【課題】面照明とルーバー層の効果的な使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成でき、例えばレンズの外観上の欠陥を撮像手段に精度良く撮像できて検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層と、該ルーバー層から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、を備えることを特徴とする。ルーバー層は、光透過帯と遮光帯が交互に配置されて面照明から入射する光の拡散を防止する第１ルーバー層と、該第１ルーバー層と直交する状態で配置され光透過帯と遮光帯が交互に配置されて面照明から入射する光の拡散を防止する第２ルーバー層とを備える。 （もっと読む）

【課題】面照明とルーバー層からなる照明手段の使用により所定の角度を持った平行光源を多数形成できると共に、撮像手段のフォーカス位置を最適に設定し、レンズの外観上の欠陥を撮像手段で精度良く撮像して検査の自動化を図ることが可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象レンズの製造時に発生する傷、割れ、異物、気泡等の欠陥を検査するレンズ欠陥検査装置であって、面照明及び該面照明から照射される光を多数の平行光源とするルーバー層からなる照明手段と、該照明手段から照射されて検査対象レンズを透過した光を撮像する撮像手段と、該撮像手段の検査対象レンズに対するフォーカス位置を調整しつつ撮像データを処理して検査対象レンズの良否を判定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】変形欠陥の捕捉が確実に行えるとともに、変形欠陥と異物欠陥など他の欠陥との判別が容易に行える欠陥検査方法および欠陥検査装置の提供。
【解決手段】検査対象物の表面を撮影して前記検査対象物の表面欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記表面から任意の焦点高さ離れた位置に焦点が合った状態で前記表面を撮影し、前記焦点高さにおける画像として記録する一次画像記録工程と、前記画像の検査すべき全ての部位に対して、当該部位の周囲に対する当該部位の濃淡を強調して数値化するフィルタ処理を行い、前記画像における欠陥候補部位を検出する一次画像フィルタ工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】散乱方位角別の散乱光強度分布情報が得られ、かつ、高感度で異物・欠陥を検出可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】回転放物面の一部分を反射面とする集光用凹面鏡１６１と回転放物面の一部分を反射面とする結像用凹面鏡１６３とを使用し広い立体角に対応可能とする。反射鏡である集光用凹面鏡１６１及び結像用凹面鏡１６３を使用し、レンズ周囲を挟み込んで保持するような支持体は不要で有効開口面積が小となることは無い。反射鏡からなる方位別検出光学系１６０を複数個設け特別なレンズ研磨加工することなく全集を隙間無く埋め尽くし全方位の反射光を検出できる。散乱回折・反射光信号統合部２００は複数の方位別検出光学系１６０のうち予め指定された散乱方位に対応する方位別検出光学系１６０からのデジタルデータを合算し、Ｓ／Ｎ比を向上することが可能である。 （もっと読む）

【課題】検査の精度を向上させたプラスチック光ファイバの製造装置の実現。
【解決手段】紡糸したプラスチック光ファイバ５０を走行させながら検査する検査手段１０をクリーンブース１３内に設けたことを特徴とするプラスチック光ファイバの製造装置。 （もっと読む）

【課題】光線透過率が大きく異なる透明または不透明フィルムの表裏面と内部の欠点を１台の検査装置で光源を取り替えることなく、効率的に低コストで検査する方法を提供する。
【解決手段】フィルムまたはシート（以下フィルム）の下方に配置した光源から照明をフィルムに透過させ、上方に配置した固体撮像デバイスで受光量の変化を電気信号に変換し、その電気信号にもとづきフィルムの表裏面と内部の欠点を検出する方法において、照度（Ｌ）を上記光源からの照射光量を変化させることのみにより、かつ被検査フィルムの光線透過率（％）（Ｔ）に応じて下記式により定められる範囲に設定して行うことを特徴とするフィルムまたはシートの欠点検出方法。 ５００００／Ｔ≦Ｌ≦２５００００／Ｔ （もっと読む）

【課題】透明板内部の異物の簡便な検査方法を提供する。
【解決手段】
透明板表面に対して平行な光を透明板の少なくとも１側端面から、該側端面を長辺方向に１０等分した時の各１個分の面積の総光量が１００×（１０個の中の最小総光量）／（１０個の中の最大総光量）≧６０％となるように入射させ、前記透明板内部の異物により散乱し前記透明板表面から輝点として出射させ、前記透明板表面を前記透明板表面の垂直上方向から撮像し、画像処理装置により前記透明板表面の各位置における光量を示す画像データとし、別途、目視によって識別した前記透明板内部の異物による輝点の光量と、前記透明板表面の異物や傷による輝点の光量とから決定した閾値を用いて、前記画像データにおける各輝点の光量を閾値で二分して閾値以上の光量の輝点のみを検出し、該輝点を透明板内部の異物による輝点とする透明板内部の異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】ハイブリッドネマチック配向液晶フィルムを含む光学フィルムの欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】液晶をハイブリッドネマチック配向させた第１液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第１偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第２液晶フィルムと第２偏光板とからなる欠陥検査用素子を、前記第２液晶フィルム側が前記光学フィルム側に隣接するように配置し、且つ前記欠陥検査用素子を、前記光学フィルムに対し傾斜させて、前記光学フィルムを検査する。 （もっと読む）

【課題】透明板状体の光学的歪を測定する際に生じるノイズ成分を削減し、微小な歪量も検出することを可能とする光学的歪検出装置および検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＣＣＤラインセンサーを用いて撮像する撮像手段と、検査対象物をＣＣＤラインセンサーの画素が配列されている方向と平行に前記検査対象物を搬送する搬送手段と、
撮像手段が撮像した画像データを処理する画像処理手段と、を備えた検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出装置において、検査対象物が搬送される速度と画像をスキャンするタイミングとを同期させながら検査対象物を撮像して、検査対象物の同じ位置について、複数のＣＣＤ画素により複数回撮像された複数の画像データを積算して平均化することにより、画像データに含まれるノイズ成分を軽減して、信号レベルの低い欠陥まで検出する。 （もっと読む）

【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ１１と、弾性波励起用レーザ２１と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Ｏｂの振動を検出する振動検出手段３０と、干渉縞安定化装置４０とを備える。干渉縞安定化装置４０は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段４１と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー４２と、干渉縞検出手段４１により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー４２の位置を制御する制御手段４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】
熱可塑性樹脂フィルム製造中に発生するフィッシュアイ欠点を検出し、異物起因、原料カス、ゲル起因を確実に判別し、種類ごとに個数管理を行うフィッシュアイ検出判定方法を提供する。
【解決手段】
熱可塑性樹脂フィルムに見られるフィシュアイの判定方法であって、入射光として光ファイバをライン状に配列したファイバ照明を用い、該ファイバ照明を熱可塑性樹脂フィルムの一方の面側から照射し、その反対面側にカメラを配置して、入射光をカメラ方向に対して２０°から４０°の範囲で傾け、カメラ視野をファイバ照明端部にして、熱可塑性樹脂フィルムを透過した透過光によって撮像し、撮像画像を画像処理して、フィッシュアイ部分の明と暗の位置と面積を分析することによって、異物起因、原料カス、ゲル起因を確実に判別し、種類ごとに個数管理を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、受光した散乱光の中から非弾性散乱光を取除くことによってＳ／Ｎ比が向上し、安定的に異物や欠陥の検出することにある。また本発明は、非弾性散乱光を選択することで、弾性散乱光で検出した欠陥や被検査面の組成分析、若しくは被検査物表面上の欠陥や、被検査物内部の組成を解明できる検査方法と検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面検査方法は、光学的に被検査物の表面内からの弾性散乱光と非弾性散乱光とを別々に、或いは同時に検出し、被検査物の欠陥の有無及び欠陥の特徴を検出し、検出された欠陥の被検査物の表面上の位置を検出し、検出された欠陥をその特徴に応じて分類し、欠陥の位置と、欠陥の特徴又は欠陥の分類結果とに基づいて、欠陥の非弾性散乱光検出による分析を行うものである。 （もっと読む）

【課題】ネジ穴を精度良く検査することが可能なネジ穴検査方法を提供する。
【解決手段】ネジ穴１０の内周面の展開画像５１を撮像し、展開画像５１に高速フーリエ変換を施すことにより変換画像５２を生成し、展開画像５１および変換画像５２に基づいて展開画像５１におけるネジ山の長手方向と変換画像５２における点群を結んだ線の長手方向との成す角度である点群角度を算出するとともに変換画像５２に基づいて変換画像５２における点群の間隔のうちネジ穴１０のネジピッチに対応する間隔である点群間隔を算出し、予め取得された有効点群角度範囲と算出された点群角度とを比較するとともに予め取得された有効点群間隔範囲と算出された点群間隔とを比較することによりネジ穴１０のネジ形状に係る良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】連続的に多数の積層コンデンサの内部不良を検査することができる、検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】制御部は、赤外光が照射された積層コンデンサからの反射光を取得するステップ（Ｓ１００）と、分析対象データを平均化処理するステップ（Ｓ５００）と、最大波長側から小さい波長の反射率の極大値をカウントするステップ（Ｓ６００）と、反射率が極大値である波長を特定するステップ（Ｓ７００）と、反射率の極大値の差が最大の波長を特定するステップ（Ｓ１０００）と、特定された極大値に関するデータに基づいて不良品であるか否かを判定するステップ（Ｓ１２００）とを含む、プログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】電子写真用クリーニングブレード等の板状体の欠陥をより高速で検出する。
【解決手段】光路２に置かれた透明または半透明の板状体１の欠陥を検出するために、カメラ（Ａ）１１に内蔵するプリズムからの反射光を、カメラ（Ｂ）１２によって撮像し、カメラ（Ｂ）１２のプリズムからの反射光を、カメラ（Ａ）１１によって撮像する。カメラ（Ａ）１１とカメラ（Ｂ）１２の光軸が、各カメラが撮像する視野長の７０〜９０％分、カメラの中央部位に配置した板状体１の長手方向にずれるように配置することで、カメラ１台の場合に比べて２倍近い速度の欠陥検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】透明基板を検査する方法において、十分なスピードを提供し、高度に仕上げられた表面を必要とせず、薄いガラスシートに限定されず、混入物の場所を特定の位置に識別し、極めて小さい混入物を検出するに十分な感度を示す、ガラス基板基材のバルクまたは内体積の正確な検査を可能にする。
【解決手段】屈折率整合光カプラと透明基板の表面の間に屈折率整合液を与える。透明基板の表面に沿う２つないしさらに多くの位置において、（ｉ）光カプラを通して透明基板にリボン光を導き入れる工程によって透明基板内の検査体積を光照射する工程、および （ii）検査体積と光学的に共役な検出器において検査体積からの散乱光を検出する工程、を反復する。 （もっと読む）

【課題】フリップチップ実装部における異物のかみこみ等の欠陥を、外観検査によって効率良くかつ精度良く検出することのできる検査装置および検査方法を実現する。
【解決手段】基板に対して半導体素子をフリップチップ接合してなる半導体装置に対し、フリップチップ接合面に対する撮像画像と基板裏面に対する撮像画像とを撮像する。上記両方の撮像画像に存在する欠陥部の色調レベルは比較部１０２によって比較され、フリップチップ接合面に対する撮像画像での色調レベルが基板裏面に対する撮像画像に対する撮像画像での色調レベルよりも高い場合に、該欠陥がフリップチップ接合面に存在するものであると判断される。フリップチップ接合面に存在する欠陥が検出された半導体装置は、判定部１０３によって不良品と判定される。 （もっと読む）

【課題】厚み方向のレターデーションに起因する位相差性の欠陥を検査可能な位相差フィルム検査装置を提供することを主目的とする。
【解決手段】互いに吸収軸が直交するように配置された第１直線偏光板および第２直線偏光板と、位相差フィルムを、上記第１直線偏光板および上記第２直線偏光板の間に配置されるように支持する位相差フィルム支持部と、上記第１直線偏光板側に配置され、上記位相差フィルム支持部に支持された位相差フィルムに第１直線偏光板を通して光を照射する光源と、上記第２直線偏光板側に配置され、上記２直線偏光板を透過した光を受光する、指向性を備える受光機とを有する位相差フィルム検査装置であって、上記受光機の垂直受光角度θ^１が０°＜θ^１＜９０°の範囲内となり、かつ、平行受光角度θ^２が０°＜θ^２＜９０°の範囲内であることを特徴とする位相差フィルム検査装置を提供することにより、上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】試料を研磨しなくても脈理を容易に検出できる脈理検出装置およびこの装置を使用した脈理検出方法を提供すること。
【解決手段】光源から出射された光線を透過させて第一の平行光線とする第一のレンズと、第一の平行光線の光路上に配置された試料に第一の平行光線を透過させ、試料を透過した第一の平行光線を収束させる第二のレンズと、第二のレンズにより収束された第一の平行光線を透過させて第二の平行光線とする第三のレンズと、第二の平行光線を電気信号に変換する変換手段と、変換手段により変換された電気信号を画像表示する出力手段と、を備えることによって解決できる。 （もっと読む）