【課題】微小な傾斜構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に犠牲膜を形成する工程（ａ）と、第１の膜であって、基板に接続された第１の部分と、犠牲膜の上方に位置する第２の部分と、第１の部分及び第２の部分の間に位置する第３の部分と、を含み、且つ、第３の部分の一部、又は、第２の部分と第３の部分との境界部分に、第１の部分より膜厚が薄い領域を有する第１の膜を形成する工程（ｂ）と、犠牲膜を除去する工程（ｃ）と、工程（ｃ）の後に、膜厚が薄い領域において第１の膜を曲げて、第１の膜の第２の部分を基板に対して傾斜させる工程（ｄ）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ホモダイン検波方式を採用した電磁波分光測定システムの測定時間や測定精度を向上し、小型化すること。
【解決手段】機械的な駆動機構を有する遅延線に代えて、電気的に位相変調可能な光位相変調器４を使用する。 （もっと読む）

【課題】入射角度依存性を有する光学フィルタとカメラとを組合せてマルチバンド化を実現し、画像周辺部でも精度を低下させずに撮影対象の分光情報を推定する。
【解決手段】撮影対象１を撮影する撮像機器13とこの撮像機器及び撮影対象の間に設置する光学フィルタ11とからなる撮像手段11〜13と、撮像された画像の各画素に結像される光の光学フィルタへの入射角度θを算出し、予め入射角度毎に測定し記憶された光学フィルタの分光透過率データを用いて、前記入射角度に対応する分光透過率データを算出し、前記各画素における分光情報推定行列Ｗを算出する手段17，151と、算出された分光反射率推定行列Ｗと画素の画素値ｇ_iとを用いて、結像する撮影対象上の位置の分光情報を算出する手段17とを備えた分光情報取得装置である。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に犠牲膜を形成する工程（ａ）と、犠牲膜の上方に第１の膜を形成する工程（ｂ）と、第２の膜であって、基板に接続された第１の部分と、第１の膜に接続された第２の部分と、上記第１の部分及び上記第２の部分の間に位置する第３の部分と、を含む第２の膜を形成する工程（ｃ）と、犠牲膜を除去する工程（ｄ）と、工程（ｄ）の後に第２の膜の上記第３の部分を曲げて、第１の膜を基板に対して傾斜させる工程（ｅ）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 パッケージに設けられた光入射部に対して、パッケージ内に設けられた光通過部が位置決めされた分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光ユニット３０と、を備える。光検出ユニット２０は、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２を有する。分光ユニット３０は、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 パッケージに設けられた光入射部に対して、パッケージ内に設けられた光通過部が位置決めされた分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光モジュール３Ａと、を備える。分光モジュール３Ａは、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２が設けられた光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように光検出ユニット２０に固定され、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する分光ユニット３０と、を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】焦点合わせに要する時間を短縮できる分光撮像装置を提供する。
【解決手段】被写体からの光を集光する集光レンズ１０と、集光された光のうち、被写体のライン状領域からの光を通過させるスリット２１ａが形成された遮光部材２１と、分光手段２２と、光の強度をライン状領域の長手方向の位置及び波長ごとに検出することにより、ライン状領域の画像を取得する光検出手段２６と、光検出手段からライン状領域の画像を順次受け付けて、撮像領域の画像を取得する画像取得部４１と、被写体に対する集光レンズ、スリット、分光手段又は光検出手段の光軸方向の相対距離を変更して、画像の焦点を合わせる焦点合わせ手段３０とを具備し、画像取得部が、焦点を合わせようとする部分を含み被写体における撮像領域よりも狭い領域の画像を、相対距離を設定して取得し、狭い領域の画像の焦点が合うときの相対距離で、撮像領域の画像を取得するようにした。 （もっと読む）

【課題】応答性の向上した波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを有して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１電極５６１と対向する第２電極５６２と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面に設けられ、固定基板５１と可動基板５２とを接合する接合部５３と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた溝部５８と、を備え、第１反射膜５４と第２反射膜５５との間のギャップを形成する空間と外部とが溝部５８を介して連通している。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と回折効率をともに向上し、しかも反射損失を低減できる透過型回折格子を用いた分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】入射光を透過する透過型回折格子を含む分光装置であって、透過型回折格子は、基材１００より第１方向Ｘに沿って周期的に突出する複数の突起１１０を有し、複数の突起が傾斜面１４０を有し、傾斜面は、基材に垂直な基準線に対して傾斜し、透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線に対して角度βとする場合に、入射角度αは、傾斜面に対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度であり、複数の突起の各々は、傾斜面からの第１方向での距離が異なるに従い、複数の突起の各々と空気との界面に至る基材からの突出高さが異なる第１反射防止構造１５０（１６０）を有する。 （もっと読む）

【課題】露光処理の処理期間に光学基板の面間隔が変動せず、分光精度の高い画像を取得でき、高速で波長を切り替えて複数の波長からなる動画を取得しても、波長分解能が高いエタロン型の可変分光素子を用いた分光画像装置の提供。
【解決手段】対向する光学基板の面間隔を可変として複数の波長を選択して透過させる可変分光素子１、撮像素子２、撮像素子からの信号を用いて画像を生成する分光画像生成部３を有する分光画像装置であって、複数の波長の値を入力するための入力部４、入力された波長の値に基づいて光学基板間の面間隔を制御する面間隔制御部５、入力された複数の波長の値を用いて面間隔制御部に対し、撮像素子による当該時点での対象となっている波長での露光処理期間の終了よりも早い所定時期に、撮像素子による次の対象となる波長に対する光学基板間の面間隔制御の開始を指示する開始時期制御部６を有する。 （もっと読む）

【課題】 発光材料の評価に好適に用いることが可能な分光測定装置、方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】 試料Ｓが内部に配置され、励起光を入射する入射開口部２１及び試料Ｓからの被測定光を出射する出射開口部２２を有する積分球２０と、被測定光を分光して波長スペクトルを取得する分光分析装置３０と、データ解析装置５０とを備えて分光測定装置１Ａを構成する。解析装置５０は、波長スペクトルにおいて励起光に対応する第１対象領域、及び試料Ｓからの発光に対応する第２対象領域を設定する対象領域設定部と、第１、第２対象領域を用いて波長スペクトルを解析する試料情報解析部とを有し、試料情報解析部は、励起光スペクトルについて、参照波長スペクトルでの励起光ピークを、試料の波長スペクトルでの励起光ピークに合わせ、その状態でスペクトルの減算を行う。 （もっと読む）

【課題】必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及び顕微分光システムを提供する。
【解決手段】顕微分光システム１に用いられる分光器４０は、コリメート光学系４１と、分光素子４２と、集光光学系４３と、複数の反射鏡が、少なくとも分光素子４２による分光方向に１次元に配列され、少なくとも所定の１次元方向に回転可能な空間光変調素子４４と、空間光変調素子４４で反射された分光光を受光する投影光学系４５と、複数の受光素子４６ａが、少なくとも投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に配列された受光器４６と、を有し、受光器４６の配置位置は、投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に関して投影光学系４５の後側焦点位置である。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び検出精度の向上の両立を図ることができる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光を透過させる本体部２と、本体部２の所定の面から本体部２に入射した光を分光すると共に所定の面側に反射する分光部と、所定の面に配置され、分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出素子４と、所定の面に設けられ、分光部に進行する光が通過する第１の光通過孔６ａ、及び分光部から光検出素子４に進行する光が通過する第２の光通過孔６ｂを有する遮光層６と、光検出素子４を所定の面に固定する遮光性の樹脂部材１０と、を備えている。樹脂部材１０は、光の入射方向から見た場合に、光検出素子４の外縁から突出する突出部１５ａを複数有し、第１の光通過孔６ａの少なくとも一部は、光の入射方向から見た場合に、隣り合う突出部１５ａ，１５ａの間に位置している。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、被測定物からの光を拡散させることなく、被測定物から射出される光の位置および方位のムラを均一化して、被測定物の所定の領域の特性を測定する。
【解決手段】被測定物の所定の領域からの発散光束をコレクタレンズ５２により略平行光束とし、コレクタレンズの出射側の焦点位置近傍に配置された第１のフライアイレンズ５３により空間的に分割し、分割された光束を互いにコンデンサレンズ５４により重畳させて、受光部５６により所望の特性に関する信号を検出する。受光部５６は、特性に関する異なる成分特性を検出する複数の受光素子を含む。 （もっと読む）

【課題】分光システムにおいて、反射しないで受信される信号と反射してから受信される信号を分離する。
【解決手段】各信号強度検出回路（狭帯域フィルタ１１８、検波器１１９、ＡＤ変換器１２０）は、受信用ミキサ１１５からの信号から予め定められた各周波数の成分を分離して抽出する。また、波長可変レーザ光源１０１からの光の波長が一定の期間において波長可変レーザ光源１０３からの光の波長を当該波長が複数の波長のそれぞれに等しくなる期間が離散的になるように変化させる。 （もっと読む）

【課題】光スペクトラムを精度よく分析でき、低価格かつ小型化を実現できるスペクトラムセンサを提供する。
【解決手段】少なくとも１方向における幅が所定幅であるピンホール１１を有する配線層１０と、配線層１０を透過した光の光強度を検出するフォトダイオード２０とを備え、配線層１０は、少なくとも１方向に振動する光において所定幅に対応する所定波長より短い波長の光を、ピンホール１１において透過させる。 （もっと読む）

【課題】光フィルター装置におけるスペクトル測定の測定時間を短縮させ、測定精度を向上させること。
【解決手段】可変エタロン４と、可変エタロン駆動回路１３と、受光素子５と、受光素子５に接続されたＩ−Ｖ変換回路６と、Ｉ−Ｖ変換回路６に接続されゲイン切り替え機能を有する増幅回路７と、増幅回路７に接続されたＡＤコンバーター８と、増幅回路７およびＡＤコンバーター８に接続されたマイコン１１と、マイコン１１に接続され増幅回路７のゲインのデータであるゲインテーブル１４を有する電圧設定メモリー１０と、を備え、受光素子５で検出された電流に基づき受光電圧の事前測定を行い、電圧設定メモリー１０に記憶させた事前測定で得られた受光電圧に対する増幅回路７のゲインのゲインテーブル１４を参照し、事前測定で得られた受光電圧をＡＤコンバーター８のダイナミックレンジに合うように増幅回路７のゲインを調整する。 （もっと読む）

【課題】ラインイメージセンサーと同等の機能を有する比較的安価な受光装置を提供する。
【解決手段】所定の波長域に渡り分光された光の波長を検出する受光装置１０であって、ホトデテクター１４２と、ホトデテクター１４２に入光する光を規制する開孔１４３ａを有するマスク１４３を備えた受光手段１４と、光を波長域に渡り分光した回折光を受光手段１４に向ける回折格子１１と、回折格子１１を作動し波長域に渡り分光した回折光を選択的に該マスク１４３の開孔１４３ａに位置付ける作動手段１２と、回折格子１１の作動位置を検出する位置検出手段１３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】高価な分光器を必要とせずに、特徴量を高精度に推定可能とする。
【解決手段】被検体の特定成分に関する特徴量を推定する特徴量推定装置は、波長帯域の相違する複数のバンド画像を分光スペクトルに変換するための分光推定パラメーターを保存する分光推定パラメーター保存部３６と、分光スペクトルを前記特徴量に変換するための検量処理パラメーターを保存する検量処理パラメーター保存部３８とを備える。さらに、特定成分に応じた所定の波長帯域を含む複数の波長帯域で前記被検体を撮影して得られるマルチバンド画像を取得するマルチバンド画像取得部と、前記分光推定パラメーターを用いて、マルチバンド画像から分光スペクトルを演算する分光推定部１６と、検量処理パラメーターを用いて、前記分光スペクトルから前記特徴量を演算する検量処理部１８とを備える。 （もっと読む）