【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造可能な検査装置を用いて、低メンテナンスコスト及び低検査コストで、マスクブランク用基板の内部欠陥（光学的不均一部分)を検出して、微細なパターニングに適応した基板、マスクブランク及び転写用マスクを高い歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】透光性材料からなる板状の基板２を準備する工程と、波長２００ｎｍ以下の検査光を基板２に照射し、基板２内を透過した透過検査光を板状の蛍光部材８で受光して蛍光に変換し、蛍光の強度分布から基板２の内部欠陥を検出する欠陥検査を行ない、内部欠陥がない基板２を選定する基板欠陥検査工程と、を有するマスクブランク用基板の製造方法、このマスクブランク用基板２の主表面４ａにパターン形成用の薄膜４２を形成するマスクブランク４０の製造方法、及びこのマスクブランクのパターン形成用薄膜４２の表面に転写パターンを形成する転写用マスク５０の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光学的透明材料の光学品質を簡略かつコスト効率的な方法で量的かつ質的に迅速に特性評価できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】光源からの光ビーム９で透明材料１を照射して光学的欠陥から散乱光８を生じさせ、前記透明材料を、少なくとも１個の回転角（Ψｓ）を通って前記光学的欠陥中を通過する回転軸を中心に回転させ、回転軸４に対して回転している間に、内部に隔壁、輪状ミラー、輪状レンズを有する検知光学機器６を用いて受光装置３へ導き、散乱角（θｓ）における散乱光強度を測定し、測定された散乱光強度の回転軸を中心とする前記回転角に対する依存度を測定し、及び、予め測定した比較値を用いて光学的欠陥のサイズ及び又は形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】チューブのような筒状体の搬送効率を低下させることなく、筒状体の内部について精密な品質検査を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】内部検査装置１は、搬送されるチューブ１０に対して撮像ユニット６を用いてチューブ１０の内部を撮像し、撮像された画像からチューブ１０の内部についての品質を検査する。チューブ１０は、これを水平に寝かされた姿勢で支持部材１４に支持されており、軸線方向でみた開口の向きと高さ方向でみた軸線の位置が一様に揃えられている。撮像を開始する前にチューブ１０は、位置決め機構４を用いてチューブ１０の開口の位置が揃えられる。ボアスコープ３４は、チューブ１０の開口から内部へ向けて軸線に沿って移動しながらチューブ１０の内面を撮像する。撮像して得られた画像に基づき、チューブ１０の内面についての品質を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】検査者に無理な姿勢を強いることなく、正面視により目視しやすい条件を簡単に作り出すことができ、大型のＦＰＤ用ガラス板の欠陥部分を無理なく確実に安全に検出することのできる、ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】固定フレーム１０と、前面に、検査対象のガラス板を、垂直に対し５°〜１５°の角度で後傾した斜め立て姿勢で載置することができると共に、そのガラス板を斜め立て姿勢に保持したまま固定フレームに上下方向移動可能及び上下方向回動可能に支持されたステージ５０と、ステージに載置されたガラス板の左右両端面からガラス板の内部に向けて検査光を照射する照明装置７０とを具備する。ステージには、ガラス板の背面を間隔をおいて支持する多数の支持ピン５２が設けられており、各支持ピンの先端にガラス板を左右方向に移動させるのを容易にするためのボールが回転可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は基板の内部欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
まず基板の側面に、少なくとも光源を提供する。光源は、側面に向かって基板を透過する光線を発する。さらに基板の上表面のイメージを取得するイメージセンサモジュールを提供する。光線が側面に相対する入射角度は、光線が基板内で全反射によって伝達される第１所定角度内に制限する。これにより、光線が基板内を伝わり内部欠陥に遭遇した場合、欠陥部分に明点が形成され、イメージセンサモジュールがこの欠陥の位置を検出する。この種の方法は、内部欠陥の好適なイメージ解像度を確実に向上させる。このほか、本発明はさらに、上述の基板の内部欠陥検査方法に基づいた、基板の内部欠陥検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 レーザーを利用して簡便かつ信頼性の高い接合ウェハ界面の検査を可能にする接合ウェハ検査方法を提供する。
【解決手段】 接合ウェハ検査方法は、レーザービームを発散するステップ（Ｓ１００）、発散されたレーザービームがレーザー拡散手段によって拡散されるステップ（Ｓ２００）、拡散されたレーザービームが接合ウェハに照射されるステップ（Ｓ３００）、及び、接合ウェハに照射されて透過されるレーザービームを検出するステップ（Ｓ４００）を含む。この接合ウェハ検査方法によれば、簡単な方法で接合ウェハの界面に発生する異物による欠陥を検査することができるので高い作業性が期待できる。 （もっと読む）

【課題】偏光板に存在する微小なクラックでも、簡単に検出することができる検査方法を提供する。
【解決手段】偏光板１０の一方の面に、当該一方の面とのなす角度θが２０〜７０°となるように光源２０からの光を照射し、偏光板１０の他方の面側に、拡大用凸レンズ５０を当該他方の面と平行に配置し、偏光板１０に微小クラックが存在する部分では光源２０から偏光板１０に入射する光３０が乱反射する性質を利用して、その拡大用凸レンズ５０を通過した後の光を観察することにより微小クラックの有無を検査する、偏光板の検査方法が提供される。粘着剤を介して偏光板をガラス板に貼合した状態でヒートショック試験を行った場合に、偏光板の法線方向から光を照射したのでは識別しにくい微小クラックが発生することがある。このような偏光板の微小クラックを検査するのに特に有効である。 （もっと読む）

レーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置の提供。簡単な構造であることから作動し易く、経済性に富んでおり、信頼性が高く、しかも、貼り合わせウェーハの界面不良が検出可能なレーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置が開示されている。このために、レーザー手段と、レーザー拡散手段及び検出手段を備えるレーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置を提供する。本発明に係るレーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置によれば、検査者が所望の倍率にてウェーハ界面の検査を行うことができるというメリットがある。なお、簡単な構造であることから、検査のための作動が容易であるというメリットがある。
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【課題】良否判定の精度を低下させることなく、層間の位置ずれによって生じる無駄はねを防止することができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供する。
【解決手段】位置補正手段は、検査画像における第１層１０１の代表点Ｐａ１の位置座標から良品画像に対する第１層１０１の位置ずれ量を求め、第２層１０２の代表点Ｐｂ１の位置座標から良品画像に対する第２層１０２の位置ずれ量を求める。位置補正手段は、求めた第１層１０１と第２層１０２との各位置ずれ量に基づいて、検査画像における検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置を、それぞれ基準となる良品画像の検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置から平行移動させるように補正する。領域設定手段は、位置補正手段による補正後の検査対象領域１１１から同じく補正後のマスク領域１１２を除いた領域を、検査領域１１０として検査画像上に設定する。 （もっと読む）

【課題】 透明シート１０のプロセス誘起特徴を測定する装置２において、大型で薄い透明基板をしっかりと保持し、支持構造により誘起される誤差を容易に検出し、できるだけ特定し、取り除く。
【解決手段】 本装置２は、光源１００と、撮像装置８０と、光源１００と撮像装置８０の間に配置された支持構造３０とを備える。支持構造３０は、支持構造３０により誘起される測定誤差が、撮像装置８０により、第一の軸４６、５４に沿って、またはこれに平行に延在して見えるように透明シート１０を支持するように構成、配置され、第一の軸は、撮像装置から見たときに、透明シート１０のプロセス誘起特徴がそれに沿って延在する第二の軸２２、２４に対して斜めである。 （もっと読む）

【課題】 透明プラスチックペレットの表面と内部で起きる複雑な反射による悪影響を抑えて、ペレットの良否を的確に判別し、精度よく選別することのできるプラスチックペレット選別機を提供する。
【解決手段】 透明プラスチックペレットＰの搬送手段１６と照明手段３２と撮影手段２６を備え、撮影された画像信号に基づいて透明プラスチックペレットＰの良否を判定し選別するプラスチックペレット選別機において、照明手段３２は、内周面を面光源とした照明ケース３２で透明プラスチックペレットＰを包囲し間接照明して撮影する構成にしてある。これにより、透明プラスチックペレットＰは軟らかい光質の光で均一に照明されて、複雑な反射による明部と暗部が現れなくなり、良否を的確に判別できるようになる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るセラミックシート（但し、固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートを除く）の検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 物体の欠陥を検出するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 物体２０を透過する波長の光５０を照射することによって物体２０を局部的に照明するステップ１０と、直接透過した照射光の部分４８の検出を少なくとも部分的に回避しつつ、かつ１回反射した照射光５０の部分５３ａ、５３ｂの検出を少なくとも部分的に回避しつつ、複数回反射した照射光５０の部分を検出するステップ１２と、検出した照射光５０の部分の強度の差を評価することによって欠陥２２を識別するステップ１４とを備える、物体２０の欠陥２２を検出するための方法ならびにこの方法を実施するための装置。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面の微細な異常箇所であっても目視により容易に発見することができ、検査に伴う人的労力も軽減することのできるタイヤ外観検査用補助装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２の圧接ローラ２０，３０を荷重付与機構４０によってタイヤ１の外周面に圧接させることにより、タイヤ１をタイヤ径方向に変形させるようにしたので、外観検査をしようとするタイヤ１の表面に引張変形を生じさせることができる。これにより、タイヤ１の外面にクラックが発生していた場合には、タイヤ表面の引張変形によってクラックを広げることができ、微細なクラックであっても容易に発見することができる。その際、荷重付与機構４０によってタイヤ１を径方向に容易に変形させることができるので、人手によって変形させる場合に比べ、検査に伴う人的労力を大幅に軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を撮影するための光路内の一部にその光路を遮るように介在物を挿入しても、その介在物が画像に与える影響を抑えて検査を正確に実施することが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物としてのボトル２を照明装置３からの赤外光を含む照明光で照明しつつボトル２の赤外波長域の画像をカメラ１１にて撮影し、得られた画像に基づいてボトル２を検査する検査装置１において、照明装置３からボトル２を経てカメラ１１に至る光路内に、該光路を部分的に遮るようにネックホールド５０を挿入し、そのネックホールド５０をボトル２のネック部２ｄと噛み合わせてボトル２の落下を防止する。ネックホールド５０は赤外光の波長域に対して透過性を有する材料にて形成する。 （もっと読む）

【課題】充填済み容器中の異物を検出するための新規な検査装置および検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明による装置は、少なくとも１つの検査カメラと、容器を少なくともセクション毎に直線輸送するための輸送装置と、容器を振動させるための少なくとも１つの振動装置とを備えるという事実に起因して、容器の複雑な加速および遅延を伴うことなく容器中の異物を動かすことができるとともに、その動きを、カメラ位置が固定されている場合であっても検査カメラによって単一画像として記録して比較することができる。本発明の装置の構成は、回転型の機械の場合よりも場所をとらないとともに複雑ではなく、また、異物の検出は、直線型の従来の機械を用いるよりも信頼できる。 （もっと読む）

基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムが提供される。このシステムは、光を透明又は半透明基板（２６０）に照射するべく適合された第１照明ユニット（２１０）及び第１照明ユニット（２１０）が光を基板（２６０）に照射した際に基板（２６０）からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第１撮像ユニット（２２０）を含む第１チャネルと、光を基板（２６０）に照射するべく適合された第２照明ユニット（２１０）及び第２照明ユニット（２１０）が光を基板（２６０）に照射した際に基板（２６０）からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第２撮像ユニット（２３０）を含む第２チャネルと、それぞれ、第１撮像ユニット（２２０）によって取得された画像及び第２撮像ユニット（２３０）によって取得された画像を使用することによって基板（２６０）の２つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュール（２４０）と、基板（２６０）が欠陥を具備している際に、基板（２６０）の欠陥が基板（２６０）の２つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板（２６０）上に位置しているのか又は基板（２６０）の内部に位置しているのかを検出するべく適合された画像処理モジュール（２５０）と、を含む。この方法及びシステムを使用することにより、透明又は半透明基板（２６０）が欠陥を具備しているかどうかを検出及び分類可能である。
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【課題】植物油等の油分を含む液体中に多層プリフォームを浸漬しても、あるいは植物油等の油分を含まない水等の液体中に多層プリフォームを浸漬しても、中間樹脂層を可視化してＰＥＴ樹脂層と中間樹脂層の明暗差を顕著にすることができる照明装置を備えた多層プリフォームの検査装置を提供する。
【解決手段】多層プリフォーム１を液体中に浸漬した透明容器２０を挟むように照明装置２と撮像装置１０とを対向して設け、照明装置２は、照明３と、照明３の前面に設置された拡散板４と、拡散板４に隣接して設置されるとともに拡散板４の延長線上に配置された光が透過しないか又は光が透過しにくい板５とからなり、多層プリフォーム１の軸心Ｏと、拡散板４と光が透過しないか又は光が透過しにくい板５の境界部６は、撮像装置１０の光軸Ｌｘ上に位置するか又は光軸Ｌｘに近接している。 （もっと読む）