【課題】被測定物の導電性表面における導電率などの電気特性を、複数箇所にわたって簡単にかつ精度良く測定でき、測定値に基づいて導電性表面の汚れの程度などを正確に把握、判定できるようにした、電気特性測定方法および装置を提供する。
【解決手段】被測定物の導電性表面に向けて検出子を押し付け、導電性表面と検出子との間の電気特性を測定する方法であって、導電性表面と検出子との間に導電性の帯状体を介挿し、該帯状体を測定毎に間欠的に検出子に対し相対的に移動させることを特徴とする電気特性測定方法、および電気特性測定装置。 （もっと読む）

【課題】 スカラー方式のＩｇｒ検出器において、絶縁抵抗検出用交流重畳信号が１つのみの場合の問題点を、第一重畳波、第二重畳波を絶縁抵抗検出用信号として用いることにより、実用上の問題を解決可能にする手段を提供する。
【解決手段】 低圧電路４においては、Ｂ種接地線５に対して、重畳信号注入回路の重畳用ＣＴ７から、商用周波数とその高調波に一致しない正弦波交流を第一重畳波とし、第一重畳波の周波数に一致しない非正弦波交流を第２重畳波とし、前記２種類の重畳波を重畳信号として重畳する。そして、低圧電路４に設けた検出用クランプＣＴ８を用いて、電路に流れる前記重畳信号を検知し、入力回路から第一、第二重畳波用ＢＰＦ１５、１６を介して、その検出した情報を抵抗成分演算回路１７を介して、電路の絶縁情報として出力させる。 （もっと読む）

【課題】従来の素子特性測定回路では、同じ測定対象に対して抵抗値と容量値を精度良く測定することができなかった。
【解決手段】本発明にかかる素子特性測定回路は、被測定素子Ｍ１が接続される第１のノードＮ１と、被測定素子Ｍ１と実質的に同じ幅と被測定素子Ｍ１よりも短い長さを有するダミー素子Ｍ２が接続される第２のノードＮ２と、第１の端子ＶＤＤ１と第１のノードＮ１との間及び第２の端子ＶＤＤ２と第２のノードＮ２との間に接続される第１のスイッチ１２と、第１のノードＮ１と第３の端子ＧＮＤとの間及び第２のノードＮ２と第３の端子ＧＮＤとの間に接続される第２のスイッチ１３と、被測定素子Ｍ２上に形成される第１、第２の電圧測定ノードＮ４、Ｎ５と、被測定素子Ｍ２上の第１、第２の電圧測定ノードＮ４、Ｎ５よりも第１のノードＮ１との距離が遠くなる位置に形成される第１の電流入出力ノードＮ３とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】電気回路稼動状態で、電気設備技術基準規定に基くレベルでの対地絶縁抵抗判定を高精度に行なう事が可能な絶縁監視装置を提供する。
【解決手段】被測定回路１と大地間に既知の値を有する模擬回路７２を選択接続し、模擬回路接続前後の対地漏れ電流の変化や模擬回路を通して大地に流れる電流と接続した模擬回路のアドミッタンスを利用する演算によって絶縁抵抗を求める。これによって、変流器の電圧と電流との位相誤差に左右されない高精度な絶縁抵抗測定ができる。さらに、零相変流器の電流検出偏差を補正する事によって、電気設備技術基準に規定される対地絶縁抵抗値（２００Ｖ回路で０．２ＭΩ以上など、抵抗分漏れ電流換算で１ｍＡ）に基き良否判定を正確に行なえる。従って、電気設備個々における絶縁劣化の兆候を早期且つ正確に捉えることができる。 （もっと読む）

【課題】測定される静電チャックに穿孔加工を施すことなく、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】測定される静電チャック１の誘電体層の表面に対向する測定面を有し、その測定面がそれぞれ同一平面内で間隔を空けて配設される一対の導電性ラバー電極１１、１２を備える。この一対の導電性ラバー電極に直流電源１３と電流計１４とが接続されている。導電性ラバー電極１１、１２は、測定面が互いに同一面積になる同一の抵抗値を有する形状であり、体積抵抗率が１×１０^５Ω・ｃｍ以下であり、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲である。導電性ラバー電極１１、１２の間隔は、測定される静電チャック１の誘電体層の厚みの６倍以上である。 （もっと読む）

【課題】環状接続された複数の電子部品のインピーダンスを短時間で測定する。
【解決手段】コンデンサＣ１を測定する測定装置１−１の出力部と、コンデンサＣ１に対して１のコンデンサＣ４を介して隣り合うコンデンサＣ３を測定する測定装置１−２の出力部とが１のコンデンサＣのみで形成される経路で接続され、かつコンデンサＣ１を測定する測定装置１−１における入力部と、コンデンサＣ１に対して１のコンデンサＣ２を介して隣り合うコンデンサＣ３を測定する測定装置１−２の入力部とが１のコンデンサＣ３のみで形成される経路で接続されるように、測定装置１−１，１−２を各コンデンサＣ１，Ｃ３に接続し、測定装置１−１，１−２から出力される各測定用信号の各周波数を互いに等しくした状態において、測定装置１−１，１−２を用いて各コンデンサＣ１，Ｃ３の容量を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象における交流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる、振幅算出装置およびそれを備えるインピーダンス測定装置、ならびに振幅算出方法およびそれを備えるインピーダンス測定方法を提供する。
【解決手段】インピーダンス測定装置１０は、測定部１４を備える。測定部１４は、電圧計１６、電流計１８、およびＣＰＵ２２を有するコントローラ２０を含む。ＣＰＵ２２は電圧計１６によって測定対象１００から時間ｔ₁，ｔ₂の出力Ｙ₁，Ｙ₂を検出する。ＣＰＵ２２は、出力Ｙ₁，Ｙ₂の位相差を用いて振幅Ａを算出する。 （もっと読む）

【課題】絶縁抵抗または漏洩電流を短時間で精度よく測定可能とする。
【解決手段】絶縁抵抗測定装置は、定電圧電源１と、定電流回路２と、オンオフ回路３と、漏洩電流増幅器４と、Ａ／Ｄコンバータ５と、データ処理部６と、定電流吸収回路７と、定電流ブリーダ回路８と、ショート回路９とを備える。１ｋΩ未満の内部抵抗を有する定電圧電源１と定電流回路２を用いて、被測定コンデンサＣ１に短時間だけ定電圧かつ定電流を印加するため、ＪＩＳ規格による測定方法で１分の所要時間を要するコンデンサの絶縁抵抗測定と、ＪＩＳ規格による測定方法で５分の所要時間を要するコンデンサの漏洩電流測定を、いずれも１秒以内という短時間で測定でき、検査工程のスループット向上が図れる。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上し得る検査装置を提供する。
【解決手段】直流信号Ｓ１の印加によって回路基板１００における導体パターン１０１，１０１間を流れる電流Ｉを検出する電流検出部３と、直流信号Ｓ１の印加開始時から所定の待機時間を経過したときに電流検出部３によって検出された電流Ｉの電流値に基づいて導体パターン１０１，１０１間についての絶縁良否を検査する制御部６とを備え、制御部６は、導体パターン１０１，１０１間の容量値の大きさに応じて待機時間の長さを設定する。 （もっと読む）

電気回路の瞬間抵抗値を判定する方法及び電気回路の瞬間抵抗値を判定する計測システムが開示される。方法の例示的な実施例は、回路のその場での瞬間電圧及び回路のその場での瞬間電流を計測し、且つ、瞬間抵抗値を算出する。この方法には、オプションとしての温度計測を包含可能であり、算出された瞬間抵抗値を計測された温度に対して関係付けることができる。方法は、位相角起動型負荷及びゼロクロス（時間比例配分型）負荷に対して適用可能である。
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半導体の表面（５２０）中の、浅い注入のシート抵抗およびリーク電流密度を正確に決定するための方法は、少なくとも１つのセットが１００μｍより小さい平均間隔を有する複数の電極間隔セットを用いて、半導体の表面（５２０）上で、１００μＡより小さい誘導電流を用いて１またはそれ以上の４点抵抗測定を行う。シート抵抗および注入リークは、所定の誤差内で、測定データを理論的なデータに一致させて決定される。
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【課題】高密度の配線パターンに対してもより効率よく四端子測定を行うことのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】その基板検査装置は、複数の被検査点が設定された複数の配線を有する被検査基板の前記被検査点に接触する複数の検査用プローブを使用する。各検査用プローブは、電圧測定用のプローブと電流供給用のプローブとからなる。その基板検査装置は、さらに、複数の電流供給用のプローブを群ごとに電気的に相互に接続する接続部材と、その接続部材を経由してその群に電流を供給する電流供給手段と、群に属する電流供給用のプローブに対応する電圧測定用のプローブと、その群とは異なる他の群に属する検査用プローブに対応する電圧測定用プローブとの間の電圧を測定する電圧測定手段と、電流供給手段の供給電流値と電圧測定手段の測定電圧値とから前記被検査点の２つの間の配線の抵抗値を算出する算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】共同接地線にて共同接地系を形成した配電線路の接地抵抗を合成接地抵抗の値に基づき管理できる接地抵抗管理方法を提供することである。
【解決手段】地絡電流が接地抵抗に流れ込む接地極の分流範囲を予め求めておき、配電線路の複数箇所の接地極を測定地点として共同接地線に電圧を印加し、戻ってくる電流および印加電圧に基づいて測定地点を含む分流範囲の合成接地抵抗を求め、求めた合成接地抵抗に基づいて配電線路の接地抵抗を管理する。 （もっと読む）

【課題】４端子法の電気抵抗測定法においては、端子Ｔａと端子Ｔｂとの間に、または端子Ｔｃと端子Ｔｄとの間に、接触抵抗測定電圧Ｖを印加していたので、接触抵抗の状態によっては試料３に課題な電圧が印加されて該試料が破損するおそれが有った。これを改良して、試料３の破損を防止する。【解決手段】端子Ｔａに対してグランド基準でＶ／２の電位を印加するとともに、端子Ｔｂに対してもグランド基準でＶ／２の電位を印加することによって、端子Ｔａと端子Ｔｂとの間に抵抗測定電圧Ｖを印加する。これにより、接触抵抗の状態が最悪の場合でも試料３に対する印加電位はグランド基準でＶ／２を超えることが無くなる。端子Ｔｃと端子Ｔｄに対しても同様に、グランド基準で＋，−Ｖ／２の電位を印加する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、精度良く表面抵抗率を測定可能な表面抵抗率測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる測定部材としての測定対象フィルム１４の膜厚と同一の間隔となるように表面電極３０及び表面電極３２の間隔を調整し、表面電極３０及び表面電極３２に所定電圧値の電圧を印加したときに表面電極３０と表面電極３２との間に流れる電流の電流値と、表面電極３０及び表面電極３２に印加した電圧の電圧値と、表面電極３０と表面電極３２との間隔と、に基づいて、表面抵抗率を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定抵抗の態様を選ばず、短時間で抵抗値を測定することができる抵抗値測定システムを提供する。
【解決手段】測定抵抗ＲＳに対して並列接続され、測定抵抗ＲＳとともに並列回路を構成するバイパス抵抗ＲＡと、前記並列回路に対して接続される電源Ｖと、前記並列回路に掛かる電圧を変化させる電圧変化手段と、電圧変化手段による前記並列回路に掛かる電圧の変化前後において前記並列回路の所定箇所を流れる電流の電流値を測定する電流計Ａと、電流計Ａにより測定される電流値に基づいて前記測定抵抗ＲＳの抵抗値を判断する判断手段と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】、測定周波数やコンデンサの容量も上げることなく、低いリーク抵抗の検出が可能なリーク検出装置を提供する。
【解決手段】リーク検出装置２０は、マイコン５の出力ポートから一定電圧振幅の矩形波を、コンデンサ３を介して電池群１とシャーシグラウンドとの間に引加し、コンデンサ３に流れる電流を測定することで、車体と電池群１との間のリークを検出する。コンデンサ３に流れる電流を測定するために、マイコン５の出力ポートからの出力が演算増幅器１１の正相入力に接続されており、演算増幅器１１の出力は電流検出用抵抗１１を介してコンデンサ３に接続されており、かつ、コンデンサ３と電流検出用抵抗１１との接続点が演算増幅器１１の逆相入力に接続されており、更に、電流検出用抵抗１１の両端の電圧を演算増幅器１６及び抵抗１２〜１５で構成される差動増幅器の入力とし、該差動増幅器の出力電圧を検出する。 （もっと読む）

【課題】 抵抗測定時のノイズの影響を抑制可能な抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】 円柱状部材１４の外周面の少なくとも一部が、円柱状部材１４の軸方向に長い導電性部材１４Ａによって構成され、体積抵抗測定時には、回転電極２０、２２を、測定対象部材１２を介して導電性部材１４Ａに対向するように配置された状態で、測定対象部材１２に対して導電性弾性部材１４Ａの長尺方向に相対移動させる。また、円柱状部材１４の少なくとも一部を、円柱状部材１４の軸方向に長い絶縁性弾性部材１４Ｂによって構成し、表面抵抗測定時には、回転電極２０，２２を、測定対象部材１２を介して絶縁性弾性部材１４Ｂに対向するように配置された状態で測定対象部材１２に対して絶縁性弾性部材１４Ｂの長尺方向に相対移動させる。 （もっと読む）

シングルウェルまたはマルチウェルマイクロタイタープレートのそれぞれのウェルの複素インピーダンス（complex impedance ）を計測するインピーダンス計測システム（ＺＭＳ）を提供する。本ＺＭＳは、並列インピーダンス計測チャネルおよび複数のマイクロタイタープレートセンサおよびレファレンスインピーダンスネットワークをチャネルに相互接続するインピーダンス計測チャネルのマルチプレクシングの新規な組み合わせを利用し、それによりインピーダンス計測ドリフトの内部補正、最大化された計測正確性、および最小化されたシステムサイズを可能にする。
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本発明は電子部品に関連する特性の動的測定の分野に関し、この測定は連続的（ＣＷ）又はパルスの動作モードに対して実行され得る。その主題は以下のステップ、
ａ）その間に持続時間ＴのＣＷ信号が、発生時点ｔ０に構成部品の入力へ加えられる、構成部品を刺激するためのステップと、
ｂ）刺激された入力において、構成部品に対する入力信号と反射信号との振幅及び位相を測定するためのステップと、
ｃ）測定された信号の振幅及び位相から始まる、構成部品の瞬時インピーダンスを計算するためのステップと、
ｄ）該刺激を停止するためのステップと
を含む電子部品の動的インピーダンスを測定するための方法である。この方法はステップａ）〜ｄ）が、刺激の持続時間Ｔ及び時間間隔Δｔの値が各反復の際に増加し、２つの連続する反復はその間に内部温度が周囲温度に戻るような方法で該構成部品の電圧が断たれる中間ステップにより分離される、反復的方法で繰り返されるという点で特徴付けられる。本発明は特に、例えばダイオード又はトランジスタのようなマイクロ波電子部品の非線形インピーダンスの動的測定に適用可能である。 （もっと読む）