【課題】 検査効率の優れる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の光モジュールの一例である検査装置１０は、インゴット２０を載せる載台４０と、インゴット２０にレーザ光を照射する光源５１と、光源５１の照射する光がインゴット２０で散乱した光を検出する検出器６１と、インゴット２０の厚み方向に、光源５１と載台４０との相対位置を移動する第１可動台５３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象物を測定しつつ画像を取得するとともに画像を所望の視線方向から観察できる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１は、画像を取得する撮像素子１８と、測定対象物Ｗの被照射領域Ｗ１に光線を照射する発光部２６および光線を検出する受光部２８を有し、発光部から被照射領域までの距離を測定する測定部２０と、発光部の位置を測定する位置測定部２１と、発光部の向きを測定する姿勢測定部２２と、発光部の位置および向き並びに発光部から被照射領域まで距離に基づいて被照射領域の位置および向きを算出する領域状態算出部５５と、画像から抽出画像を作成する画像切出し部５４と、抽出画像を領域状態算出部により算出された位置および向きに対応付けて記憶する記憶部５６と、仮想空間に位置および向きに基づいて配置された抽出画像を視線方向に基づいて変換した視線変換全体画像を作成し表示部に表示させる画像処理部５７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】短時間での検査が可能な、ハニカムフィルタの欠陥を検査する方法、及び、ハニカムフィルタの欠陥の検査装置を提供する。
【解決手段】一端面１００ｂから他端面１００ｔに向かう複数の流路１１０を形成する隔壁１１２を有するハニカム構造体１００の一端面１００ｂに光を照射する工程と、ハニカム構造体１００の他端面１００ｔから出射する光の輝度の二次元分布を取得する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 塗装表面欠陥検査方法及び塗装表面欠陥検査装置に関し、表面塗装状態の検査を１回の画像撮像により簡便に且つ高効率に行う。
【解決手段】 縞状明パターンと縞状暗パターンとが交互に配列された明暗パターンの照射光を、１回の照射時間内に前記明暗パターンの切り替えと照射輝度の変調を行って検査対象物の塗装表面に照射する工程と、前記塗装表面からの反射光を撮像装置により画像として取得する工程と、前記取得した画像における輝度情報から前記塗装表面の内部の異物や混入物の影響と前記塗装表面の凹凸欠陥とを区別する画像処理工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ガラス基板の搬送方向の平坦性を確保し、精度よく検査できるガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、ガラス基板をエアで浮上力を発生させて浮上させ、前記浮上力のない検査領域に搬送し、前記検査領域において前記ガラス基板を撮像し検査するガラス基板欠陥検査装置または検査方法において、前記検査領域における前記基板ガラスの搬送方向の端部の跳ね上がりによる変位量を低減し、前記検査を行なうことを特徴とする。また、前記低減は前記検査領域における前記ガラス基板の前記変位量を測定し、前記変位量測定結果に基づいて、前記撮像する撮像手段を移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性を有する異物の検出に要するコストの低減を図りつつ、極く小さな異物であっても確実に検出する。
【解決手段】非導電性材料で形成された樹脂フィルム２０にマイクロ波Ｗｍを照射して樹脂フィルム２０に含まれている導電性を有する異物Ｘを選択的に発熱させる発熱処理を実行するマイクロ波照射部３と、樹脂フィルム２０を撮像して樹脂フィルム２０における各部の温度を検出するサーモカメラ４と、マイクロ波照射部３による発熱処理およびサーモカメラによる樹脂フィルム２０の撮像（樹脂フィルム２０における各部の温度の検出）を制御すると共に、サーモカメラ４の撮像結果を温度検出結果として分析して、発熱処理によって発熱した発熱部位に異物Ｘが存在すると検出する処理部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】カバー絶縁層中の異物の有無を精度よく検査することのできる検査装置、および、配線回路基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】カバー絶縁層に入射する入射光３１を発光する光源ユニット２と、入射光３１がカバー絶縁層の表面で反射された反射光３２を受光するカメラユニット３とを備える検査装置１において、光源ユニット２に、ベース絶縁層の表面との角度が２５°以下となるように、入射光３１を発光する環状の第１発光部６と、ベース絶縁層の表面との角度が３５〜６５°となるように、入射光３１を発光する環状の第２発光部７とを設け、その検査装置１を用いて、カバー絶縁層中の異物の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】本発明の態様は、吸着保持装置の被吸着物を吸着する側の主面の表面領域に内在している欠陥部に対する定量評価を行うことができる吸着保持装置の表面評価方法を提供する。
【解決手段】被吸着物を吸着する吸着保持装置の前記被吸着物を吸着する側の主面に対する表面評価方法であって、レーザ顕微鏡を用いて求められた前記主面における干渉縞の像に基づいて前記主面に対する表面評価を行うことを特徴とする吸着保持装置の表面評価方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ユーザごとの判定条件を用いる事で歩留まり向上、製造コスト低下、生産性を大幅に改善することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を構成する単層体及び／又は積層体であって、シート状製品表面の保護層が設けられていない状態で当該単層体及び／又は積層体を検査することで得られる欠点に関する欠点情報を取得する欠点情報取得手段と、前記欠点情報取得手段で取得された欠点情報を解析し、良品か否かを判定する条件である判定条件に従って、シート状製品原反の切断位置情報を算出する切断位置情報算出手段とを備える検査データ処理装置である。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの欠陥を観察するに至るまでの段取り工程及び観察後の後始末工程を合理化・簡略化する外観検査方法を提供し、同時に製造した反射防止フィルム全長の外観検査が可能な外観検査装置を提供することを目的とした
【解決手段】フィルム基材２の一方の面に反射防止層４，５，６，７が形成された反射防止フィルム１の他方の面にフィルム基材の屈折率と同等の屈折率を有する部材を貼付し、反射防止層側から観察することを特徴とする反射防止フィルム１の外観検査方法であって、特にフィルム基材２の屈折率と同等の前記部材が、黒色のウレタンゲルであることを特徴とする反射防止フィルム１の外観検査方法である。 （もっと読む）

【課題】透明材料中に存在する欠陥の検出方法及び検出装置を提供する
【解決手段】透明材料の一定の容積部分を第一放射光源で照射する工程と、第二放射光源の光を前記透明材料中へ照射結合させて前記容積部分中の前記光の光路が前記透明材料の内部だけに拡がるようにする工程と、前記透明材料の前記容積部分中の前記欠陥の存在を検出するため、前記容積部分中の欠陥からの散乱光、前記容積部分中の前記欠陥からの明度視野吸収、及び／または前記容積部分中の前記欠陥による前記第一放射光源の光の偏向を検出する工程から構成される透明材料中の欠陥の検出方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、セラミック球体を破壊することなく、表面層の内部の欠陥およびスノーフレークの有無を検出するセラミック球体検査装置を提供すること。
【解決手段】セラミック球体Ｓを所定の位置で自転可能に支持し、投光手段１１０の照射光を受光手段１２０で検出して表面層の内部状態を評価するセラミック球体検査装置１００であって、受光手段１２０が投光手段１１０から照射される照射光のセラミック球体の表面での反射光を検出しないように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの線幅を測定可能であるとともに、繰り返しパターンの下層部の状態を検出可能な表面検査方法および装置を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および繰り返しパターンの下層部の状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い線幅感応瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、線幅変化の影響を受けない線幅不感応瞳内位置での階調値から繰り返しパターンの下層部の状態を求める。 （もっと読む）

【課題】チップＬＥＤの封止樹脂部に存在する不透光性の異物を正確に検出できる検査装置を提供する。
【解決手段】チップＬＥＤ５０を支持する支持部材５と、チップＬＥＤ５０の表面を照明する上部照明機構１０と、チップＬＥＤ５０の表面側の画像を撮像するカメラ６と、撮像画像を解析して異物の有無を判定する判定部８とを備える。上部照明機構１０は、ドーム状をした本体、及びこのドーム本体内に配設された複数の光源を備え、ドーム本体の下面開口部から下方に向けて照射される光によってその下方を間接照明する第１照明部と、リング状をした本体、及びリング本体の下面に配設された複数の光源を備え、この光源から照射される光によってその下方を直接照明する第２照明部とから構成される。カメラ６は、第１照明部の上方に配設され、その撮像用開口部を通してチップＬＥＤ５０の表面画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】従来の画像処理による自動検卵機構を改良する。
【解決手段】有精卵を配置する検査用ホイルと有精卵内部に光を当てる照射手段と卵内部のカラー画像を撮像するカラーＣＣＤカメラを備えた画像撮像と撮像した卵画像を用いて正卵判定する非破検査部とを備えた有精卵の検査装置において、割卵機から供給される液卵を収容して搬送されるカップを検知するセンサーと，該センサーのカップ検知によりＣＣＤカラーカメラで液卵の画像を取り込む画像処理装置と、該画像処理装置に割卵機制御装置を介して不良液卵をカップから排出させる分別機構により、出力トリガ信号を送信する出力バッファとから構成されることを特徴とする画像受理による自動検卵機構の提供。 （もっと読む）

【課題】板状透明体の表面に存在している長径１０μｍ程度の微細傷を、顕微鏡精査を行うことなく検出することができる板状透明体の欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１０は、ガラス基板Ｇの下面に存在している微細傷に強い受光感度を有する受光角度θ_１（０°＜θ１≦６０°、好ましくは３０°≦θ_１≦４５°）に、受光器２２、２４の受光方向を設定した。また、受光器２２、２４による観察部位に到達する照明光の光量が一定となるように、投光器１８、２０側の出力強度をＣＰＵによって制御することで、受光器２２、２４側のダイナミックレンジ不足を補い、受光器２２、２４側で信号補正を行うことなく、微細傷の検出を可能にした。更に、双方の受光器２２、２４で検出された総受光量（輝度）の積分値に基づいて微細傷の深さを算出した。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に対して洗浄加工を行なった場合の洗浄加工後にマスク基板に残る欠陥が洗浄加工プロセスによるものなのか、マスク基板自体の内部欠陥によるものなかを容易に判定する。
【解決手段】第１及び第２の受光手段に受光された散乱光に基づいて基板の両面（表面及び裏面）に存在する欠陥を検出することができるので、基板の洗浄加工の前後で両面の欠陥の存在位置をそれぞれ比較することによって、洗浄加工によって基板両面に存在していた欠陥が除去されたか否かを容易に判定することができる。すなわち、基板の洗浄加工処理によって基板から所定数の欠陥が除去されなかった場合には、マスク基板の内部に欠陥が存在する可能性が高いので、基板内部の欠陥の検出処理行い。その結果に基づいて洗浄加工によって除去できなかった欠陥が基板内部の欠陥であるのか、洗浄加工プロセスの問題によるものかを容易に判定することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板（被検査物１０６）の表面に光を照射する投光装置１０１と、この電極パターンを撮像する撮像装置１０２と、電極パターンを撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、撮像装置１０２で撮像した電極パターンの画像と予め登録した電極パターンの原画像とを比較して電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、電極パターンで反射した反射光の輝度と、ガラス板で反射した反射光の輝度との差が所定以上になるように投光装置の光量が設定されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】電極パターンを有するガラス板（被検査物１０６）の裏面に光を照射する第１投光装置１０１と、ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置１０９と、ガラス板の表面を撮像する撮像装置１０２と、ガラス板の表面を撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、撮像装置１０２で撮像したガラス板の表面の画像を画像処理して、電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、第１、第２投光装置１０１、１０９による照明条件が、ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像、ガラス板の画像、電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】壁体に生じている空隙部の状態を、視覚を通じて十分に把握できるようにした、壁体の診断方法および壁体診断報告書を提供する。
【解決手段】躯体２および躯体２の表面に設けた仕上げ材３からなる建築物の壁体１に生じた空隙部６，７の状態を、カメラユニット１１を用いて診断する壁体１の診断方法であって、空隙部６，７が生じた壁体１の要診断箇所に、仕上げ材３を貫通し躯体２に達する診断用穴８を穿孔する穿孔工程と、診断用穴８にカメラユニット１１の鏡筒１５を挿入し、診断用穴８における空隙部６，７を撮像する撮像工程と、撮像工程の撮像結果に基づいて、空隙部６，７の状態を診断する診断工程と、を備えたものである。 （もっと読む）