【課題】 センサーの出力レベルの変動にかかわらず、波形解析により、簡単に粒状物質の性状の変化を監視できる粒状物質の監視方法を提供する。
【解決手段】 容器１Ａの外壁または内壁に装着したアコースティックエミッションセンサ２，３の出力を、データ収集記憶装置４に記憶する。データ処理演算装置５は、センサーの出力を周波数成分のパワースペクトルに変換し、周波数成分のパワースペクトルの分布状態の経時的な変化に基づいて粒状物質の性状の変化を監視する。監視結果を表示部６に表示する。 （もっと読む）

【課題】弾性波センサのセンシングの正確性を向上させる。
【解決手段】弾性波センサ１は、圧電体２と、圧電体２の上に形成された複数の電極３、４と、圧電体２の上であって複数の電極３、４の間の伝搬路の上に形成された反応部５と、電極３によって励振される弾性波の特性を検出する検出部（図示せず）とを備え、反応部５は、繊維状であることを特徴とする。この特徴により、反応部５の表面積が大きくなり、反応部５に吸着される検出対象物質量が増加する。このため、弾性波センサ１のセンシング精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】異なる検出範囲に対応する複数のチャネルを有し、該複数のチャネルに対応して設けられた複数の超音波探触子から超音波パルスをレールに送信し、その反射エコーからレールの傷を検出する超音波レール探傷装置において、搭載される車両の検査中の走行速度を速くして、検査時間を短縮することを可能にする。
【解決手段】複数の超音波探触子１２ａ〜１２ｇは、その検出範囲に対応する受信時間に応じて、第１間隔で超音波パルスを送信する１つ以上の超音波探触子１２ａ、１２ｂ、１２ｅ、１２ｆと、第１間隔よりも大きい第２間隔で超音波パルスを送信する１つ以上の超音波探触子１２ｃ、１２ｄ、１２ｇとの少なくとも２グループに分けられており、それぞれ対応する間隔で超音波パルスを送信する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に対する超音波の送受信を繰り返して行い、受信が繰り返して行われた超音波信号を平均化する場合に、より少ない平均化回数で、受信される超音波信号に重畳する残響の影響を低減する。
【解決手段】繰り返し間隔設定部４１は、超音波送信装置１０による超音波の送信を繰り返す毎に、繰り返し時間間隔Ｔを一定のトリガシフト量αずつ増加または減少させる。超音波の角周波数をω、平均化処理部４３による平均化回数をＮとし、ｍ，ｎを１以上の整数とすると、トリガシフト量αは、検査対象超音波よりもｍ回前の超音波による残響成分の、平均化処理部４３による平均化前後での比の絶対値を表す残響重畳指標Ｅ_mが最小となるように、α×ω／(２×π)＝ｎ／(ｍ×Ｎ)を満たす値に決定される。 （もっと読む）

【課題】ガイド波を用いた減肉部の深さ測定において、測定精度が向上した非破壊検査方法および非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】円筒構造物１００にガイド波９ａを送信し、欠陥１０２からの反射波９ａ２を受信する第１の送受信ステップと、反射波９ａ２の振幅から、欠陥１０２の断面積Ｓを算出する断面積算出ステップと、第１の送受信ステップのガイド波９ａ送信方向と概直交方向に、周波数を可変して複数回ガイド波９ｂを送信し、欠陥１０２からの反射波９ｂ２を受信する第２の送受信ステップと、反射波９ｂ２の振幅の周波数依存性から、欠陥１０２の開口長さａを測定する開口長さ測定ステップと、欠陥１０２の断面積Ｓおよび欠陥１０２の開口長さａから、欠陥１０２の深さｃを算出する深さ算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】判定時に損傷を発生させることなく、ウェハの損傷の有無を精度よく判定することができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】半導体装置が設けられたウェハ１に音響信号発生部４を接触させずに、音響信号発生部４が発生した音響信号をウェハ１に入力させる。次に、ウェハ１と共鳴した音を含む音響信号を検出する。次に、検出した音響信号の周波数成分の強度を示すデータを求め、このデータをウェハに損傷が無い場合のデータと比較することにより、ウェハ１の損傷の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波センサを備えた被測定物特性測定装置において、適正な発振を確保しつつ、測定感度・精度を高める。
【解決手段】発振器２１からの基準周波数に基づいて、所定周波数の第１の出力信号Ｓ１を出力するシンセサイザ２と、第１の出力信号Ｓ１を受信し、被測定物の特性に応じた第２の出力信号Ｓ２を出力する弾性表面波センサ３と、第１の出力信号Ｓ１と第２の出力信号Ｓ２との位相差を検出する第１の位相比較器４と、第１の位相比較器４によって検出された位相差に基づいて、シンセサイザ２の基準周波数を制御する第１のループフィルタ５と、シンセサイザ２から出力される第１の出力信号Ｓ１の周波数変化を検出する周波数カウンタ６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検体の深部の生体特性分布を測定し、血管の位置との関係を理解しやすい画像データを生成するとともに、測定位置のずれの影響を減少させることが可能な光音響装置を提供する。
【解決手段】オキシヘモグロビンとデオキシヘモグロビンの吸収係数が等しい第１の波長の光と、第１の波長と異なる第２の波長の光を個別に照射可能な光源と、第１および第２の波長の光のそれぞれについて、光が被検体に吸収されて発生する音響波を受信し電気信号に変換する音響検出器と、電気信号を用いて、被検体内部の吸収係数分布を求める吸収係数分布生成部と、第１の波長の吸収係数分布から血管位置を特定する血管位置特定部と、第１および第２の波長の光の吸収係数分布から生体特性分布を求める生体特性分布生成部と、特定された血管位置により生体特性分布をトリミングするトリミング部を有する光音響装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】迅速且つより正確に材料の清浄度（非金属介在物個数）分布を評価することができる金属材料の清浄度評価方法を提供する。
【解決手段】鋼製の試料の圧延方向の断面上の複数の部位に対して、超音波探傷用焦点型探触子から少なくとも５０ＭＨｚ以上の周波数の超音波を垂直に発振し、それぞれの前記部位で検出された非金属介在物の個数を求め、それらの非金属介在物の個数の分布を評価する。 （もっと読む）

【課題】血液グルコース濃度等の成分濃度を高い精度で測定する。
【解決手段】レーザダイオード１−１，１−２は、異なる波長の２波の光を同一周波数で且つ異なる位相の信号により強度変調して被測定物１３に照射する。レーザドライバ２は、２つの強度変調光のうち少なくとも一方の強度変調光の光パワーを変化させる。音響センサ８は、被測定物１３から発生する光音響信号を検出する。情報処理装置１２は、測定信号の位相が０となる第１の変曲点を探索し、任意の時間経過後に測定信号の位相が０となる第２の変曲点を探索し、第１、２の変曲点のそれぞれにおける２つの強度変調光の光パワーの差を測定する。情報処理装置１２は、第２の変曲点における光パワーの差と第１の変曲点における光パワーの差との変化量から、任意の時間経過後の測定対象の成分濃度を導出する。 （もっと読む）

【課題】 熟練した点検員でなくとも効率的に点検作業を行うことができ、且つ点検作業時の安全性の大幅な向上を図ることが可能な浸水量測定装置および浸水量測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、電気機器（ＡＳ１００）の外箱１００ａ内部への浸水量を外箱の外から測定する浸水量測定装置２００であって、外箱の底面１００ｂの下方において、底面から所定間隔ｄ離間し且つ底面に対して所定角θ１を有して配置され、非接触で外箱内に超音波２０２を入射する超音波発振部２４０、および超音波の反射波２０４を受信する反射波受信部２５０と、反射波受信部を外箱の底面に沿って超音波発振部に対して離接する方向に移動させる移動部２６０と、超音波発振部と反射波受信部の距離を算出する距離算出部２２０と、外箱内の浸水の有無および浸水量を算出する浸水量算出部２２２と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フィレット部の表面の曲率が大きく当該フィレット部の表面に探触子を配置できないクランク軸において、フィレット部内のきずを検出することが可能な超音波探傷方法、及び超音波探傷装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、クランクピン１０４及びクランクアーム１０６における探傷面Ｔ上に発信振動子２１と受信振動子２２とを具備する探触子２０を配置し、探傷面Ｔ上でフィレット部１０８に沿って探触子２０を移動させつつフィレット部１０８内に向けて超音波を発信させると共にフィレット部１０８内のきずＦで反射した超音波を受信する。そして、超音波が探傷面Ｔに入射したときに当該探傷面Ｔにおける縦波の屈折角θ_ｏが臨界角となる入射角θ_ｉで発信振動子２１が超音波を探傷面Ｔに入射させ、発信振動子２１の探傷面Ｔに対する姿勢を維持しつつ探触子２０を移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高付着量でも常に安定した正確な付着量検知とそれを利用した画像形成装置を提供する。
【解決手段】感光体ドラム２１０上のトナー付着量を検知するため、光熱変換作用を検出する音響波検出センサ２０９を用いる。音響波検出センサ２０９は、熱励起レーザ２０７とマイクロフォン２０６とを備え、光源部から照射された光を感光体上に付着しているトナー２０５に入射させ、トナーからの光熱変換信号を検知して付着量を検知する。光源からの光は一定の周波数で強度変調する。照射光が変調されているため、変調周波数に従った空気の圧力変化で音響波が発生しマイクロフォン２０６に到達し、ロックインアンプで変調信号を基準信号として同期検出する。検出されたこの音響波の強度はトナー付着量と相関があり、あらかじめ付着量と音響波強度との検量線を作成しておけば付着量を検出できる。 （もっと読む）

【課題】きわめて簡易な構成で、被検体のクラック深さを、容易かつ正確に測定することができる超音波ＴＯＦＤ法を用いたクラック深さ測定方法および装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子１を用いて被検体２のクラック３０周辺を走査してクラック深さｄを測定するクラック深さ測定方法および装置であって、超音波探触子１は、中心に孔２１を有する焦点型の超音波探触子であり、超音波探触子１が、被検体２表面から反射する表面反射波Ｗ１とクラック３０の先端で回折した回折波Ｗ２とを受波し、前記走査位置に対応した表面反射波Ｗ１と回折波Ｗ２との干渉状態の変化をもとに、クラック深さｄを測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、異物の検出精度を向上させることができる異物検出装置、異物検出方法、液滴吐出装置、および液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る異物検出装置は、電気信号を発生させる信号発生部と、前記電気信号を変換して液体中に圧力波を発生させる発信部と、前記液体からの反射波を受信して電気信号に変換する受信部と、前記液体に異物が含まれていない状態に関する情報を格納する格納部と、前記反射波を変換した電気信号と、前記格納された情報に基づく電気信号と、の差に基づいて前記異物の有無および前記異物の大きさの少なくともいずれかを検出する検出部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】超音波光プローブを用いた診断の長期信頼性を向上させる。
【解決手段】材料劣化診断装置は、接着剤３１により金属製材料の表面に第１面が接着されたシート材２２と、金、ニッケル、又はシリカによりコーティングされ、接着剤２３によりシート材２２の第２面に接着された光ファイバ２１と、光ファイバ２１上に設けられ、前記金属製材料中に振動を与える発振子１と、前記金属製材料中の振動に応じた光ファイバ２１を透過する光の変動を電気信号に変換する光干渉計４と、前記電気信号に基づいて前記金属製材料の厚さを算出し、前記金属製材料の劣化度を判定する計測・制御部５と、を備える。接着剤３１には、金属ペースト、ガラスペースト、又はセラミック系接着剤が使用される。 （もっと読む）

【課題】作業時間を短縮し、かつノイズ信号を欠陥に起因する欠陥信号と誤認してしまうおそれを低減できる超音波探傷検査装置及び超音波探傷検査方法を提供する。
【解決手段】超音波探傷検査装置は、熱交換器の管部材に挿入され、かつ管部材にガイド波を伝播させるプローブ部と、プローブ部を介してガイド波となる超音波を送信可能であり、かつ管部材に伝播したガイド波の反射波を受信可能な超音波送受信部と、プローブ部及び超音波送受信部を制御可能な制御装置と、を有し、制御装置は、異なる計測条件における超音波送受信部での複数の計測データを信号処理することにより、計測データのノイズ信号又は欠陥信号を特定する。 （もっと読む）

【課題】圧延ロールの表面や表面直下に存在する欠陥（表面欠陥）を超音波探傷する際に、表面欠陥の方向性にかかわらず十分な検出を行うこと。
【解決手段】回転する被検体２である円柱体の表面から一定の距離に、超音波プローブ１を保持し、超音波プローブ１から音響結合媒体である水３を介して円柱体へ超音波を伝搬させると共に、円柱体表面や表面直下に存在する欠陥を検出する場合、超音波プローブ１は、被検体２の表面の全方位に向けて被検体２へ漏洩表面波ＷＲを励起させる斜角入射波の送波を行うとともに、被検体２の表面を伝搬してきた漏洩表面波ＷＲからモード変換によって生成された縦波である漏洩波の受波とを行う超音波振動子４を有する。 （もっと読む）

【課題】薄板である測定対象物の形状等のバラツキや支持手段の設置位置に関わらず、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を得る。
【解決手段】振動板１２から放射される音波によって、測定対象物５０は、音圧の疎密に伴い、浮力を得て、その全体が加振され、変位量Δｒ２で振動する。 （もっと読む）

【課題】ガイド波の送信周波数の設定に対応して検査性能を向上することができるタンク底板検査装置を提供する。
【解決手段】側板２と張出部３ｂを有する底板３とを備えた縦置き型のタンク１を検査対象とし、ガイド波を利用してタンク１の底板３を検査するタンク底板検査装置であって、底板３の張出部３ｂ上に側板２の周方向の一部に沿って１列で配置された複数の超音波探触子９を備える。また、底板３の張出部３ｂ上における各超音波探触子９のガイド波送信位置と底板３の端面位置との距離Ｄａを検出するための位置センサ２１を備える。また、ガイド波の送信周波数ｆを設定するとともに、位置センサ２１の検出値に基づき距離Ｄａを演算し、この距離Ｄａが（Ｖａ／ｆ）×ｎ／２（但し、Ｖａは底板３の径方向に伝播するガイド波の速度であり、ｎは整数である）となるように位置調整機構５を制御して各超音波探触子９の位置を制御する探傷制御器６を備える。 （もっと読む）