【課題】左右それぞれの円偏光の分光データを一括取得する。
【解決手段】分光計測装置は、測定対象の光を左円偏光と右円偏光の２つに分離する円偏光スプリッター（３，４）と、スリットに入射した光を分光する分散素子及び分散素子によって分光された光を受光する２次元ＣＣＤアレイからなる分光器（１１）と、左円偏光、右円偏光を導く光ファイバー（６，９）と、光ファイバー（６，９）の出射側の端面から出射する２つの円偏光を分光器（１１）のスリットに集光するファイバー集光光学系（１０）とを備える。ファイバー集光光学系（１０）は、光ファイバー（６，９）の出射側の端面を、２つの円偏光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ２つの円偏光を２次元ＣＣＤアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】消費電力量の低減、および小型化を図りつつ、検出精度を十分に高める。
【解決手段】赤外線を透過可能な支持基板１１と、支持基板１１における一方の面側に形成されたフィルタ部１２と、支持基板１１における他方の面側に形成されたセンサ部１３とが一体的に構成されて、フィルタ部１２および支持基板１１を透過した測定光ＩＲをセンサ部１３によって検出可能に構成され、フィルタ部１２は、透過波長固定型の第１光学フィルタ２１と、第１波長から第２波長まで透過波長を変化可能な透過波長可変型の第２光学フィルタ２２とを備え、第１光学フィルタ２１は、測定光ＩＲの透過を規制する透過規制波長領域と、測定光ＩＲの透過を許容する透過許容波長領域とが第１波長から第２波長までの間に規定されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度で分光特性を計測することができる分光計測装置及び分光計測方法を提供する。
【解決手段】測定領域Ｓ１内の各輝点から多様な方向に向かって放射状に生じる散乱光や蛍光発光等の光線群（「物体光」ともいう）は対物レンズ１２に入射し、平行光束へ変換され、位相シフター１４に到達する。そして、位相シフター１４の基準ミラー部１５と傾斜ミラー部１６でそれぞれ反射された後、結像レンズ１８により検出部２０の受光面２０ａで干渉像を形成する。このとき、基準ミラー部１５で反射された光線群と傾斜ミラー部１６で反射された光線群の間に連続的な光路長差分布が存在するため、受光面２０ａにおける干渉像の光強度を検出すると、その光強度が連続的に変化するインターフェログラム（結像強度変化の波形）が得られる。これをフーリエ変換することで被測定物Ｓの一輝点から発せられた光の波長毎の相対強度である分光特性を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】スリット走査に起因する撮像時間の冗長性を解消して、いかなる撮像対象に対しても迅速なスペクトル撮像を可能とするスペクトル撮像装置及びスペクトル撮像方法、及びそれらスペクトル撮像装置、スペクトル撮像方法に用いられるライン光走査機構を提供する。
【解決手段】撮像対象から観測された観測光Ｌをライン状の光に順次変換走査する機構として、変換すべきライン状の光に対応する形状を有してその長手方向に設けられた軸を中心に各別に回動可能な光選択部材１２１ａ〜１２１ｎが観測光Ｌを走査する分解能に対応する数だけ配列されたライン光走査機構１２０を備える。そして、このライン光走査機構１２０を構成する光選択部材１２１ａ〜１２１ｎの選択的な回動に基づいて観測光Ｌを順次ライン状の光に変換走査して分光器１３０に取り込む。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュールは、光を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、前面２ａ上に支持され、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出素子４と、前面２ａに形成され、光検出素子４の外部端子が電気的に接続された複数のパッド部９ａ、光検出素子４の出力信号を外部に取り出すための複数のパッド部９ｂ、及び対応するパッド部９ａとパッド部９ｂとを接続する複数の接続部９ｃを有する配線９と、接続部９ｃを覆い且つパッド部９ａ，９ｂを露出させるように前面２ａに形成され、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔６ａ、及び光検出素子４に進行する光Ｌ２が通過する光通過孔６ｂを有する光吸収層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定を簡便に行うことができる分光測定装置、及び分光測定方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる分光測定装置は、レーザ光源１０１と、レーザ光源１０１からの光ビームを参照用サンプル１２０に集光するレンズ１０４と、第１レンズ１０４を通過した光ビームを測定用サンプル１２１に集光する対物レンズ１０６と、光ビームの照射によって、測定用サンプル１２１、及び参照用サンプル１２０で発生した光ビームと異なる波長の光を分光する分光器１０９と、分光器１０９で分光された光を検出する検出器１１０と、参照用サンプル１２０及び測定用サンプル１２１から分光器１０９に向かう光の光路を、レーザ光源か１０１から測定用サンプル１２１に向かう光ビームの光路から分岐するビームスプリッタ１０３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】連続的な広い周波数範囲にわたって信号対雑音比のよい測定ができる分光装置を提供する。
【解決手段】インコヒーレント光の光源であるブロードエリア半導体レーザ１と、インコヒーレント光を平行化して集光する一対のレンズ２ａ、２ｂと、一対のレンズ２ａ、２ｂを通過したインコヒーレント光を通過させるためのピンホールが形成されたピンホール部材６と、ピンホールを通過したインコヒーレント光を２つに分割するビームスプリッタ７と、分割された後の２つのインコヒーレント光のうちの一方のインコヒーレント光の照射に基づき第１電磁波を放射する電磁波放射用光伝導素子８と、第１電磁波を試料に透過または反射させた第２電磁波と上記２つのインコヒーレント光のうちの他方のインコヒーレント光とが入射され、第２電磁波と他方のインコヒーレント光との相互相関信号を得る電磁波検出用光伝導素子９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの特性設計を容易化すること。
【解決手段】 エタロンフィルター３００は、第１基板２０と、第１基板に対向する第２基板３０と、第１基板に設けられた第１光学膜４０と、第２基板に設けられ、第１光学膜と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ１と、第２光学膜５０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ２とが異なる。第１光学膜４０は、第１波長λ１を中心波長とする反射特性を有し、第２光学膜５０は、第１波長とは異なる第２波長λ２を中心波長とする反射光特性を有することができる。エタロンフィルター３００の分光帯域での中心波長をλ３としたとき、λ１＜λ３＜λ２となるように、各光学膜４０，５０を設計する。 （もっと読む）

【課題】車両等の移動体の走行環境に存在する多様な対象を実時間にて、しかも十分な認識性をもって可視表示させることのできるスペクトル測定装置、及びスペクトル測定方法を提供する。
【解決手段】スペクトル測定装置１０は、移動体に搭載されたスペクトルセンサにより測定される複数の波長情報及びそれら波長情報のそれぞれに対応する波長画像に基づいてスペクトル画像Ｄを生成する。スペクトル測定装置１０は、スペクトル画像Ｄから必要とされる複数の波長画像を選択するとともに、該選択した複数の波長画像を合成処理して移動体周囲の環境画像Ｆを生成し、この生成した環境画像Ｆを画像表示装置１５に可視表示させる画像処理部（１２及び１４）を備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図り、ウェハプロセスによって容易に大量生産することのできる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 広い測定波長範囲を高い回収効率で測定することができ、かつ、４００ｎｍ以下の波長のスペクトルを測定することができる分光器の提供。
【解決手段】入口スリットを有する入射光部２２と、入口スリットから入射した光を分光する回折格子２３、３３と、回折格子２３、３３で分光した光を検出する検出器２４、３４とを備える分光器１であって、入口スリットから入射した光を第一の光と第二の光とに光量分割する光学素子３０を備え、回折格子２３、３３は、第一の光を分光する第一回折格子２３と、第一回折格子２３のブレーズ波長と異なるブレーズ波長を有し、第二の光を分光する第二回折格子３３とを有し、検出器２４、３４は、第一回折格子２３で分光した光を検出するフォトダイオードアレイ、ＣＭＯＳ又はＣＣＤ２４と、第二回折格子３３で分光した光を検出する光電子増倍管３４とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 波長可変フィルターが、所望波長帯域の全帯域をスキャンするのに要する時間を短縮すること。
【解決手段】 光フィルター３００は、第１波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（１））と、第２波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（２））と、駆動部１２０と、各光フィルターの各々の分光帯域を可変に制御する制御部６００と、を含み、第１波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第１分光帯域と、第２分光帯域と、を少なくとも有し、第２波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域に隣接する第２波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第３分光帯域と、第４分光帯域とを少なくとも有し、駆動部１２０は、各第１波長可変バンドパスフィルターおよび第２波長可変バンドパスフィルターの各々を共に駆動し、第１分光帯域と、第３分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複し、かつ、第２分光帯域と、第４分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複する。 （もっと読む）

【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルＥ９５の高精度な計測を行うこと。
【解決手段】 計測光（レーザ光）をレンズで集光し、光ファイバ１２を通して取り込む。光ファイバ１２の出射側には、ファイバ揺動／移動機構１３が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。光ファイバ１２から出射される光は、シリンドリカルレンズから構成されるコリメータレンズ１４により集光され、エタロン１５に入射する。エタロン１５から出た光は、集光レンズ１６で集光され、ＣＣＤセンサなどのセンサ１７上にフリンジ像が結像する。センサ１７により取得したデータは積算処理され、波長スケール変換された後、デコンボリューション処理され、Ｅ９５が計測される。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット４０、第１色消しレンズ２０、グリズム１０、第２色消しレンズ３０、検出器５０を備える分光器で、第１色消しレンズ２０と、グリズム１０と、第２色消しレンズ３０は、ＬｉＦ、ＭｇＦ２から選ばれて形成される。第１色消しレンズ２０は、第１屈折レンズ２１と複数のバイナリ型回折格子を有する第１回折レンズ２２とを有する。第２色消しレンズ３０は、第２屈折レンズ３２と複数のバイナリ型回折格子を有する第２回折レンズ３２とを有する。グリズム１０は、第１色消しレンズ２０と第２色消しレンズ３０との間に設置され、プリズム１１と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子１２とを有する。第１回折レンズ２２のバイナリ型回折格子と、第２回折レンズ３２のバイナリ型回折格子と、グリズム１０の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は５ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】少なくともセンサ応答の２次項を含む拡張センサ応答を用いて測定精度を高める場合の演算時間を短縮し、あるいは、測定精度をより高めることを課題とする。
【解決手段】波長帯の一部が互いに重複している少なくとも２つの光強度信号がアレイ受光素子により検出されるように各波長帯の光強度信号ｓ₁〜ｓ_mを分光器１０１で検出し、検出した光強度信号を用いて、波長帯の一部が互いに重複している２つの光強度信号の積（ｓ₁×ｓ₂，ｓ₂×ｓ₃，・・・，ｓ_m-1×ｓ_m）を演算し、その演算結果を光強度信号ｓ₁〜ｓ_mと組み合わせて、波長帯が重複していない２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答ベクトルｖ''をセンサ応答拡張部１０２で生成し、その拡張センサ応答ベクトルに基づいて分光反射率推定部１０３により測定対象の分光反射率ベクトルｒを導出する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で透過率の高いグリズムを提供する。
【解決手段】 プリズムと、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子とを備えているグリズムを提供する。このグリズムでは、プリズムは、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である第１光学材料を用いて形成されており、バイナリ型回折格子は、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である第２光学材料を用いて形成されており、バイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値（ｒｍｓ値）は、５ｎｍ以下である。このグリズムは、フッ化リチウムおよびフッ化マグネシウムの屈折率が大きく変化する２００ｎｍから短波長側の吸収端波長までの真空紫外線領域で好適に利用できる。 （もっと読む）

【課題】幅広い波長範囲で高分解能に分光測定を行うことができるとともに、堅牢でかつ小型化された導波路型の分光光度計を提供する。
【解決手段】被測定光は光入力部１０１で集光され、光ファイバ１０２を介して光分岐回路１０４に入力される。光分岐回路１０４は入力光をそれぞれ異なる波長帯の光を透過する光フィルタが挿入されたＮ本の光導波路に分岐する。１０５はＮ個のアレイ導波路回析格子が積層された多層アレイ導波路回析格子であり、光分岐回路１０４から出力される異なる波長帯のＮ個の光がそれぞれ対応する層のアレイ導波路回析格子に入力される。各層のアレイ導波路回析格子はそれぞれの入力光を分光してＭ本の光導波路に出力し、各層のアレイ導波路回析格子の出力光は受光部１０６で受光される。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、不良ＰＤ情報格納部が、不良ＰＤ情報を格納し、演算部が、不良ＰＤ情報に基づいて不良であるフォトダイオードを特定し、有効なフォトダイオードの電気信号データのみに基づいて被測定光の光スペクトルを検出するので、光スペクトルの解析を正常に行うことができる分光装置を実現することができる。
【解決手段】本発明は、被測定光を波長ごとに分光する分光器と、分光された各波長光の光パワーを、複数個配列されたフォトダイオードによって電気信号データに変換するアレイ型光検出器と、前記電気信号データから被測定光の光スペクトルを検出する演算部と、を有する分光装置において、前記フォトダイオードのうち不良であるフォトダイオードを特定する不良ＰＤ情報を格納する不良ＰＤ情報格納部と、前記不良ＰＤ情報に基づいて不良であるフォトダイオードを特定し、有効なフォトダイオードの電気信号データのみに基づいて被測定光の光スペクトルを検出する演算部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 例えば、高価な光バンドパスフィルターを使用せずに、分光測定装置の測定精度を向上させること。
【解決手段】 分光測定装置は、分光帯域として、所定波長幅の第１波長域〜第ｎ波長域（ｎは２以上の整数）を有する光バンドパスフィルター部３００と、光バンドパスフィルター部からの光を受光する受光部４００と、受光部の出力信号に基づいて得られる受光信号を補正する補正演算を実行する補正演算部５００と、補正演算部５００によって補正された、補正後の受光信号に基づいて所定の信号処理を実行する信号処理部６００と、を含み、補正演算部５００は、受光信号の分光分布の変化に基づいて受光信号を補正する。 （もっと読む）