【課題】第１補助接地極および第２補助接地極の接地状態を確実に判別する。
【解決手段】処理部９は、合成接地抵抗算出処理においてスイッチ部５を制御して、アース極Ｅおよび第１補助接地極Ｐ間に信号生成部２および交流電流計３の直列回路と交流電圧計４との並列回路が接続される接続状態、アース極Ｅおよび第２補助接地極Ｃ間にこの並列回路が接続される接続状態、並びに第１補助接地極Ｐおよび第２補助接地極Ｃ間にこの並列回路が接続される接続状態に順次移行させつつ、各接続状態において交流電流計３で測定される交流電流Ｉ１および交流電圧計４で測定される交流電圧Ｖ１に基づき各極Ｅ，Ｐ，Ｃ相互間の各合成接地抵抗を算出し、接地抵抗算出処理において各合成接地抵抗に基づき各極Ｅ，Ｐ，Ｃの接地抵抗Ｒｅ，Ｒｐ，Ｒｃを算出し、接地状態判別処理において各接地抵抗Ｒｅ，Ｒｐ，Ｒｃに基づいて補助接地極Ｐ，Ｃの各接地状態の良否を判別する。 （もっと読む）

【課題】電流電圧変換部の応答速度を高めて絶縁検査の時間を短縮する。
【解決手段】検査電圧Ｖ１の印加時に導体パターン５１間に流れる検査電流Ｉ１を電圧Ｖｉに変換する電流電圧変換部５と、検査電圧Ｖ１の電圧値および電圧Ｖｉの電圧値で示される検査電流Ｉ１の電流値に基づいて導体パターン５１間の抵抗Ｒｓを算出して導体パターン５１間の絶縁検査を実行する処理部７とを有し、一方の導体パターン５１とグランド電位との間に接続された可変コンデンサ３を備え、処理部７は、検査対象の導体パターン５１、電流電圧変換部５を構成する演算増幅器５ａの反転入力端子と出力端子との間に接続されたレンジ抵抗の抵抗値Ｒｆおよび固定コンデンサ５ｆの容量値Ｃｆに対応させて可変コンデンサ３の容量値Ｃｏを予め規定された値に設定し、この状態での検査電圧Ｖ１の電圧値および検査電流Ｉ１の電流値に基づいて抵抗Ｒｓを算出する。 （もっと読む）

【課題】同一電源に接続された複数の出力バッファのトランジスタの抵抗値を一括して測定することができる半導体集積回路のテスト回路及びテスト方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、出力バッファＢ１〜Ｂｎ及び選択回路ＳＥＬ１〜ＳＥＬｎを有する。出力バッファＢ１〜Ｂｎは、電源電圧ＶＤＤと出力端子Ｏ１〜Ｏｎとの間に接続されたＰｃｈトランジスタＭｐ１〜Ｍｐｎと、グランド電圧ＧＮＤと出力端子Ｏ１〜Ｏｎとの間に接続されたＮｃｈトランジスタＭｎ１〜Ｍｎｎと、を有する。選択回路ＳＥＬ１〜ＳＥＬｎは、それぞれ出力バッファＢ１〜Ｂｎと接続される。選択回路ＳＥＬ１〜ＳＥＬｎは、それぞれＰｃｈトランジスタＭｐ１〜Ｍｐｎを非線形領域で動作させた状態において、ＮｃｈトランジスタＭｎ１〜Ｍｎｎをオフにし、又は線形領域で動作させる。 （もっと読む）

【課題】容量検出装置と抵抗検出装置の高精度化を図る。
【解決手段】本発明の容量検出装置と抵抗検出装置は、発振部、第１微分部、第２微分部、積分部、サンプルホールド部、制御部を備える。第１微分部は、第１容量センサまたは第１抵抗センサを用いて発振信号を微分した第１微分信号を生成する。第２微分部は、第２容量センサまたは第２抵抗センサを用いて発振信号を微分した第２微分信号を生成する。積分部は、あらかじめ定めた位相のときに第１微分信号と第２微分信号との差に対応した信号となる積分信号を生成する。サンプルホールド部は、積分信号の値をサンプルホールド制御信号に従って保持する。制御部は、発振信号の複数周期ごとに積分信号の値を保持するサンプルホールド制御信号を生成し、積分信号の値を保持した後に積分信号をリセットする積分制御信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの多い環境下においても安定して静電容量変化の検出を可能にすること。
【解決手段】この容量検出装置は、被検出容量Cf,Csを充電するための電圧レベルを所定周期で複数の電圧レベルに切り替えるスイッチSW1,SW2と、被検出容量Cf,Csに充電された電荷が分配される複数の分配容量Cdp,Cdnと、分配容量Cdp,Cdnを初期化するための電圧レベルを所定周期で複数の電圧レベルに設定する第２のスイッチSW5,6と、被検出容量Cf,Csから電荷が分配容量に対して相補的に逆極性の電荷量として分配されるように接続を切り替える他のスイッチSW3,4と、分配容量Cdp,Cdnに充電された電荷を電圧に変換するチャージアンプ１２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】測定対象体に発生する直流電圧の装置側への印加を回避しつつ、応答速度の低下および測定精度の低下を回避する。
【解決手段】電流供給用プローブ６ａ，６ｂおよび第１コンデンサ４を介して交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給した状態で、第２コンデンサ８および電圧検出用プローブ７ａ，７ｂを介して入力した測定対象体２の両端電圧Ｖｍに基づいて測定対象体２のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定装置１であって、第１コンデンサ４に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数において第１コンデンサ４のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ１の第１コイル５と、第２コンデンサ８に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数において第２コンデンサ８のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ２の第２コイル９を備えている。 （もっと読む）

【課題】ωＣが小さく、対地間抵抗が小さい電力系統などでも使用することができるとともに使用者でも容易に対地静電容量を測定することができる対地静電容量測定装置および方法を提供する。
【解決手段】ωＣ測定部１１は、残留電圧の電圧降下率と電力系統の零相等価回路の回路定数並びに零相等価回路に基づくωＣ演算二次方程式から求まるωＣ値の＋解および−解から算定したアドミッタンスの変化率から求まる残留電圧の電圧降下率とを比較し、ωＣ演算二次方程式から求まるωＣ値の＋解および−解のうち測定結果として採用すべき解を判別して対地静電容量Ｃを測定する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ端部付近における測定値変動を正しく補正し、正確な値を求めることができる半導体ウェーハ抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】４探針抵抗率測定器を用いて半導体ウェーハ１２の抵抗率を測定する半導体ウェーハ抵抗率測定装置において、４探針プローブ１４の４探針に供給する電流の探針と測定する電圧の探針を変更して半導体ウェーハ１２の端部から半径方向の直線上における複数の位置の抵抗率を測定手段により測定する。前記測定手段により測定された複数値に対して演算を行ってから前記各測定位置から前記ウェーハ端部までの距離と半導体ウェーハ上に生成される薄膜の端部までの距離との差による端部補正係数を乗じて抵抗値を得る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定対象１００が予め定められたジッタ伝達特性マスクに適合しているか否かの判定時間を短縮することのできるジッタ伝達特性試験装置及びジッタ伝達特性試験方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明のジッタ伝達特性試験装置１０１は、指定された周波数Ｆ_１，Ｆ_３，Ｆ_５，Ｆ_７及びＦ_９の正弦波成分が含まれる合成正弦波Ｍｆを用いて測定対象１００のジッタ伝達特性Ｔ_Ｍの測定を行うジッタ伝達特性測定部１３と、ジッタ伝達特性測定部１３がジッタ伝達特性Ｔ_Ｍの測定を行う度に、ジッタ伝達特性測定部１３が測定した周波数Ｆ_１，Ｆ_３，Ｆ_５，Ｆ_７及びＦ_９の正弦波成分とは異なる周波数Ｆ_２，Ｆ_４，Ｆ_６及びＦ_８の正弦波成分Ｍｆを指定する正弦波指定部１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電圧または電流どちらか一方が過渡応答変動中の場合においても、誤差の少ないインピーダンス測定が行える交流インピーダンス測定装置を提供すること。
【解決手段】周期信号が重畳された信号を被測定物に印加することにより得られる電流と電圧の少なくとも一方に過渡応答を含むデータをフーリエ変換したデータに基づき、被測定物のインピーダンスを演算するように構成された交流インピーダンス測定装置において、
前記重畳信号周期の整数倍の時間幅を有する変換窓を用い開始時間を順次ずらしながら前記電流と電圧のフーリエ変換を行い、データ列を変換出力するフーリエ変換部と、これら電流と電圧の各フーリエ変換データ列の階差数列を順次算出する階差数列演算部と、この階差数列演算部で求めた電流と電圧の差データの比から前記被測定物のインピーダンスを求めるインピーダンス演算部、を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】所定時間内での取り込み回数を増加させて検出感度を改善し、電荷平均化による電圧変動量の減少を回避して検出精度の改善を図ること。
【解決手段】第１区間では被検出容量Ｃ２１及び参照容量Ｃ２２をＶｄｄにチャージすると共に参照容量Ｃ２３及びＣ２４をグラウンドにチャージし、第２区間では被検出容量Ｃ２１及び参照容量Ｃ２２をグラウンドにチャージすると共に参照容量Ｃ２３及びＣ２４をＶｄｄにチャージするスイッチＳＷ２１、ＳＷ２３と、チャージ期間では被検出容量Ｃ２１及び参照容量Ｃ２２と参照容量Ｃ２３及びＣ２４との間を切り離し、容量分配タイミングでは被検出容量Ｃ２１及び参照容量Ｃ２２と参照容量Ｃ２３及びＣ２４とを接続するスイッチＳＷ２２、ＳＷ２４と、電荷平均化されて参照容量Ｃ２３及びＣ２４にホールドした電圧が差動入力する差動増幅器ＡＭＰ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】探針バイアス方法を用いても高抵抗の半導体薄膜の抵抗率をより正確に測定することができる薄膜抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】薄膜の抵抗率を測定するための薄膜抵抗測定装置１００であって、所定の間隔で離間され、薄膜に接触させて薄膜に所定の定電流を供給するための第１端子１及び第２端子２と、薄膜に接触させて薄膜に所定のバイアス電圧を印加するための第３端子３と、第１端子１及び第２端子２に接続された定電流源１３と、第１端子１及び第２端子２と、第３端子３とに所定のバイアス電圧を供給するためのバイアス電圧印加部１４とを備え、第１端子１は第２端子２に対して高電位であり、第３端子３は、第１端子１を囲むように、ループ状に構成されている、又は、当該第３端子３と第２端子２とによって平面を構成するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】インピーダンスおよびノイズ電流の双方を抵抗測定モードとノイズ電流測定モードとを手動で切り替えずに確認可能とする。
【解決手段】処理部４９は、電圧注入部６１による検査用交流電圧Ｖｘの注入時において電流検出部４３で検出される交流電流に基づいて測定対象回路５に流れる検査電流Ｉｘを検出すると共にこの検査電流Ｉｘと検査用交流電圧Ｖｘとに基づいて測定対象回路５の抵抗値Ｒｘを算出するインピーダンス算出処理と、電圧注入部６１に対して検査用交流電圧Ｖｘの注入を停止させた状態において電流検出部４３で検出される交流電流に基づいて測定対象回路５に流れるノイズ電流Ｉｎを算出するノイズ電流算出処理とを、予め規定された周期Ｔ１で交互に実行することにより、ノイズ電流Ｉｎおよび抵抗値Ｒｘを算出すると共に出力部５０の画面上に更新表示させる。 （もっと読む）

【課題】測定対象体から検出された電流や電圧に歪みが発生したときに誤測定を回避して正確なインピーダンスを測定し得るインピーダンス測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象体１１に交流信号Ｖｓを供給する信号供給部２と、交流信号Ｖｓの供給時における測定対象体１１を流れる電流Ｉ１および電流Ｉ１の供給に起因して測定対象体１１の両端に発生する電圧Ｖ１に基づいて測定対象体１１のインピーダンスを測定する演算制御部６とを備え、信号供給部２は、交流信号Ｖｓを測定対象体１１に供給し、測定部は、電流Ｉ１および電圧Ｖ１の少なくとも一方に含まれている交流信号Ｖｓの歪みを検出すると共に歪みが規定値以上のときに検出信号Ｓ５を出力する歪み検出部５と、歪み検出部５から検出信号Ｓ５が出力されているときに信号供給部２を制御して交流信号Ｖｓの電圧値または電流値を低下させる演算制御部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】導電率を測定する際に、渦電流による損出が起きないようにして、ノイズの低減、Ｓ／Ｎ比の改善、測定感度のバラツキを抑える。
【解決手段】空芯コイルからなる第１のコイル１ａと逆巻きの空芯コイルからなる第２のコイル１ｂを間隔を置いて、かつ、コイル１ａ、１ｂの軸心を一致させて配置する。また、その第１と第２の空芯コイル１ａ、１ｂ間に空芯コイルからなる受信コイル２を配置する。送信コイルは直列に接続して交流信号を入力し、その交流信号と受信コイル２の受信電流の位相差を測定して導電率を求める。こうすることで、コアによる渦電流損失、ノイズの発生、Ｓ／Ｎ比の悪化、測定感度のバラツキが起きないようにして、導電率を測定する （もっと読む）

【課題】従来の手法では実現できない精度の良い過渡的なインダクタンスの時刻歴の演算が可能な過渡的インダクタンス計測方法及び装置を提供する。
【解決手段】交流信号発生器１が正弦波をコイル３及び抵抗器４に印加しているときに、コイル３にインダクタンス急減の契機を与える。第１及び第２の電圧制御型ＢＰＦ６,７を通過した第１及び第２の電圧ｅ(ｔ),ｅ_R(ｔ)は、第１及び第２のクリップ回路８,９によって正弦波からパルス波に変換されて位相比較器１０に入力され、位相比較器１０は両電圧の位相差φ(ｔ)の時刻歴を電圧値の時刻歴として出力する。ＤＳＰ１１は、第１及び第２の電圧制御型ＢＰＦ６,７を通過した第１及び第２の電圧ｅ(ｔ),ｅ_R(ｔ)の時刻歴と、位相比較器１０の出力電圧の時刻歴とに基づいてコイル３のインダクタンスＬ(ｔ)の時刻歴を演算する。 （もっと読む）

【課題】簡便な回路で複数の容量を測定することが可能なＣＶ変換回路を提供する。
【解決手段】反転入力端子が出力端子に接続された演算増幅器１と、抵抗９と、第一の容量２Ａと、第二の容量２Ｂと、第三の容量３Ａと、第四の容量３Ｂと、を有するＣＶ変換回路において、第一の容量２Ａは、第一の信号電圧源４に接続され、インバータ６の入力は第一の信号電圧源４に接続されており、そのインバータ６の出力は、第二の容量２Ｂの接続され、第三の容量３Ａは、第二の信号電圧源５に接続され、インバータ７の入力は第二の信号電圧源５に接続されており、そのインバータ７の出力は、第四の容量３Ｂに接続され、第一の信号電圧源４と、第二の信号電圧源５が、時分割的に信号パルスを発生するとともに、信号パルスに同期して検波する。 （もっと読む）

【課題】交流電源回路を備えることなく二次電池のインピーダンスを測定することができるインピーダンス検出回路、電池電源装置、及び電池利用システムを提供する。
【解決手段】電流検出部３によって検出される電流のピーク値をピーク電流値として検出するピーク電流値検出部４１と、電圧検出部２によって検出される端子電圧のピーク値をピーク電圧値として検出するピーク電圧値検出部４２と、電流値の変化に対する端子電圧の変化の遅れ時間を検出する遅れ時間検出部４３と、電流値及び端子電圧のうちいずれか一方を用いて、当該いずれか一方の変化の過程における一周期を検出する周期検出部４４と、ピーク電流値、ピーク電圧値、遅れ時間、及び周期に基づいて、リチウムイオン二次電池Ｂのインピーダンスを推定するインピーダンス推定部５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 従来の日本工業規格Ｋ７１９４に基づくシート抵抗用測定端子を用いた測定では、測定後に抵抗率補正係数を掛けて測定値を補正する必要があり、装置コストや手間、誤認といった問題があった
【解決手段】４端子法を用いて、薄膜の抵抗測定を測定するために用いる測定用端子において、測定した電圧値を電流値で除したものと薄膜のシート抵抗値とが等しくなるように４本の測定用端子位置を固定した。このことにより、測定の読み取り値がそのままシート抵抗値を示すこととなり、演算のための装置が不要となり、測定時における誤認が防げるようになった。 （もっと読む）

【課題】電極を異なる位置に設置しながら常に歩いて往来する必要がなく、また、試験用機器のメインユニットまで戻ってディスプレイを参照しおよび／またはパラメータもしくは設定を変更する必要がない。
【解決手段】接地抵抗測定および土壌抵抗率測定を実行するために使用される試験用機器は、通信リンクを介して互いに通信するようになされたメインユニットおよびリモートユニットの両方を備える。所望の測定手法により試験用機器を据え付けた後、手順が遂行され、結果として得られた測定値は、次にリモートユニットに表示される。 （もっと読む）