【課題】オリフィスから切り出されたゴブ形状を容易に解析できるようにし、ガラス製品の品質を向上させる。
【解決手段】オリフィスから切り出されて落下しているゴブを水平方向にスキャンするラインセンサカメラと、該ラインセンサカメラからのデータを処理する処理手段を有し、該処理手段は、ゴブ1個分の前記データにおいて所定の明るさ閾値ＢＢ1を超える素子数の合計が所定の素子数閾値ＥＢを超えたときに不良ゴブであると判定することで、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】成形機で製造されたガラス製品を、徐冷炉に入る前のホットエンドで傷、泡、異物などの欠陥を精度良く検査できるようにする。
【解決手段】成形機で成形され、搬送されているガラス製品を徐冷炉の手前で撮像する赤外線カメラと、その撮像した画像を処理する処理手段を有し、処理手段が、前記画像の輪郭の内側に検査領域を設定し、該検査領域内において所定の明るさ閾値から外れる画素数を求め、その画素数が所定の画素数閾値を超えた場合に不良品であると判定するようにすることで、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】 板状ガラスをマスクブランク用ガラス基板の形状に加工する１次形状加工工程と、前記ガラス基板の一端面を鏡面研磨し、波長２００ｎｍ以下の検査光を導入して内部欠陥から発生する蛍光の有無を検査し、蛍光が検出されないガラス基板を選定する欠陥検査工程と、前記選定されたガラス基板を研削および研磨を行う２次形状加工工程とを有し、前記欠陥検査工程における前記ガラス基板内の内部欠陥から蛍光が発生するのに必要な強度の検査光が届く領域の両主表面間方向の幅は、２次形状加工工程後のガラス基板の両主表面間の厚さよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
被検査球に非接触で有害なキズをつけることなく検査を実施することができて、光を透過する材質を含む被検査球の全表面及び内部のキズ，異物及び欠陥の有無を判定可能とする。
【解決手段】
球体保持器４と、流体供給装置１を含み、球体保持器４は中心部に流体供給装置１に連通する流体噴出孔２ａを有していると共に、上面に半球状のくぼみを形成してなり、かつ半球状のくぼみには中心より放射方向に１本又は非対称複数本の流体流出溝３を設けて被検査球７を流体噴出孔２ａよりの噴出流体で球体保持器４上に浮揚させ、非接触で回転させながら検査手段により被検査球７の全表面及び内面を検査する。 （もっと読む）

【課題】スミヤやブルーミング等を抑えて適切な検査を行い、バックライト光の範囲を調節して誤判定を抑制する。
【解決手段】被検査パネルの非点灯検査を行う非点灯検査装置である。搬送装置に臨ませて設けられ、当該搬送装置で搬送される前記被検査パネルの画像を取り込むラインカメラと、前記ラインカメラに臨ませて配置され前記被検査パネルに光を照射するバックライトと、前記搬送装置で搬送されてくる前記被検査パネルの位置を、前記ラインカメラの上流側で検知するパネルセンサと、前記バックライトからの光を制御して効率的に前記ラインカメラに入射させる光制御板と、前記被検査パネルが前記ラインカメラの視野に入るまでの設定時間後に前記バックライトを点灯させる制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】タイヤ内面の検査において、ハレーションを抑制してタイヤ内面のキズや汚れ及び異物などの検出精度を向上させるタイヤ内面検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ内面検査装置が、タイヤ内面の一方のタイヤサイド側に光を照射する第１照射手段とタイヤ内面の他方のタイヤサイド側に光を照射する第２照射手段と、第１照射手段の照射面に取り付けられる第１偏光手段と第２照射手段の照射面に取り付けられる第２偏光手段と、第１照射手段と第２照射手段が照射する光に基づき一方、他方のタイヤサイドを含むタイヤ内面を撮像する撮像手段とを備え、撮像手段が第１照射手段と第２照射手段によってタイヤ内面に照射された光のタイヤ内面からの反射光を偏光する撮像用偏光手段を備える。 （もっと読む）

【課題】透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム。
【解決手段】本願発明のシステムは、複数の検出チャネルを備え、その各々が、該サブストレートに照明を提供するための照明コンポーネントと、前記サブストレートの画像を提供するために前記サブストレートをスキャンする画像形成コンポーネントと、該サブストレートと該照明コンポーネントと複数の検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントの間の相対運動を生成するための移送モジュールと、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントを制御するための制御モジュールと、を含む。前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも２つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供しその検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするようになっている。ここで、複数の検出チャネルの少なくとも２つの検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、同一の画像形成コンポーネントである。本願発明によって記述される方法とシステムは、実際の欠陥を検査されたサブストレートをクリーニングする必要がない疑似欠陥から識別することができる。 （もっと読む）

【課題】非透過層の表面上の欠陥のみを判別可能とすることで、歩留り向上につなげることができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】カメラで撮像される画像において波長ごとに焦点距離が異なることを利用して、波長の短い青色成分については光透過層１０２の表面近くで焦点が合い、波長の長い赤色成分については非透過層１０１の表面近くで焦点が合うように、レンズ１１−対象物１００間の距離を設定する。これにより、撮像画像においては、光透過層１０２の表面上の欠陥に関しては赤色成分の方が輪郭がぼやけて面積が大きくなり、非透過層１０１の表面上の欠陥に関しては青色成分の方が輪郭がぼやけて面積が大きくなる。そこで、画像処理装置では、撮像画像の赤色成分と青色成分とを比較することで非透過層１０１上の像か否かを識別し、非透過層１０１の表面上の欠陥のみを判別する。 （もっと読む）

【課題】短時間かつ非接触にて、目封止部の深さ及び目封止部の欠陥を、同時に検査することが可能な目封止ハニカム構造体の検査装置を提供する。
【解決手段】一方の端面３５から他方の端面３６まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有し、セルの端部に目封止部を有する筒状の目封止ハニカム構造体３１を検査対象として、検査対象である目封止ハニカム構造体３１の一方の端面３５を照らす光源１と、光源１から一方の端面３５に照射されて目封止ハニカム構造体３１の目封止部を透過して他方の端面３６から放射される光を、集光するカメラ側レンズ２と、カメラ側レンズ２で集光した光を、受光するカメラ３と、カメラ３で受光した光を画像処理して、目封止ハニカム構造体３１の目封止部を透過した光の明暗を表示する画像処理機４を備えた目封止ハニカム構造体の検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】ガラス板中の各種欠陥を識別し、特に強化ガラスの自爆の原因となる硫化ニッケル等の異物を検出する。
【解決手段】搬送移動するガラス板に、拡散光を照射し、ガラス板の上方に設けたラインカメラにてガラス板の搬送方向と直交する幅方向を走査撮像し、得られた明部と暗部の濃淡画像信号によりガラス板の欠陥を識別する方法において、ガラス板の上方に設けた上部照明による拡散光をガラス板面に照射し、ガラス板の下面に欠陥の陰影を投影すると共に、該上部照明によるガラス板面での正反射光を前記ラインカメラに入射させ、ガラス板の下面に投影された欠陥の陰影と、下面で正反射する光を欠陥により遮光した欠陥の実像とを前記ラインカメラで撮像し、実像と陰影との距離によって欠陥の表面からの深さを算出し、該欠陥深さがガラス板表面から所定深さ以下の位置にある欠陥をガラス板の表面欠陥とし、所定深さ以上の位置にある欠陥を内部欠陥と識別する。 （もっと読む）

フーリエフィルタリングおよびイメージ比較を用いるマスク検査システムは、第１ディテクタと、動的フーリエフィルタと、コントローラと、第２ディテクタとを含んでよい。第１ディテクタは、検査システムのフーリエ面に配置され、かつマスクの領域によって生成されるパターン付き光の第１部分を検出することができる。動的フーリエフィルタは、パターン付き光の検出された第１部分に基づいてコントローラによって制御されてよい。第２ディテクタは、マスクの一部によって生成され、かつ動的フーリエフィルタを透過したパターン付き光の第２部分を検出することができる。さらに、マスク検査システムは、パターン付き光を別のパターン付き光と比較するためにデータ解析デバイスを含むことができる。結果的に、マスク検査システムは、マスクの領域上のあらゆる可能な欠陥をより正確にかつより高い解像度で検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 フッ化カルシウム単結晶、フッ化マグネシウム単結晶等のフッ化金属によって構成される光学材料の光学品質を簡便かつ精度よく評価する。
【解決手段】 評価対象とする光学材料を、予めフッ化金属を電解質として溶解させた水溶液に浸漬し、該浸漬状態で光を照射し観察等する。液中で観察することによって表面の研磨傷や埃の影響を低減でき、かつフッ化金属を電解質として溶解させた水溶液を用いることによって、長時間浸漬しても光学材料の表面が溶解するなどして白化するという現象が起こりにくい。フッ化金属を溶解させた水溶液は飽和水溶液とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】検査対象が光のビーム径程度に薄く、曲がることが起こりうる場合および検査対象の厚みのばらつきが大きい場合においても安定した検査を行うことができる透明物体の欠陥検査方法および透明物体欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】光を透過可能な透過物体の欠陥を検査する透過物体の欠陥検査方法であって、透過物体の側面からなる平面に対し、透過物体の上面側から下面側にかけ複数の照射位置で、面垂直方向に光を照射し、平面に対し入射された複数の照射位置における各光が塵埃または欠陥により散乱された散乱光を受光し、複数の照射位置における各散乱光を信号にそれぞれ変換し、それぞれ変換した各信号における所定の値が第１閾値以上である各信号の数に基づいて、透過物体に欠陥があるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】容器のシール部に不純物が噛み込まれているか否か検査するための検査方法について、適性な周波数のテラヘルツ波を容器のシール部に照射して透過させることで、テラヘルツ波の透過率から不純物の有無を確実に検査できるようにする。
【解決手段】容器のシール部にテラヘルツ波を照射して透過させ、テラヘルツ波の透過率から不純物の有無を検査する際に、容器のシール部がオレフィン樹脂である場合には、周波数が０．８ＴＨｚ〜３．０ＴＨｚの範囲内であるテラへルツ波を選択的に用い、容器のシール部がポリエステル樹脂である場合には、周波数が１．３ＴＨｚ以下の範囲内であるテラへルツ波を選択的に用いて、テラヘルツ波の透過率が低下していると、不純物が噛み込まれていると判断する。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレーに用いられる検査回路と検査方法を開示する。
【解決手段】検査回路は、検査対象CELLに行走査信号を提供するゲート駆動器と、前記ソース駆動器に、連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する信号源と、予め設置された参考電圧と前記極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って、画素電圧信号を生成して前記検査対象CELLに出力するソース駆動器と、を備え、前記画素電圧信号が形成した極性反転モデルは列反転モデルである。本発明に係る技術提案において、画素電圧信号が形成した列反転である極性反転モデルは、検査過程においての配向膜破損領域における白い点をさらに突出させることにより、操作者に白い点をさらに容易に識別させ、見落とす問題が避けられる。 （もっと読む）

本発明は、再帰反射板を凸レンズ又は凹面鏡のように使用し、透明又は反射体からなる被検体が屈曲したり、被検体の移動中に振動が発生する場合にも安定的に欠点を検出できるようにし、検査領域で起きる透過検査時の密度勾配と反射検査時の反射角度の変化を用いて測定領域を通過又は反射する平行光の変位現象を捕捉する検査方法である。また、本発明は、透過光又は反射光が集まるカメラレンズの前面にはナイフエッジを光軸に対して水平に設置し、平行光から逸脱した光を遮断することによって、カメラには検査領域の密度勾配に起因する光の明暗の変化が得られ、３次元欠点映像を得られるようにする欠点検査のための検査装置である。 （もっと読む）

【課題】連続して搬送されてくる測定対象物を停止させずに、該測定対象物の内部に局所的な品質異常がある場合においても該品質異常の見逃しを少なくすることができるとともに、信頼性の低下及びコストが増大を抑制することができる品質測定装置を提供する。
【解決手段】フレネルレンズ１２，１２を上下方向に長く搬送方向に短い形状とし、これらを個別の基体１１，１１内に保持して上下方向に２個設け、基体１１，１１に個別に接続された、フレネルレンズ１２，１２により集光された光を伝送する２本の受光側光ファイバケーブル１４，１５の素線を合わせて１本の分光側光ファイバケーブル１６とし、上下２個のフレネルレンズ１２，１２により集光した光を受光側光ファイバケーブル１４，１５及び分光側光ファイバケーブル１６を通して伝送することにより、単一の分光光度計により分光する。 （もっと読む）

基板の欠陥を検出するシステム及び方法が提供される。システムは、基板（１２０）の一方の側に配置され、基板（１２０）に拡散光を放射するように適合された第１照明部（１４０）と、基板（１２０）の他方の側に配置され、第１照明部（１４０）により放射されて基板（１２０）を透過した光を検知することによって、基板（１２０）を走査するように適合された第１画像化部（１６０）であって、第１照明部（１４０）及び第１画像化部（１６０）が第１検出チャネルを構成する第１照明部（１４０）と、基板（１２０）と第１照明部（１４０）及び第１画像化部（１６０）との間に相対運動を生成するように適合された移送モジュール（１３０）と、を備える。
（もっと読む）

【課題】ガラス基板内部の表面近傍を含む全ての領域の微小な内部欠陥を確実に検出して欠陥のない製品を製造可能にする。
【解決手段】主表面である表・裏面と４つの端面との６面を有する薄板状をなしたマスクブランク用ガラス基板の前記いずれかの端面から波長が２００ｎｍ以下の波長の光である検査光を前記ガラス基板内に導入し、前記検査光によって前記ガラス基板の内部欠陥から発生される蛍光を検出し、前記検出した蛍光に基づき前記ガラス基板の前記内部欠陥を検出する際に、前記端面から入射する検査光を、前記ガラス基板の表・裏面に対して２．０°〜４．０°傾くようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来、目視により行われていた、フッ化物単結晶などの光学材料が有する極微小な散乱点の量や分布などの把握を、再現性よく、また定量的かつ迅速に把握できる方法を提供する。
【解決手段】 光学材料の有する平面に対し垂直に可視光レーザーを入射しながら内部を走査し、内部の散乱点で生じた散乱光をカメラを用いて撮影する。レーザー走査を行うことにより内部の散乱点の存在を面として捕らえることができ、またこれをカメラで撮影することにより、他の光学材料との比較が容易になり、さらには画像解析を行えば、他の光学材料との比較をいっそう定量的かつ信頼性が高いものとできる。 （もっと読む）