【課題】常温においても、高感度で水素ガスを検知することができる白金複合酸化タングステン膜の製造方法を提供する。
【解決手段】a)アルコール溶媒中の酸化タングステン前駆体を含む前駆体溶液を作製する工程と、b) 前記前駆体溶液に白金化合物を添加して、白金化合物含有前駆体溶液を形成する添加工程と、c) 前記白金化合物含有前駆体溶液を熟成させる熟成工程と、d) 熟成工程後に、前記白金化合物含有前駆体溶液を基材上へ塗布し、塗布層を形成する工程と、e) 前記塗布層を乾燥する工程と、f) 前記乾燥後の塗布層を焼成して、白金複合酸化タングステン膜を形成させる焼成工程、を含む、白金複合酸化タングステン膜の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】熱圧着工程により金属酸化物の微細構造が速い応答速度と高感度センシングのためのガス拡散性及び比表面積が大幅に増加したナノロッド及び／又はナノグレイン構造を有し、多孔性の金属酸化物繊維とセンサ基板との接着性を増大し得る超高感度の金属酸化物ガスセンサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】センサ電極と、該センサ電極上に形成され、単結晶のナノロッドを含むナノ繊維のネットワーク構造を有する多孔性金属酸化物薄層とを金属酸化物ガスセンサが備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】短時間にて簡易に形成してなる感応層を有するアンモニアガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサの製造にあたり、感応層４０は、ＹＳＺ粉末及びWO₃粉末を互いに別々に併行して作製した後、これらＹＳＺ粉末及びWO₃粉末を混合して混合物とし、この混合物からなるペーストを基板１０の電極表面側部位に一対の電極２０、３０を介しスクリーン印刷して形成されている。 （もっと読む）

【課題】特定ガスの濃度変化を良好に検出する上で、絶縁性の密着層を介したガス検知層と検出電極との電気的な接続を図り、製造の際の手間を軽減できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガス検知層４と絶縁被膜層３またはその上部に形成した検出電極６との間に密着層７を形成し、両者の密着性を高め剥離を防止する。この密着層７を絶縁性酸化物から構成することで、ガス検知層４の特性に対し影響が生じない。そして、この密着層７の一部を、ガス検知層４を構成する物質の一部が貫通することで（図中点線で囲った部分）、ガス検知層４と検出電極６とが電気的に接続され、特定ガスの濃度変化に応じて変化するガス検知層４の電気的特性が検出される。 （もっと読む）

【課題】ガス応答特性の異なる種々のガスセンサを得る。
【解決手段】ガス測定装置はガス応答特性の異なる２個以上のガスセンサを含む。各ガスセンサは、絶縁基板１上に形成された２個以上の電極３，３間に導電性高分子からなる感応膜７が設けられ、その感応膜７にガス中の測定対象成分が付着した際の電極３，３間の電気的変化により測定対象成分を測定するものである。それらのガスセンサの少なくとも１個はその感応膜７が複数種のドーパントを含んでいることにより他のガスセンサとは異なったガス応答特性をもっている。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィ技術を用いることなく、また、大型化を招くことなく、検出感度の非常に高い半導体ガスセンサを容易かつ低コストに得られるようにする。
【解決手段】 基板１上に設けた一対の電極２，３間に金属酸化物半導体層４を形成し、この金属酸化物半導体層４中に、導電性微細粒子群９を一対の電極２，３間の全域に亘り連続コンタクトしないで、電極２，３間に少なくとも一つの微小ギャップｇが形成されるような拡散状態に混在させてある。
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【目的】ガス濃度に対するセンサ抵抗の変化率（勾配）が大きく、少なくともCO検知濃度範囲（30ppmCO〜500ppm CO/air）で出力の直線性が高いCOセンサを得ることができる薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【構成】Si基板Bの１面に形成された絶縁支持薄膜L上に、少なくとも、薄膜のヒータHを形成し、この薄膜のヒータをSiO₂などの絶縁膜L4で覆い、その上にガス感知膜用の電極Eを形成し、さらにSnO₂を主成分とするガス感知膜Sを形成する薄膜ガスセンサの製造方法において、ガス感知膜の形成工程を、スパッタによるSnO₂成膜工程と逆スパッタによるエッチング工程とを交互に行うようにする。 （もっと読む）

ガス検知半導体素子。ガス検知半導体素子１’は、ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時に形成されるドープされた単結晶シリコンから成る抵抗性ヒータ６が埋込まれる二酸化シリコン薄層３’を有するシリコン基板２’上に作製される。素子１’は、絶縁層４’によってヒータ６’から分離されたガス感知層９’を備えた検知領域を含む。作製の最終工程の１つとして、基板２’は、検知領域に薄膜を形成するためにバックエッチングされる。ヒータ６’は、熱拡散プレート１６’を包囲する略円形の構造を有し、弓形部分が互いに入れ子になって入り組んだ形態で相互接続されている２つの湾曲した抵抗器２０’，２１’から成る。ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時にヒータを作製することは、ＣＭＯＳ工程後のバックエッチングおよびガス感知層の蒸着の他、ＩＣ処理工程で既に採用されている作製工程以外の工程を要することなくガス検知半導体素子が製造されるという点で、特に有利である。この円形の形状は、電力損失および加熱面積を一定として膜の大きさを最小にするには最善の解決策であることから、利点である。
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【目的】長期のパルス駆動においてもPt感知膜電極とSnO₂ガス感知膜の間に問題の発生しない薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【構成】Si基板Bの貫通孔の一端を覆って張られその周縁がSi基板に固定された、酸化ケイ素または／および窒化ケイ素などからなる支持膜L1〜L3（ダイヤフラム構造という）上に、少なくとも、薄膜ヒータHが形成され、これを被覆する絶縁膜L4上に一対のPt感知膜電極Eを有するSnO₂ガス感知膜Sが形成されてなる薄膜ガスセンサにおいて、前記Pt感知膜電極と前記SnO₂ガス感知膜の間に、Sn-Ptからなる合金中間層Iを設ける。 （もっと読む）

【課題】ヒータの温度を適切に制御することにより高い精度でガスを検出することができるガス検出装置の温度制御装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス検出装置の温度制御装置は、ガスセンサ部１２、温度に応じて抵抗値が変化するヒータ１５と、ガスセンサ部１２とヒータ１５との間に配置された絶縁層と、ガスセンサ部１２およびヒータ１５の動作を制御するエンジン制御装置３０を備えている。エンジン制御装置３０は、ヒータ１５への加熱のための通電を停止している期間におけるヒータ１５の抵抗値に応じてヒータ１５の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】
消費電力の増加を極力抑えつつガス感知層による吸湿を抑止して高い感度を維持するようにして、環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ガス感知層がガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動するガス検知駆動（Ｈｉｇｈ状態）と、ガス感知層が吸湿抑制温度となるように所定期間にわたりヒーター層をＯＮ／ＯＦＦ駆動する（パルスＯｎ状態とパルスＯｆｆ状態とを交互に繰り返す）吸湿抑制駆動と、を交互に行って、ガス感知層５の吸湿を抑制するような薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】大気中の一酸化炭素や炭化水素の濃度を検出するガスセンサを提供する。
【解決手段】酸化物半導体微粒子により構成されている多孔体からなるガス検出部分を少なくとも二つ備え、その一つは特定可燃性ガス成分をガス検出部分に到達させないための触媒層を有し、もう一つは前記触媒層を有さず、前記特定可燃性ガス成分以外のガスに対する前記触媒層を有するガス検出部分の電気抵抗値と前記触媒層を有しないガス検出部分の電気抵抗値とがほぼ相殺されるようにこれらのガス検出部分を接続する電気回路を備えたガスセンサ。
【効果】大気中の一酸化炭素や炭化水素の濃度を高精度に検出できる新しいタイプのガスセンサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】特定物質の濃度を高感度に検出する、単純な構造のバイオセンサーを提供する。
【解決手段】液体試料中の基質または金属イオンを検出するバイオセンサーであって、基板１１上に配置された一対の電極１２と、一対の電極１２間の基板１１上に複数の微粒子１３を配列形成してなる微粒子層１４と、微粒子層１４の表面に固定されるとともに基質に特異的に作用する酵素１５と、一対の電極１２に接続されるとともに、微粒子層１４の電気伝導度を測定する測定器２０とを備えたことを特徴とするバイオセンサー１である。 （もっと読む）

【課題】 被検査部の状況を確実に認識し、迅速かつ的確なガス検知を行えるガス検知装置を提供する。
【解決手段】 被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応部を備えたガス検知素子１と、ガス検知素子１から出力を得る出力検出部３と、出力検出部３で得られた値に基づき被検知ガスの濃度レベルを判別する判別手段９と、ガス検知対象となる被検査部から被検知ガスを採取するガス採取部８とを設けたガス検知装置Ｘにおいて、ガス採取部８の先端部分８１及びその周辺の少なくとも何れか一方に向けて、照明光を照射可能な照明手段４を設ける。 （もっと読む）

【課題】 金属酸化物結晶形成の際の結晶子径制御と焼成時の結晶成長に伴うメソ構造崩壊抑制により、比表面積の大きいメソ多孔質金属酸化物結晶材料を提供し、金属酸化物ガス検出素子、光触媒等の高感度化、高効率化を実現する。
【解決手段】 メソ多孔質テンプレートの空孔に金属酸化物前駆体を充填し、金属酸化物前駆体充填メソ多孔質シリカを加水分解水溶液に添加し、空孔内部において金属酸化物前駆体の加水分解反応を進行させ、細孔内に多数の金属酸化物結晶を生じさせる。次いで、３００℃以上で加熱焼成することにより結晶子径を１〜２ｎｍに抑えつつ結晶成長させ、しかる後、テンプレート部分をＮａＯＨまたはＨＦ水溶液により溶出せしめることによりメソ多孔質を有し、結晶子径が１〜２ｎｍの金属酸化物材料を形成する。 （もっと読む）

【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）

基板（１）に配置された第１のメタライゼーション平面と、この第１のメタライゼーション平面に被着された、コンタクト孔（７）によって構造化されたパッシベーション層（６）と、このパッシベーション層（６）にかつコンタクト孔（７）内に厚膜技術で形成された感応性のセラミックス層（９）とを備えたセンサにおいて、セラミックス層（９）の固着を改善するために、第２のメタライゼーション平面として形成されていて、パッシベーション層（６）とセラミックス層（９）との間に配置された定着剤層（８）が設けられていることが提案される。
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【課題】測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブセンサは、半導体カーボンナノチューブ材料２と金属電極１ａ，１ｂ間にショットキー接合部６が形成されていることを主要な特徴とする。また、その製造方法は、半導体カーボンナノチューブ材料２と金属の仕事関数を測定ガス雰囲気下でそれぞれ測定し、ｐ型又はｎ型に応じて金属の仕事関数と比較して仕事関数の大きな又は小さな半導体カーボンナノチューブ材料２を選び、この金属電極間に架橋することを特徴とする。 （もっと読む）

第１及び第２のガス判定部４ａ，４ｂは、所定のサンプリング周期で第１及び第２のセンサ１，２の出力を取り込み、この出力と第１基準値との偏差から求めた空気の汚れ度合いを示す第１汚れ信号が所定の検知レベルを越えるとガス検知信号を出力し、このガス検知信号を受けて切替制御部５がダンパ２０を内気循環に切り替える。基準値更新部６は、サンプリング周期よりも長い第１更新周期が経過する毎に、各センサ１，２の今回の出力から前回更新時の第１基準値を差し引いた値に所定の更新比率を掛け合わせ、さらに前回更新時の第１基準値を加えた値を、新たな第１基準値としており、汚れ方向に第１基準値を更新する場合に比べて清浄方向に第１基準値を更新する場合の更新速度を速めている。
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【課題】電気接点数を低減することが可能な、ガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの信号ラインを有する、センサ・アレー、特にガスを検出するためのガス・センサ・アレーの作動回路装置において、少なくとも１つの信号ラインが少なくとも２つの並列ライン・ブランチに分岐され、少なくとも２つの並列ライン・ブランチ内にそれぞれ、少なくとも１つのセンサと、それぞれのセンサに直列に結合されている少なくとも１つのダイオードとが配置される。この場合、少なくとも２つのダイオードは電気的に逆の遮断方向を有し、少なくとも１つの信号ラインに印加された電位の極性により、少なくとも１つの信号ライン内を流れる電流の少なくとも大部分が、第１の並列ライン・ブランチ内を流れたか、または第２の並列ライン・ブランチ内を流れたかが決定される。 （もっと読む）