【課題】 常温で動作する金属酸化物半導体ガスセンサーを提供する。
【解決手段】 平板状のセンサー基板１と、該センサー基板１上に形成される電極２，２と、該電極２，２上に形成される、酸化テルルナノワイヤーからなる薄膜層３と、を備えるガスセンサーである。酸化テルルナノワイヤーは、金属テルルおよび生成基板を同時に加熱し、生成基板上に成長させる。ナノワイヤーを水またはアルコールに投入して懸濁液を生成し、この懸濁液を、電極を形成したセンサー基板上に滴下して乾燥させることで、酸化テルルナノワイヤーからなる薄膜層を備えるガスセンサーが得られる。 （もっと読む）

【課題】水素等の可燃性ガスの影響及びＮＯx等の酸化性ガスの影響を低減することができ、従来に比べて臭気ガスに対する検知精度及び検知感度の向上を図ることのできるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、矩形状の平面形状を有し、シリコン基板２の上面に絶縁被膜層３が形成され、この絶縁被膜層３には、発熱抵抗体５が内包されるとともに、その上面には密着層７およびガス検知層４が形成された構造を有する。ガス検知層４は、金属酸化物としてＳｎＯ₂とＩｎ₂Ｏ₃の少なくとも２種と、Ｉｒとを含む。 （もっと読む）

【課題】ＮＨ₃ガスが、被検出雰囲気中において、ＮＯ₂等の他のガスと共存しても、ＮＨ₃ガスに対するガス選択性を良好に確保するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、絶縁基板１１０、一対の櫛歯状電極１２０、１３０及び感応層１４０からなるセンサ素子１００を備えている。このセンサ素子１００において、一対の櫛歯状電極１２０、１３０は、母材である金（Ａｕ）及びこの金に添加されたある種の添加材を主成分とする電極材料でもって形成されている。ここで、上記ある種の添加材としては、アルカリ土類金属酸化物、ＲＯ系ガラス或いはＰｂＯ系ガラスが挙げられる。 （もっと読む）

【課題】定電圧源の不安定性や周囲温度の変動等により影響を受けずに、高精度にガスを検出する。
【解決手段】第１のガス検出装置は、ガス検出部と基準信号出力部と差分検出部と加熱制御部とを備える。ガス検出部は、第１の半導体式ガスセンサと、第１の半導体式ガスセンサに電流を流す第１の定電圧電源と、加熱信号を入力して第１の半導体式ガスセンサを加熱する第１の加熱部と、第１の加熱部の温度を検出する第１の温度センサとを有する。基準信号出力部は、基準信号を出力する。差分検出部は、第１の半導体式ガスセンサを流れる電流値を表す感応信号と基準信号との差を検出する。加熱制御部は、差分検出部で差が検出されると第１の加熱部の発熱量を大きくするように加熱信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】ガス感応層（ＳｎＯ_２層）の導入孔を大きくし、ガス感応層（ＳｎＯ_２層）内部におけるガスの浸透能力を向上させた薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】一対の感知電極層５１，５１を渡すように電気絶縁層４上に設けられるガス感応層５２は、電気絶縁層４の表面に対して傾斜する多数の傾斜柱状晶５２１を成長させることで導入孔５２２が多数形成されるような層とした。大きくなった導入孔５２２を通じてガスがガス感応層５２の内部へ浸透し、検出能力を高める。 （もっと読む）

【課題】基板表面の研磨残渣を除去し、清浄な基板表面を得る基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素（ＳｉＣ）研磨材などで研磨されたアルミナ基板を、５００〜８００℃に加熱された炭酸ナトリウムと炭酸リチウムとを混合した溶融塩中へ含浸することにより、アルミナ基板表面に存在する無機研磨材の残渣を除去する。その後、無機研磨材の残渣が除去されたアルミナ基板表面に、白金又は白金合金による薄膜電極及び白金又は白金合金によるヒータを形成する。 （もっと読む）

【課題】ＮＨ₃ガスが、被検出雰囲気中において、ＮＯ₂等の他のガスと共存していても、ＮＨ₃ガスに対するガス選択性を良好に維持するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、絶縁基板１０と、一対の櫛歯状電極２０、３０と、感応層４０とを備えている。一対の櫛歯状電極２０、３０は、金属酸化物でもって形成されており、これら櫛歯状電極２０、３０は、絶縁基板１０上に櫛歯状に設けられている。感応層４０は、一対の櫛歯状電極２０、３０を介し絶縁基板１０上に積層されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、耐熱性、耐水性を有する新規陰イオン交換樹脂、就中電気抵抗型湿度センサーに適する感湿膜として用いることにより、湿度に対する安定した他界観受精、広い湿度・温度範囲での耐久性、速い応答速度及び小さいヒステリの湿度センサーを提供する。
【解決手段】
主鎖がポリイミドよりなり、イオン交換基として第４級アンモニウム塩基を有する陰イオン交換樹脂及び該陰イオン交換樹脂よりなる感湿膜、更には該感湿膜を用いた湿度センサーである。 （もっと読む）

【課題】 ガス検知層が剥離することを防止するとともに、絶縁性の密着層を介したガス検知層と検知電極との電気的な接続を図り、特定ガスの濃度変化を良好に検知するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガス検知層４とシリコン基板２および絶縁被膜層３，２３０から構成される基体１５との間に密着層７を形成し、両者の密着性を高め剥離を防止する。この密着層７を絶縁性金属酸化物から構成されており、ガス検知層４の特性に対し影響を与えない。そして、検知電極６のガス検知層４と対向する側の面６１は全面、ガス検知層４と当接することで、ガス検知層４と検知電極６とが電気的に接続され、特定ガスの濃度変化に応じて変化するガス検知層４の電気的特性が良好に検知される。 （もっと読む）

【課題】単層カーボンナノチューブが、多数凝集した束状ではなく、一本ずつ相互に分離された状態で、若しくは概ね直径５ｎｍ以下の細い束状でネットワーク構造を形成しており、そのためナノメートルサイズによってもたらされる著しく高感度なガス検出特性を発揮できるカーボンナノチューブガスセンサーを提供する。
【解決手段】単層カーボンナノチューブを感ガス材料とするガスセンサーであって、該単層カーボンナノチューブとして、単層カーボンナノチューブを含有するヒドロキプロピルセルロース薄膜を焼成処理して得られる単層カーボンナノチューブ集合体を用いたガスセンサー。 （もっと読む）

【課題】狭小部や可動部に容易に配置することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】可撓性を有する絶縁層２を形成し、互いに間隔を隔てて対向配置される第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂと配線７とからなる導体パターン８を、絶縁層２の上に形成した後、導電性層４を、特定のガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性材料から、絶縁層２の上に、第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂ間にわたって、形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成を追加することでセンサ特性に与える影響を最小限に抑えつつガス感応層とガス選択燃焼層との接合強度を増大させ、パルス駆動時の昇温・降温による歪みに影響されにくくした薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】電気絶縁層４・一対の感知電極層５１，５１・ガス感応層５２を覆う島状あるいは網目状の接合層５３と、この接合層５３を介して一対の感知電極層５１，５１の一部・ガス感応層５２の全部・これらの周囲の電気絶縁層４の一部を覆うように設けられるガス選択燃焼層５４と、を備えるような薄膜ガスセンサ１とした。そこで、接合層５３を薄くして島状あるいは網目状に形成する製造方法を採用した。 （もっと読む）

【課題】数十ｐｐｂの濃度のアルデヒド系のガスを検知する特性を有するガスセンサ素子、該材料を製造する方法及び該材料からなるガスセンサ素子等を提供する。
【解決手段】層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子が挿入され、かつ、無機化合物の層間に挿入されていない導電性有機高分子が除かれた有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料、当該ガスセンサ材料の製造方法、及び化学センサ部材。
【効果】ガス濃縮素子等の増感作用を行う素子を用いることなく、該ガスセンサ材料単独で、数十ｐｐｂの濃度のアルデヒド系のガスを検知することが可能な化学センサ材料を提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】より簡素な構成で雰囲気の相対湿度を検出することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】当該湿度センサ１は、水分を吸着することによって静電容量が変化する感湿膜２３及び該感湿膜２３に覆われてその静電容量の変化を検出するための櫛歯電極２２ａ及び２２ｂを有する感湿部２４と、該感湿部２４の出力信号を処理する回路素子部２５と、ボンディングワイヤ３１と電気的に接続されることで回路素子部２５の出力信号を当該湿度センサ１外に出力するためのパッド２６とを同一の半導体基板２１に備えている。パッド２６は、そのボンディングワイヤ３１との接続部分が、パッド保護膜２７によって覆われて保護されており、パッド保護膜２７は、感湿膜２３の形成材料と同一の材料を用いて感湿膜２３と一体に形成されている。これら感湿膜２３及びパッド保護膜２７によって、半導体基板２１の全上表面が覆われている。 （もっと読む）

燃焼により放出されるガスのためのセンサであって、該センサは、吸着半導体を形成する１又はそれ以上の金属酸化物を含み、吸着されるガスによって電気抵抗が変化し、上記半導体は、触媒化学反応を伴わずにガスを直接吸着するための半導体であり、上記センサは、燃えさかる火災の場合には酸化窒素を検知するように配列され、及び／又はくすぶっている火災の場合には部分的未燃焼ガス、具体的にはアルコール、アルデヒド、ケトン、カルボン酸又はアミンを検知するように構成される。 （もっと読む）

【課題】非水素成分による有害な影響や水素による劣化を抑制でき、更に、高感度で水素ガスを検出できる水素センサーを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板４と、該セラミックス基板４上に順次形成される下層セラミックス保護膜６及び上層セラミックス保護膜８と、前記上層セラミックス保護膜８及び下層セラミックス保護膜６の間に埋設される水素検知膜１０と、前記上層セラミックス保護膜８の表面であって前記水素検知膜８の両縁部近傍に形成される一対の電極２０ａ、２０bとからなる水素センサー２であって、少なくとも前記上層セラミックス保護膜８がセラミックス材料１６、１８中に水素透過性金属粒子１２、１４を分散させてなる複合材料保護膜で形成されてなる水素センサーとする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高温、高湿、還元雰囲気においても安定して測定可能な被検ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘガス）を検知する検知器において、この機器に用いられるＮＯｘガス検知素子を提供する。
【解決手段】 膜状の検知部を有する窒素酸化物検知素子であって、金属酸化物からなる膜状検知部と必要に応じて絶縁膜が基板上に設けられ、該膜状検知部の表面にらせん形電極を設けた抵抗変化型ＮＯｘガスセンサー素子であって、該膜状検知部の表面に設けたらせん形電極がＰｔ，Ｐｄ，Ａｕ，Ｎｉからなる成分の少なくともいずれか一つあるいはそれらの混合成分から構成されることを特徴とする窒素酸化物検知素子 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体薄膜をガス感知膜として有するガスセンサであって、低濃度のＶＯＣ検出感度が高められたガスセンサを提供する。
【解決手段】絶縁基板上に一対の電極が形成されており、更に前記一対の電極を被覆するように前記絶縁基板上に形成された酸化物半導体薄膜を有するガスセンサであって、前記薄膜はディスク状の酸化タングステン粒子（好適には直径が１００〜３００ｎｍであり厚さが２０〜７０ｎｍである）を含有することを特徴とするガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、金属並の電気抵抗率を有し、かつ、熱伝導率が低い酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を提供し、さらにはこの酸化物を利用して、感度の良い抵抗型酸素センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物は、斜方晶系構造のＸ線回折パターンを有するＣａＲｕＯ_３相を含み、数１で示されるＲｕとＣａとの原子数比Ｒが０．５以上１．４以下である。この酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を酸素濃度検出部とすれば抵抗型酸素センサを作製することができる。
（数１）Ｒ＝Ｒｕ／Ｃａ （もっと読む）

本発明は、一般に電子デバイスおよび方法に関する。ある場合において、本発明は導電性ポリマー材料（７０）で覆われた、櫛型微小電極（６０）の一対を備えるセンサデバイスを提供する。櫛型微小電極（６０）は、第１電極（２２）、第２電極（４０）、および疎水性の壁（５０）で囲まれることができる。ある実施形態において、第１電極（２２）と第２電極（４０）とは相補的形状を有する。例えば、ある場合には、第１電極（２２）および第２電極（４０）はそれぞれ実質的に環状構造である。
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