【課題】小型化が可能で、電力対昇温効率の高い半導体式ガスセンサを提供すること。
【解決手段】半導体式ガスセンサは、支持部材（ＳＯＩ基板）に梁状に支持されたシリコン単結晶からなるヒータ４と、ヒータ４上に形成されたショットキーダイオードを備えている。ヒータ４には第１及び第２の電極９及び１０が形成されている。ショットキーダイオードは、ヒータ４上に直接的に形成されたＳｉＣ単結晶からなる半導体薄膜部１１と、第３の電極１２から構成される。第２の電極１０はショットキーダイオードの半導体薄膜部１１側の電極としても用いられる。 （もっと読む）

【課題】保護膜としての機能を果たしながら応答速度の低下を抑制できる水素透過膜を提供する。また、この水素透過膜を水素センサに適用して、応答速度が速い水素センサおよび水素検知方法を提供する。
【解決手段】本発明の水素透過膜は、リンを添加した酸化珪素からなる。また、本発明の水素センサは、半導体と、半導体の表面の少なくとも一部に付設する水素吸収体と、水素吸収体の露出した面を覆うとともに水素を透過する水素透過膜と、水素吸収体の付設位置を挟んで、半導体に水素吸収体によって導通しないように配置した対になる電極とを具備してなり、水素透過膜がリンを添加した酸化珪素からなり、水素吸収体への水素吸収の有無に対応する半導体の抵抗値変化を対になる電極間で計測することにより、水素の存在を検知可能とされてなる。 （もっと読む）

【課題】 停止状態の車両の始動に先立って車両状態の検査を行う場合であっても、車両を速やかに始動させることが可能な車両用始動制御方法を提供する。
【解決手段】 水素吸蔵の有無に応じて変化する特性により水素の検出を行う水素検出センサと、前記水素検出センサの起動および停止を指示するスイッチと、を備えた車両用始動制御方法であって、前記スイッチにより前記水素検出センサを起動したときに、前記水素検出センサにより水素が検出されないときには、前記車両の起動を開始する。 （もっと読む）

半導体薄膜タイプのガスセンサー装置には、その片面に、少なくとも１個のガスセンサー、抵抗発熱体薄膜、及び当該センサー及び抵抗発熱体薄膜を電気的に接触させるためのパッドが含まれている。当該発熱体素子、ガスセンサー薄膜及び接点パッドは、全てスパッタ法によって作製される。
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【課題】 被検知ガスに対して応答時間及び応答復帰時間が短い半導体式ガス検知素子、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物半導体を主成分とするガス感応部２を備える半導体式ガス検知素子１であって、前記ガス感応部２のガスを検知する側の表面と内部とに亘る孔部を有し、当該孔部が前記表面における溝状の開口部に連通している。 （もっと読む）

【課題】 結露センサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 結露センサは、少なくとも二つの電極を具えた基板、少なくとも二つの櫛状電極、及び検出層を包含し、そのうち少なくとも二つの櫛状電極は基板上の二つの電極と一部接触し、検出層はセルロース誘導体を含有し且つ少なくとも二つの櫛状電極上に形成される。結露センサの製造方法は、（ａ）少なくとも二つの電極を具えた基板、導電ペースト、及び検出ペーストを提供する工程、（ｂ）導電ペーストを基板の上にコーティングして少なくとも二つの相互に離間し相互に不接触の櫛状電極を形成し、且つ櫛状電極の一部を基板上の二つの電極と接触させる工程、（ｃ）検出ペーストを櫛状電極上にコーティングして検出層を形成する工程、を包含し、そのうち検出ペーストはセルロース誘導体及びカーボン粉を含有するものとする。 （もっと読む）

【課題】ガス流路を通過するガスに含まれる煤の量を高精度かつ連続的に検出することが可能な煤検出センサを提供する。
【解決手段】本発明の煤検出センサ１は、煤を含むガスが通過するガス流路内に設置して、このガスに含まれる煤４を検出する煤検出センサ１であって、多孔質の導電性物質から構成された煤検出電極２と、この煤検出電極２に配設され、煤検出電極２の電気抵抗の値を測定するための少なくとも一対の導電性電極３とを備えた煤検出センサ１である。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 簡単に準備可能であり、様々な用途に適用可能なセンサを提供すること。
【解決手段】 半導体材料の層、有機材料の層及び金属材料の層を備える多層構造をなすとともに気体状物質を検出する電気機器であって、前記半導体材料の層が、結晶構造を備え、前記有機材料（２）の層が、１を超えない被覆度を備えるとともに、目的の形態で自立した分子構造を有する物質からなるとともに、前記有機材料の層を構成する分子が前記半導体材料の層を構成する結晶構造の原子と結合するとともに前記検出される気体状物質と相互作用をすることにより前記多層構造内の結合の障壁高さを調整し、前記金属材料（３）の層が、検出される気体状物質を透過可能であるとともに該気体状物質に対して化学的に不活性であることを特徴とする電気機器である。 （もっと読む）

【課題】結晶粒または微粒子セラミックスから構成されるガスセンサでは、粒径縮小による高感度化と、粒成長による経時変化がトレードオフの関係にあるため、高感度化と信頼性耐久性の両立が困難であった。また、高感度かつ高耐久性・高信頼性を有するセラミックスセンサを、Ｓｉ集積回路とモノリシックに集積化するのが困難であった。
【解決手段】熱により粒成長等のセラミックス構造変化が生じない人工的なナノ構造体セラミックス膜によりガスセンサを構成する。ナノメータレベルのパターン状テンプレートに、ゾルゲル法を用いてセラミックス薄膜を形成するとともに、十分に焼成して緻密化する。さらに、上記ガスセンサを、集積回路とモノリシックに集積化する。 （もっと読む）

【課題】基板に固定化していない化合物を完全に除去できる機能性単分子膜の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】シロキサン結合を介して基板１表面に固定化する官能基と、機能を発現する官能基とを有する化合物を接触させることで、基板１にその化合物を固定化する工程と、基板１に固定化していない化合物を２００℃雰囲気４で１０分加熱し蒸発する工程を少なくとも含むものである。これにより、基板１に固定化していない化合物を完全に除去でき、その結果、機能性の官能基が表面に露出した撥水性単分子膜５を製造でき、機能性単分子膜の性能を向上できる。特に、シロキサン結合により、化合物をより強固に基板に結合でき、耐熱性、耐水性、耐電気特性などにすぐれている。 （もっと読む）

【課題】 水を制限領域内に閉じ込めることができる新規な物質を提供し、その物質が呈する特徴的な物理特性に基づいて、種々の応用的な用途を提供する。
【解決手段】 少なくとも２つの炭素片を所定の間隔で隣接して配置し、前記炭素片の間隙中に前記炭素片に水を吸着するようにして存在させる。このとき、前記炭素片は前記水の吸着によって活性化され、所定のガス雰囲気中に配置した場合に、前記雰囲気中のガスと前記空隙の水とが反応することによってガスハイドレートが形成されることを利用し、ガスセンサ、圧力センサ及び分子ふるいなどの実用的なデバイスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ部を均一に昇温することができ、且つ、簡便に製造することができる酸素センサおよびそれを備えた駆動装置ならびに自動車両を提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、互いに対向する主面１１ａおよび裏面１１ｂを有する基材１１と、基材１１の先端部において主面１１ａ上に設けられ、所定のガスを検出するためのセンサ部１２と、基材１１の裏面１１ｂ側においてセンサ部１２に対応する位置に設けられ、センサ部１２を昇温させる第１加熱素子１５と、基材１１の裏面１１ｂ側に設けられ、第１加熱素子１５よりも基材１１の基端部側に配置された第２加熱素子１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 吸着性能に優れた吸着剤、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサを提供する。
【解決手段】 複数の孔を有する多孔質部材と多孔質部材の表面の少なくとも一部に形成されたナノ構造体とを含む吸着剤である。ここで、ナノ構造体は炭素からなり得る。また、多孔質部材は２００℃以上の耐熱性を有することが好ましい。さらに、この吸着剤を用いた空気清浄装置および濃度センサである。 （もっと読む）

【課題】触媒の耐被毒性を向上させ、湿度依存性を除去し、且つ高速応答性が可能な水素ガス検知センサを提供する。
【解決手段】水素ガスを検知する水素ガス検知センサであって、電気的に絶縁性を有する基板１と、基板１上に積層される水素ガスを解離して水素ガスを検知する検知膜３と、基板１又は検知膜３のいずれかに接する一対の電極２と、検知膜３を所定の温度に加熱する絶縁基板１側に配置される加熱手段４とを備え、検知膜３は水素ガスを吸着してプロトン（Ｈ⁺）と電子（ｅ）に解離する作用を有する触媒と当該作用で生じたプロトン（Ｈ⁺）と電子（ｅ）との反応によって導電率が増加する金属酸化物からなることで、触媒の耐被毒性を向上させ、湿度依存性を除去し、且つ高速応答性を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 通電部の腐食または漏電を防止して信頼性が高く、寿命の長いガスセンサを提供する。
【解決手段】 被検出ガス内に設置され、被検出ガスを検出する検出部２と、検出部２を回路部２０と電気的に接続するための通電部３とを有するガスセンサ１であって、通電部３は、保持板４を貫通したピン状に形成され、検出部２は、保持板４の一方の面４ｃ側において通電部３に接続され、保持板４の他方の面４ｄは、保持板４の被取付面２２ａに対面し、他方の面４ｄと被取付面２２ａの間の部分と、一方の面４ｃ側から突出した通電部３の突出部分とが、絶縁部材５ａ，５ｂで封止された構成とする。 （もっと読む）

【課題】検出すべきガス以外の影響を低減し、優れた応答特性を備えたガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のガスセンサは、所定のガスを検出するための検出部１６と、触媒金属を含んでおり、前記検出部の表面上に設けられた複数の孤立した触媒層１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 感応層における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れるガスセンサ素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ素子１は、結晶密度の異なる２つの層（基板側感応層４４、触媒側感応層４５）を有する感応層４１を備える。基板側感応層４４は、触媒側感応層４５に比べて高密度の結晶で構成されることから、密着性に優れるため、感応体側絶縁層３４（基板２）との剥離が生じがたく、また、基板側感応層４４自体の強度も高まるためクラックや膜ハガレなどの破損が生じがたい。また、触媒側感応層４５は、基板側感応層４４に比べて低密度の結晶で構成されており、酸化性ガスのガス選択性に優れた特性を有する。ガスセンサ素子１によれば、感応層４１における剥離やクラックの発生を抑制すると共に、酸化性ガスの還元性ガスに対するガス選択性能に優れた特性を有する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＮＴ自体のセンシング能力に依存することなく極めて高い感度を安定して得るとともに、特定のガス分子に対する選択的なセンシングをも可能とする。
【解決手段】 ＣＮＴ１１が平行平板電極１，２間を架橋するように各々並列に整列してＣＮＴ束３が構成され、各ＣＮＴ１１の内部にはフラーレン分子１２が多数充填されており、ＣＮＴ１１の側壁には被検知対象であるガス分子１０がＣＮＴ１１内へ透過するための複数の開孔１３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 酸性ガス雰囲気下においても十分に安定して動作できる湿度センサ素子を提供すること。
【解決手段】 本発明は、基板１の一側に対向するように形成された一対の電極３、一対の電極３上に設けられる感湿膜９を備え、感湿膜９が下記一般式（ＩＩ）：


〔上記一般式（ＩＩ）中、Ａ及びＢはそれぞれスルフォニル基（−ＳＯ_２−）若しくはカルビニル基（−ＣＯ−）で表される二価基、Ｒ１は置換基を有しても良い一価又は二価の有機基、Ｒ２は二価の有機基である。Ｍは、アルカリ金属等を表し、同一分子中に複数の種類を含んでいても良い。ｎは２以上の正の整数である。〕で表される構造を含有する湿度センサ素子１００である。この湿度センサ素子１００によれば、酸性雰囲気下においても十分に安定して動作できる。 （もっと読む）