【課題】ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】２つの主表面と４つの端面を有する薄板状のマスクブランク用ガラス基板を準備する基板準備工程と、前記いずれかの端面から波長２００ｎｍ以下の検査光を前記ガラス基板内に導入して内部欠陥を検出する検査工程とを有するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、前記検査工程は、ガラス基板内に導入された検査光が両方の主表面の所定領域全体に到達する発散角度を有する発散光を検査光として使用し、前記検査光によって前記ガラス基板の内部欠陥から発生する蛍光の有無を検査するものであり、蛍光が検出されないガラス基板を選定してマスクブランク用基板を製造することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】検査処理能力を増加させるために、赤外線カメラの視野を試料上で一定速度で移動させることができる。この移動全体を通して、変調を試料に加えることができ、赤外線カメラを用いて赤外線画像を捕捉することができる。視野を移動させること、変調を加えること、及び赤外線画像を捕捉することは、同期させることができる。赤外線画像をフィルタ処理して時間遅延ロックイン・サーモグラフィを生成し、これにより欠陥識別を行うことができる。このフィルタ処理は、赤外線カメラの走査方向の画素数を与えることができる。光変調の場合は、移動全体を通して、暗視野領域を視野用に提供することができ、これにより、フィルタ処理中の信号対雑音比を向上させる。局在する欠陥は、検出システム内に統合されたレーザーによって修復するか、生産ラインにおける後の修復用にインクで印を付けることができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる透明体の内部に欠陥が存在する場合に、その欠陥がどのくらい深い位置に存在しているかを特定できる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】撮影駆動手段３は、撮影手段２を透明体１７に近づく方向および透明体から遠ざかる方向に移動させる。撮影手段２は、透明体１７に近づく方向または透明体１７から遠ざかる方向に移動している間に複数回撮影を行う。欠陥判定手段１２は、撮影手段２が撮影した画像中の画素の輝度が不均一である場合、その画像を撮影した時の被写界深度内に欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】複数の種類の欠陥について欠陥の有無を判定することができる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】第１光源４は、透明体に対して側方から光を照射する。第２光源５は、撮影手段との間に透明体を挟むようにして撮影手段とは反対側から透明体１７に光を照射する。欠陥判定手段１２は、第１光源４が光を照射した状態で撮影された画像中の画素の輝度が不均一であるか否かを判定するとともに、第２光源５が光を照射した状態で撮影された画像中の画素の輝度が不均一であるか否かを判定して、複数種類の欠陥について欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】高いコントラストで検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、光を透過するガラス基板２１の透過率に基づいて欠陥を検出して、ガラス基板２１と、反射面を有する第１の膜２９とを備える試料を検査する検査装置であって、ガラス基板２１の一方の面である入射面から試料に光を入射させる光源１１と、開口数が０．００２以上０．２以下で、光源１１からの光を反射面上に集光する対物レンズ１７と、ガラス基板２１に斜めに入射した入射光が反射面で正反射されることによって、ガラス基板２１において入射光が通過した位置と近い位置を斜めに通過して入射面から出射された光を検出する光検出器３２とを備えるものである （もっと読む）

【課題】少ない情報量で単純に画像処理することができ、簡易かつ迅速に欠陥を検出する欠陥検出方法、欠陥検出装置、これらを用いたフィルムの製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】（１）検査対象物を撮像する工程と、（２）前記（１）の工程で得られた画像信号から複数の特徴信号を得る工程、（３）前記特徴信号のうちのいずれか１以上の強度が、特徴信号ごとに予め設定された閾値を超えている部位を欠陥と特定する工程と、（４）前記欠陥と特定した部位の各特徴信号のピーク値が、前記各特徴信号ごとに予め設定された閾値を超えているか否かに基づいて２値化して、前記欠陥と特定した部位ごとにビットパターンを得る工程と、（５）前記ビットパターンに基づいて、前記欠陥を分類する工程と、を含む、欠陥検出方法。 （もっと読む）

【課題】屈折率プロファイル中に純石英の屈折率よりも低い部分を有する光ファイバ（光ファイバ裸線）について、該光ファイバに側方入射した平行光線の前方散乱光の観測によって、気泡の混入等の内部欠陥の検出を可能とする技術の提供。
【解決手段】線引き後、未コーティングの光ファイバ裸線３１に側方から平行光線１１を連続入射するとともにその前方散乱光１３を連続的に受光し、前記前方散乱光１３の受光強度の時間的変動から前記光ファイバ裸線３１の異常判定を行う光ファイバの異常部検出装置１０、該異常部検出装置１０を具備してなる光ファイバ製造装置、光ファイバの異常部検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔内に残留する異物の有無を一孔ごとに検出するのではなく、多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、そのような検査が可能な高精度な検査装置であっても、工場内の振動などによって検査精度に影響を及ぼさないようにする必要があり、これによって、多大な時間を要することなく短時間かつ確実に孔内異物を検査できる装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラを用いて、紡糸口金を走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群のそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、さらに振動により吐出孔画像に異常が起こらないようにする為、振動計を用いた振動検知と、撮影した画像に異常があった場合に面積値判別によって振動の有無を検知する、振動検知機能付き紡糸口金の孔内異物の検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安価な偏光画像撮像装置を提供する。
【解決手段】偏光画像撮像装置１０は、光を出射する光源１６と、構造上静的に構成され、光源１６からの出射光を入射する第１偏光子１８と、構造上静的に構成され、第１偏光子１８からの出射光の偏光方向を変換して対象物に照射する第１変換部２４と、構造上静的に構成され、対象物からの出射光の偏光方向を変換する第２変換部３０と、構造上静的に構成され、第２変換部３０からの出射光を入射する第２偏光子３２と、第２偏光子３２からの出射光による画像を撮像する撮像部３４と、第１変換部２４および第２変換部３０における偏光方向の変換を、それぞれ独立して電気的に可変に制御する制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成によって被検査物の検査精度を改善できる上、製造コストの低減を図ること。
【解決手段】 導光板５のそれぞれの端面部５ｃに光源部８を配置すると共に、導光板５の上面部５ａに断面形状がほぼＶ形状などの凹部６を交差するようなパターンで配置してなり、凹部６の内面部分６ａにハーフミラー的な機能を付与した。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を孔内部表面に照射すると同時にその反射光を判定処理装置に戻すようにした表面検査装置において使用される回転筒体を小径化すると共に高速回転に耐えられるものにして小孔の内部表面を高速検査できるようにする。
【解決手段】レーザ光発振器１１を備える本体部７に回転筒体１０を回転自由に連結してその中空のレーザ誘導空間１７を通して前記レーザ光発振器１１からのレーザ光を小孔内部表面に送る一方、この内部表面からの反射光を前記回転筒体１０の内周面に環状に且つ長さ方向に沿って配設する光ファイバー１５に通して回収し、単一の前記回転筒体１０の内部表面に照射光と反射光の光路を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、製造時にフィルムに生じた欠陥を精度良く検出できるフィルム検査装置を提供することにある。
【解決手段】検査装置１０は、フィルム１２に光Ｌ１、Ｌ２を照射して正反射光を形成させる光照射装置１６と、欠陥を検出するためのセンサ１８とを備える。フィルム１２には光の帯２２が生じ、センサ１８はその間の暗部２４を検出領域とする。通常、センサ１８の受光量は低いが、欠陥によって散乱光が生じると受光量が高くなり、欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】光源から出射された照明光の拡散光を低減することで、欠陥部分の発見がし易い照明光を出射することができる照明装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対し検査用の照明光を照射する照明装置１において、光源から出射された照明光の拡散を低減する拡散低減手段を備えることとする。拡散低減手段としては、遮光部材および集光レンズを使用することができる、また、遮光部材としては、筒体３、遮光板を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】デバイスの高集積化に伴い、熱処理の低温化が進んだことにより、抵抗率の低いシリコン単結晶ウエーハに形成されるようになった小さなＢＭＤなどの微小な欠陥であっても検出することができる高感度の結晶欠陥の検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出用のレーザーをシリコン単結晶ウエーハに入射し、結晶欠陥で散乱した散乱光を検出することにより、シリコン単結晶ウエーハの結晶欠陥を検出する結晶欠陥の検出方法において、シリコン単結晶ウエーハの抵抗率が０．０５Ω・ｃｍ以下のシリコン単結晶ウエーハを用いて、シリコン単結晶ウエーハの主表面に対して直角に劈開し、欠陥検出用のレーザーを劈開面に対して斜めに入射し、劈開面からの散乱光を検出して劈開面の表面層に存在する欠陥を検出することによってシリコン単結晶ウエーハの結晶欠陥を検出することを特徴とする結晶欠陥の検出方法。 （もっと読む）

多数の溝（２０）を画成するハニカム構造体（１２）を備えたセラミック・フィルター体（１０）の欠陥（ＤＥＦ１〜ＤＥＦ６）を検出するためのシステム（５０）及び方法の開示である。栓体（３０）により選択溝の端部（２２、２４）が封止される。この方法において、光学的に連絡できるようハニカム構造体の第１及び第２端部（１６、１８）にそれぞれ動作可能に配された第１光源ユニット（５２）及び第１検出器ユニット（６２）が使用される。多数の溝を通して、第１光源ユニットから第１検出器ユニットに光ビーム（ＬＢ）が送出される。特定の栓体の欠陥により対応する光ビームの検出可能部分（ＬＢＤ）が検出される。多数の検出器素子（６４）を用いて検出可能光ビーム部分を検出することにより、位置及び強度変化の情報が得られ、その情報により欠陥の正確な位置及び種類を推定できる。対向端部（１６、１８）に配された光源ユニット（５２、５２’）及び対向端部（１８、１６）に配された検出器ユニット（６２、６２’）により、セラミック・フィルター体の両端において欠陥の同時測定が可能な“両端型”システムが構成される。非填塞セラミック・フィルター体の欠陥（ＤＥＦ４、ＤＥＦ５）を測定するためのシステム及び方法も開示されている。
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【課題】小形でかつ制御の容易な高精度の光ファイバ検査装置を提供する。
【解決手段】光ファイバ検査装置１０は、光導入部１２と画像取得部１４と画像処理部１６とを備える。光導入部１２は、光源１８と、光源１８が発する光Ｌを実質的に閉じ込めることができる遮蔽室２０とを備える。遮蔽室２０は、閉じ込めた光Ｌを、光ファイバＦの一部分Ｆ１の全周から光ファイバＦに導入する。画像取得部１６は、遮蔽室２０の外部にある光ファイバＦの他部分Ｆ２の側方に遮蔽室２０から独立して配置される１つ又は複数のカメラ２２を備える。カメラ２２は、遮蔽室２０で導入された光Ｌの一部を放射する光ファイバＦの他部分Ｆ２の側面を、予め定めた画角Ｖで複数の方向から撮像して、他部分Ｆ２の全周に渡る画像を表わす複数の側面画像Ｉを取得する。画像処理部１６は、カメラ２２が取得した複数の側面画像Ｉを個々に処理して、各々の側面画像Ｉにおける欠点Ｄを検出する。 （もっと読む）

【課題】ライニング硬化材によって補修された補修済み管路において、変形・損傷箇所等のひずみを計測する技法を提供する。
【解決手段】本発明による管路ひずみ計測方法は、既設管路(2)内をライニング材(5)で補修する際に既設管路(2)とライニング材(5)との間に少なくとも１本の光ファイバ(6)を配設し、光ファイバ(6)にパルス光を入射して、既設管路(2)のひずみを計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】細かな欠点の輪郭や、欠点箇所の中に存在する高い空間周波数のコントラストを高精度に検出する欠点検査装置および欠点検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物に光を投射する投光手段と、該被検査物を介した透過光または反射光を受光する受光手段と、該受光手段が受光した透過光または反射光に基づいて前記被検査物の欠点を検査するデータ処理手段とを有する検査装置であって、
前記受光手段は、受光中心光軸からの距離が大きくなるにしたがって、光透過率が小さくなることを特徴とする欠点検査装置。 （もっと読む）

【課題】不均質部分による不良を精度よく検出し、不良部分を確実に排除可能な透明管体の外観検査装置及び外観検査システムを提供する。
【解決手段】光軸方向に順に光源１９、管軸方向のスリット３２を１本有するスリット部材２１、光軸直交方向に移送されるガラス管１５、撮像装置２０を配置し、スリット部材２１を背景にガラス管１５を所定単位時間毎に撮影し、撮影画像のガラス管内径部分を通してのスリット画像の幅寸法を測定手段３４で測定し、測定されたスリット画像の幅寸法をもとに、判断手段３５で、所定時間内の幅寸法の最大値、最小値及び最大値の差と、予め設定された各閾値とを比較してガラス管１５の外観の良否を判断する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの表面の押圧を一定にすることが可能な異物検出方法を提供すること。
【解決手段】一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した異物の有無を検出する異物検出方法であって、複数の押圧突起が外周面に設けられた押圧ローラと、押圧ローラを回転させるローラ回転手段と、ローラ回転手段を液晶表示パネルの表面に対して平行に移動させるローラ移動手段とを備え、液晶表示パネルの表面をローラ回転手段により回転される押圧ローラの押圧突起によって押圧することにより、基板間に混入した異物による表示欠陥を顕在化させる。 （もっと読む）