本発明に従い新規な水素センサーの製造方法が提供されるが、該方法は、弾性基板の表面に遷移金属またはその合金薄膜を形成するステップと、上記弾性基板に引張力を印加して、上記基板表面に形成された上記合金薄膜に複数のナノギャップを形成するステップと、を含み、上記薄膜への上記ナノギャップは、上記引張力の印加時には上記薄膜が該引張力の印加方向に伸長すると共に該印加方向に対して垂直方向に収縮し、該引張力を解除すると上記薄膜が該印加方向に収縮すると共に該印加方向に対して垂直方向に伸長することにより形成されることを特徴とする。
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【課題】検出感度を向上することができるガスセンサ用基板、ガスセンサ用パッケージ、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】触媒５と検出対象ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱反応が生じ、この発熱反応により発生する熱によって発熱抵抗体８の抵抗値が変化し、この抵抗値の変化に基づいて検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板７であって、触媒５を担持するための担持部７１が設けられた基板７２を備え、発熱抵抗体８は、担持部７１の近傍の基板７２に設けられており、基板７２には、触媒５の発熱反応により発生した熱によって発熱抵抗体８の温度を上昇させるための切欠部Ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】高感度、長寿命という優れた特徴を有するガス感知体を、さらには、ガス選択性を容易に付与することが可能なガス感知体を、容易に製造することができるガス感知体の製造方法及びガス感知体並びにガスセンサを提供する。
【解決手段】本発明のガス感知体の製造方法は、半導体微粒子を含む分散液から分散媒を除去することにより、未焼結状態の半導体微粒子堆積物を生成し、次いで、この半導体微粒子堆積物に絶縁性物質形成成分を含む溶液を浸透させて絶縁性物質形成成分から絶縁性物質を生成させ、半導体微粒子及び絶縁性物質を含むガス感知体を得る。 （もっと読む）

【課題】ヒステリシス特性によるセンサ精度の低下を減少させる水素センサであって、熱ストレス等による割れなどの不具合が生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。
【解決手段】ＴａＮからなるセラミックス層内に、柱状のＰｄ粒子をその軸心をセラミック層の厚さ方向に配向させてセラミックス層内に分散させる検知膜を用いる。これにより、別途の保護膜を設けなくても、検知膜が非水素成分の影響を受けることがなく、また、ヒステリシス特性による水素センサの精度低下を減少できる。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で耐久性が高く、しかも高い検出感度と良好な応答時間を有し、水素ガス選択性に優れた水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】水素ガスセンサは、絶縁基板上に内径500nm以下の微細孔又は外径1000nm以下の微細筒が形成されたチタン酸化物を主成分とするセンサ素子を有し、水素濃度に依存してセンサ素子の電気抵抗が変化する。センサ素子は質量百分率で０．０１％以上のパラジウムあるいは白金を含むチタン合金の陽極酸化皮膜であることが好ましい。水素ガスセンサは、絶縁性基板上にチタン薄膜あるいはチタン合金薄膜を作製した後、チタン薄膜あるいはチタン合金薄膜を陽極酸化することで生成される。 （もっと読む）

【課題】長期間交換する必要のないセンサを備える物質検出装置及び携帯電話機を提供する。
【解決手段】２次元マトリックス状に配置された複数のセンサ部２０と複数のセンサ部２０それぞれを外部から遮断する封止部１７とを有し、持ち運び可能な携帯電話機４の筐体４ａに着脱自在なマトリックスセンサ１０を備え、所定のセンサ部２０を指定し、指定されたセンサ部２０に対応する封止部１７を除去し、指定されたセンサ部１０による検出データを取得し、取得された検出データに基づいて、検出対象物質の濃度を算出し、算出された検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であるか否か判断し、検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であると判断された場合に、当該検出対象物質が検出された旨を報知し、複数のセンサ部１０の全てが指定された場合にマトリックスセンサ１０を交換するよう報知し、センサ部２０が劣化しているか否か判断するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】電気抵抗の変化に基づいて水素濃度を検知する既存の水素センサーに比べて高い検知感度を得ることができると共に、該金属粒子が水素とのみ反応（吸蔵）するため、水素以外が吸蔵されることを防ぐための加熱等を必要としない水素吸蔵材料、水素センサーおよび水素濃度計測方法を提供する。
【解決手段】負電荷を帯びた高分子電解質からなるナノスケールのテンプレートと、テンプレートの表面に析出し、水素を吸蔵させる金属粒子とを備え、水素の吸蔵に伴って生じる金属粒子の膨張および金属粒子同士の接続に起因する電気伝導度の変化に基づいて水素濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】チップ抵抗器等の電子部品の累積的な硫化量を検出して、電子部品が硫化断線する等して故障する前に危険性を検出することができる硫化センサを提供する。
【解決手段】硫化検出センサＡ１は、絶縁基板１０と、硫化検出体２０と、下面電極２２と、側面電極２４と、メッキ２６と、保護膜４０とを有している。硫化検出体２０は、硫化されやすい銀を主体とした導電体であり、保護膜４０は、硫化ガス透過性を有するとともに、透明に形成されている。硫化検出体２０の色の変化を保護膜４０を目視したり、硫化検出体２０の抵抗値の変化を検出したり、硫化検出センサＡ１の上面に光を照射することにより硫化検出体２０からの反射光を検出することにより硫化の度合いを検出する。 （もっと読む）

【課題】濃度０の場合に出力が０となる有機電界効果トランジスタを用いたガスセンサ。
【解決手段】１．Ａの有機電界効果トランジスタ１００は、導電性基板１０表面に絶縁膜２０を形成する。この絶縁膜２０の表面２０ｓを、疎水化処理をしたものと、しないものとで１組とする、或いは親水化処理をしたものと、しないものとで１組とする。その上にチャネル形成層である有機半導体層３０を形成する。導電性基板１０裏面にはゲート電極４０ｇを形成し、有機半導体表面には、チャネル長を空けてソース電極４０ｓとドレイン電極４０ｄが形成される。１組とした２つの有機電界効果トランジスタ１００の、ガス濃度０の時の出力を、等しくなるように増幅調整した上で、差分をとれば、ガス濃度０の場合に出力が０となる構成とできる。 （もっと読む）

【課題】ガス・センサを提供する。
【解決手段】ガス・センサ（１００）は、ガス検知層（１１８）と、少なくとも１つの電極（１１２）と、接着層（１１４）と、前記ガス検知層（１１８）及び前記接着層（１１４）に隣接する応答修正層（１１６）とを含む。ガス・センサ（１００）を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ（１００）の製造方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】化学センサーアレイを用いる、多成分ガス系中のＮＯ_ｘ、炭化水素、一酸化炭素および酸素をはじめとする、様々なガスの濃度に関連した情報の分析、検知および測定のための方法および装置の提供。
【解決手段】該センサーアレイは、化学／電気活性材料を用いてガスの存在を分析および検出する。少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程と、応答を検出する工程と、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる方法を提供する。好ましくは化学／電気活性材料は半導体材料であり、多成分ガス系は燃焼プロセス排ガスである。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンス、またはＤＣ抵抗の測定値であり得る。 （もっと読む）

【課題】常温での水素検知を可能とする共に、応答速度の高い水素センサを提供する。
【解決手段】水素脆性材料からなるナノワイヤーＷを有し、このナノワイヤーＷが水素と反応して断線することを検出することにより水素を検知する。これにより、水素を常温で検知可能とする共に、その応答速度を高めることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】設定限界を超えた周囲環境下に一定時間置かれたことを検知できる環境変化検知センサおよび非接触ＩＣ媒体を提供する。
【解決手段】非接触通信を行うアンテナ回路と、該アンテナ回路を通じた非接触通信の制御を行うＩＣとを備えた非接触ＩＣ媒体に、所定の環境に置かれていると時間経過に伴って不可逆的に変化する変化手段と、該変化手段が所定状態以上に変化したことを検知可能にする検知可能化手段とを備えた環境変化検知センサを接続した。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・チタン合金薄膜からなる水素センサ材料、該材料を用いた水素センサ及び水素検知方法等を提供する。
【解決手段】マグネシウム・チタン合金薄膜を用いた水素センサ材料であって、マグネシウム・チタン合金薄膜の組成が、ＭｇＴｉ_ｘ（０．１＜ｘ＜０．５）であり、上記薄膜の上に、触媒層が形成されているが、あるいは水素を透過する材料上に触媒層が形成され、その上にマグネシウム合金薄膜が形成されており、基板自身が保護層になり、２０℃付近の室温で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する性質を有する、ことからなる水素センサ材料、上記水素センサ材料からなる水素センサ及び該水素センサによる水素濃度計測方法並びに水素検知方法。
【効果】低温作動型の水素センサを提供できる。 （もっと読む）

【課題】センサ／センサアレイを組み立てた後で化学レジスタセンサの感度及び／又は選択性を変えるための方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、化学レジスタセンサの感度及び／又は選択性を変える方法と、このような方法により製造されるセンサおよびセンサアレイに関する。化学レジスタセンサは、電気的に非導電性のマトリックス中に埋め込まれた複数の導電性粒子又は半導体性粒子を有する感知層を含み、感知層が複数の被酸化性化学官能基を含んでおり、この方法は、上記感知層を酸化反応させる段階を含む。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノ材料を用いた化学物質センシング素子において、その製造が容易であり、ガス選択性と感度に優れた素子を提供する。
【解決手段】化学物質センシング素子は、製造が安易なカーボンナノ構造体からなり、アルキル基により表面修飾されることでガス選択性を有する。さらに、金属フタロシアニンにより表面修飾されることにより従来技術より高い感度を示す。本素子のガス吸着による電気抵抗変化は、トルエンガス（２８８）、キシレンガス（２９０）のいずれについても固有の変化を示し、大気を構成するＮ２ガス（２８６）の挙動とも区別できる上に、従来のものに比べ高い感度を示す。 （もっと読む）

【課題】単層カーボンナノチューブが、多数凝集した束状ではなく、一本ずつ相互に分離された状態で、若しくは概ね直径５ｎｍ以下の細い束状でネットワーク構造を形成しており、そのためナノメートルサイズによってもたらされる著しく高感度なガス検出特性を発揮できるカーボンナノチューブガスセンサーを提供する。
【解決手段】単層カーボンナノチューブを感ガス材料とするガスセンサーであって、該単層カーボンナノチューブとして、単層カーボンナノチューブを含有するヒドロキプロピルセルロース薄膜を焼成処理して得られる単層カーボンナノチューブ集合体を用いたガスセンサー。 （もっと読む）

【課題】 簡便な合成プロセスにより合成でき、室温下で高い水素イオン伝導性をもちながら、低コストかつ低環境負荷な、炭水化物系高分子と金属微粒子の複合体の提供。
【解決手段】 金属微粒子を多糖類により包接してなる複合体とする。詳細には、酸性多糖類、塩基性多糖類、又は酸性多糖類と塩基性多糖類の会合体により包接してなる複合体とする。 （もっと読む）

【課題】非水素成分による有害な影響や水素による劣化を抑制でき、更に、高感度で水素ガスを検出できる水素センサーを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板４と、該セラミックス基板４上に順次形成される下層セラミックス保護膜６及び上層セラミックス保護膜８と、前記上層セラミックス保護膜８及び下層セラミックス保護膜６の間に埋設される水素検知膜１０と、前記上層セラミックス保護膜８の表面であって前記水素検知膜８の両縁部近傍に形成される一対の電極２０ａ、２０bとからなる水素センサー２であって、少なくとも前記上層セラミックス保護膜８がセラミックス材料１６、１８中に水素透過性金属粒子１２、１４を分散させてなる複合材料保護膜で形成されてなる水素センサーとする。 （もっと読む）