【課題】製造時に効率よくセンサチップをセンサベースに固定することができるガスセンサを提供することにある。
【解決手段】センサベース５と、センサベース５の主表面に対してその主表面が垂直になっている加熱型センサチップ１を備えたガスセンサであり、別の態様として、センサベース５と、加熱型センサチップ１と、前記センサチップ１に接続された複数のワイヤ２と、前記センサベース５に一列又は二列に立設され、前記ワイヤ２を介してセンサチップ１を保持する複数のピン３とを備えたガスセンサであり、前記ガスセンサにおいて前記加熱型センサチップ１を覆うセンサカバーを備えたこと、又は前記センサベースの主表面が方形であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 酸性ガス雰囲気下においても十分に安定して動作できる湿度センサ素子を提供すること。
【解決手段】 本発明は、基板１の一側に対向するように形成された一対の電極３、一対の電極３上に設けられる感湿膜９を備え、感湿膜９が下記一般式（ＩＩ）：


〔上記一般式（ＩＩ）中、Ａ及びＢはそれぞれスルフォニル基（−ＳＯ_２−）若しくはカルビニル基（−ＣＯ−）で表される二価基、Ｒ１は置換基を有しても良い一価又は二価の有機基、Ｒ２は二価の有機基である。Ｍは、アルカリ金属等を表し、同一分子中に複数の種類を含んでいても良い。ｎは２以上の正の整数である。〕で表される構造を含有する湿度センサ素子１００である。この湿度センサ素子１００によれば、酸性雰囲気下においても十分に安定して動作できる。 （もっと読む）

【課題】 結露が十分に防止され、装置の小型化が可能で、且つ、十分な検知感度を有するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 化学的にガスを検知するセンサ素子部１００と、センサ素子部１００に接して設けられ水分を除去する水分除去部５０と、を備えるガスセンサ１ａ。 （もっと読む）

【課題】 高い温度でも好適に水蒸気や水素分子を含む可燃性ガスのガス濃度を測定できるガスセンサ及びガス濃度測定方法を提供すること。
【解決手段】
固体電解質のジルコニアを主成分とする基体９に、被測定ガスと接する検知電極１１と検知電極１１の対極となる相手電極１３とを配置したセンサ素子３を用い、被測定ガス中のガス濃度を測定するガス濃度測定方法において、検知電極１１として酸化インジウムを用い、被測定ガス中にセンサ素子３を配置して、検知電極１１と相手電極１３との間の交流インピーダンスを測定することにより、水蒸気の濃度を検知する。 （もっと読む）

【課題】 位置精度よく印刷することができるスクリーン印刷方法を提供すること。
【解決手段】 スクリーンマスク１２０に、スクリーンマスク１２０と基板１０との位置合わせ基準となる基準パターン孔１２４を設け、パターン孔１２１と基準パターン孔１２４との位置関係に応じて、基板１０上に、基準パターン孔１２４を介して印刷される基準パターン６０ａと略同一の形状及び大きさを有する位置合わせパターン６０ｂを設けた。そして、スクリーンマスク１２０をダミー基板２００に当接させて印刷し、ダミー基板２００上に印刷された基準パターン６０ａの位置を検出した後、検出された基準パターン６０ａの位置と位置合わせパターン６０ｂが略同一位置となるように基板１０を位置決めし、この位置決め状態でスクリーンマスク１２０を当接させて印刷するようにした。 （もっと読む）

【課題】水素ガスによる誤動作を防止するとともに、ガス漏れ警報の鳴り止み現象を防止したガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置は、検知対象ガスのガス濃度に応じて抵抗値の変化する感ガス体２０を有するセンシング素子Ａと、ヒータ兼用電極２１の通電を制御して高温加熱期間と低温加熱期間を交互に設ける加熱制御手段、高温加熱期間における感ガス体２０の抵抗値から求めたメタンガス濃度が警報レベルを超えるとガス漏れ警報を出力する警報手段、低温加熱期間に切り替わった直後の水素ガスに対して弁別性のある期間において、感ガス体２０の抵抗値から求めた水素ガス濃度が判定レベルを超えると、警報レベルを高濃度側に補正する補正手段、及びガス漏れ警報が出力されると補正手段による補正動作を停止させる補正停止手段としての機能を有するマイコン３とを備える。 （もっと読む）

本発明は、酸化性ガスに対する感度が優れている酸化性ガスセンサを提供する。本発明の酸化性ガスセンサは、板厚方向に空間部２１を形成してなる基板２と、この空間部２１を覆うように基板の表面に形成される絶縁層３と、この絶縁層３の内部であって空間部２１に対応する位置に形成される発熱体５と、絶縁層３の表面であって発熱体５に対応する位置に形成されるガス感応体４と、このガス感応体４に接して設けられる一対の電極６と、を有し、ガス感応体４は、酸化スズを主成分とする薄膜状の感応層４１と、この感応層の表面の少なくとも一部に形成され、金を主成分とし、且つ通気性を有する触媒部４２と、を有する。触媒部は、質量膜厚が０．００８〜１７０ｎｍであることが好ましい。また、感応層は、柱状の酸化スズ結晶粒子が集合してなる構造を有しており、結晶粒子の平均短軸径が７〜６５ｎｍであることが好ましい。
（もっと読む）

【課題】 感応膜の形成材料及び膜厚に工夫を凝らし、熱的耐久性やセンサ感度をより一層向上させるようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】 アンモニアガスセンサの感応膜４０は、固体超強酸物質でもって、３０（μｍ）よりも厚くかつ１００（μｍ）以下の膜厚を有するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】感ガス体を小型化しても特に一酸化炭素を検知するにあたっての検知感度の経時安定性を高く維持することが可能であり、消費電力を抑制すると共に高い信頼性を確保することができる半導体ガスセンサを提供する。
【解決手段】金属酸化物半導体として酸化スズを含有する感ガス体Ａを備える。感ガス体Ａは、その表面から深さ６０μｍまでの表層領域２に第一添加物としてパラジウムを含有すると共に、第二添加物としてタングステン、モリブデン、バナジウムから選択される少なくとも一種の金属を含有する。前記表層領域２における第二添加物の含有量は、表層領域２におけるスズ原子の総量に対して０．２〜６．０質量％の範囲である。 （もっと読む）

【課題】装置全体の小型化および低コスト化を図れる湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０と温度センサ２０とを同一の素子形成基板１に集積化した複合センサ素子Ａを備えている。湿度センサ１０は、第１の下部電極１１と、第１の多孔質構造部１２と、第１の表面電極１３とで構成され、温度センサ２０は、第２の下部電極２１と、第２の多孔質構造部２２と、第２の表面電極２３とで構成されている。第１の下部電極１１と第２の下部電極２１とは構成材料および膜厚を同じとしてあり、第１の表面電極１３と第２の表面電極２３とは構成材料および膜厚を同じとしてある。第１の多孔質構造部１２と第２の多孔質構造部２２とは同一構造であって、素子形成基板１の一表面側に成膜したノンドープの多結晶シリコン層に対して陽極酸化処理および酸化処理を行うことにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】水分の吸着により抵抗値が変化する感湿素子を湿度センサとして利用した湿度センサ装置に比べて長寿命化が可能な新規の湿度センサ装置を提供する。
【解決手段】湿度センサ１は、表面電極７と下部電極１２との間に電子通過部６を有し大気圧中へ電子を放出可能な電子源１０と、表面電極７に対向配置されるアノード電極１４と、表面電極７と下部電極１２との間に表面電極７を高電位側として駆動電圧を印加する駆動手段としての駆動電源Ｅｄと、アノード電極１４と表面電極７との間にアノード電極１４を高電位側として加速電圧を印加する加速電圧印加手段としての加速用電源Ｅａとを備える。信号処理部５０は、アノード電極１４と表面電極７との間に流れる電流の電流値に基づいて湿度を求める演算手段を備える。電子源１０の表面電極７は、電子通過部６が湿度の影響を受けるのを防止する防湿手段としての防湿部８を兼ねている。 （もっと読む）

【課題】 被検知ガスのガス感度、ガス検知時の応答性、被毒ガスに対する耐久性に優れたガス感応部を有する半導体式ガス検知素子を提供する。
【解決手段】 検出電極２，３を覆うと共に被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応層５を備えた半導体式ガス検知素子であって、ガス感応層５を、コア粒子５１ａと、コア粒子５１ａの表面を覆う金属酸化物の微粒子層５１ｂとからなる構成粒子が集合したポーラス構造に形成してある。 （もっと読む）

【課題】 部品点数を増加させることなく簡単な構成で、環境変化による影響を低減できるガス検知装置を提供する。
【解決手段】 半導体式ガスセンサ２０を間歇駆動させてガスを検知するガス検知装置１０において、半導体式ガスセンサ２０の駆動開始直後のセンサ出力Ｖ_０と、駆動開始後の安定した状態のセンサ出力Ｖ_１とに基づき、Ｖ_２＝Ｖ_１＋Ｃ（Ｖ_０）（但し、Ｖ_２：センサ出力補正値、Ｖ_１：安定した状態のセンサ出力、Ｖ_０：駆動開始直後のセンサ出力、Ｃ：補正関数）として、半導体式ガスセンサ２０のセンサ出力補正値Ｖ_２を算出し、このセンサ出力補正値Ｖ_２に基づいて、ベース出力の変動の有無を判定するガス検出判定手段３０を有する。 （もっと読む）

【課題】６５０℃〜９５０℃までの領域において検出される例えばＯ_２のようなガス成分を検出又は測定するためにプラットフォームチップ加熱を必要とする又は６００℃より上の熱い排気ガスにおいて測定を持続的に行うことができる、ガス濃度検出のためのセンサを提供することである。
【解決手段】上記課題は、外部影響にさらされる導電体構造を有するプラットフォームチップ又は高温安定センサにおいて、導電体構造は導電性酸化物を有し及び／又は導電体構造の部分は５００℃より上の、とりわけ６００℃と９５０℃との間の高温負荷の下で持続的に安定的な抵抗特性曲線を有することに解決され、さらに、プラットフォームチップ又はセンサを製造するための方法において、懸濁液は貴金属粒子を有し、この貴金属粒子は５０ｎｍ、とりわけ２０ｎｍより小さいことによって解決される。 （もっと読む）

【課題】 被検出ガスに含まれる水分の濃度の変動をも考慮して、当該被検出ガス中のアンモニアガス成分をインピーダンス変化式検出素子でもって精度よく検出するようにしたアンモニアガス検出装置及びアンモニアガス検出方法を提供する。
【解決手段】 インピーダンス変化式検出素子７０は、選択還元触媒１４の下流側にて排気ガスに含まれるアンモニアガス成分を検出し出力電圧として発生する。マイクロコンピュータは、第１及び第２の作動条件の各成立時にそれぞれ検出素子７０により発生される各出力電圧を予め記憶し、これら各記憶出力電圧とは別に上記第１及び第２の作動条件の各成立時にそれぞれ検出素子７０により発生される各出力電圧と上記各記憶出力電圧との間において排気ガス中の水分の濃度に応じた検出素子７０のインピーダンスの変化を補正するように定めてなる所定の関係に基づき、上記検出素子７０により任意に発生される検出出力を補正する。 （もっと読む）

【課題】 インピーダンス変化式検出素子の加熱により感応膜の付着成分を除去した後、被検出ガス中のアンモニアガス成分に対する当該検出素子の検出出力を設定し、この設定出力に基づき検出素子の検出出力を補正することで、アンモニアガス成分を精度よく検出するようにしたアンモニアガス検出装置及びアンモニアガス検出方法を提供する。
【解決手段】 インピーダンス変化式検出素子７０は、選択還元触媒１４の下流側にて排気ガスに含まれるアンモニアガス成分に感応しプロトンのホッピング伝導を利用して、上記アンモニアガス成分を検出し出力電圧として発生する。マイクロコンピュータは、検出素子７０の加熱処理後、検出素子７０からの出力電圧を零点電圧として設定し、その後の検出素子７０からの出力電圧を上記零点電圧に対する変化率を算出して補正する。 （もっと読む）

【課題】 感応部と基板とが強固に密着しているとともに、極めて低濃度の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を検知する高感度の感応部を有するガス検知素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 揮発性有機化合物を検知するガス検知素子１は、基板１０と、前記基板上に設けられた金属酸化物を主成分とするガス感応部３０とを含んでなり、前記金属酸化物が、高周波誘導プラズマ溶射法により溶射された後、熱処理されたものであることを特徴とする。揮発性有機化合物を検知するガス検知素子１の製造方法は、高周波誘導プラズマ溶射法により基板１０上に金属酸化物を溶射する工程と、この溶射された金属酸化物を熱処理する工程とを含んでなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 特に熟練を要することなく、必要に応じて、揮発性成分を一定条件下で簡便に、かつ、精度良く検出できるようにする。
【解決手段】 略一定量の液体Ａ，Ｂを上部に空間を残して収容可能な検出用容器１と、検出用容器の液体中で気泡を吹き出し可能なノズル４と、ノズルに吹き出し用の加圧気体を供給可能な加圧気体供給装置Ｌとを設け、検出用容器の上部に連通する連通路５に、揮発性成分を検出可能なセンサＳの検知部を臨ませて、検出用容器の液体から揮発した揮発性成分を連通路に導入してセンサで検出可能に設けてある揮発性溶解物の検出装置であって、液体を収容可能な液体容器２，３を設けるとともに、液体容器の液体を検出用容器に供給可能な供給機構Ｄと、略一定量を越える液体を検出用容器から容器外部にオーバーフローさせるオーバーフロー機構Ｅとを設けてある。 （もっと読む）

【課題】 湿度センサを回路基板へ実装するにあたって、他部品と一括して容易に実装できるようにする。
【解決手段】 基板１０の一面１１側にセンシング部７０を有してなる湿度センサ１００と、湿度センサ１００と電気的に接続される回路基板４００とを備え、回路基板４００には、基板厚さ方向に貫通する基板貫通穴４４０が形成され、湿度センサ１００は、基板１０の一面１１を回路基板４００に対向させつつ、基板貫通穴４４０を覆うように、回路基板４００上に搭載され、湿度センサ１００においては、センシング部７０が基板貫通穴４４０に臨んでおり、基板貫通穴４４０の周囲にて基板１０と回路基板４００とが導電性接合部材４１０を介して電気的に接続されていることを特徴とする湿度センサの実装構造を提供する。 （もっと読む）

【課題】 運転状態や停止状態を有するシステムにおいて、利便性を高めることができ、システムの状態に適したガスの検出を行うことができるガス検出システムおよび燃料電池車両を提供する。
【解決手段】 接触燃焼式ガスセンサ１ａと、半導体式ガスセンサ１ｂと、を備え、少なくとも発電を行う運転状態と、停止状態とを有するガス検出システム１０において、前記運転状態には、前記接触燃焼式ガスセンサ１ａにより検出対象ガスを検出し、前記停止状態には、前記半導体式ガスセンサ１ｂにより検出対象ガスを検出する。 （もっと読む）