【課題】カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、気泡を選別処理するガラス基板内の気泡選別処理法を提供する。
【解決手段】１）顕微鏡１４Ｃを用い、欠陥Ｄ４の上方よりガラス基板２０上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、２）ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、３）該欠陥の第２映像情報を構成する検査画素の明るさを２値化して２値検査画素２Ｋ−０とし、４）２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、５）該欠陥を欠陥から除外する選別処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 撮像手段として一般的に使用されるエリアセンサカメラでは、撮像範囲全体を単位領域に分割して撮像を行うために、検査時間が長くなり検査工程の高速化に対応することができないという問題がある。また、赤外光光源を用いて検査対象の低抵抗ウエーハを照明した場合、ウエーハの比抵抗を考慮して赤外光照明を選択する必要があり、その設定に時間を要するという問題がある。
【解決手段】 赤外光に感度を有するラインセンサアレイを撮像素子として用いることにより、ウエーハ全体を同一の検査条件で行うことを可能にするとともに検査工程の高速化に対応可能なウエーハ検査装置を実現する。また、ウエーハの比抵抗の値を取得する手段を設けることにより、取得した比抵抗の値に応じた照明手段の照度に設定することにより欠陥の撮像に適切な照明を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】光透過性フィルムの欠陥の検出率及び検査効率を向上すると共に、欠陥の誤検出を抑制することができる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、欠陥候補検出部２０、提示手段２１、選択手段２２、及び欠陥特定手段２３を備える。欠陥候補検出部２０は、検査対象である光透過性フィルムＡを撮像し、得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥候補を検出する。提示手段２１は前記欠陥候補検出部２０で検出された欠陥候補を提示する。選択手段２２は前記提示された欠陥候補が欠陥か否かの選択を求める。欠陥特定手段２３は、前記選択手段２２で欠陥と選択された欠陥候補を欠陥と特定する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の高さ方向位置を検出できる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ガラス板９９は一定の速度ｖで移動され、ステージ２の位置ｄはステージ位置検出装置４により検出される。照明装置１からマスク１０を介してガラス板９９に対して光を所定角度斜めに入射させ、画像検出装置３によりガラス板９９下面で反射した反射光を検出する。入射光と反射光の両方で欠陥を検出し、その時間間隔を測定し、コントローラ５は前記所定角度と所定速度ｖと時間間隔に基づいて欠陥の高さ方向位置を演算する。 （もっと読む）

【課題】複数のボールの全表面及び内部の目視検査を短時間で完了させて作業性の向上をはかると共に、目視検査中のボール表面に付着するコンタミの抑制，表面キズの発生を防止する。
【解決手段】上下に重ねられる２枚の板材１，４からなり、上側の板材１には被検査対象となるボールＢの底面の一部が下側の板材に接する形状のボール穴３が一定ピッチで複数配設されていると共に、複数のボール穴３の両側に稲妻形のガイド穴２が穿設されており、一方、下側の板材４には上側の板材１に設けられたガイド穴２に差し込まれるピンが設けられ、ピンとガイド穴とのクリアランスを０．０５〜０．１ｍｍとしてピンを稲妻形ガイド穴の辺に沿って移動させることにより、上下板材１，４の相対位置を移動させ、上側の板材１のボール穴３に保持されるボールＢ全てを同時に一方向に一定距離回転させ順次、繰り返し全面の目視検査を可能ならしめる目視検査用治具である。 （もっと読む）

【課題】樹脂シート間での厚みのばらつき、樹脂材料検査装置間での撮影装置の特性のばらつき、撮影装置の特性の経時変化等によらず、一定の検査基準で検査を行うことができる樹脂材料検査装置を提供する。
【解決手段】樹脂材料検査装置は、ペレット状態の樹脂材料を加熱加圧成形することによって作製された検査用の樹脂シートの透過光像を撮影して画像データを得るエリアカメラ１４と、画像データを解析して樹脂シートの欠陥を検出することによって樹脂材料の欠陥を検出する濃度・面積計測部３９と、画像データの少なくとも一部の領域内における画素の平均輝度値と予め設定された基準輝度値とを比較する比較部３３と、比較部３３における比較の結果に基づいてエリアカメラ１４の露光時間を変更する撮影装置制御部３４とを備え、濃度・面積計測部３９が、露光時間が変更された後のエリアカメラ１４によって得られた画像データを解析する。 （もっと読む）

【課題】大きさや載置姿勢、または、搬送ピッチ等に左右されず、搬送されてくる青果物の個々にあった適切な光量の光を照射して、内部品質の判定精度を向上させる青果物品質判定装置を提供することが課題である。
【解決手段】前記内部測定手段８は、青果物１に光を照射する内部測定用投光手段５３と、青果物１からの光を受光して分光し、その分光された光を計測する内部測定用受光手段５４と、によって構成し、前記内部測定用投光手段５３は、発光する光源体５３ａと、該光源体５３ａから発せられる光の光量を調節可能とする光量変更手段１３と、を有し、前記制御装置（制御手段）７０は、前記検出手段７による検出結果に応じて、前記光量変更手段１３を制御して照射される光量を変更する。 （もっと読む）

【課題】微小な重欠陥を検出可能でありながら、不良とはならない程度の微小な差異を検出することがないカラーフィルタ欠陥検査方法、及びカラーフィルタ欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】着色層のパターンが形成されたカラーフィルタの欠陥検査方法であって、カラーフィルタの撮像画像から着色層端部のテーパー形状部を抽出し、該抽出した領域と、該抽出した領域以外の領域とで異なる検査閾値を設定し、欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ欠陥検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】複数の検出手段を分光器に接続することができる青果物品質判定装置の提供を目的とする。
【解決手段】青果物１ａ・１ｂに赤外線を照射する照射手段２２ａ・２２ｂと、青果物１ａ・１ｂを透過又は反射した赤外線を検出する検出手段２３ａ・２３ｂと、検出手段２３ａ、及び検出手段２３ｂが接続され、検出手段２３ａ及び検出手段２３ｂが検出した赤外線を分光する分光器３１と、青果物１ａを搬送する搬送装置１０ａ及び青果物１ｂを搬送する搬送装置１０ｂと、検出手段２３ａと検出手段２３ｂとが互いに所定時間Ｔａ以上の間隔をおいて赤外線を検出するように搬送装置１０ａまたは搬送装置１０ｂの搬送速度を制御する制御装置４０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 所定領域の歪の値を迅速に測定することを可能にする。
【解決手段】 成形し徐冷されて移動するガラスリボンの帯状領域を、既知の偏光光を通過させ、この帯状領域の各点を通過した光の偏光方位の変化を画素単位で検出して算出し、前記算出した各点の偏光方位の変化量から前記ガラスリボンの帯状領域の各点の歪を一度に求め、前記ガラスリボンの移動にあわせて所定の間隔で、前記帯状領域の歪を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査するタイヤ12のサイズ等に変更があっても、撮像時におけるタイヤ12内面の照度を略均一化する。
【解決手段】第２移動手段47によるエリアカメラ46の移動時において、光源40がエリアカメラ46と一体的に移動するので、検査するタイヤ12のサイズが異なっても、光源40は撮像時にタイヤ12の内部でその内周面から半径方向内側に一定距離だけ離れた照射位置Ｃに常に位置することになる。この結果、撮像時における光源40からタイヤ12内面までの距離が略一定となり、検査精度が効果的に向上する。 （もっと読む）

【課題】単一の装置によりサファイアインゴット等被測定物内部の欠陥と歪みを測定できる光学測定装置を提供すること。
【解決手段】単一のＣＣＤカメラ10とレーザ光源１、単色光源５を有し、レーザ光源からのレーザ光線を照射して被測定物８内に存在する散乱体を観察する散乱体観察部と単色光源からの単色光を照射して被測定物に存在する歪みを観察する歪み観察部とを具備する。そして、レーザ光源と被測定物間の光路上に２分の１波長板２と第１のガルバノミラー３および第２のガルバノミラー４が配置され、また、単色光源とＣＣＤカメラ間の光路上には単色光源側から偏光子６、回転ステージ７に載置された被測定物、変位可能な検光子９が順に配置されており、被測定物の移動を伴うことなく被測定物内部の欠陥に起因する散乱体の観察と歪みの観察を短時間で行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透明性を有する熱接着性樹脂でなる樹脂Ｂと、スチレンとゴム系樹脂モノマーとを共重合させて得られる樹脂Ａとを積層して中間膜が製造され、該中間膜を用いて製造される合わせガラスにおいて、光学的な欠陥による外観不良を判別するための、検査方法を提供する。
【解決手段】合わせガラスを挟んで、合わせガラスに垂直な平面上に、合わせガラスを照明するための光源と光学的欠陥を検出するための観察手段とが配置され、照明の合わせガラスの法線に対する入射角度θ１が、４５度から７５度の範囲にあり、観察手段の合わせガラスの法線に対する観察角度θ２が、１５０度から１８０度の範囲にある、合わせガラスの光学的欠陥の検査方法。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルムにおける、欠陥検査装置で検出された欠陥のうちで許容される欠陥のみを含む部分を製品として使用不可能とすることなく、欠陥検査装置で検出された欠陥の近傍位置にマークを形成することができる偏光フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】帯状の偏光フィルムに対して欠陥検査装置を用いて欠陥の検出を行い（Ｓ２）、欠陥の検出結果に基づき、欠陥の位置を示す欠陥位置データを作成して記憶媒体に保存し（Ｓ３）、帯状の偏光フィルムをロールに巻き取り（Ｓ５）、ロールから帯状の偏光フィルムを巻き出し（Ｓ６）、帯状の偏光フィルムに対して他のフィルムを積層し（Ｓ７）、他のフィルムの積層後に、記憶媒体に保存された欠陥位置データを読み込み、読み込んだ欠陥位置データに基づいて偏光フィルムの欠陥位置を特定し（Ｓ８）、特定された欠陥位置に基づいて上記他のフィルムにおける欠陥の近傍位置にマークを形成する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】細長い欠陥がウェーハ表面に存在した場合に、欠陥の方向に依存せず、どの方位に伸びる欠陥であっても一様に検出することで、欠陥の実体を正確に把握することを低コストで実現できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、ウェーハ表面にレーザー光を走査しつつ照射する入射系と、前記ウェーハの欠陥により一定角度に散乱する散乱光を捕らえるように配置された受光器を有する受光系とを備えた欠陥検査装置であって、前記入射系は、光源から発せられた一本のレーザー光を複数に分岐し、該分岐されたレーザー光を複数の方向から前記ウェーハ表面の同一領域に入射するものであって、前記受光系は、一つの受光器で前記散乱光を捕らえるものであることを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査準備等の工数を極力減らして、検査の有効性を簡単かつ容易に判断することのできる欠陥検査方法を提供する。
【手段】内部欠陥５が表面温度の差として顕著に表れているのは、被検査体１に対して与えられる熱３の熱量が熱７の熱量よりも大きいため、被検査体１の表面温度が大きく上昇し、これによって生じた熱流が内部欠陥５において反射することによって、被検査体１の表面２の温度を上昇させているためである。表面温度の温度上昇率と、健全部と欠陥部の間に生じる表面温度の差に着目し、これらの関係を定量化することにより、被検査体の内部における欠陥を検出することのできる有効範囲を決定し、当該有効範囲において検査結果の信頼性を保証する。 （もっと読む）

【課題】 プラスチックペレットからの後方散乱光により、変色ペレット、異物混入ペレットや異形ペレットを検出し、これらのペレットの的確な除去を行うことができるプラスチックペレット選別機を提供する。
【解決手段】 プラスチックペレット選別機において、落下するプラスチックペレット２１の両側に対になるように、光源とラインセンサ装置とを備えるラインセンサカメラを配置し、前記光源からの照射光の後方散乱光を測定することにより、前記プラスチックペレット２１の異物、黒色、異形を検知して、前記プラスチックペレット２１の良品と不良品との選別を行うプラスチックペレット選別機であって、前記光源として前記落下するプラスチックペレット２１の上下方向に一対の蛍光灯２３を配置し、この一対の蛍光灯２３はそれぞれ遮蔽円筒体２４を備え、この遮蔽円筒体２４の窓２４Ａにシリンドリカルレンズ２５を配置し、このシリンドリカルレンズ２５からの光を前記落下するプラスチックペレット２１へ照射する。 （もっと読む）

【課題】
曲率の違いや光学デバイスの位置に影響されない高速かつ安価な光学デバイス欠陥検査方法及び光学デバイス欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】
撮像手段３の焦点をプリフォーム２を透過させてドットパターン４に合わせ、撮像手段３により撮像されるプリフォーム２の画像１０Ｂ内のドットパターン４の歪みによりプリフォーム２の欠陥１２Ａを検出する。 （もっと読む）

構造化光を用いて、製造された物品（９４）の合い具合及び仕上がりについての問題を検出する改善された方法及び装置。反対方向から取得される２つ以上構造化光画像（９２、９８）を用いて、継ぎ目の付近の小さい欠陥によって引き起こされる誤検出を回避しながら、接合面の合い具合を測定する。 （もっと読む）

【課題】大型サイズのガラス板のような透明板状体であっても、安定しかつ正確に、気泡や異物等の欠陥を検出する。
【解決手段】欠陥検出装置は、透明板状体の内部を照明する照明光源ユニットと、透明板状体の対向する上面及び下面の少なくとも一方の面の側に設けられ、透明板状体を撮影する、直列状に配列した複数の撮影カメラを有する撮影カメラユニットと、撮影カメラから出力された受光信号を用いて透明板状体の欠陥を検出する検出器と、を有する。直列状に配列した複数の撮影カメラの、少なくとも両側に位置する撮影カメラには、光強度を減らす減光フィルタが設けられている。透明板状体と撮影カメラとを相対的に移動させて透明板状体を撮影する。 （もっと読む）