【課題】本発明は、一つのパルス通電により加熱される一つのセンサ素子（ガス検知層）の電気抵抗値を用いて、検出対象ガスおよび湿度の検出を行い、装置構成の簡略化、消費電力の低減を図りつつ、より正確な湿度を検出できる技術の提供を提供する。
【解決手段】検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層、及びガス検知層を加熱するヒータ層を形成したセンサ素子と、ヒータ層への通電を断続的に行って、ガス検知層の温度を変化させる通電駆動手段と、ヒータ層通電時のガス検知層の電気的特性に基づいて、検出対象ガスを検出するガス検出手段とを備えたガス検知装置であって、ヒータ層への通電を停止してから再度通電が開始されるまでのヒータ層通電停止時のガス検知層の電気的特性を用いて、検出対象ガスが含まれる被検出ガスの湿度を検出する湿度検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子のリード線と基台のステーとの接続部に絶縁皮膜を形成すること
【解決手段】リード線５を介してガス感応部４２に通電してジュール熱により昇温させてガスを検出するガス検出素子４と、リード線５を介してガス感応部４２に通電するとともにガス検出素子４を固定する導電性のステー３を備えた基台２とからなるガス検出器の製造方法において、ガス検出器１を高分子蒸気を含有する環境に収容して高分子の薄膜１０を形成する工程と、リード線５を介してガス感応部４２に通電してガス感応部４２を高分子の薄膜が気化、または分解する程度に加熱する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサを提供する。
【解決手段】ガス・センサ（１００）は、ガス検知層（１１８）と、少なくとも１つの電極（１１２）と、接着層（１１４）と、前記ガス検知層（１１８）及び前記接着層（１１４）に隣接する応答修正層（１１６）とを含む。ガス・センサ（１００）を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ（１００）の製造方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】電気的抵抗の変動が抑制された有機無機ハイブリッド材料によるガスセンサ材料、該材料を製造する方法及び該材料を含むガスセンサ等を提供する。
【解決手段】有機無機ハイブリッド材料を空気のような酸素を含む雰囲気下で使用するときは、動作温度における飽和酸素吸着量以上の酸素を予め吸着させておくことで、又は窒素のような酸素を含まない雰囲気下で使用するときは、予め吸着した酸素を脱離させておくことで、該有機無機ハイブリッド材料の電気的抵抗のドリフトを抑制した有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料、導電性有機無機ハイブリッド材料、それらの製造方法、導電性部材及び化学センサ部材。
【効果】有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料のベース抵抗値のドリフトを抑制することで、測定対象ガスに対する応答に相当する抵抗値変化に対してドリフトが相対的に小さくなり、これにより、正確な濃度の検出が可能となる。 （もっと読む）

本発明は、複数のガスを検出するためのガスセンサ（１）に関する。このガスセンサ（１）は、基板（２）上に形成された少なくとも１つのガス感受層を有し、基板（２）上には、ガス感受層と接触接続するために少なくとも１つの導体トラック（３）がさらに設けられ、導体トラック（３）は、ガス検出への導体トラック（３）の影響を回避するために、無触媒特性を有する添加物含有金属酸化物材料により形成される。これにより、従来技術の不都合が回避され、ガス感受層によりガスを検出するときに感受特性に影響を及ぼすことのないガス感受層の接触接続が提供される。
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【課題】水ストレス下にある植物体が示す低蒸散状態での変化を精度よく連続的にモニタリングする蒸散量計測装置を提供する。
【解決手段】蒸散量計測装置は、水分の存在に対して電子特性を変化させる半導体材料が付着した多孔質材料の一表面に対向電極を形成し、電極間に電圧を印加した状態で電極面とは反対側から蒸散する水蒸気を透過させることで、蒸散する水蒸気量の時間的変化を電極間電流値の変化として示す蒸散水蒸気量センサ素子と、対向電極に電圧を印加し電流の計測を行なう測定信号変換回路と、信号処理回路から構成する。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスを確実に除去するとともに十分な反応速度を確保し、長期間にわたり高い応答性を実現した可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】検出空間２１２を有するケース体２０と、検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタ６０と、無機化合物フィルタ６０を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタ３０と、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサ１０と、を備える可燃性ガス検出装置１とした。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で狭いところでも装着できるセンサ、太陽電池等の電気素子と、該電気素子を容易に製造する方法を提供する。
【解決手段】柱状体２に、蒸着、或いは半導体の溶融、溶解又はゲル状態のものを塗布することにより、半導体８をコーティングする。その回りに、４本の絶縁線６を巻き付ける。次に１本の絶縁線６をはがして、その跡に銅を蒸着して銅線９を形成する。最後に銅線９に隣接しない絶縁線をはがして、その跡に蒸着によりアルミニウム線１０を形成する。そして銅線９、アルミニウム線１０の間の抵抗値を測ることにより、半導体８に照射している光の強度を知ることができる。４本の絶縁線の太さを調整することにより、銅線９、アルミニウム線１０のそれぞれの直径、及びその間隔を決めることができ、設計とシミュレーションの作業が容易になる。また絶縁線６として細い糸を用いることにより、小型の光センサを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】セリウムイオンおよびジルコニウムイオンを含む酸化物半導体層を備えた抵抗型ガスセンサの耐久性および応答特性を改善する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、酸化物半導体層３を含むガス検出部１を備えた抵抗型のガスセンサである。酸化物半導体層３は、セリウムイオンおよびジルコニウムイオンを含む。酸化物半導体層３に含まれるセリウムイオンおよびジルコニウムイオンの物質量の和に対するジルコニウムイオンの物質量の割合は、４５％以上６０％以下であり、酸化物半導体層３は、８０ｖｏｌ％以上の立方晶を含む結晶相を有する。 （もっと読む）

【課題】 ２種類のガスの検出を正確に行え、ヒータの消費電力が大きくなったり、感応センサが大型化するのを抑制できる感応センサを提供する。
【解決手段】 内層にヒータ１７を有するベース１と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の一方の面１ａ上に形成された第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂと、第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂにそれぞれ接続された第１の一対の薄膜配線パターン２３Ａ，２３Ｂと、第１の一対の対向電極１９Ａ，１９Ｂに跨るように形成された第１の感応膜２５と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の他方の面１ｂ上に形成された第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂと、第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂにそれぞれ接続された第２の一対の薄膜配線パターン１２３Ａ，１２３Ｂと、第２の一対の対向電極１１９Ａ，１１９Ｂに跨るように形成された第２の感応膜１２５とを有している。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】最小限の加熱操作で従来では望むことの出来ない高感度な検出が可能なガスセンサー素子を提供する。
【解決手段】半導体基板上にショットキー電極とオーミック電極とが配置され、ガスの存在を感知したときに生じるショットキー電極とオーミック電極間の電流−電圧特性の変化によってガスの存在を検知する原理のガスセンサー素子であって、ガスセンサー素子は、ショットキー電極と基板との界面に絶縁膜が設けてある。 （もっと読む）

【課題】設定限界を超えた周囲環境下に一定時間置かれたことを検知できる環境変化検知センサおよび非接触ＩＣ媒体を提供する。
【解決手段】非接触通信を行うアンテナ回路と、該アンテナ回路を通じた非接触通信の制御を行うＩＣとを備えた非接触ＩＣ媒体に、所定の環境に置かれていると時間経過に伴って不可逆的に変化する変化手段と、該変化手段が所定状態以上に変化したことを検知可能にする検知可能化手段とを備えた環境変化検知センサを接続した。 （もっと読む）

【課題】従来のヒーターでガス感応膜を高温に保持しガス濃度検出を行うダイヤフラム構造ガスセンサにはヒーター温度を測定する機構が設けられておらず、ヒーター抵抗値が一定範囲内に収まるように、ヒーター構成材料膜厚及びヒーターパターン幅を高精度で作製し、一定電力をヒーターに供給する手法で温度一定化を図っていた。このため、ヒーターパターン形成工程要求精度高であり、作製困難であった。
【解決手段】二種の物質で構成された熱電対の温接点をダイヤフラム上のヒーター近傍に形成し、周囲ヒートシンク部上に冷接点を形成したヒーター温度を測定するサーモパイルを設ける。
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【課題】ホルムアルデヒドガスよりアセトアルデヒドガスを優先的に検知する特性を有するガスセンサ材料、該材料を製造する方法及び該材料を含むガスセンサ等を提供する。
【解決手段】層状構造を持つ無機化合物の層間に、ポリナフチルアミン又はその誘導体、或いは、ポリアミノアントラセン又はその誘導体を主成分とする有機高分子を挿入することによって、その化学センサ特性としてホルムアルデヒドガスよりアセトアルデヒドガスを優先的に検知する特性を有する有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料、導電性有機無機ハイブリッド材料、それらの製造方法、導電性部材及び化学センサ部材。
【効果】該ガスセンサ材料と、従来のアセトアルデヒドよりホルムアルデヒドを優先的に検知するガスセンサ材料を同時利用することで、ホルムアルデヒドとアセトアルデヒドのそれぞれの濃度を判定することが可能な化学センサデバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】センサ出力の温度依存性を簡便に低減し得る抵抗型酸素センサを提供する。
【解決手段】本発明による抵抗型酸素センサは、雰囲気ガス中の酸素分圧に応じて抵抗率が変化する酸素濃度検出部１を備えた抵抗型酸素センサであって、それぞれが酸素濃度検出部１に電気的に直列に接続され得る複数の固定抵抗素子２Ａ〜２Ｃと、酸素濃度検出部１の温度に応じて、酸素濃度検出部１と複数の固定抵抗素子２Ａ〜２Ｃとの電気的な接続関係を制御する制御部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極２ａ，２ｂと、ＣＮＴを誘電泳動してマイクロ電極２ａ，２ｂに架橋したセンサ素子と、ＣＮＴ表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するＰｄ粒子とを備え、マイクロ電極２ａ，２ｂ間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ１であって、表面を修飾するＰｄ粒子が、Ｐｄの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのＣＮＴとＰｄの酸化還元反応で析出するＰｄ粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるＰｄと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したＰｄ粒子とを含むことを主要な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】感応層と電極との接合強度を高めるようにしたガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサのセンサ素子１は、絶縁基板１０と、この絶縁基板１０上に設けた接着層２０と、この接着層２０上に設けた一対の櫛歯状電極３０、４０と、この一対の櫛歯状電極３０、４０を介し接着層２０上に設けた感応層５０とを備えている。ここで、一対の櫛歯状電極３０、４０は、所定量のウイスカーを含有する電極材料でもって作製され、感応層５０は、所定量のウイスカーを含有する感応材料でもって作製されている。従って、ウイスカーによるアンカー効果が一対の櫛歯状電極３０、４０と感応層５０との間に発揮される。 （もっと読む）

【課題】新規な構成にて水の付着を高感度に検出することができるセンサを提供する。
【解決手段】基板（シリコン基板１、絶縁膜２）の上において、電極材１０，１１を保護膜１２により被覆して構成した一対の電極２０，２１が、当該電極２０，２１が大気に晒される状態で配置され、被水による水の付着に伴う一対の電極２０，２１間の容量の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・チタン合金薄膜からなる水素センサ材料、該材料を用いた水素センサ及び水素検知方法等を提供する。
【解決手段】マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ材料であって、マグネシウム・チタン合金薄膜の組成が、ＭｇＴｉ_ｘ（０．１＜ｘ＜０．５）であり、上記薄膜の上に、触媒層が形成されているが、あるいは水素を透過する材料上に触媒層が形成され、その上にマグネシウム合金薄膜が形成されており、基板自身が保護層になり、２０℃付近の室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有する、ことからなる水素センサ材料、上記水素センサ材料からなる水素センサ及び該水素センサによる水素濃度計測方法並びに水素検知方法。
【効果】低温作動型の水素センサを提供できる。 （もっと読む）