィルタ24が透過する透過波長帯域L10、L20、L30への状態変化を示している。下段のCAM(2次元アレイ光検出手段)は、2次元アレイ光検出手段26により散乱光が撮像されるタイミングを示しており、ONの状態のときに露光され、撮像される。
【0051】
図3において、制御手段27は、図示しない記憶手段に格納される予め定められた2次元アレイ光検出手段26の撮像タイミング(ONになるタイミング)または撮像間隔にあわせて可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域L10、L20、L30を変更する。
具体的には、2次元アレイ光検出手段26が撮像するタイミングt1、t2、t3にあわせて、可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10、L20、L30とする。
制御手段27は、2次元アレイ光検出手段26の撮像動作が終了してから、可変バンドパスフィルタ24の透過波長帯域L10、L20、L30間を推移する。
【0052】
なお制御手段27は、各手段の動作を制御するCPU(Central Processing Unit)などからなるものでもよい。具体的には制御手段27は、図示しない記憶手段に格納されているOSなどを起動して、このOS上で記憶手段に格納されたプログラムを読み出して実行することにより分光分析装置全体を制御し、予め定められたタイミングまたは撮像間隔で可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域を変更させ、2次元アレイ光検出手段26に透過光を撮像させる。
【0053】
(動作・作用の説明)
本発明の顕微鏡用分光分析装置は上述のような構成で、次の動作を行なう。
(1−1)制御手段27は、予め定められたタイミングで第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10に制御する。
(1−2)光源20Aは、試料22に向けて励起光を照射する。
(1−3)励起光は、光照射レンズ手段21により集光され、試料22に照射される。
【0054】
(1−4)試料22では、照射された励起光によりラマン散乱光を生ずる。
(1−5)第1の光学手段23は、試料22により生じた散乱光を平行光束に変換する。
(1−6)第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち透過波長帯域L10の光を透過する。
【0055】
(1−7)結像光学手段25は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの入射光を集光する。
(1−8)2次元アレイ光検出手段26は、結像光学手段25により集光された第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの散乱光を撮像する。
(1−9)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
【0056】
(1−10)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL20に制御するとともに、2次元アレイ光検出手段26を制御してL20の透過光を撮像させる。
(1−11)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
(1−12)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL30に制御するとともに、2次元アレイ光検出手段26を制御してL30の透過光を撮像させる。
【0057】
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、第1の光学手段により平行光束にされた散乱光を透過させる透過波長帯域が可変である第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過し、2次元アレイ光検出手段が透過波長帯域の散乱光を撮像し、制御手段が2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更することにより、試料の2次元平面の領域を高速で予め定められた間隔の波長分解能(たとえば等間隔、ユーザ所望の任意の間隔等)で分光可能となる点で有効である。
また、構成される光学系にZ軸方向への焦点変化はないため、ボケのない鮮明な分光画像が得られる点で有効である。
【0058】
また、制御手段27が2次元アレイ光検出手段26と可変バンドパスフィルタ24を協調動作するように制御することにより、2次元平面の領域を一度に分光撮像をすることが出来る点で有効である。
【0059】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、上述の構成とすることにより、少ない部品点数で、小型で、安価に、微弱な光であっても高速に予め定められた間隔の波長分解能でピンボケの無い鮮明な画像を取得することができる顕微鏡用分光分析装置を実現できる。
【0060】
なお、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、本実施例では、説明の便宜上、可変バンドパスフィルタ24の透過波長帯域はL10、L20、L30としたが、可変バンドパスフィルタ24がより多くの透過波長帯域で散乱光を透過するものでもよい。
この場合は、制御手段が可変バンドパスフィルタ手段を制御して透過波長帯域を掃引すれば連続したスペクトル帯域を分光することが出来る点で有効である。
【0061】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、可変バンドパスフィルタ24の有する透過波長帯域の間隔が波長分解能となるため、帯域間隔が狭くかつ多数の透過波長帯域を有することにより高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
【0062】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、本実施例では、説明の便宜上、図2において、可変バンドパスフィルタ24の透過波長帯域はL10→L20→L30と階段状(離散的)に変化させるものとしたが、L10からL30までの透過波長帯域の変更を連続的または曲線的に変化させるものでもよい。この動作を図4を用いて説明する。
【0063】
図4は、可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する他の説明図である。
図4において、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させる。第1の可変バンドパスフィルタ手段24における変化させるフィルタ部の角度が0度に近づくほど、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段が、第1の可変バンドパスフィルタ手段のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させて透過波長帯域を連続的に変化させることにより、連続したスペクトル帯域を分光することが出来る点で有効である(高い時間分割波長分解能を得ることが出来る点で有効である)。
【0064】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段27が重複透過帯域の幅を変更させつつ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させるものでもよい。
たとえば、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段を制御して、細かい波長帯域で得られる透過光の光強度の分析を行う必要がある範囲では透過波長帯域の幅(L)を極狭いものとし、特に細かい帯域における透過光の光強度分析は不要である範囲では重複透過帯域の幅を広いものとする。
このため、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、所望の範囲については連続した波長帯域の分光が行うことができ、従来よりも高い時間分割波長分解能を得られ、かつ、全体として高速に分光分析ができる点で有効である。
【0065】
<第2の実施例>
本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、1または2以上の可変バンドパスフィルタをさらに第1の可変バンドパスフィルタと結像光学手段(またはノッチフィルタ)との間に設置して、複数の可変バンドパスフィルタを協調動作させることによって、一部重複した透過波長帯域に対し、高い光学波長分解能の分光を行うものであってもよい。
【0066】
図5は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置の他の実施例の構成図であり、図1と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。
図1との相違点は、主に、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する第2の可変バンドパスフィルタ手段を備える点で相違する。また、制御手段が、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更し、第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域とを重複させる点で相違する。
【0067】
図5において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第1の可変バンドパスフィルタ24と結像光学手段25(またはノッチフィルタ27)との間に設置され、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、入射した散乱光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光干渉型や光入射角度チューニング型などの第2の可変バンドパスフィルタ手段29を備える。
【0068】
第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、光のフィルタ部への入射角度を変更して、透過可能な波長の幅(たとえばL)を維持しつつ、透過波長帯域を制御する。
ここで、第2の可変バンドパスフィルタ29は、第1の可変バンドパスフィルタ24と異なる透過可能な波長の幅L´、または、略同一の透過可能な波長の幅Lを有する。
【0069】
また、第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき分光される波長領域(透過波長帯域)が制御される。
第2の可変バンドパスフィルタ29は、第1の可変バンドパスフィルタ24と略同一の透過可能な波長の幅Lを持つ場合には、制御手段27により透過波長帯域が異なるように制御される。
【0070】
図6は図1の第1の可変バンドパスフィルタ手段と第2の可変バンドパスフィルタ手段の散乱光を透過する透過波長帯域の説明図である。
図6において、第1の可変バンドパスフィルタ手段24および第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、略同一の透過可能な波長帯域の幅Lを有する。
第1の可変バンドパスフィルタ手段24と第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、光のフィルタ部への入射角度を変更して、透過可能な波長の幅Lを維持しつつ、透過波長帯域を制御する。
【0071】
図6において、第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、透過波長帯域がL10、L20、L30の3種類に可変である。
第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、透過波長帯域がL10´からL19´までの帯域(以下、L11という)、L20´からL29´までの帯域(以下、L21という)、L30´からL39´までの帯域(以下、L31という)の3種類に可変であり、L10とL11、L20とL21、L30とL31の透過波長帯域は、重複する。
【0072】
図6では、L10とL11の重複部分をL12、L20とL21の重複部分をL22、L30とL31の重複部分をL32として表している。
また、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域とが一部(または全部)重複した帯域を、以下「重複透過帯域」という。
【0073】
制御手段27は、図示しない記憶手段に格納される予め定められた2次元アレイ光検出手段26の撮像タイミング(ONになるタイミング)または撮像間隔にあわせて第1の可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域をL10、L20、L30に変更するとともに、第1の可変バンドパスフィルタ手段24を制御して透過波長帯域L11、L21、L31に変更する。
【0074】
図7は、図1の制御装置が第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段を制御して所定の透過波長帯域の光を撮像する際の、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関する説明図である。
【0075】
図7において、VBPF1(第1の可変バンドパスフィルタ)は可変バンドパスフィルタ24が透過する透過波長帯域L10、L20、L30への状態変化を示している。VBPF2(第2の可変バンドパスフィルタ)は可変バンドパスフィルタ29が透過する透過波長帯域L11、L21、L31への状態変化を示している。
EFT(重複透過帯域)は、重複透過帯域のL12、L22、L32への状態変化を示している。
CAM(2次元アレイ光検出手段)は、2次元アレイ光検出手段26により撮像されるタイミングを示しており、ONの状態のときに露光され、撮像される。
【0076】
図7において、制御手段27は、記憶手段に格納される予め定められた2次元アレイ光検出手段26が撮像するタイミング(ONになるタイミング)t1、t2、t3、または撮像間隔にあわせて第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10、L20、L30とし、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL11、L21、L31とする。
換言すれば、重複透過帯域は、2次元アレイ光検出手段26が撮像するタイミングt1、t2、t3にあわせて、L12、L22、L32となる。
ここで波長帯域L12、L22、L32の波長の幅は一定の幅であってもよいし、異なるものでもよい。
【0077】
(動作・作用の説明)
本発明の顕微鏡用分光分析装置は上述のような構成で、次の動作を行なう。
(2−1)制御手段27は、予め定められたタイミングで第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL10に制御するとともに、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL11に制御する。
(2−2)光源20Aは、試料22に向けて励起光を照射する。
(2−3)励起光は、光照射レンズ手段21によりされ、試料22に照射される。
【0078】
(2−4)試料22では、照射された励起光によりラマン散乱光を生ずる。
(2−5)第1の光学手段23は、試料22により生じた散乱光を平行光束に変換する。
(2−6)第1の可変バンドパスフィルタ手段24は、第1の光学手段23から入射した平行光束の散乱光のうち透過波長帯域L10の光を透過する。
(2−7)第2の可変バンドパスフィルタ手段29は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24から入射した平行光束の散乱光のうち透過波長帯域L11の光を透過する。
すなわち、L10とL11との重複範囲であるL12における散乱光が透過される。
【0079】
(2−8)結像光学手段25は、第2の可変バンドパスフィルタ手段29からの入射光を集光する。
(2−9)2次元アレイ光検出手段26は、結像光学手段25により集光された第1の可変バンドパスフィルタ手段24からの波長帯域L12における散乱光を撮像する。これにより本発明の顕微鏡用分光分析装置は、波長帯域L12の散乱光の光強度を測定できる。
(2−10)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
【0080】
(2−11)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL20に制御するとともに、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL21に制御し、2次元アレイ光検出手段26を制御してL22の透過光を撮像させる。
(2−12)2次元アレイ光検出手段26は、予め定められた撮像時間を経過すると撮像を終了する。
(2−13)制御手段27は、予め定められたタイミングで、第1の可変バンドパスフィルタ手段24の透過波長帯域をL30に制御するとともに、第2の可変バンドパスフィルタ手段29の透過波長帯域をL31に制御し、2次元アレイ光検出手段26を制御してL32の透過光を撮像させる。
【0081】
このため、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、2つの可変バンドパスフィルタを協調動作させることにより、散乱光を所定の波長帯域の全て(または一部)において「重複透過帯域」ごとに透過でき、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
また重複透過帯域の範囲が狭い程(第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域の重複が極小である程)、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
【0082】
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する第2の可変バンドパスフィルタ手段を備え、制御手段は、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更し、第1の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域と第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域とを重複させることにより、複数の可変バンドパスフィルタを協調動作させることによって、連続した波長帯域に対し、高い光学波長分解能の分光分析が高速に行える点で有効である。
また、構成される光学系にZ軸方向への焦点変化はないため,ボケのない鮮明な分光画像が得られる点で有効である。
【0083】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、上述の構成とすることにより、少ない部品点数で、小型で、安価に、微弱な光であっても高速に予め定められた間隔の波長分解能でピンボケの無い鮮明な画像を取得することができる顕微鏡用分光分析装置を実現できる。
【0084】
なお、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、本実施例では、説明の便宜上、図7において、可変バンドパスフィルタ24、29の透過波長帯域はL10→L20→L30、L11→L21→L31と階段状(離散的)に変化させるものとしたが、L10からL30まで、L11からL31までの透過波長帯域の変更を連続的または曲線的に変化させ、散乱光を所定の波長帯域の全て(または一部)において、重複透過帯域ごとに透過させるものでもよい。
具体的には、制御手段27は、重複透過帯域の帯域幅を一定に保つように、第1の可変バンドパスフィルタ手段24のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させて透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させる。これにあわせて、制御手段27は、重複透過帯域の帯域幅を一定に保つように、第2の可変バンドパスフィルタ手段29のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させて透過波長帯域を連続的にL11からL31までの間で変化させる。以下図8を用いて説明する。
【0085】
図8は、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段と2次元アレイ光検出手段の動作タイミングチャートに関するその他の説明図である。
図8において、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24および第2の可変バンドパスフィルタ手段29のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的にL10からL30まで、L11からL31の間で変化させる。このため重複透過帯域は、L12からL32までの間で連続的に変化する。
なお第1の可変バンドパスフィルタ手段24および第2の可変バンドパスフィルタ手段29における、変化させるフィルタ部の角度が0度に近づく程、また重複透過帯域の範囲が狭い程(第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域の重複が極小である程)、より高い時間分割波長分解能を得ることが出来る。
【0086】
この結果、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段27は、第1の可変バンドパスフィルタ手段24のフィルタ部を所定の角度ずつ変化させ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させることにより、連続した波長帯域の分光が行うことができ、従来よりも高い時間分割波長分解能を得ることが出来る点で有効である。
【0087】
また、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、制御手段27が重複透過帯域の幅を変更させつつ、透過波長帯域を連続的にL10からL30までの間で変化させるものでもよい。
たとえば、制御手段27は、第1、第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して、細かい波長帯域で得られる透過光の光強度の分析を行う必要がある範囲では重複透過帯域の幅を極狭いものとし、特に細かい帯域における透過光の光強度分析は不要である範囲では重複透過帯域の幅を広いものとする。
このため、本発明の顕微鏡用分光分析装置は、所望の範囲については連続した波長帯域の分光が行うことができ、従来よりも高い時間分割波長分解能を得られ、かつ、全体として高速に分光分析ができる点で有効である。
【0088】
<第3の実施例>
本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、偏光フィルタを可変バンドパスフィルタと結像光学手段(またはノッチフィルタ28)との間に設置して、可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光するものでもよい。
【0089】
図9は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図であり、図3と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。
図3との相違点は、主に、第2の可変バンドパスフィルタ29を透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備えた点、制御手段27がこの偏光手段の偏光方向を変更制御する点である。
【0090】
図9において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第2の可変バンドパスフィルタ29と結像光学手段25(またはノッチフィルタ28)との間に設置され、第2の可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する、1/2波長板、1/4波長板などの偏光手段30を備える。
【0091】
偏光手段30は、入射した散乱光を直線偏光、円偏光、楕円偏光などに変換して出射する。また、偏光手段30は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき偏光方向が制御される。
【0092】
この結果、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第2の可変バンドパスフィルタを透過した散乱光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備えたことにより、偏光依存性を持ったスペクトルの分光ができる点で有効である。
【0093】
<第4の実施例>
本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、光軸を調整するための光軸調整手段を第1の光学手段23と第1の可変バンドパスフィルタ24との間に備え、第1の光学手段から入射された散乱光を光軸に対して垂直な平面におけるXY方向で生じた位置ずれを是正するものでもよい。
【0094】
図10は、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置のその他の実施例の構成図であり、図9と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。
図9との相違点は、主に、光軸を調整するための光軸調整手段を備えた点、制御手段がこの光軸調整手段を制御してXY方向で生じた位置ずれを是正するために散乱光の入射角度を制御する点である。
【0095】
図9までの構成では、第1の可変バンドパスフィルタ24、第2の可変バンドパスフィルタ29が光入射角度チューニング型である場合には、角度の調整如何によっては光軸のXY面における位置ずれが生じる問題点があった。本実施例は上述までの目的に加えて光軸調整手段を制御してXY方向で生じた位置ずれを是正できる点も目的とする。
【0096】
図10において、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、第1の光学手段23と可変バンドパスフィルタ24との間に設置され、散乱光の入射角度を変更制御して光軸を調整する光透過の光学板などの光軸調整手段31を備える。
【0097】
光軸調整手段31は、制御手段27と電気的に接続されており、制御手段27からの制御信号に基づき散乱光の入射角度が制御される。
【0098】
この結果、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は、光軸調整手段31が第1の可変バンドパスフィルタ24、第2の可変バンドパスフィルタ29における散乱光の入射角度に基づいて、第1の可変バンドパスフィルタ24からの散乱光の光軸に対して角度を変えて光軸のX、Y方向の位置を制御することにより、XY方向で生じた位置ずれを是正するために散乱光の入射角度を制御できる点で有効である。
また、本発明に係る顕微鏡用分光分析装置は光軸調整手段31を備えることにより、顕微観察される平面領域を走査しながら分光を行うことで使用者の所望の位置で分光できる点で有効である。
【符号の説明】
【0099】
20A 光源
21 光照射レンズ手段
22 試料
23 第1の光学手段(対物レンズ)
24 第1の可変バンドパスフィルタ手段
25 結像光学手段
26 2次元アレイ光検出手段
27 制御手段
28 ノッチフィルタ
29 第2の可変バンドパスフィルタ手段
30 偏光手段
31 光軸調整手段
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置において、
前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、
入射した光を透過させ透過波長帯域が可変であって、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段と、
入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段と、
光透過の光学板からなり、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正する光軸調整手段と、
前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、
前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える
ことを特徴とする顕微鏡用分光分析装置。
【請求項2】
前記制御手段は、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して予め定められた複数の前記透過波長帯域を掃引する
ことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置。
【請求項3】
前記制御手段は、前記2次元アレイ光検出手段を制御して前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を予め定められた時間間隔で撮像し、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して前記透過波長帯域を予め定められた間隔の波長帯域で変更する
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用分光分析装置。
【請求項4】
前記第1の可変バンドパスフィルタ手段または前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を透過した光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備え、
前記制御手段は、前記偏光手段の前記偏光方向を変更する
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用分光分析装置。
【請求項5】
光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法において、
第1の光学手段が、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にし、
入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過させ、
入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過させ、
光透過の光学板からなる光軸調整手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正し、
2次元アレイ光検出手段が、前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像し、
制御手段が、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する
ことを特徴とする顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法。
【請求項1】
光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置において、
前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、
入射した光を透過させ透過波長帯域が可変であって、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段と、
入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過する光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段と、
光透過の光学板からなり、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正する光軸調整手段と、
前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、
前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える
ことを特徴とする顕微鏡用分光分析装置。
【請求項2】
前記制御手段は、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して予め定められた複数の前記透過波長帯域を掃引する
ことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡用分光分析装置。
【請求項3】
前記制御手段は、前記2次元アレイ光検出手段を制御して前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を予め定められた時間間隔で撮像し、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を制御して前記透過波長帯域を予め定められた間隔の波長帯域で変更する
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用分光分析装置。
【請求項4】
前記第1の可変バンドパスフィルタ手段または前記第2の可変バンドパスフィルタ手段を透過した光を予め定められた偏光方向に偏光する偏光手段を備え、
前記制御手段は、前記偏光手段の前記偏光方向を変更する
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用分光分析装置。
【請求項5】
光源から試料に励起光が照射され、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を分析する顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法において、
第1の光学手段が、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にし、
入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第1の可変バンドパスフィルタ手段が、入射した平行光束の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過させ、
入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって光入射角度チューニング型の第2の可変バンドパスフィルタ手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段からの入射光のうち予め定められた透過波長帯域の光を透過させ、
光透過の光学板からなる光軸調整手段が、前記第1の可変バンドパスフィルタ手段及び前記第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれを是正し、
2次元アレイ光検出手段が、前記透過波長帯域の前記試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像し、
制御手段が、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更するように前記第1の可変バンドパスフィルタ手段と前記第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する
ことを特徴とする顕微鏡用分光分析装置の分光分析方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2013−50462(P2013−50462A)
【公開日】平成25年3月14日(2013.3.14)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−246430(P2012−246430)
【出願日】平成24年11月8日(2012.11.8)
【分割の表示】特願2010−86696(P2010−86696)の分割
【原出願日】平成22年4月5日(2010.4.5)
【出願人】(000006507)横河電機株式会社 (4,443)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成25年3月14日(2013.3.14)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年11月8日(2012.11.8)
【分割の表示】特願2010−86696(P2010−86696)の分割
【原出願日】平成22年4月5日(2010.4.5)
【出願人】(000006507)横河電機株式会社 (4,443)
【Fターム(参考)】
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