【課題】多重解像度解析により物体検出を行う際に用いる画像処理フィルタのパラメータを、操作者による最適パラメータの指定を要さずに最適化して、精度よく物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置は、候補フィルタを記憶する候補フィルタ記憶部と、候補フィルタで多重解像度の学習用サンプル画像の各解像度画像を走査する候補フィルタ走査部と、候補フィルタ走査部による走査の結果を用いて学習用サンプル画像の各解像度画像の走査結果についての競合学習を行う競合学習部と、候補フィルタを、競合学習部による競合学習の結果において極値を示した学習用サンプル画像の解像度の最適フィルタに決定する最適フィルタ判定部と、多重解像度の被験対象画像を最適フィルタで画像処理して被験対象画像に含まれる物体を検出する物体検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物品の色に応じた最適な検査手段、方法により、誤判定を無くすための技術を提案する。
【解決手段】検査対象となる物品（実施例では瓶２）を撮像するための少なくとも一つの撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅと、前記物品に対して光を照射するための少なくとも一つの照明装置１２と、を有し、前記光が照射された前記物品を前記撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅにて撮像し、撮像された画像に基づいて前記物品の欠陥を判定するための反射系検査部１０を有する、物品の欠陥検査装置１であって、前記照明装置１２は、検査対象となる物品（瓶２）に対して照射する光の色を変更できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ（２３）により受光され、その出力信号は信号処理装置（１１）に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する２次元画像生成手段（３２）を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段（３４）に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段（３６）に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第１の分類手段（５０）と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第２の分類手段（５１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】反射光に阻害されることなく透過光画像を観察して卵の品質を検査することができる卵検査装置を提供する。
【解決手段】卵４を搬送方向に沿って列状に搬送する搬送装置１と、搬送装置１の上の卵４に近接する位置から照射光を卵殻内に向けて斜め上方に照射する光源２と、搬送装置１の上方から光源２の光軸と非平行な方向で卵の透過光画像を撮影する撮像装置３を備える。 （もっと読む）

【課題】平板ガラスの内部に含まれた異物を、ガラス品質に影響を及ぼす異物と、ガラス品質に影響を及ぼさない異物とに正確に判別する。
【解決手段】平板ガラスの異物検査装置は、平板ガラス１の上部または下部領域に設けられる照明部３１と、照明部３１と平板ガラス１との間に設けられる第１偏光板１１と、照明部３１に対して反対方向に取り付けられる第１及び第２カメラ１０、２０と、第１カメラ１０と平板ガラス１との間に設けられ、第１偏光板１１の偏光方向と０゜乃至２０゜の範囲の偏光方向を有する第２偏光板１３と、第２カメラ２０と平板ガラス１との間に設けられ、第１偏光板１１の偏光方向と７０゜乃至９０゜の範囲の偏光方向を有する第４偏光板１７と、第１及び第２カメラ１０、２０から獲得した映像を入力し、良品性異物であるか、または不良性異物であるかを判別する処理部５０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の内部欠陥による蛍光部画像がモヤ状画像でもそのエッジを検出して内部欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】マスクブランク用ガラス基板の製造時に、２つの主表面と４つの端面を有するガラス基板を準備する基板準備工程と、いずれかの面から波長２００ｎｍ以下の検査光をガラス基板内に導入して内部欠陥を検出する欠陥検査工程とを有するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、欠陥検査工程は、いずれかの面から前記ガラス基板を撮影し、当該撮影画像に対して遠隔差分により光量差を求める処理を含む画像処理を行うことで、検査光によって、ガラス基板の内部欠陥から発生する蛍光の有無を判定し、蛍光が無いと判定されたガラス基板を選定する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつコンパクトな構成でありながらも、照射範囲が広い照射装置を提供すること。
【解決手段】検査対象物２からの透過光に基づく検査を行うための光を前記検査対象物２に照射する照射装置１０において、前記光源たる集光型放電ランプユニット５の光を点光源形成球レンズ５１に通して点光源６を形成し、当該点光源６から発散する光を前記検査対象物２に照射する構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、受光した散乱光の中から非弾性散乱光を取除くことによってＳ
／Ｎ比が向上し、安定的に異物や欠陥の検出することにある。また本発明は、非弾性散乱
光を選択することで、弾性散乱光で検出した欠陥や被検査面の組成分析、若しくは被検査
物表面上の欠陥や、被検査物内部の組成を解明できる検査方法と検査装置を提供すること
にある。
【解決手段】本発明の表面検査方法は、光学的に被検査物の表面内からの弾性散乱光と非
弾性散乱光とを別々に、或いは同時に検出し、被検査物の欠陥の有無及び欠陥の特徴を検
出し、検出された欠陥の被検査物の表面上の位置を検出し、検出された欠陥をその特徴に
応じて分類し、欠陥の位置と、欠陥の特徴又は欠陥の分類結果とに基づいて、欠陥の非弾
性散乱光検出による分析を行うものである。 （もっと読む）

【課題】傷検査装置、傷検査システム、及び傷検査方法において、検査対象の表面を短時間で検査すること。
【解決手段】移動途中のフィルム２の表面に、強度が所定の周波数で変化する検査光Lをライン状に照射する光照射部８と、検査光Lの照射によりフィルム２から出た散乱光Mを集光する鏡１２と、鏡１２で集光された散乱光Mの強度に応じた出力信号S_Mを出力する光電変換部１５と、出力信号S_Mの周波数と検査光Lの周波数とが同一であるか否かを示す周波数比較信号S_Fを出力する周波数比較部３２とを有する傷検査装置による。 （もっと読む）

【課題】近赤外光の撮像が可能な簡便な近赤外撮影装置を提供すること、及び既存のデジタル画像撮影装置を用いた近赤外撮影機構を提供すること。
【解決手段】波長が９００ｎｍないし１０００ｎｍの範囲内で所定の波長の近赤外線を発する発光ダイオードを単数又は複数備えるＬＥＤ光源手段１４と、ＬＥＤ光源手段１４が照射する被写体からの反射光のうち波長が９００ｎｍより短い成分を遮断するフィルタ手段１６と、フィルタ手段１６を透過した反射光を撮像し、波長１０００ｎｍないし１１００ｎｍを感度限界とする分光特性を有する可視光用イメージセンサを備える撮像手段１２と、撮像手段の出力を画像表示する画像表示手段１３と該各手段で必要な電力を供給する電源手段とを一体的に組み合わせて小型カメラ形状に構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の処理ユニット有する基板処理装置において、基板を精度良く検査或いは処理でき、タクトタイムを向上できる基板搬送装置または基板搬送方法あるいは基板処理システムまたは基板処理方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板を処理する複数の処理ユニットに跨って形成される搬送ステージ上を前記基板を搬送する際に、前記搬送は、前記基板の第１の辺を把持する第１把持搬送体を前記搬送する方向に平行回送移動させ、前記基板の第２の辺を把持する第２把持搬送体を前記搬送する方向に平行回送移動させ、前記第１把持搬送体から前記第２把持搬送体に前記把持を移行させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜に液体を充填していない空壜の場合に壜底部のビリ（底ビリ）を精度良く検出できる光学撮像系を備えたガラス壜の検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１の底面側から照明する照明２と、照明２から投光される照明光の一部を遮る遮光板４と、ガラス壜１の底面から上方に立ち上がっていく部分である彎曲した曲面の壜底外周縁１ｅと該壜底外周縁に連なる壜底部１ａとを撮像するカメラ３とを備え、照明２を水平面に対して傾けて配置し、かつ照明２を光源と集光レンズ２２とで構成することにより、照明２からの照明光をガラス壜１のカメラ側の壜底外周縁１ｅおよび該壜底外周縁より内側の底部下面に集光するようにし、遮光板４により照明２からガラス壜１の底部下面１ｂに投光される照明光の一部を遮り、照明２からの光がカメラ側の壜底外周縁１ｅおよび該壜底外周縁に近い底部下面１ｂの領域のみに入射するようにした。 （もっと読む）

【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板が薄くなっても、基板自体の有する歪量を矯正し、基板を精度よく検査できる基板欠陥検査システム及び基板欠陥検査方法並びに、基板自体の有する歪量を矯正し、基板を検査可能範囲に維持して搬送できる搬送装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、基板を載置し前記基板を検査する検査領域に搬送し、前記検査領域に検査光を照射して前記基板を撮像し前記基板の欠陥を検査する基板欠陥検査システムまたは基板欠陥検査方法において、前記基板を湾曲形状に矯正し、前記湾曲形状に沿って配置され複数の光学検査ユニットで前記検査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】農産物Ａ内部の偏った部分に局所的な障害がある場合でも、的確に検査できる内部品質検査装置を提供する。
【解決手段】本願発明の内部品質検査装置は、農産物Ａを載せた受け皿Ｐを搬送するコンベヤ装置１０の挟んだ一側方に、前記農産物Ａに測定光を照射する投光部４３を配置する。他側方には、前記農産物Ａからの検出光を検出する受光部４４を配置する。前記受光部４４の検出結果に基づき前記農産物Ａの内部品質を検査する。前記コンベヤ装置１０のうち少なくとも前記投光部４３及び前記受光部４４の間に、前記受け皿Ｐを一方向に横回転させる横回転付与手段２３，２４を備える。 （もっと読む）

【課題】レンズシート表面の局所的な歪み等の欠陥を精度良く検出する。
【解決手段】レンチキュラーレンズが複数配列されたレンズシート１２に照明光を照射する光源装置２１と、エリア３１について、レンズシート１２を透過した照明光のエッジ３２を撮像して第１画像を取得する第１撮像装置２２と、第１画像に基づいて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度に対応するデータとしてシャープネスを算出するシャープネス算出部１７と、算出されたシャープネスに応じて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度を調節する検査位置制御部１８と、レンズシート１２上から合焦点がずらされたデフォーカス状態で前記レンズシートの全幅にわたってエッジ３２を撮像して第２画像を取得する第２撮像装置２３と、第２画像に基づいて、レンズシート１２の欠陥を検出する欠陥検出部１９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高温状態にある鋳造品の検査を行うことができる鋳造品の検査方法を提供する。
【解決手段】鋳造品の検査方法であって、鋳造品表面において熱放射赤外線比率が基準値よりも高い高放射領域（擬似黒体部）の赤外線強度を検出するとともに、鋳造品表面において検査対象として定められた検査領域の赤外線強度を検出するステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、検査領域の赤外線強度と高放射領域の赤外線強度との比率（熱放射赤外線比率）を算出するステップ（Ｓ６）を有している。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体のセル内の隔壁の欠陥を検出することが可能なハニカム構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】一方の端面から他方の端面まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有するハニカム構造体１００を検査対象とし、ハニカム構造体１００の一方の端面１１を、一方の端面１１との角度θが０°より大きく９０°より小さくなる方向から、撮像装置２１で撮像して、ハニカム構造体１００のセル内の隔壁の欠陥を検査するハニカム構造体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】
測定時間及び費用を低減させるようにガラス基板から反射された反射光のうち上面から反射された光のみを用いてガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の不均一度測定システムは、第１光をガラス基板に照射する光源部及びスクリーンを含む。ここで、光源部から照射された第１光はガラス基板の上面及び下面で反射され、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光がスクリーンに入射されて第１帯を形成し、ガラス基板の下面によって反射されて上面を通じて出力された第２反射光がスクリーンに入射されて第２帯を形成し、第１帯と第２帯が分離されて形成されるように光源部及びスクリーンがガラス基板を基準として配列される。 （もっと読む）

【課題】分ガラス基板の全面亘って平坦性を確保し、精度よく検査できるガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法あるいはガラス基板欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】ガラス基板をエアで浮上力を発生させて浮上させ、前記浮上力のない検査領域に搬送し、前記検査領域において前記ガラス基板を撮像し検査するガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法において、前記検査領域の周囲において、前記浮上力を発生する前記ガラス基板面と反対側の面に前記ガラス基板をエアで挟み込む挟込力を発生させる。 （もっと読む）