基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステム
基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムが提供される。このシステムは、光を透明又は半透明基板(260)に照射するべく適合された第1照明ユニット(210)及び第1照明ユニット(210)が光を基板(260)に照射した際に基板(260)からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニット(220)を含む第1チャネルと、光を基板(260)に照射するべく適合された第2照明ユニット(210)及び第2照明ユニット(210)が光を基板(260)に照射した際に基板(260)からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニット(230)を含む第2チャネルと、それぞれ、第1撮像ユニット(220)によって取得された画像及び第2撮像ユニット(230)によって取得された画像を使用することによって基板(260)の2つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュール(240)と、基板(260)が欠陥を具備している際に、基板(260)の欠陥が基板(260)の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板(260)上に位置しているのか又は基板(260)の内部に位置しているのかを検出するべく適合された画像処理モジュール(250)と、を含む。この方法及びシステムを使用することにより、透明又は半透明基板(260)が欠陥を具備しているかどうかを検出及び分類可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本出願は、2009年7月31日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910161107.3号及び2009年11月27日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910246381.0号の優先権を主張する。これら2つの中華人民共和国特許出願の内容は、本引用により、そのすべてが本明細書に包含される。
【0002】
本発明は、基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【0003】
現在、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板などの透明又は半透明の基板が多くの分野において使用されている。透明又は半透明基板には、製造プロセスにおいて、例えば、基板の表面上に位置する引っ掻き傷、汚れ、及び破れ泡(open bubble)、並びに、基板の内部に位置する閉鎖泡(close bubble)及び結石(黒色石、白色石、及びその他の色の石)などの様々な欠陥が生じることになる。従来技術には、透明又は半透明基板の欠陥をチェックするための多数の欠陥チェック解決策が提案されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、透明又は半透明基板の品質要件の厳格化に伴って、様々なタイプの欠陥ごとの品質管理基準が必要とされている。これに鑑み、透明又は半透明基板の欠陥を検出するのみならず、検出された欠陥が基板上に位置しているのか又は基板内に位置しているのかを弁別することが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムを提供し、この方法及びシステムは、透明又は半透明基板の欠陥を検出及び分類可能である。
【0006】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類するシステムが提供され、このシステムは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合された第1照明ユニット及び第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットを含む第1チャネルと、基板に光を照射するべく適合された第2照明ユニット及び第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットを含む第2チャネルと、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、その欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、を有する。
【0007】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類するシステムが提供され、このシステムは、第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含む第1チャネルであって、第1照明ユニットは光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第1チャネルと、第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含む第2チャネルであって、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第2チャネルと、第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含む第3チャネルであって、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第3チャネルと、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、その欠陥が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、その欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する様々な特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、その欠陥を分類するべく適合された画像処理モジュールと、を有する。
【0008】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類する方法が提供され、この方法は、第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合された第1照明ユニット及び第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットを含む、ステップと、第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニット及び第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットを含む、ステップと、画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、を有する。
【0009】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類する方法が提供され、この方法は、第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含み、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含み、第2照明ニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、第3チャネルをセッティングするステップであって、第3チャネルは、第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含み、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板内の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する様々な特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、を有する。
【0010】
本発明のこれらの及びその他の特徴、特性、及び利点については、添付の図面との関連において以下の詳細な説明を参照することにより、更に明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1A】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1B】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1C】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1D】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1E】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1F】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1G】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1H】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1I】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1J】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1K】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図2】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図3】本発明の第1実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図4】本発明の第1実施例の変形による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図5A】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5B】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5C】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5D】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5E】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5F】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5G】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5I】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5J】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5K】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5L】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図6】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図7】本発明の第2実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図8A】本発明の第2実施例の変形による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図8B】本発明の第2実施例の変形による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、添付図面との関連において、本発明の実施例について説明することとする。
【0013】
(第1実施例)
本発明の第1実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
【0014】
図1A〜図1Kは、本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【0015】
まず、図1Aに示されているように、照明ユニットLは、光を透明又は半透明基板Sに照射するべく基板Sの1つの表面B1の外側に配置されており、且つ、2つの1次元撮像ユニットM1及びM2は、それぞれ、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって1次元画像を取得するべく基板Sの別の反対側の表面B2の外側に配置されている。1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の夾角は、αである。ここでは、説明の利便のために、1次元撮像ユニットM1の光軸は、基板Sの表面B1及びB2に対して垂直であると仮定されている。基板Sが方向zに沿って運動した際に、1次元撮像ユニットM1及びM2は、それぞれ、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を特定の間隔において連続的に検知することによって1次元の画像を取得し、且つ、次いで、1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用して基板Sの画像を構築すると共に、1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用して基板Sの画像を構築する。
【0016】
図1Bに示されているように、基板Sは、基板Sの左側のエッジとの関係において距離z1を具備すると共に基板Sに対して垂直である位置に、2つの欠陥D1及びD2を具備するものと仮定されており、欠陥D1は、1次元撮像ユニットM1及びM2と同一の側である基板Sの表面B2上に位置しており、且つ、欠陥D2は、基板Sの内部に位置し、且つ、基板Sの表面B2との関係において距離hを具備している。
【0017】
それぞれ、1次元撮像ユニットM1及びM2が、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を特定の間隔において連続的に検知することによって1次元画像を取得するプロセスにおいて、基板Sが方向zに沿って図1Cに示されている位置に運動した際に、1次元撮像ユニットM1によって取得される1次元画像は、欠陥D1及びD2を含み、基板Sが方向zに沿って図1Dに示されている位置に運動した際に、1次元撮像ユニットM2によって取得される1次元画像は、欠陥D1を含み、且つ、基板Sが方向zに沿って図1Eに示されている位置に運動した際に、1次元撮像ユニットM2によって取得される1次元画像は、欠陥D2を含む。
【0018】
1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用することによって構築された基板Sの画像X1が図1Fに示されており、且つ、1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用することによって構築された基板Sの画像X2が図1Gに示されている。
【0019】
図1Fに示されている基板Sの画像X1を図1Gに示されている基板Sの画像X2と比較することにより、基板Sの表面B2上に位置する欠陥D1が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B2上に位置する欠陥D1が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一であるのに対して、基板Sの内部に位置する欠陥D2が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置する欠陥D2が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットd’を具備していることがわかる。オフセットd’は、図1Eに示されているdに正比例している。
【0020】
【数1】
【0021】
ここで、nは、基板Sの屈折率であり、αは、1次元撮像ユニットM1の光軸と基板Sの表面の垂線の夾角である(ここでは、1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の夾角を意味している)。h及びαが増大するのに伴って、dが増大し、且つ、オフセットd’も増大することがわかる。換言すれば、αが大きくなるほど、hの検出精度が増大する。
【0022】
更には、欠陥D2が基板Sの表面B2との関係において具備している距離hが最大である際には、即ち、欠陥D2が基板Sの別の反対側の表面B1上に位置している際には、欠陥D2が画像X1内に出現する位置と欠陥D2が画像X2内に出現する位置は、異なり(同一ではなく)、且つ、最大オフセットを具備している。
【0023】
以上のことから、以下の規則が明らかとなる。1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の特定の夾角が存在しており、且つ、1次元撮像ユニットM1の光軸が基板Sの表面に対して垂直である場合には、1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用することによって構築される基板Sの画像X1及び1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用することによって構築される基板Sの画像X2内において、基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置は、同一であるか、又は最大オフセットを具備し、且つ、基板Sの内部に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、2つの位置の間のオフセットは、基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【0024】
実際には、1次元撮像ユニットM1又はM2の光軸が基板Sの表面に対して垂直であることは、必須ではなく、1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の特定の夾角が存在している限り、1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用して構築される基板Sの画像X1及び1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用することによって構築される基板Sの画像X2内において、基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置は、同一であるか、又は最大オフセットを具備し、且つ、基板Sの内部に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥が画像X2内に出現する欠陥は、同一ではなく、且つ、2つの位置の間のオフセットは、基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【0025】
上述の規則は、1次元撮像ユニットが撮像ユニットとして使用されている状態のみならず、2次元撮像ユニットが撮像ユニットとして使用されている状態にも、適用可能である。
【0026】
但し、2次元撮像ユニットを撮像ユニットして使用する場合に、2次元撮像ユニットを基板Sとの関係において傾斜した状態に配置した場合には、即ち、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロを上回っている場合には、この状態で2次元撮像ユニットによって取得される画像は、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロである際に2次元撮像ユニットによって取得される画像との関係において、圧縮変形を具備することになる。例えば、図1Hに示されている正方形の場合に、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロである際に2次元撮像ユニットによって取得される画像が図1Jに示されており、且つ、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロを上回る際に2次元撮像ユニットによって取得される画像が図1Kに示されている。図1Jにおいては、取得される画像は、正方形であるが、図1Kにおいては、取得される画像は、台形である。図1Jに示されている画像との比較において、図1Kに示されている画像の底辺は、変化しておらず、且つ、その上辺及び高さが圧縮されていることがわかる。更には、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角が増大するのに伴って、2次元撮像ユニットによって取得される画像は、更に大きな圧縮変形を具備することになる。
【0027】
従って、2次元撮像ユニットを撮像ユニットして使用する場合に、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロを上回っている場合には、2次元撮像ユニットによって取得された画像を使用して基板Sの画像を構築する前に、2次元撮像ユニットによって取得された画像のそれぞれのものの底辺の長さに従って、2次元撮像ユニットによって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、2次元撮像ユニットによって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【0028】
本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムは、上述の規則に基づいて実現されている。
【0029】
図2は、本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。図2に示されているように、基板の欠陥を弁別するシステム200は、照明ユニット210と、第1撮像ユニット220と、第2撮像ユニット230と、画像構築モジュール240と、画像処理モジュール250と、を包含可能である。
【0030】
照明ユニット210は、透明又は半透明基板260の1つの表面B1の外側に配置され、且つ、光を基板260に照射するべく適合されている。照明ユニット210によって基板260に照射される光は、非拡散光又は拡散光であってよい。照明ユニット210によって基板260に照射される光が拡散光であれば、基板260がパターン又は構造を有する基板である場合に、基板260のパターン又は構造による基板260の欠陥の検出に対する影響を低減可能であり、或いは、場合によっては、除去可能である。照明ユニット210は、照明ユニット210が基板260の幅全体にわたって光を基板260に照射することができるように、1つ又は複数の光源を包含可能である。
【0031】
第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、基板260の別の反対側の表面B2の外側に配置されており、且つ、照明ユニット210によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第1撮像ユニット220の光軸と第2撮像ユニット230の光軸の夾角αは、ゼロを上回っている。第1撮像ユニット220及び照明ユニット210は、第1チャネルを形成し、且つ、第2撮像ユニット230及び照明ユニット210は、第2チャネルを形成しており、第1チャネル及び第2チャネルは、いずれも、明視野照明に属している。システム200が動作するプロセスにおいて、基板260が方向zに沿って運動した際に、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、照明ユニット210によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって既定の時間間隔において画像を取得する。
【0032】
第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、1次元撮像素子及びエリアアレイ撮像素子によって形成可能であり、この場合に、1次元撮像素子は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)1次元撮像素子、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)1次元撮像素子、又はその他のタイプの1次元撮像素子を包含可能であり、且つ、エリアアレイ撮像素子は、例えば、CCDエリアアレイ撮像素子、CMOSエリアアレイ撮像素子、又はその他のタイプのエリアアレイ撮像素子を包含可能である。第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が1次元撮像ユニットである際には、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230のそれぞれのものは、一列にセッティングされた、線分の両側に千鳥状にセッティングされた、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備した1つ又は複数の1次元撮像素子を包含可能である。第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230がエリアアレイ撮像ユニットである際には、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230のそれぞれのものは、配列としてセッティングされた、一列にセッティングされた、線分の両側に千鳥状にセッティングされた、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備した1つ又は複数のエリアアレイ撮像素子を包含可能である。
【0033】
画像構築モジュール240は、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230に接続されており、且つ、それぞれ、第1撮像ユニット220によって取得された画像及び第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって基板260の2つの画像を構築するべく、即ち、第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって基板260の1つの画像を、そして、第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって基板260の別の画像を構築するべく、適合されている。説明の利便のために、第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって構築される基板260の画像を画像T1と呼称し、且つ、第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって構築される基板260の画像を画像T2と呼称する。
【0034】
この場合に、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が2次元撮像ユニットである際に、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得される画像が圧縮変形を具備している場合には、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって基板260の2つの画像を構築する前に、画像構築モジュール240は、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得された画像のそれぞれのものの底辺の長さに従って、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【0035】
画像処理モジュール250は、画像構築モジュール240に接続されており、且つ、画像構築モジュール240によって構築された画像T1及びT2を処理して基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定し、且つ、基板260が欠陥Qを具備していると判定された際に、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出するべく適合されている。この場合に、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置が同一であるか、又は欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置が最大オフセットZLに等しい際に、画像処理モジュール250は、欠陥Qが基板上に位置していると判定し、且つ、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置が等しくなく、且つ、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLを下回っている際に、画像処理モジュール250は、欠陥Qが基板260の内部に位置していると検出する。
【0036】
ここで、画像処理モジュールは、本出願人によって2009年2月27日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910117993.X号に開示されている解決策又は画像を処理して基板が欠陥を具備しているかどうかを判定するための現存する及び将来提案されるその他の解決策を使用することにより、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。
【0037】
最大オフセットZLは、基板260の表面B1上に位置している欠陥が第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置と基板260の表面B1上に位置している欠陥が第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置の間のオフセットである。ここで、円及び多角形などの複数の等しく離隔したパターンによって形成された較正板を基板260の表面B1上に配置可能であり、且つ、較正板内の同一パターンが第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置と較正板内の同一パターンが第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置の間のオフセットを最大オフセットZLとして算出する。当業者がその他の既知の技術を使用して最大オフセットZLを取得することも可能であることは明らかである。
【0038】
以下は、欠陥Qが画像T1及びT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出する一例である。第1に、画像処理モジュール250は、欠陥Qが画像T1内に出現する位置の座標WZ1と、欠陥Qが画像T2内に出現する位置の座標WZ2と、を算出可能である。第2に、画像処理モジュール250は、座標WZ1及びWZ2の差の絶対値JZを算出可能である。第3に、画像処理モジュール250は、値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいかどうかを判定可能である。値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいことを判定結果が示している場合には、画像処理モジュール250は、欠陥Qが、基板260上に位置する欠陥であると検出可能であり、且つ、値JZがゼロ及び最大オフセットZLに等しくないと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール250は、欠陥Qが、基板260の内部に位置する欠陥であると検出可能である。
【0039】
図3は、本発明の一実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図3に示されているように、照明ユニット210は、パルス(T1、T2、T3、…、Tn)ごとに一回ずつ、光を基板260に照射しており、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しい。第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、2パルスの間隔において1つの画像を取得しており、第2撮像ユニット230が画像を取得する時点は、第1撮像ユニット220が画像を取得する時点との関係において1パルスの幅の時間間隔を具備している。即ち、第2撮像ユニット230は、偶数番号を有するパルス(T2、T4、T6、…)において画像を取得しており、且つ、第1撮像ユニット220は、奇数番号を有するパルス(T1、T3、T5、…)において画像を取得している。
【0040】
(第1実施例の変形例)
当業者は、上述の第1実施例においては、画像処理モジュール250が、画像構築モジュール240によって構築された画像T1及びT2を処理し、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール250の代わりに、その他のモジュールを使用することにより、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。その場合には、画像処理モジュール250は、基板260が欠陥Qを具備していると判定された際にのみ、欠陥Qが画像T1及びT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出するべく構成される。
【0041】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、照明ユニット210が、各パルスにおいて1回ずつ、光を基板260に照射しており、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しいが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210は、システム200が動作している際に常に光を基板260に対して連続的に照射することも可能である。
【0042】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が、それぞれ、2パルスの間隔において画像を取得しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、各パルスごとに又は2つを上回る数のパルスごとに、画像を取得する。
【0043】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第2撮像ユニット230が画像を取得する時点が、第1撮像ユニット220が画像を取得する時点との関係において、1パルスの幅の時間間隔を具備しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第2撮像ユニット230が画像を取得する時点は、第1撮像ユニット220が画像を取得する時点との関係において、ゼロパルスの又は2つ以上のパルスの幅の間隔を具備することも可能である。
【0044】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が、同一の照明ユニット、即ち、照明ユニット210を使用しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210は、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を包含可能であり、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって画像を取得し、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって画像を取得する。図4は、本発明の別の実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図4に示されているように、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、それぞれ、2パルスごとに1回ずつ、基板260に光を照射しており、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しく、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する時点は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する時点との関係において、1パルスの幅の時間間隔を具備している。第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射するパルスのそれぞれのものごとに画像を取得しており、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射するパルスのそれぞれのものごとに画像を取得している。第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、それぞれ、一列に又は配列としてセッティングされた1つ又は複数の光源を包含可能である。
【0045】
図4に示されている条件に加えて、当業者は、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する時点と第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する時点は、同一であってもよく、或いは、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する時点は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する時点との関係において、2つ以上のパルスの時間間隔を具備することも可能であることを理解するであろう。
【0046】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、システム200が動作する際に、基板260が運動する一方で、第1撮像ユニット220、第2撮像ユニット230、及び照明ユニット210は、運動していないが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、システム200が動作する際に、基板260が運動せず、且つ、第1撮像ユニット220、第2撮像ユニット230、及び照明ユニット210が運動することも可能である。
【0047】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形に記述されている基板は、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板を包含可能であることを理解するであろう。
【0048】
当業者は、第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットの数は、基板の幅、撮像開口数、検出精度、及び基板の欠陥の推定最大数及び最小検出寸法に基づいて決定可能であることを理解するであろう。
【0049】
当業者は、画像構築モジュール240及び画像処理モジュール250は、ソフトウェア、ハードウェア、及びソフトウェアとハードウェアの組合せによって実装可能であることを理解するであろう。
【0050】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光及び基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射されると共に基板260を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光及び/又は基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光(暗視野照明)となるように、セッティング可能である。具体的には、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光及び基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、照明ユニット210によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出された光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出された光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。
【0051】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、照明ユニット210が基板260の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210は、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230と同様に、基板260の表面B2の外側に配置することも可能である。照明ユニット210を基板260の表面B2の外側に配置した場合には、第1撮像ユニット220は、照明ユニット210によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230も、照明ユニット210によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能である。
【0052】
更には、照明ユニット210が第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を含む場合には、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する角度及び第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、第1照明ユニット210−1によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、第2照明ユニット210−2によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する角度及び第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、第2照明ユニット210−2によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する角度及び第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、第1照明ユニット210−1によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、交互に又は同時に、光を基板260に照射可能である。
【0053】
当業者は、上述の変形においては、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2が基板260の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230と同様に、基板260の表面B2の外側に配置することも可能である。第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を基板260の表面B2の外側に配置した場合には、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射した際に、第1照明ユニット210−1によって照射された光の基板160による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射した際に、第2照明ユニット210−2によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能である。
【0054】
当業者は、上述の変形においては、照明ユニット210が第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を含む場合に、第1チャネルは、第1撮像ユニット220及び第1照明ユニット210−1を含み、且つ、第2チャネルは、第2撮像ユニット230及び第2照明ユニット210−2を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0055】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向に直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、第1偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニット210−1と基板260の間にセッティングされ、第2偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第1撮像ユニット220と基板260の間にセッティングされ、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板260、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニット210−2によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得可能である。
【0056】
或いは、本発明のその他のいくつかの実施例においては、第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントを更に包含可能であり、第3偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニット210−2と基板260の間にセッティングされ、第4偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第2撮像ユニット230と基板260の間にセッティングされ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板260、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニット210−1によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得可能である。
【0057】
或いは、本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、且つ、第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、第1偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニット210−1と基板260の間にセッティングされ、第2偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第1撮像ユニット220と基板260の間にセッティングされ、第3偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニット210−2と基板260の間にセッティングされ、第4偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第2撮像ユニット230と基板260の間にセッティングされ、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−によって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板260、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板260、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニット21−2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能である。
【0058】
当業者は、基板260の欠陥が基板260の内部の欠陥であるのか又は基板260上の欠陥であるのかを検出した後に、基板260の欠陥が基板260の画像T1及びT2内に出現する異なる特徴及び基板260の欠陥が基板260の内部の欠陥であるのか又は基板260上の欠陥であるのかに基づいて、基板260の欠陥を分類可能であることを理解するであろう。
【0059】
例えば、基板260の画像T1が、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって取得された画像を使用することによって構築され、基板260の画像T2が、第2照明ユニット210−2によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって取得された画像を使用することによって構築され、且つ、第2照明ユニット210−2が光を照射する角度が、基板260の破れ泡が第2撮像ユニット230によって取得された画像内において可視状態となるようにセッティングされると仮定した場合に、基板260の欠陥が基板260の画像T1内に出現するのが楕円でああり、且つ、画像T1及びT2の比較によって、基板260の欠陥が基板260上に位置していると判明した場合には、基板260の欠陥は、破れ泡として分類される。
【0060】
更には、例えば、基板260の画像T1が、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板260、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1撮像ユニット220によって取得された画像によって構築され、且つ、基板260の画像T2が、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板260、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第2撮像ユニット230によって取得された画像によって構築されると仮定した場合に、基板260の欠陥が画像T1及びT2内に出現しており、且つ、基板260の欠陥が基板260の内部の欠陥であると検出された場合には、基板260の欠陥は、含有又は再結晶などの基板260の内部の応力又は光学歪タイプの欠陥として分類される。
【0061】
(第2実施例)
本発明の第2実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
【0062】
図5A〜図5Lは、本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【0063】
第1に、図5Aに示されているように、照明ユニットLが、基板Sに光を照射するべく透明又は半透明基板Sの1つの表面B1の外側に配置されており、且つ、反射器F及び撮像ユニットMが、基板Sの別の反対側の表面B2の外側に配置されている。反射器Fは、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて反射器F内に透過した光を反射するべく適合されており、且つ、その光軸が基板Sの表面B1及びB2に対して垂直である撮像ユニットMは、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光と、反射器Fによって反射された光と、を検知することによって2次元画像を取得するべく適合されている。撮像ユニットMによって取得される2次元画像は、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって取得される第1画像と、反射器Fによって反射された光を検知することによって取得される第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、図5Bに示されているように、分離されている。
【0064】
照明ユニットLによって照射されると共に基板Sを通じて反射器F内に透過する光は、基板Sの表面B1及びB2に対して垂直ではなく、従って、撮像ユニットMによって取得される2次元画像内において、反射器Fによって反射された光を検知することによって取得される第2画像は、照射ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって取得される第1画像と比べて、圧縮変形を具備している。例えば、図5Cに示されている正方形の場合に、撮像ユニットMによって取得される2次元画像において、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって取得された第1画像が図5Dに示されており、且つ、反射器Fによって反射された光を検知することによって取得された第2画像が図5Eに示されている。図5Dにおいては、取得された画像は、依然として、正方形であるが、図5Eにおいては、取得された画像は、台形である。図5Dに示されている画像と比べて、図5Eに示されている画像の底辺は、変化しておらず、且つ、その上辺及び高さが圧縮されていることがわかる。反射器F及び撮像ユニットMを基板Sとの関係においてセッティングした後に、撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像の圧縮変形の判定を完了させる。このときには、例えば、円及び多角形などのパターンによって形成された較正板を基板S上に配置し、且つ、撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像内のパターンの圧縮変形量を算出することにより、撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像の圧縮変形量を予め判定可能である。
【0065】
基板Sが方向zに沿って運動した際に、撮像ユニットMは、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光と、反射器Fによって反射された光と、を特定の間隔において連続的に検知することによって少なくとも1つの2次元画像を取得する。撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像を既定の圧縮変形量に従って伸長させることにより、撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものの第2画像の圧縮変形を除去する。次いで、撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第2画像を使用して基板Sの画像を構築し、且つ、撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用して基板Sの画像を構築する。
【0066】
図5Fに示されているように、基板Sは、基板Sの左側のエッジとの関係において距離z1を具備すると共に基板Sに対して垂直である位置に、2つの欠陥D1及びD2を具備するものと仮定されており、欠陥D1は、撮像ユニットMと同一の側である基板Sの表面B2上に位置しており、且つ、欠陥D2は、基板Sの内部に位置し、且つ、基板Sの表面B2との関係において距離hを具備している。
【0067】
撮像ユニットMが、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光と、反射器Fによって反射された光と、を特定の間隔において連続的に検知することによって少なくとも1つの2次元画像を取得するプロセスにおいて、基板Sが方向zに沿って図5Gに示されている位置に運動した際に撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第1画像は、欠陥D1及びD2を含み、基板Sが方向zに沿って図5Iに示されている位置に運動した際に撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像は、欠陥D2を含み、且つ、基板Sが方向zに沿って図5Jに示されている位置に運動した際に撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像は、欠陥D1を含む。
【0068】
撮像ユニットMによって取得される少なくと1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって構築された基板Sの画像X1が図5Kに示されており、且つ、撮像ユニットMによって取得される少なくとも1つの2次元画像に含まれる伸長された第2画像を使用することによって構築された基板Sの画像X2が図5Lに示されている。図5Kに示されている基板Sの画像X1を図5Lに示されている基板Sの画像X2と比較することにより、基板Sの表面B2上に位置している欠陥D1が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B2上に位置している欠陥D1が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一であるのに対して、基板Sの内部に位置している欠陥D2が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥D2が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットd’を具備していることがわかる。オフセットd’は、hが増大するのに伴って増大することが研究から明らかになっている。更には、欠陥D2と基板Sの表面B2の間の距離hが最大値に到達した際には、即ち、欠陥D2が基板Sの表面B1上に位置している際には、欠陥D2が基板Sの画像X1内に出現する位置と欠陥D2が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットd’は、最大である。
【0069】
上述の内容から以下の規則が明らかとなる。撮像ユニットMによって取得される少なくとも1つの2次元画像の第1画像を使用することによって構築された基板Sの画像X1と撮像ユニットMによって取得される少なくとも1つの2次元画像の第2画像を使用することによって構築された基板Sの画像X2の場合には、基板Sの表面上に位置している欠陥が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面上に位置している欠陥が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一であるか、又は2つの位置の間のオフセットが最大であるのに対して、基板Sの内部に位置している欠陥が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、2つの位置の間のオフセットは、基板Sの表面B1上に位置している欠陥が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B1上に位置している欠陥が基板Sの画像X2内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【0070】
本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムは、上述の規則に基づいて実現されている。
【0071】
図6は、本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。図6に示されているように、基板の欠陥を弁別するシステム300は、照明ユニット310、反射器320、撮像ユニット330、画像構築モジュール340、及び画像処理モジュール350を包含可能である。
【0072】
照明ユニット310は、透明又は半透明基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、基板360に光を照射するべく適合されている。照明ユニット310によって基板360に照射される光は、非拡散光又は拡散光であってよい。照明ユニット310によって基板360に照射される光が拡散光であれば、基板360がパターン又は構造を有する基板である場合に、基板360の欠陥のチェックに対する基板360のパターン又は構造の影響を低減可能であり、或いは、場合によっては、除去可能である。照明ユニット310は、照明ユニット310が基板360の幅全体にわたって光を基板360に照射することができるように、1つ又は複数の光源を包含可能である。
【0073】
反射器320は、基板360の別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて反射器320内に透過した光を反射するべく適合されている。
【0074】
撮像ユニット330は、基板360の別の反対側の表面B2の外側に配置されており、且つ、撮像ユニット330の光軸は、基板360の表面B1及びB2に対して垂直である。撮像ユニット330は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、反射器320によって反射された光と、を検知することにより、2次元画像を取得するべく適合されている。撮像ユニット330によって取得される2次元画像は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光を検知することによって取得される第1画像と、反射器320によって反射された光を検知することによって取得される第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、互いに空間的に分離されている。撮像ユニット330及び照明ユニット310は、第3チャネルを形成可能であり、且つ、反射器320、撮像ユニット330、及び照明ユニット310は、第4チャネルを形成可能であり、第3チャネル及び第4チャネルは、いずれも、明視野照明に属している。システム300が動作するプロセスにおいては、基板360が方向zに沿って運動した際に、撮像ユニット330は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、反射器320によって反射された光と、を検知することによって既定の時間間隔において少なくとも1つの2次元画像を取得する。
【0075】
撮像ユニット330は、1つ又は複数の撮像素子によって形成可能である。撮像ユニット330を形成するための複数の撮像素子が存在する際には、複数の撮像素子は、配列としてセッティングされるか、一列にセッティングされるか、線分の両側に千鳥状にセッティングされるか、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備している。
【0076】
画像構築モジュール340は、撮像ユニット330に接続されており、且つ、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像及び第2画像をそれぞれ使用することによって基板360の2つの画像を構築するべく、即ち、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって基板360の1つの画像を、そして、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第2画像を使用することによって基板360の別の画像を構築するべく、適合されている。説明の利便のために、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって構築された基板360の画像を画像TT1と呼称し、且つ、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第2画像を使用することによって構築された基板360の画像を画像TT2と呼称する。
【0077】
この場合に、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像を使用することによって基板360の画像TT2を構築する前に、画像構築モジュール340は、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像を伸長させることにより、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像の圧縮変形を除去する。例えば、円及び多角形などのパターンによって形成された較正板を基板360上に配置し、且つ、撮像ユニット330によって取得された2次元画像に含まれる第2画像内のパターンの圧縮変形量を算出することにより、撮像ユニット330によって取得される少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像の圧縮変形量を予め判定可能である。
【0078】
画像処理モジュール350は、画像構築モジュール340に接続されており、且つ、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定し、且つ、基板360が欠陥Qを具備していると判定された際に、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板360上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを検出するべく、画像構築モジュール340によって構築された画像TT1及びTT2を処理するように適合されている。この場合に、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置が同一であるか、又は欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLに等しい際には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが基板360上に位置していると検出し、且つ、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置が同一ではなく、且つ、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLを下回っている際には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが基板360の内部に位置していると検出する。
【0079】
ここで、画像処理モジュール350は、本出願人によって2009年2月27日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910117993.X号に開示されている解決策又は画像を処理して基板が欠陥を具備しているかどうかを判定するための現存する又は将来提案されるその他の解決策を使用することによって基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。
【0080】
最大オフセットZLは、基板360の表面B1上に位置している欠陥が、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって構築された基板360の画像に出現する位置と、基板360の表面B1に位置している欠陥が、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる伸長された第2画像を使用することによって構築された基板360の画像内に出現する位置の間のオフセットである。ここで、円及び多角形などの複数の等しく離隔したパターンによって形成された較正板を基板360の表面B1上に配置可能であり、且つ、較正板内の同一のパターンが、撮像ユニット330によって取得された2次元画像の第1画像を使用することによって構築された基板360の画像内に出現する位置と、較正板の同一のパターンが、撮像ユニット330によって取得された2次元画像の伸長された第2画像を使用することによって構築された基板360の画像内に出現する位置の間のオフセットを最大オフセットZLとして算出する。当業者がその他の既知の技術を使用して最大オフセットZLを取得することも可能であることは明らかである。
【0081】
以下は、欠陥Qが画像TT1及びTT2に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板360上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを検出する一例である。第1に、画像処理モジュール350は、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置の座標WZ1と、欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の座標WZ2と、を算出可能である。第2に、画像処理モジュール350は、座標WZ1及びWZ2の差の絶対値JZを算出可能である。第3に、画像処理モジュール350は、値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいかどうかを判定可能である。値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが、基板360上に位置している欠陥であると検出可能であり、且つ、値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しくないと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが、基板360の内部に位置している欠陥であると検出可能である。
【0082】
図7は、本発明の一実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図7に示されているように、照明ユニット310は、パルス(T1、T2、T3、…、Tn)ごとに一回ずつ、光を基板360に照射し、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しい。撮像ユニット330は、各パルスの間隔において2次元画像を取得している。
【0083】
1つの撮像ユニットのみを使用することによって2つのチャネルの画像が取得されるため、費用が低減されることが上述の実施例からわかる。更には、1つの撮像ユニットのみを使用することによって2つのチャネルの画像が取得されるため、画像の取得を妨げる要因によって生じる2つのチャネルの画像内における基板の欠陥の出現位置の変動が同一になり、且つ、従って、取得された画像を使用することにより、基板の欠陥が基板の表面上に位置しているのか又は基板の内部に位置しているのかの弁別が更に正確なものとなる。
【0084】
(第2実施例の変形例)
当業者は、上述の第2実施例においては、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定するべく、画像構築モジュール340によって構築される画像TT1及びTT2を画像処理モジュールが処理しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール350の代わりに、その他のモジュールを使用し、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。この場合には、画像処理モジュール350は、基板360が欠陥Qを具備していると判定された際にのみ、欠陥Qが画像TT1及びTT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板369上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを判定するべく構成される。
【0085】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、撮像ユニット330の光軸が基板360の表面B1及びB2に対して垂直であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、撮像ユニット330の光軸は、基板360の表面B1及びB2に対して垂直でなくてもよい。撮像ユニット330の光軸が基板360の表面B1及びB2に対して垂直でない場合には、撮像ユニット330によって取得される2次元画像において、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光を検知することによって形成される第1画像も、圧縮変形を具備することになり、且つ、第1画像の圧縮変形を第2画像のものと同一の方式によって判定可能であり、更には、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって基板360の画像TT1を構築する前に、画像構築モジュール340は、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第1画像を伸長させることにより、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第1画像の圧縮変形を除去する。
【0086】
当業者は、撮像ユニット330が反射器320によって反射された光を受光可能である限り、反射器320と基板360の間の間隔を実際的な要件に従って調節可能であり、且つ、反射器320によって反射された光と、照射ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、を撮像ユニット330において分離可能であることを理解するであろう。
【0087】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、撮像ユニット330が各パルスごとに2次元画像を取得しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、撮像ユニット330は、更に多くの数のパルスごとに2次元画像を取得する。
【0088】
当業者は、上述の実施例においては、照明ユニット310が、パルス(T1、T2、T3、…、Tn)ごとに1回ずつ、光を基板360に照射し、且つ、各照射の持続時間が1パルスの幅に等しいが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット310は、システム300が稼働する際に連続的に光を基板360に照射することも可能である。
【0089】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、システム300が動作する際に、基板260が運動する一方で、反射器320、撮像ユニット330、及び照明ユニット310は、運動していないが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、システム300が稼働する際に、基板360は、運動せず、且つ、反射器320、撮像ユニット330、及び照明ユニット310が運動可能である。
【0090】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、反射器320内に進入する光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、反射器320内に進入する光及び/又は基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光(即ち、暗視野照明)であってもよい。具体的には、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光及び基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能である。
【0091】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、システム300が、1つの照明ユニットのみ、即ち、照明ユニット310を含み、且つ、第3チャネル及び第4チャネルの両方が、照明ユニット310を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット310は、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2を更に包含可能であり、第3チャネルは、第1照明ユニットF1及び撮像ユニット330を包含可能であり、第4チャネルは、第2照明ユニットF2、反射器320、及び撮像ユニット330を包含可能であり、且つ、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板360に照射するべく適合されている。
【0092】
照明ユニット310が第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2を含む場合には、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出された光又は第2照明ユニットF2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板360による散乱から導出された光又は第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。具体的には、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティングされ、或いは、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に入射する光が、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティングされ、或いは、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板による散乱から導出される光となるように、セッティングされ、或いは、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって基板に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティングされる。第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2は、交互に又は同時に、光を基板360に照射可能である。
【0093】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、照明ユニット310に含まれる第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が、基板360の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1照明ユニットF1は、基板360の表面B1の外側に配置可能であり、且つ、第2照明ユニットF2は、基板360の表面B2の外側に配置可能である。
【0094】
第1照明ユニットF1を基板360の表面B1の外側に配置し、且つ、第2照明ユニットF2を基板360の表面B2の外側に配置した場合には、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、第1照明ユニットF1が光を基板360に照射する角度をセッティングすることにより、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよい。
【0095】
当業者は、第1照明ユニットF1を基板360の表面B1の外側に配置した場合には、第1照明ユニットF1及び撮像ユニット330に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第1偏光方向FX1に直交する第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を更に有することが可能であり、この場合に、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットF1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置され、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1、基板360、及び第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光又は第1照明ユニットF1によて照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光であり、且つ、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第2照明ユニットF2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【0096】
当業者は、第2照明ユニットF2を基板360の表面B1の外側に配置した場合には、第2照明ユニットF2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、更に包含可能であり、この場合に、第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットF2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、反射器320からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光であり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【0097】
当業者であれば、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2を基板360の表面B1の外側に配置する場合には、第1照明ユニットF1及び撮像ユニット330に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を更に包含可能であり、且つ、第2照明ユニットF2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットF1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置されており、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1、基板360、及び第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光又は第1照明ユニットF1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光である。第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットF2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、反射器320からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光である。
【0098】
当業者は、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2は、交互に又は同時に、散乱光又は非散乱光を照射可能であることを理解するであろう。
【0099】
当業者であれば、上述の第2実施例においては、1つの反射器のみ、即ち、反射器320がシステム300内にセッティングされており、撮像ユニット330は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、反射器320によって反射された光と、を検知することによって2次元画像を取得するべく適合されており、且つ、撮像ユニット330によって取得される2次元画像は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光を検知することによって取得された第1画像と、反射器320によって反射された光を検知することによって取得された第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、空間的に互いに分離されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0100】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、2つの反射器、即ち、反射器320及び第2反射器SEがシステム300内にセッティングされる。反射器320と同様に、第2反射器SEは、基板360の別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて第2反射器SE内に透過した光を反射するべく適合されている。撮像ユニット330は、第2反射器SEによって反射された光と、反射器320によって反射された光と、を検知することによって2次元画像を取得するべく適合されており、且つ、撮像ユニット330によって取得される2次元画像は、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像と、反射器320によって反射された光を検知することによって取得された第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、空間的に互いに分離されている。第2反射器SE、撮像ユニット330、及び照明ユニット310は、第3チャネルを形成可能であり、且つ、反射器320、撮像ユニット330、及び照射ユニット310は、第4チャネルを形成可能である。反射器320によって反射された光を検知することによって取得される第2画像と同様に、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得される第1画像も圧縮変形を具備する。従って、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像を使用することによって基板360の画像を構築する前に、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像を伸長させることにより、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像の圧縮変形を除去する必要がある。
【0101】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングし、且つ、照明ユニット310を基板360の表面B1の外側に配置した場合に、反射器320に進入する光及び第2反射器SEに進入する光は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例におていは、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングし、且つ、照明ユニット310を基板360の表面B1の外側に配置した場合に、反射器320に進入する光及び第2反射器SEに進入する光は、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光(即ち、暗視野照明)であってもよい。具体的には、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティングされるか、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティングされるか、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光及び第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティングされる。
【0102】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、照明ユニット310が基板360の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット310は、(図8Aに示されているように)基板360に対して拡散光又は非拡散光を照射するべく、基板360の表面B2の外側に配置することも可能である。照明ユニット310を基板360の表面B2の外側に配置した場合には、基板360からの且つ反射器320に進入する光と、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光は、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光である。
【0103】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、システム300は、1つの照明ユニットのみ、即ち、照明ユニット310を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0104】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、システム300は、第1照明ユニットZM1と、第2照明ユニットZM2と、を包含可能である。この場合には、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2は、拡散光又は非拡散光を基板360に照射するべく、基板360の表面B1の外側に配置され、第2反射器SE、撮像ユニット330、及び第1照明ユニットZM1は、第3チャネルを形成し、反射器320、撮像ユニット330、及び第2照明ユニットZM2は、第4チャネルを形成し、基板360からの且つ反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であってよく、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光又は第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であってよい。具体的には、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能である。
【0105】
当業者は、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合には、第2反射器SE、撮像ユニット330、及び第1照明ユニットZM1に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第1偏光方向FX1と直交する第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を更に包含可能であり、この場合に、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZM1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置されており、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1及び基板260を通じて透過した光又は第1照明ユニットZM1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、撮像ユニット330は、第2反射器SEによって反射されると共に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得可能であり、且つ、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【0106】
当業者であれば、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合には、第2照明ユニットZM2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZM2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、撮像ユニット330は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得可能であり、且つ、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよい。
【0107】
当業者は、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合には、第2反射器SE、撮像ユニット330、及び第1照明ユニットZM1に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を包含可能であり、且つ、第2照明ユニットZM2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZM1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置されており、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1及び基板360を通じて透過した光又は第1照明ユニットZM1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、撮像ユニット330は、第2反射器SEによって反射されると共に第2偏光コンポーネントPを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得可能である。第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZM2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、撮像ユニット330は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得可能である。
【0108】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が、基板360の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2は、(図8Bに示されているように)基板360の基板B2の外側に配置することも可能である。第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2を基板360の表面B2の外側に配置可能である場合には、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光である。
【0109】
当業者は、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2は、交互に又は同時に、散乱光又は非散乱光を基板360に照射可能であることを理解するであろう。
【0110】
当業者は、上述の実施例に記述されている基板は、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板を包含可能であることを理解するであろう。
【0111】
当業者は、画像構築モジュール340及び画像処理モジュール350は、ソフトウェア、ハードウェア、及びソフトウェアとハードウェアの組合せによって実装可能であることを理解するであろう。
【0112】
当業者は、基板360の欠陥が基板360の内部の欠陥であるのか又は基板360上の欠陥であるのかを検出した後に、基板360の欠陥が基板360の画像TT1及びTT2内に出現する異なる特徴及び基板360の欠陥が基板360の内部の欠陥であるのか又は基板360上の欠陥であるのかに基づいて、基板360の欠陥を分類可能であることを理解するであろう。
【0113】
例えば、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310又は第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であり、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、照明ユニット310又は第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、照明ユニット310又は第2照明ユニットZM2が基板360に照射する角度が、基板360の破れ泡が撮像ユニット330によって取得される第2画像内において可視状態とならないように、セッティングされると仮定した場合に、基板360の欠陥が基板360の画像TT1内に出現するのが楕円であり、且つ、画像TT1及びTT2を比較することによって基板360の欠陥が基板360上の欠陥であると判明した場合には、基板360の欠陥は、破れ泡として分類される。
【0114】
更には、例えば、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1及び基板360を通じて透過した光であり、撮像ユニット330が、第2反射器SEによって反射されると共に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得し、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光であり、且つ、撮像ユニット330が、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得すると仮定した場合に、基板360の欠陥が画像TT1及びTT2内に出現しており、且つ、基板360の欠陥が基板360の内部の欠陥であると検出された場合には、基板360の欠陥は、包含又は再結晶などの基板360の内部の応力又は光学歪タイプの欠陥として分類される。
【0115】
(第3実施例)
当業者は、上述の第1及び第2実施例及びその変形においては、基板の欠陥を検出及び分類するシステムは、2つのチャネルのみを含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0116】
本発明の第3実施例においては、システムは、画像構築モジュールGJ及び画像処理モジュールCLに加えて、3つのチャネル、即ち、第5チャネルTD1、第6チャネルTD2、及び第7チャネルTD3を更に包含可能である。
【0117】
第5チャネルTD1は、明視野照明に属している。第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。
【0118】
第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JPの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面の外部に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0119】
第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射され、基板JPを通じて透過すると共に、第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0120】
第6チャネルTD2は、暗視野照明に属している。第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。
【0121】
第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく配置されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射される光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0122】
第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第2反射器FJ2に進入する光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0123】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントPZ5、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントPZ6、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。
【0124】
第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第5偏光コンポーネントPZ5は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第3照明ユニットZD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第6偏光コンポーネントPZ6は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第3撮像ユニットCD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に、第5偏光コンポーネントPZ5、基板JB、及び第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、又は第3照明ユニットZD3によって照射されると共に第5偏光コンポーネントPZ5を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0125】
この場合には、第1照明ユニットZD1、第2照明ユニットZD2、及び第3照明ユニットZD3は、交互に又は同時に、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射する。
【0126】
画像構築モジュールGJは、上述の第1実施例に開示されている画像構築モジュール240と同一の動作原理である。具体的には、画像構築モジュールGJは、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3に接続されており、且つ、それぞれ、第1撮像ユニットCD1によって取得された画像、第2撮像ユニットCD2によって取得された画像、及び第3撮像ユニットCD3によって取得された画像を使用することによって基板JBの3つの画像を構築するべく適合されている。説明の利便のために、第1撮像ユニットCD1によって取得された画像を使用することによって構築される基板JBの画像を画像TTT1と呼称し、第2撮像ユニットCD2によって取得された画像を使用して構築される基板JBの画像を画像TTT2と呼称し、第3撮像ユニットCD3によって取得された画像を使用して構築される基板JBの画像を画像TTT3と呼称する。
【0127】
この場合には、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3が2次元撮像ユニットである際に、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像が圧縮変形を具備する場合には、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3によって取得された画像を使用することによって基板JBの3つの画像を構築する前に、画像構築モジュールGJは、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像のそれぞれのものの長さ及び底辺に従って、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【0128】
画像処理モジュールCJは、上述の第1実施例に開示されている画像処理モジュール250と同一の動作原理である。具体的には、画像処理モジュールCJは、画像構築モジュールGJに接続されており、且つ、基板JBの欠陥Qを検出すると共に、欠陥Qが画像TTT1〜TTT3のうちの2つの画像に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板JB上に位置しているのか又は基板JBの内部に位置しているのかを検出するべく、画像構築モジュールGJによって構築された画像TTT1〜TTT3を処理するように適合されている。この場合に、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置が同一であるが、或いは、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLに等しい際には、画像処理モジュールCLは、欠陥Qが基板JB上に位置していると検出し、且つ、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置が同一ではなく、且つ、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLを下回っている場合には、画像処理モジュールCLは、欠陥Qが基板JBの内部に位置していると検出する。
【0129】
欠陥Qが基板JBの内部の欠陥であるのか又は基板JB上の欠陥であるのかを検出した後に、画像処理モジュールは、欠陥Qが基板JBの画像TTT1〜TTT3内に出現する異なる特徴及び欠陥Qが基板JBの内部の欠陥であるのか又は基板JB上の欠陥であるのかに基づいて、欠陥Qを分類可能である。
【0130】
例えば、第2照明ユニットZD2が光を照射する角度が、基板JBの破れ泡が第2照明ユニットCD1によって取得される画像内において可視状態とならないように、セッティングされると仮定された場合に、欠陥Qが基板JBの画像TTT1内に出現するのが楕円であり、且つ、欠陥Qが基板JBの画像TTT2内に出現しない場合には、欠陥Qは、破れ泡として分類可能である。
【0131】
更には、例えば、欠陥Qが基板JBの画像TTT1及びTTT2内に出現するのが楕円であり、且つ、欠陥Qが基板JBの画像TTT3内に出現せず、且つ、欠陥Qが基板JBの内部の欠陥であると検出された場合には、欠陥Qは、基板JBの内部の非応力又は光学歪タイプの欠陥として分類可能である。
【0132】
(第3実施例の変形例)
当業者であれば、上述の第3実施例においては、第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合に、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合に、第2照明ユニットZD2を基板JBの表面B2の外側に配置することも可能である。
【0133】
当業者は、上述の第3実施例及びその変形においては、第5チャネルTD1、第6チャネルTD2、及び第7チャネルTD3は、異なる照明モードを使用しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、同一の照明モードを使用可能であり、且つ、第7チャネルTD3は、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2が使用しているものとは異なる照明モードを使用可能である。以下、この詳細について説明する。
【0134】
第1に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、明視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、暗視野照明を使用する。
【0135】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0136】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第2反射器FJ2に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0137】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器FJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0138】
第2に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、暗視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、明視野照明を使用する。
【0139】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0140】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱を通じて導出された後に第2反射器FJ2に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0141】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第3反射器FJ3に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器FJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0142】
第3に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、明視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、偏光視野照明を使用する。
【0143】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JPに照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0144】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第2反射器FJ2に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0145】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントPZ5、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントPZ6、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第5偏光コンポーネントPZ5は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第3照明ユニットZD3と基板JBの間に、配置され、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第6偏光コンポーネントPZ6は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第3撮像ユニットCD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に、第5偏光コンポーネントPZ5、基板JB、及び第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に第5偏光コンポーネントPZ5を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0146】
第4に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、暗視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、偏光視野照明を使用する。
【0147】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0148】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第2反射器FJ2に進入する光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0149】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントPZ5、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントPZ6、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第5偏光コンポーネントPZ5は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第3照明ユニットZD3と基板JBの間に、配置され、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第6偏光コンポーネントPZ6は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第3撮像ユニットCD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に、第5偏光コンポーネントPZ5、基板JB、及び第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に第5偏光コンポーネントPZ5を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0150】
第5に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、偏光視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、明視野照明を使用する。
【0151】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントPZ1、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントPZ2、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1偏光コンポーネントPZ1は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第1照明ユニットZD1と基板JBの間に、配置され、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第2偏光コンポーネントPZ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第1撮像ユニットCD1と基板JBの間に、配置され、且つ、第1撮像ユニットCD1は、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネントPZ1、基板JB、及び第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントPZ1を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0152】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントPZ3、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントPZ4、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3偏光コンポーネントPZ3は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第2照明ユニットZD2と基板JBの間に、配置され、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第4偏光コンポーネントPZ4は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第2撮像ユニットCD2と基板JBの間に、配置され、且つ、第2撮像ユニットCD2は、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネントPZ3、基板JB、及び第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントPZ3を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0153】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第3反射器FJ3に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器にFJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0154】
第6に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、偏光視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、暗視野照明を使用する。
【0155】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントPZ1、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントPZ2、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1偏光コンポーネントPZ1は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第1照明ユニットZD1と基板JBの間に、配置され、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第2偏光コンポーネントPZ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第1撮像ユニットCD1と基板JBの間に、配置され、且つ、第1撮像ユニットCD1は、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネントPZ1、基板JB、及び第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントPZ1を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0156】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントPZ3、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントPZ4、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3偏光コンポーネントPZ3は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第2照明ユニットZD2と基板JBの間に、配置され、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第4偏光コンポーネントPZ4は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第2撮像ユニットCD2と基板JBの間に、配置され、且つ、第2撮像ユニットCD2は、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネントPZ3、基板JB、及び第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントPZ3を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0157】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第3反射器FJ3に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器FJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0158】
当業者は、上述の第3実施例及びその変形においては、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3が、別個の撮像ユニットであるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3は、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、或いは、第1撮像ユニットCD1及び第2撮像ユニットCD2は、1つの且つ同一の撮像ユニットである。第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCE3が、1つの且つ同一の撮像ユニットである場合には、第1撮像ユニットCD1によって取得される画像、第2撮像ユニットCD2によって取得される画像、及び第3撮像ユニットCD3によって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている。第1撮像ユニットCD1及び第2撮像ユニットCD2が1つの同一の撮像ユニットである場合には、第1撮像ユニットCD1によって取得される画像と第2撮像ユニットCD2によって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている。
【0159】
当業者は、本発明の精神を逸脱することなしに、本発明の実施例の様々な修正及び変更を実施可能であり、且つ、それらの修正及び変更も、本発明の保護範囲に含まれることを理解するであろう。従って、本発明の保護範囲は、添付の請求項に規定されているとおりである。
【技術分野】
【0001】
本出願は、2009年7月31日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910161107.3号及び2009年11月27日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910246381.0号の優先権を主張する。これら2つの中華人民共和国特許出願の内容は、本引用により、そのすべてが本明細書に包含される。
【0002】
本発明は、基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【0003】
現在、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板などの透明又は半透明の基板が多くの分野において使用されている。透明又は半透明基板には、製造プロセスにおいて、例えば、基板の表面上に位置する引っ掻き傷、汚れ、及び破れ泡(open bubble)、並びに、基板の内部に位置する閉鎖泡(close bubble)及び結石(黒色石、白色石、及びその他の色の石)などの様々な欠陥が生じることになる。従来技術には、透明又は半透明基板の欠陥をチェックするための多数の欠陥チェック解決策が提案されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、透明又は半透明基板の品質要件の厳格化に伴って、様々なタイプの欠陥ごとの品質管理基準が必要とされている。これに鑑み、透明又は半透明基板の欠陥を検出するのみならず、検出された欠陥が基板上に位置しているのか又は基板内に位置しているのかを弁別することが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムを提供し、この方法及びシステムは、透明又は半透明基板の欠陥を検出及び分類可能である。
【0006】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類するシステムが提供され、このシステムは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合された第1照明ユニット及び第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットを含む第1チャネルと、基板に光を照射するべく適合された第2照明ユニット及び第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットを含む第2チャネルと、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、その欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、を有する。
【0007】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類するシステムが提供され、このシステムは、第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含む第1チャネルであって、第1照明ユニットは光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第1チャネルと、第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含む第2チャネルであって、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第2チャネルと、第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含む第3チャネルであって、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第3チャネルと、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、その欠陥が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、その欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する様々な特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、その欠陥を分類するべく適合された画像処理モジュールと、を有する。
【0008】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類する方法が提供され、この方法は、第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合された第1照明ユニット及び第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットを含む、ステップと、第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニット及び第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットを含む、ステップと、画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、を有する。
【0009】
本発明による基板の欠陥を検出及び分類する方法が提供され、この方法は、第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含み、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含み、第2照明ニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、第3チャネルをセッティングするステップであって、第3チャネルは、第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含み、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板内の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する様々な特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、を有する。
【0010】
本発明のこれらの及びその他の特徴、特性、及び利点については、添付の図面との関連において以下の詳細な説明を参照することにより、更に明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1A】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1B】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1C】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1D】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1E】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1F】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1G】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1H】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1I】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1J】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図1K】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図2】本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図3】本発明の第1実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図4】本発明の第1実施例の変形による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図5A】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5B】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5C】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5D】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5E】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5F】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5G】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5I】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5J】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5K】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図5L】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【図6】本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図7】本発明の第2実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。
【図8A】本発明の第2実施例の変形による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【図8B】本発明の第2実施例の変形による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、添付図面との関連において、本発明の実施例について説明することとする。
【0013】
(第1実施例)
本発明の第1実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
【0014】
図1A〜図1Kは、本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【0015】
まず、図1Aに示されているように、照明ユニットLは、光を透明又は半透明基板Sに照射するべく基板Sの1つの表面B1の外側に配置されており、且つ、2つの1次元撮像ユニットM1及びM2は、それぞれ、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって1次元画像を取得するべく基板Sの別の反対側の表面B2の外側に配置されている。1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の夾角は、αである。ここでは、説明の利便のために、1次元撮像ユニットM1の光軸は、基板Sの表面B1及びB2に対して垂直であると仮定されている。基板Sが方向zに沿って運動した際に、1次元撮像ユニットM1及びM2は、それぞれ、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を特定の間隔において連続的に検知することによって1次元の画像を取得し、且つ、次いで、1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用して基板Sの画像を構築すると共に、1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用して基板Sの画像を構築する。
【0016】
図1Bに示されているように、基板Sは、基板Sの左側のエッジとの関係において距離z1を具備すると共に基板Sに対して垂直である位置に、2つの欠陥D1及びD2を具備するものと仮定されており、欠陥D1は、1次元撮像ユニットM1及びM2と同一の側である基板Sの表面B2上に位置しており、且つ、欠陥D2は、基板Sの内部に位置し、且つ、基板Sの表面B2との関係において距離hを具備している。
【0017】
それぞれ、1次元撮像ユニットM1及びM2が、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を特定の間隔において連続的に検知することによって1次元画像を取得するプロセスにおいて、基板Sが方向zに沿って図1Cに示されている位置に運動した際に、1次元撮像ユニットM1によって取得される1次元画像は、欠陥D1及びD2を含み、基板Sが方向zに沿って図1Dに示されている位置に運動した際に、1次元撮像ユニットM2によって取得される1次元画像は、欠陥D1を含み、且つ、基板Sが方向zに沿って図1Eに示されている位置に運動した際に、1次元撮像ユニットM2によって取得される1次元画像は、欠陥D2を含む。
【0018】
1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用することによって構築された基板Sの画像X1が図1Fに示されており、且つ、1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用することによって構築された基板Sの画像X2が図1Gに示されている。
【0019】
図1Fに示されている基板Sの画像X1を図1Gに示されている基板Sの画像X2と比較することにより、基板Sの表面B2上に位置する欠陥D1が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B2上に位置する欠陥D1が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一であるのに対して、基板Sの内部に位置する欠陥D2が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置する欠陥D2が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットd’を具備していることがわかる。オフセットd’は、図1Eに示されているdに正比例している。
【0020】
【数1】
【0021】
ここで、nは、基板Sの屈折率であり、αは、1次元撮像ユニットM1の光軸と基板Sの表面の垂線の夾角である(ここでは、1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の夾角を意味している)。h及びαが増大するのに伴って、dが増大し、且つ、オフセットd’も増大することがわかる。換言すれば、αが大きくなるほど、hの検出精度が増大する。
【0022】
更には、欠陥D2が基板Sの表面B2との関係において具備している距離hが最大である際には、即ち、欠陥D2が基板Sの別の反対側の表面B1上に位置している際には、欠陥D2が画像X1内に出現する位置と欠陥D2が画像X2内に出現する位置は、異なり(同一ではなく)、且つ、最大オフセットを具備している。
【0023】
以上のことから、以下の規則が明らかとなる。1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の特定の夾角が存在しており、且つ、1次元撮像ユニットM1の光軸が基板Sの表面に対して垂直である場合には、1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用することによって構築される基板Sの画像X1及び1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用することによって構築される基板Sの画像X2内において、基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置は、同一であるか、又は最大オフセットを具備し、且つ、基板Sの内部に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、2つの位置の間のオフセットは、基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【0024】
実際には、1次元撮像ユニットM1又はM2の光軸が基板Sの表面に対して垂直であることは、必須ではなく、1次元撮像ユニットM1の光軸と1次元撮像ユニットM2の光軸の特定の夾角が存在している限り、1次元撮像ユニットM1によって取得された1次元画像を使用して構築される基板Sの画像X1及び1次元撮像ユニットM2によって取得された1次元画像を使用することによって構築される基板Sの画像X2内において、基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置は、同一であるか、又は最大オフセットを具備し、且つ、基板Sの内部に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥が画像X2内に出現する欠陥は、同一ではなく、且つ、2つの位置の間のオフセットは、基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B1上に位置している欠陥が画像X2内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【0025】
上述の規則は、1次元撮像ユニットが撮像ユニットとして使用されている状態のみならず、2次元撮像ユニットが撮像ユニットとして使用されている状態にも、適用可能である。
【0026】
但し、2次元撮像ユニットを撮像ユニットして使用する場合に、2次元撮像ユニットを基板Sとの関係において傾斜した状態に配置した場合には、即ち、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロを上回っている場合には、この状態で2次元撮像ユニットによって取得される画像は、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロである際に2次元撮像ユニットによって取得される画像との関係において、圧縮変形を具備することになる。例えば、図1Hに示されている正方形の場合に、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロである際に2次元撮像ユニットによって取得される画像が図1Jに示されており、且つ、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロを上回る際に2次元撮像ユニットによって取得される画像が図1Kに示されている。図1Jにおいては、取得される画像は、正方形であるが、図1Kにおいては、取得される画像は、台形である。図1Jに示されている画像との比較において、図1Kに示されている画像の底辺は、変化しておらず、且つ、その上辺及び高さが圧縮されていることがわかる。更には、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角が増大するのに伴って、2次元撮像ユニットによって取得される画像は、更に大きな圧縮変形を具備することになる。
【0027】
従って、2次元撮像ユニットを撮像ユニットして使用する場合に、2次元撮像ユニットの光軸と基板Sの表面の垂線の夾角がゼロを上回っている場合には、2次元撮像ユニットによって取得された画像を使用して基板Sの画像を構築する前に、2次元撮像ユニットによって取得された画像のそれぞれのものの底辺の長さに従って、2次元撮像ユニットによって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、2次元撮像ユニットによって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【0028】
本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムは、上述の規則に基づいて実現されている。
【0029】
図2は、本発明の第1実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。図2に示されているように、基板の欠陥を弁別するシステム200は、照明ユニット210と、第1撮像ユニット220と、第2撮像ユニット230と、画像構築モジュール240と、画像処理モジュール250と、を包含可能である。
【0030】
照明ユニット210は、透明又は半透明基板260の1つの表面B1の外側に配置され、且つ、光を基板260に照射するべく適合されている。照明ユニット210によって基板260に照射される光は、非拡散光又は拡散光であってよい。照明ユニット210によって基板260に照射される光が拡散光であれば、基板260がパターン又は構造を有する基板である場合に、基板260のパターン又は構造による基板260の欠陥の検出に対する影響を低減可能であり、或いは、場合によっては、除去可能である。照明ユニット210は、照明ユニット210が基板260の幅全体にわたって光を基板260に照射することができるように、1つ又は複数の光源を包含可能である。
【0031】
第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、基板260の別の反対側の表面B2の外側に配置されており、且つ、照明ユニット210によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第1撮像ユニット220の光軸と第2撮像ユニット230の光軸の夾角αは、ゼロを上回っている。第1撮像ユニット220及び照明ユニット210は、第1チャネルを形成し、且つ、第2撮像ユニット230及び照明ユニット210は、第2チャネルを形成しており、第1チャネル及び第2チャネルは、いずれも、明視野照明に属している。システム200が動作するプロセスにおいて、基板260が方向zに沿って運動した際に、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、照明ユニット210によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって既定の時間間隔において画像を取得する。
【0032】
第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、1次元撮像素子及びエリアアレイ撮像素子によって形成可能であり、この場合に、1次元撮像素子は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)1次元撮像素子、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)1次元撮像素子、又はその他のタイプの1次元撮像素子を包含可能であり、且つ、エリアアレイ撮像素子は、例えば、CCDエリアアレイ撮像素子、CMOSエリアアレイ撮像素子、又はその他のタイプのエリアアレイ撮像素子を包含可能である。第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が1次元撮像ユニットである際には、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230のそれぞれのものは、一列にセッティングされた、線分の両側に千鳥状にセッティングされた、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備した1つ又は複数の1次元撮像素子を包含可能である。第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230がエリアアレイ撮像ユニットである際には、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230のそれぞれのものは、配列としてセッティングされた、一列にセッティングされた、線分の両側に千鳥状にセッティングされた、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備した1つ又は複数のエリアアレイ撮像素子を包含可能である。
【0033】
画像構築モジュール240は、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230に接続されており、且つ、それぞれ、第1撮像ユニット220によって取得された画像及び第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって基板260の2つの画像を構築するべく、即ち、第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって基板260の1つの画像を、そして、第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって基板260の別の画像を構築するべく、適合されている。説明の利便のために、第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって構築される基板260の画像を画像T1と呼称し、且つ、第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって構築される基板260の画像を画像T2と呼称する。
【0034】
この場合に、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が2次元撮像ユニットである際に、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得される画像が圧縮変形を具備している場合には、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって基板260の2つの画像を構築する前に、画像構築モジュール240は、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得された画像のそれぞれのものの底辺の長さに従って、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、第1撮像ユニット220及び/又は第2撮像ユニット230によって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【0035】
画像処理モジュール250は、画像構築モジュール240に接続されており、且つ、画像構築モジュール240によって構築された画像T1及びT2を処理して基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定し、且つ、基板260が欠陥Qを具備していると判定された際に、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出するべく適合されている。この場合に、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置が同一であるか、又は欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置が最大オフセットZLに等しい際に、画像処理モジュール250は、欠陥Qが基板上に位置していると判定し、且つ、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置が等しくなく、且つ、欠陥Qが画像T1内に出現する位置と欠陥Qが画像T2内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLを下回っている際に、画像処理モジュール250は、欠陥Qが基板260の内部に位置していると検出する。
【0036】
ここで、画像処理モジュールは、本出願人によって2009年2月27日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910117993.X号に開示されている解決策又は画像を処理して基板が欠陥を具備しているかどうかを判定するための現存する及び将来提案されるその他の解決策を使用することにより、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。
【0037】
最大オフセットZLは、基板260の表面B1上に位置している欠陥が第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置と基板260の表面B1上に位置している欠陥が第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置の間のオフセットである。ここで、円及び多角形などの複数の等しく離隔したパターンによって形成された較正板を基板260の表面B1上に配置可能であり、且つ、較正板内の同一パターンが第1撮像ユニット220によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置と較正板内の同一パターンが第2撮像ユニット230によって取得された画像を使用することによって構築された基板260の画像内に出現する位置の間のオフセットを最大オフセットZLとして算出する。当業者がその他の既知の技術を使用して最大オフセットZLを取得することも可能であることは明らかである。
【0038】
以下は、欠陥Qが画像T1及びT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出する一例である。第1に、画像処理モジュール250は、欠陥Qが画像T1内に出現する位置の座標WZ1と、欠陥Qが画像T2内に出現する位置の座標WZ2と、を算出可能である。第2に、画像処理モジュール250は、座標WZ1及びWZ2の差の絶対値JZを算出可能である。第3に、画像処理モジュール250は、値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいかどうかを判定可能である。値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいことを判定結果が示している場合には、画像処理モジュール250は、欠陥Qが、基板260上に位置する欠陥であると検出可能であり、且つ、値JZがゼロ及び最大オフセットZLに等しくないと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール250は、欠陥Qが、基板260の内部に位置する欠陥であると検出可能である。
【0039】
図3は、本発明の一実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図3に示されているように、照明ユニット210は、パルス(T1、T2、T3、…、Tn)ごとに一回ずつ、光を基板260に照射しており、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しい。第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、2パルスの間隔において1つの画像を取得しており、第2撮像ユニット230が画像を取得する時点は、第1撮像ユニット220が画像を取得する時点との関係において1パルスの幅の時間間隔を具備している。即ち、第2撮像ユニット230は、偶数番号を有するパルス(T2、T4、T6、…)において画像を取得しており、且つ、第1撮像ユニット220は、奇数番号を有するパルス(T1、T3、T5、…)において画像を取得している。
【0040】
(第1実施例の変形例)
当業者は、上述の第1実施例においては、画像処理モジュール250が、画像構築モジュール240によって構築された画像T1及びT2を処理し、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール250の代わりに、その他のモジュールを使用することにより、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。その場合には、画像処理モジュール250は、基板260が欠陥Qを具備していると判定された際にのみ、欠陥Qが画像T1及びT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出するべく構成される。
【0041】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、照明ユニット210が、各パルスにおいて1回ずつ、光を基板260に照射しており、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しいが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210は、システム200が動作している際に常に光を基板260に対して連続的に照射することも可能である。
【0042】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が、それぞれ、2パルスの間隔において画像を取得しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230は、それぞれ、各パルスごとに又は2つを上回る数のパルスごとに、画像を取得する。
【0043】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第2撮像ユニット230が画像を取得する時点が、第1撮像ユニット220が画像を取得する時点との関係において、1パルスの幅の時間間隔を具備しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第2撮像ユニット230が画像を取得する時点は、第1撮像ユニット220が画像を取得する時点との関係において、ゼロパルスの又は2つ以上のパルスの幅の間隔を具備することも可能である。
【0044】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が、同一の照明ユニット、即ち、照明ユニット210を使用しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210は、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を包含可能であり、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって画像を取得し、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって基板260に照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって画像を取得する。図4は、本発明の別の実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図4に示されているように、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、それぞれ、2パルスごとに1回ずつ、基板260に光を照射しており、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しく、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する時点は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する時点との関係において、1パルスの幅の時間間隔を具備している。第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射するパルスのそれぞれのものごとに画像を取得しており、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射するパルスのそれぞれのものごとに画像を取得している。第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、それぞれ、一列に又は配列としてセッティングされた1つ又は複数の光源を包含可能である。
【0045】
図4に示されている条件に加えて、当業者は、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する時点と第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する時点は、同一であってもよく、或いは、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する時点は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する時点との関係において、2つ以上のパルスの時間間隔を具備することも可能であることを理解するであろう。
【0046】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、システム200が動作する際に、基板260が運動する一方で、第1撮像ユニット220、第2撮像ユニット230、及び照明ユニット210は、運動していないが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、システム200が動作する際に、基板260が運動せず、且つ、第1撮像ユニット220、第2撮像ユニット230、及び照明ユニット210が運動することも可能である。
【0047】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形に記述されている基板は、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板を包含可能であることを理解するであろう。
【0048】
当業者は、第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットの数は、基板の幅、撮像開口数、検出精度、及び基板の欠陥の推定最大数及び最小検出寸法に基づいて決定可能であることを理解するであろう。
【0049】
当業者は、画像構築モジュール240及び画像処理モジュール250は、ソフトウェア、ハードウェア、及びソフトウェアとハードウェアの組合せによって実装可能であることを理解するであろう。
【0050】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光及び基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射されると共に基板260を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光及び/又は基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光(暗視野照明)となるように、セッティング可能である。具体的には、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光及び基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、照明ユニット210によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出された光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット210が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、照明ユニット210によって照射された光を基板260が散乱させることから導出された光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、照明ユニット210によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。
【0051】
当業者は、上述の第1実施例及びその変形においては、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230が基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、照明ユニット210が基板260の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット210は、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230と同様に、基板260の表面B2の外側に配置することも可能である。照明ユニット210を基板260の表面B2の外側に配置した場合には、第1撮像ユニット220は、照明ユニット210によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230も、照明ユニット210によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能である。
【0052】
更には、照明ユニット210が第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を含む場合には、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する角度及び第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、第1照明ユニット210−1によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、第2照明ユニット210−2によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する角度及び第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、第2照明ユニット210−2によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射する角度及び第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射する角度は、基板260からの且つ第1撮像ユニット220によって受光される光が、第1照明ユニット210−1によって照射された光を基板260が散乱させることから導出される光となり、且つ、基板260からの且つ第2撮像ユニット230によって受光される光が、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に基板260を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、交互に又は同時に、光を基板260に照射可能である。
【0053】
当業者は、上述の変形においては、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2が基板260の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2は、第1撮像ユニット220及び第2撮像ユニット230と同様に、基板260の表面B2の外側に配置することも可能である。第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を基板260の表面B2の外側に配置した場合には、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1が光を基板260に照射した際に、第1照明ユニット210−1によって照射された光の基板160による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2が光を基板260に照射した際に、第2照明ユニット210−2によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得可能である。
【0054】
当業者は、上述の変形においては、照明ユニット210が第1照明ユニット210−1及び第2照明ユニット210−2を含む場合に、第1チャネルは、第1撮像ユニット220及び第1照明ユニット210−1を含み、且つ、第2チャネルは、第2撮像ユニット230及び第2照明ユニット210−2を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0055】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向に直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、第1偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニット210−1と基板260の間にセッティングされ、第2偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第1撮像ユニット220と基板260の間にセッティングされ、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板260、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニット210−2によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得可能である。
【0056】
或いは、本発明のその他のいくつかの実施例においては、第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントを更に包含可能であり、第3偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニット210−2と基板260の間にセッティングされ、第4偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第2撮像ユニット230と基板260の間にセッティングされ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板260、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニット210−1によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得可能である。
【0057】
或いは、本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、且つ、第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に包含可能であり、第1偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニット210−1と基板260の間にセッティングされ、第2偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第1撮像ユニット220と基板260の間にセッティングされ、第3偏光コンポーネントは、基板260の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニット210−2と基板260の間にセッティングされ、第4偏光コンポーネントは、基板260の表面B2の外側に配置され、且つ、第2撮像ユニット230と基板260の間にセッティングされ、第1撮像ユニット220は、第1照明ユニット210−によって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板260、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能であり、且つ、第2撮像ユニット230は、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板260、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニット21−2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板260による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得可能である。
【0058】
当業者は、基板260の欠陥が基板260の内部の欠陥であるのか又は基板260上の欠陥であるのかを検出した後に、基板260の欠陥が基板260の画像T1及びT2内に出現する異なる特徴及び基板260の欠陥が基板260の内部の欠陥であるのか又は基板260上の欠陥であるのかに基づいて、基板260の欠陥を分類可能であることを理解するであろう。
【0059】
例えば、基板260の画像T1が、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に基板260を通じて透過した光を検知することによって取得された画像を使用することによって構築され、基板260の画像T2が、第2照明ユニット210−2によって照射された光の基板260による散乱から導出される光を検知することによって取得された画像を使用することによって構築され、且つ、第2照明ユニット210−2が光を照射する角度が、基板260の破れ泡が第2撮像ユニット230によって取得された画像内において可視状態となるようにセッティングされると仮定した場合に、基板260の欠陥が基板260の画像T1内に出現するのが楕円でああり、且つ、画像T1及びT2の比較によって、基板260の欠陥が基板260上に位置していると判明した場合には、基板260の欠陥は、破れ泡として分類される。
【0060】
更には、例えば、基板260の画像T1が、第1照明ユニット210−1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板260、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1撮像ユニット220によって取得された画像によって構築され、且つ、基板260の画像T2が、第2照明ユニット210−2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板260、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第2撮像ユニット230によって取得された画像によって構築されると仮定した場合に、基板260の欠陥が画像T1及びT2内に出現しており、且つ、基板260の欠陥が基板260の内部の欠陥であると検出された場合には、基板260の欠陥は、含有又は再結晶などの基板260の内部の応力又は光学歪タイプの欠陥として分類される。
【0061】
(第2実施例)
本発明の第2実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
【0062】
図5A〜図5Lは、本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する解決策を示す輪郭線による概略図である。
【0063】
第1に、図5Aに示されているように、照明ユニットLが、基板Sに光を照射するべく透明又は半透明基板Sの1つの表面B1の外側に配置されており、且つ、反射器F及び撮像ユニットMが、基板Sの別の反対側の表面B2の外側に配置されている。反射器Fは、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて反射器F内に透過した光を反射するべく適合されており、且つ、その光軸が基板Sの表面B1及びB2に対して垂直である撮像ユニットMは、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光と、反射器Fによって反射された光と、を検知することによって2次元画像を取得するべく適合されている。撮像ユニットMによって取得される2次元画像は、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって取得される第1画像と、反射器Fによって反射された光を検知することによって取得される第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、図5Bに示されているように、分離されている。
【0064】
照明ユニットLによって照射されると共に基板Sを通じて反射器F内に透過する光は、基板Sの表面B1及びB2に対して垂直ではなく、従って、撮像ユニットMによって取得される2次元画像内において、反射器Fによって反射された光を検知することによって取得される第2画像は、照射ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって取得される第1画像と比べて、圧縮変形を具備している。例えば、図5Cに示されている正方形の場合に、撮像ユニットMによって取得される2次元画像において、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光を検知することによって取得された第1画像が図5Dに示されており、且つ、反射器Fによって反射された光を検知することによって取得された第2画像が図5Eに示されている。図5Dにおいては、取得された画像は、依然として、正方形であるが、図5Eにおいては、取得された画像は、台形である。図5Dに示されている画像と比べて、図5Eに示されている画像の底辺は、変化しておらず、且つ、その上辺及び高さが圧縮されていることがわかる。反射器F及び撮像ユニットMを基板Sとの関係においてセッティングした後に、撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像の圧縮変形の判定を完了させる。このときには、例えば、円及び多角形などのパターンによって形成された較正板を基板S上に配置し、且つ、撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像内のパターンの圧縮変形量を算出することにより、撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像の圧縮変形量を予め判定可能である。
【0065】
基板Sが方向zに沿って運動した際に、撮像ユニットMは、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光と、反射器Fによって反射された光と、を特定の間隔において連続的に検知することによって少なくとも1つの2次元画像を取得する。撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像を既定の圧縮変形量に従って伸長させることにより、撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものの第2画像の圧縮変形を除去する。次いで、撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第2画像を使用して基板Sの画像を構築し、且つ、撮像ユニットMによって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用して基板Sの画像を構築する。
【0066】
図5Fに示されているように、基板Sは、基板Sの左側のエッジとの関係において距離z1を具備すると共に基板Sに対して垂直である位置に、2つの欠陥D1及びD2を具備するものと仮定されており、欠陥D1は、撮像ユニットMと同一の側である基板Sの表面B2上に位置しており、且つ、欠陥D2は、基板Sの内部に位置し、且つ、基板Sの表面B2との関係において距離hを具備している。
【0067】
撮像ユニットMが、照明ユニットLによって基板Sに照射されると共に基板Sを通じて透過した光と、反射器Fによって反射された光と、を特定の間隔において連続的に検知することによって少なくとも1つの2次元画像を取得するプロセスにおいて、基板Sが方向zに沿って図5Gに示されている位置に運動した際に撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第1画像は、欠陥D1及びD2を含み、基板Sが方向zに沿って図5Iに示されている位置に運動した際に撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像は、欠陥D2を含み、且つ、基板Sが方向zに沿って図5Jに示されている位置に運動した際に撮像ユニットMによって取得される2次元画像の第2画像は、欠陥D1を含む。
【0068】
撮像ユニットMによって取得される少なくと1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって構築された基板Sの画像X1が図5Kに示されており、且つ、撮像ユニットMによって取得される少なくとも1つの2次元画像に含まれる伸長された第2画像を使用することによって構築された基板Sの画像X2が図5Lに示されている。図5Kに示されている基板Sの画像X1を図5Lに示されている基板Sの画像X2と比較することにより、基板Sの表面B2上に位置している欠陥D1が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B2上に位置している欠陥D1が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一であるのに対して、基板Sの内部に位置している欠陥D2が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥D2が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットd’を具備していることがわかる。オフセットd’は、hが増大するのに伴って増大することが研究から明らかになっている。更には、欠陥D2と基板Sの表面B2の間の距離hが最大値に到達した際には、即ち、欠陥D2が基板Sの表面B1上に位置している際には、欠陥D2が基板Sの画像X1内に出現する位置と欠陥D2が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、オフセットd’は、最大である。
【0069】
上述の内容から以下の規則が明らかとなる。撮像ユニットMによって取得される少なくとも1つの2次元画像の第1画像を使用することによって構築された基板Sの画像X1と撮像ユニットMによって取得される少なくとも1つの2次元画像の第2画像を使用することによって構築された基板Sの画像X2の場合には、基板Sの表面上に位置している欠陥が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面上に位置している欠陥が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一であるか、又は2つの位置の間のオフセットが最大であるのに対して、基板Sの内部に位置している欠陥が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの内部に位置している欠陥が基板Sの画像X2内に出現する位置は、同一ではなく、且つ、2つの位置の間のオフセットは、基板Sの表面B1上に位置している欠陥が基板Sの画像X1内に出現する位置と基板Sの表面B1上に位置している欠陥が基板Sの画像X2内に出現する位置の間のオフセットを下回っている。
【0070】
本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステムは、上述の規則に基づいて実現されている。
【0071】
図6は、本発明の第2実施例による基板の欠陥を検出及び分類するシステムを示す概略構造図である。図6に示されているように、基板の欠陥を弁別するシステム300は、照明ユニット310、反射器320、撮像ユニット330、画像構築モジュール340、及び画像処理モジュール350を包含可能である。
【0072】
照明ユニット310は、透明又は半透明基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、基板360に光を照射するべく適合されている。照明ユニット310によって基板360に照射される光は、非拡散光又は拡散光であってよい。照明ユニット310によって基板360に照射される光が拡散光であれば、基板360がパターン又は構造を有する基板である場合に、基板360の欠陥のチェックに対する基板360のパターン又は構造の影響を低減可能であり、或いは、場合によっては、除去可能である。照明ユニット310は、照明ユニット310が基板360の幅全体にわたって光を基板360に照射することができるように、1つ又は複数の光源を包含可能である。
【0073】
反射器320は、基板360の別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて反射器320内に透過した光を反射するべく適合されている。
【0074】
撮像ユニット330は、基板360の別の反対側の表面B2の外側に配置されており、且つ、撮像ユニット330の光軸は、基板360の表面B1及びB2に対して垂直である。撮像ユニット330は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、反射器320によって反射された光と、を検知することにより、2次元画像を取得するべく適合されている。撮像ユニット330によって取得される2次元画像は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光を検知することによって取得される第1画像と、反射器320によって反射された光を検知することによって取得される第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、互いに空間的に分離されている。撮像ユニット330及び照明ユニット310は、第3チャネルを形成可能であり、且つ、反射器320、撮像ユニット330、及び照明ユニット310は、第4チャネルを形成可能であり、第3チャネル及び第4チャネルは、いずれも、明視野照明に属している。システム300が動作するプロセスにおいては、基板360が方向zに沿って運動した際に、撮像ユニット330は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、反射器320によって反射された光と、を検知することによって既定の時間間隔において少なくとも1つの2次元画像を取得する。
【0075】
撮像ユニット330は、1つ又は複数の撮像素子によって形成可能である。撮像ユニット330を形成するための複数の撮像素子が存在する際には、複数の撮像素子は、配列としてセッティングされるか、一列にセッティングされるか、線分の両側に千鳥状にセッティングされるか、又は既定の間隔において配置されると共に線分との関係において既定の夾角を具備している。
【0076】
画像構築モジュール340は、撮像ユニット330に接続されており、且つ、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像及び第2画像をそれぞれ使用することによって基板360の2つの画像を構築するべく、即ち、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって基板360の1つの画像を、そして、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第2画像を使用することによって基板360の別の画像を構築するべく、適合されている。説明の利便のために、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって構築された基板360の画像を画像TT1と呼称し、且つ、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第2画像を使用することによって構築された基板360の画像を画像TT2と呼称する。
【0077】
この場合に、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像を使用することによって基板360の画像TT2を構築する前に、画像構築モジュール340は、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像を伸長させることにより、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像の圧縮変形を除去する。例えば、円及び多角形などのパターンによって形成された較正板を基板360上に配置し、且つ、撮像ユニット330によって取得された2次元画像に含まれる第2画像内のパターンの圧縮変形量を算出することにより、撮像ユニット330によって取得される少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第2画像の圧縮変形量を予め判定可能である。
【0078】
画像処理モジュール350は、画像構築モジュール340に接続されており、且つ、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定し、且つ、基板360が欠陥Qを具備していると判定された際に、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板360上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを検出するべく、画像構築モジュール340によって構築された画像TT1及びTT2を処理するように適合されている。この場合に、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置が同一であるか、又は欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLに等しい際には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが基板360上に位置していると検出し、且つ、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置が同一ではなく、且つ、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置と欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLを下回っている際には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが基板360の内部に位置していると検出する。
【0079】
ここで、画像処理モジュール350は、本出願人によって2009年2月27日付けで出願された中華人民共和国特許出願第200910117993.X号に開示されている解決策又は画像を処理して基板が欠陥を具備しているかどうかを判定するための現存する又は将来提案されるその他の解決策を使用することによって基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。
【0080】
最大オフセットZLは、基板360の表面B1上に位置している欠陥が、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって構築された基板360の画像に出現する位置と、基板360の表面B1に位置している欠陥が、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる伸長された第2画像を使用することによって構築された基板360の画像内に出現する位置の間のオフセットである。ここで、円及び多角形などの複数の等しく離隔したパターンによって形成された較正板を基板360の表面B1上に配置可能であり、且つ、較正板内の同一のパターンが、撮像ユニット330によって取得された2次元画像の第1画像を使用することによって構築された基板360の画像内に出現する位置と、較正板の同一のパターンが、撮像ユニット330によって取得された2次元画像の伸長された第2画像を使用することによって構築された基板360の画像内に出現する位置の間のオフセットを最大オフセットZLとして算出する。当業者がその他の既知の技術を使用して最大オフセットZLを取得することも可能であることは明らかである。
【0081】
以下は、欠陥Qが画像TT1及びTT2に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板360上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを検出する一例である。第1に、画像処理モジュール350は、欠陥Qが画像TT1内に出現する位置の座標WZ1と、欠陥Qが画像TT2内に出現する位置の座標WZ2と、を算出可能である。第2に、画像処理モジュール350は、座標WZ1及びWZ2の差の絶対値JZを算出可能である。第3に、画像処理モジュール350は、値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいかどうかを判定可能である。値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しいと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが、基板360上に位置している欠陥であると検出可能であり、且つ、値JZがゼロ又は最大オフセットZLに等しくないと判定結果が示している場合には、画像処理モジュール350は、欠陥Qが、基板360の内部に位置している欠陥であると検出可能である。
【0082】
図7は、本発明の一実施例による照明ユニット及び撮像ユニットの時間に伴う動作シーケンスを示す概略図である。図7に示されているように、照明ユニット310は、パルス(T1、T2、T3、…、Tn)ごとに一回ずつ、光を基板360に照射し、且つ、各照射の持続時間は、1パルスの幅に等しい。撮像ユニット330は、各パルスの間隔において2次元画像を取得している。
【0083】
1つの撮像ユニットのみを使用することによって2つのチャネルの画像が取得されるため、費用が低減されることが上述の実施例からわかる。更には、1つの撮像ユニットのみを使用することによって2つのチャネルの画像が取得されるため、画像の取得を妨げる要因によって生じる2つのチャネルの画像内における基板の欠陥の出現位置の変動が同一になり、且つ、従って、取得された画像を使用することにより、基板の欠陥が基板の表面上に位置しているのか又は基板の内部に位置しているのかの弁別が更に正確なものとなる。
【0084】
(第2実施例の変形例)
当業者は、上述の第2実施例においては、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定するべく、画像構築モジュール340によって構築される画像TT1及びTT2を画像処理モジュールが処理しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール350の代わりに、その他のモジュールを使用し、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。この場合には、画像処理モジュール350は、基板360が欠陥Qを具備していると判定された際にのみ、欠陥Qが画像TT1及びTT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板369上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを判定するべく構成される。
【0085】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、撮像ユニット330の光軸が基板360の表面B1及びB2に対して垂直であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、撮像ユニット330の光軸は、基板360の表面B1及びB2に対して垂直でなくてもよい。撮像ユニット330の光軸が基板360の表面B1及びB2に対して垂直でない場合には、撮像ユニット330によって取得される2次元画像において、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光を検知することによって形成される第1画像も、圧縮変形を具備することになり、且つ、第1画像の圧縮変形を第2画像のものと同一の方式によって判定可能であり、更には、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像に含まれる第1画像を使用することによって基板360の画像TT1を構築する前に、画像構築モジュール340は、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第1画像を伸長させることにより、撮像ユニット330によって取得された少なくとも1つの2次元画像のそれぞれのものに含まれる第1画像の圧縮変形を除去する。
【0086】
当業者は、撮像ユニット330が反射器320によって反射された光を受光可能である限り、反射器320と基板360の間の間隔を実際的な要件に従って調節可能であり、且つ、反射器320によって反射された光と、照射ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、を撮像ユニット330において分離可能であることを理解するであろう。
【0087】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、撮像ユニット330が各パルスごとに2次元画像を取得しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、撮像ユニット330は、更に多くの数のパルスごとに2次元画像を取得する。
【0088】
当業者は、上述の実施例においては、照明ユニット310が、パルス(T1、T2、T3、…、Tn)ごとに1回ずつ、光を基板360に照射し、且つ、各照射の持続時間が1パルスの幅に等しいが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット310は、システム300が稼働する際に連続的に光を基板360に照射することも可能である。
【0089】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、システム300が動作する際に、基板260が運動する一方で、反射器320、撮像ユニット330、及び照明ユニット310は、運動していないが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、システム300が稼働する際に、基板360は、運動せず、且つ、反射器320、撮像ユニット330、及び照明ユニット310が運動可能である。
【0090】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、反射器320内に進入する光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、反射器320内に進入する光及び/又は基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光(即ち、暗視野照明)であってもよい。具体的には、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光及び基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能である。
【0091】
当業者は、上述の第2実施例及びその変形においては、システム300が、1つの照明ユニットのみ、即ち、照明ユニット310を含み、且つ、第3チャネル及び第4チャネルの両方が、照明ユニット310を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット310は、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2を更に包含可能であり、第3チャネルは、第1照明ユニットF1及び撮像ユニット330を包含可能であり、第4チャネルは、第2照明ユニットF2、反射器320、及び撮像ユニット330を包含可能であり、且つ、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板360に照射するべく適合されている。
【0092】
照明ユニット310が第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2を含む場合には、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出された光又は第2照明ユニットF2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板360による散乱から導出された光又は第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能である。具体的には、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティングされ、或いは、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に入射する光が、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティングされ、或いは、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板による散乱から導出される光となるように、セッティングされ、或いは、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、第2照明ユニットF2によって基板に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光が、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティングされる。第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2は、交互に又は同時に、光を基板360に照射可能である。
【0093】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、照明ユニット310に含まれる第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2が、基板360の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1照明ユニットF1は、基板360の表面B1の外側に配置可能であり、且つ、第2照明ユニットF2は、基板360の表面B2の外側に配置可能である。
【0094】
第1照明ユニットF1を基板360の表面B1の外側に配置し、且つ、第2照明ユニットF2を基板360の表面B2の外側に配置した場合には、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、第1照明ユニットF1が光を基板360に照射する角度をセッティングすることにより、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよい。
【0095】
当業者は、第1照明ユニットF1を基板360の表面B1の外側に配置した場合には、第1照明ユニットF1及び撮像ユニット330に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第1偏光方向FX1に直交する第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を更に有することが可能であり、この場合に、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットF1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置され、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1、基板360、及び第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光又は第1照明ユニットF1によて照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光であり、且つ、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第2照明ユニットF2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【0096】
当業者は、第2照明ユニットF2を基板360の表面B1の外側に配置した場合には、第2照明ユニットF2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、更に包含可能であり、この場合に、第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットF2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、反射器320からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光であり、且つ、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【0097】
当業者であれば、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2を基板360の表面B1の外側に配置する場合には、第1照明ユニットF1及び撮像ユニット330に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を更に包含可能であり、且つ、第2照明ユニットF2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットF1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置されており、基板360からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、第1照明ユニットF1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1、基板360、及び第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光又は第1照明ユニットF1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光である。第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットF2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットF2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、反射器320からの且つ撮像ユニット330によって受光される光は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光である。
【0098】
当業者は、第1照明ユニットF1及び第2照明ユニットF2は、交互に又は同時に、散乱光又は非散乱光を照射可能であることを理解するであろう。
【0099】
当業者であれば、上述の第2実施例においては、1つの反射器のみ、即ち、反射器320がシステム300内にセッティングされており、撮像ユニット330は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光と、反射器320によって反射された光と、を検知することによって2次元画像を取得するべく適合されており、且つ、撮像ユニット330によって取得される2次元画像は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光を検知することによって取得された第1画像と、反射器320によって反射された光を検知することによって取得された第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、空間的に互いに分離されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0100】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、2つの反射器、即ち、反射器320及び第2反射器SEがシステム300内にセッティングされる。反射器320と同様に、第2反射器SEは、基板360の別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて第2反射器SE内に透過した光を反射するべく適合されている。撮像ユニット330は、第2反射器SEによって反射された光と、反射器320によって反射された光と、を検知することによって2次元画像を取得するべく適合されており、且つ、撮像ユニット330によって取得される2次元画像は、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像と、反射器320によって反射された光を検知することによって取得された第2画像と、を含み、第1画像及び第2画像は、空間的に互いに分離されている。第2反射器SE、撮像ユニット330、及び照明ユニット310は、第3チャネルを形成可能であり、且つ、反射器320、撮像ユニット330、及び照射ユニット310は、第4チャネルを形成可能である。反射器320によって反射された光を検知することによって取得される第2画像と同様に、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得される第1画像も圧縮変形を具備する。従って、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像を使用することによって基板360の画像を構築する前に、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像を伸長させることにより、第2反射器SEによって反射された光を検知することによって取得された第1画像の圧縮変形を除去する必要がある。
【0101】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングし、且つ、照明ユニット310を基板360の表面B1の外側に配置した場合に、反射器320に進入する光及び第2反射器SEに進入する光は、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光(即ち、明視野照明)であるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例におていは、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングし、且つ、照明ユニット310を基板360の表面B1の外側に配置した場合に、反射器320に進入する光及び第2反射器SEに進入する光は、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光(即ち、暗視野照明)であってもよい。具体的には、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティングされるか、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光が、照明ユニット310によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティングされるか、或いは、照明ユニット310が光を基板360に照射する角度は、反射器320に進入する光及び第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティングされる。
【0102】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、照明ユニット310が基板360の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、照明ユニット310は、(図8Aに示されているように)基板360に対して拡散光又は非拡散光を照射するべく、基板360の表面B2の外側に配置することも可能である。照明ユニット310を基板360の表面B2の外側に配置した場合には、基板360からの且つ反射器320に進入する光と、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光は、照明ユニット310によって照射された光の基板360による散乱から導出される光である。
【0103】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、システム300は、1つの照明ユニットのみ、即ち、照明ユニット310を含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0104】
本発明のその他のいくつかの実施例においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、システム300は、第1照明ユニットZM1と、第2照明ユニットZM2と、を包含可能である。この場合には、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2は、拡散光又は非拡散光を基板360に照射するべく、基板360の表面B1の外側に配置され、第2反射器SE、撮像ユニット330、及び第1照明ユニットZM1は、第3チャネルを形成し、反射器320、撮像ユニット330、及び第2照明ユニットZM2は、第4チャネルを形成し、基板360からの且つ反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であってよく、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光又は第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であってよい。具体的には、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板を通じて透過した光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光となるように、セッティング可能であり、或いは、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が光を基板360に照射する角度は、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となり、且つ、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光となるように、セッティング可能である。
【0105】
当業者は、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合には、第2反射器SE、撮像ユニット330、及び第1照明ユニットZM1に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第1偏光方向FX1と直交する第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を更に包含可能であり、この場合に、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZM1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置されており、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1及び基板260を通じて透過した光又は第1照明ユニットZM1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、撮像ユニット330は、第2反射器SEによって反射されると共に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得可能であり、且つ、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第2照明ユニットZM2によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよいことを理解するであろう。
【0106】
当業者であれば、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合には、第2照明ユニットZM2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZM2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、撮像ユニット330は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得可能であり、且つ、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光又は第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であってよい。
【0107】
当業者は、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合には、第2反射器SE、撮像ユニット330、及び第1照明ユニットZM1に加えて、第3チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第1偏光コンポーネントP1と、第2偏光方向FX2を具備する第2偏光コンポーネントP2と、を包含可能であり、且つ、第2照明ユニットZM2、反射器320、及び撮像ユニット330に加えて、第4チャネルは、第1偏光方向FX1を具備する第3偏光コンポーネントP3と、第2偏光方向FX2を具備する第4偏光コンポーネントP4と、を更に包含可能であることを理解するであろう。この場合には、第1偏光コンポーネントP1は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZM1と基板360の間に配置されており、且つ、第2偏光コンポーネントP2は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、基板360と撮像ユニット330の間に配置されており、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に第1偏光コンポーネントP1及び基板360を通じて透過した光又は第1照明ユニットZM1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、撮像ユニット330は、第2反射器SEによって反射されると共に第2偏光コンポーネントPを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得可能である。第3偏光コンポーネントP3は、基板360の表面B1の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZM2と基板360の間に配置されており、且つ、第4偏光コンポーネントP4は、基板360の表面B2の外側に配置され、且つ、反射器320と撮像ユニット330の間に配置されており、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光又は第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3を通じて透過した光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、撮像ユニット330は、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得可能である。
【0108】
当業者は、第2実施例の上述の変形においては、反射器320及び第2反射器SEをシステム300内にセッティングした場合に、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2が、基板360の表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2は、(図8Bに示されているように)基板360の基板B2の外側に配置することも可能である。第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2を基板360の表面B2の外側に配置可能である場合には、第2反射器SEに進入する光は、第1照明ユニットZM1によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、反射器320に進入する光は、第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光である。
【0109】
当業者は、第1照明ユニットZM1及び第2照明ユニットZM2は、交互に又は同時に、散乱光又は非散乱光を基板360に照射可能であることを理解するであろう。
【0110】
当業者は、上述の実施例に記述されている基板は、太陽光発電モジュール産業の太陽電池セル又は太陽電池モジュールに使用されるパターン又は構造を有する基板を包含可能であることを理解するであろう。
【0111】
当業者は、画像構築モジュール340及び画像処理モジュール350は、ソフトウェア、ハードウェア、及びソフトウェアとハードウェアの組合せによって実装可能であることを理解するであろう。
【0112】
当業者は、基板360の欠陥が基板360の内部の欠陥であるのか又は基板360上の欠陥であるのかを検出した後に、基板360の欠陥が基板360の画像TT1及びTT2内に出現する異なる特徴及び基板360の欠陥が基板360の内部の欠陥であるのか又は基板360上の欠陥であるのかに基づいて、基板360の欠陥を分類可能であることを理解するであろう。
【0113】
例えば、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、照明ユニット310又は第1照明ユニットZM1によって基板360に照射されると共に基板360を通じて透過した光であり、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、照明ユニット310又は第2照明ユニットZM2によって照射された光の基板360による散乱から導出される光であり、且つ、照明ユニット310又は第2照明ユニットZM2が基板360に照射する角度が、基板360の破れ泡が撮像ユニット330によって取得される第2画像内において可視状態とならないように、セッティングされると仮定した場合に、基板360の欠陥が基板360の画像TT1内に出現するのが楕円であり、且つ、画像TT1及びTT2を比較することによって基板360の欠陥が基板360上の欠陥であると判明した場合には、基板360の欠陥は、破れ泡として分類される。
【0114】
更には、例えば、基板360からの且つ第2反射器SEに進入する光が、第1照明ユニットZM1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントP1及び基板360を通じて透過した光であり、撮像ユニット330が、第2反射器SEによって反射されると共に第2偏光コンポーネントP2を通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得し、基板360からの且つ反射器320に進入する光が、第2照明ユニットZM2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントP3及び基板360を通じて透過した光であり、且つ、撮像ユニット330が、反射器320によって反射されると共に第4偏光コンポーネントP4を通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得すると仮定した場合に、基板360の欠陥が画像TT1及びTT2内に出現しており、且つ、基板360の欠陥が基板360の内部の欠陥であると検出された場合には、基板360の欠陥は、包含又は再結晶などの基板360の内部の応力又は光学歪タイプの欠陥として分類される。
【0115】
(第3実施例)
当業者は、上述の第1及び第2実施例及びその変形においては、基板の欠陥を検出及び分類するシステムは、2つのチャネルのみを含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
【0116】
本発明の第3実施例においては、システムは、画像構築モジュールGJ及び画像処理モジュールCLに加えて、3つのチャネル、即ち、第5チャネルTD1、第6チャネルTD2、及び第7チャネルTD3を更に包含可能である。
【0117】
第5チャネルTD1は、明視野照明に属している。第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。
【0118】
第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JPの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面の外部に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0119】
第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射され、基板JPを通じて透過すると共に、第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0120】
第6チャネルTD2は、暗視野照明に属している。第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。
【0121】
第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく配置されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射される光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0122】
第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第2反射器FJ2に進入する光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0123】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントPZ5、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントPZ6、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。
【0124】
第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第5偏光コンポーネントPZ5は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第3照明ユニットZD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第6偏光コンポーネントPZ6は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第3撮像ユニットCD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に、第5偏光コンポーネントPZ5、基板JB、及び第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、又は第3照明ユニットZD3によって照射されると共に第5偏光コンポーネントPZ5を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0125】
この場合には、第1照明ユニットZD1、第2照明ユニットZD2、及び第3照明ユニットZD3は、交互に又は同時に、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射する。
【0126】
画像構築モジュールGJは、上述の第1実施例に開示されている画像構築モジュール240と同一の動作原理である。具体的には、画像構築モジュールGJは、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3に接続されており、且つ、それぞれ、第1撮像ユニットCD1によって取得された画像、第2撮像ユニットCD2によって取得された画像、及び第3撮像ユニットCD3によって取得された画像を使用することによって基板JBの3つの画像を構築するべく適合されている。説明の利便のために、第1撮像ユニットCD1によって取得された画像を使用することによって構築される基板JBの画像を画像TTT1と呼称し、第2撮像ユニットCD2によって取得された画像を使用して構築される基板JBの画像を画像TTT2と呼称し、第3撮像ユニットCD3によって取得された画像を使用して構築される基板JBの画像を画像TTT3と呼称する。
【0127】
この場合には、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3が2次元撮像ユニットである際に、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像が圧縮変形を具備する場合には、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3によって取得された画像を使用することによって基板JBの3つの画像を構築する前に、画像構築モジュールGJは、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像のそれぞれのものの長さ及び底辺に従って、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像のそれぞれのものの上辺及び高さを伸長させることにより、第1撮像ユニットCD1及び/又は第2撮像ユニットCD2及び/又は第3撮像ユニットCD3によって取得された画像の圧縮変形を除去する。
【0128】
画像処理モジュールCJは、上述の第1実施例に開示されている画像処理モジュール250と同一の動作原理である。具体的には、画像処理モジュールCJは、画像構築モジュールGJに接続されており、且つ、基板JBの欠陥Qを検出すると共に、欠陥Qが画像TTT1〜TTT3のうちの2つの画像に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板JB上に位置しているのか又は基板JBの内部に位置しているのかを検出するべく、画像構築モジュールGJによって構築された画像TTT1〜TTT3を処理するように適合されている。この場合に、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置が同一であるが、或いは、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLに等しい際には、画像処理モジュールCLは、欠陥Qが基板JB上に位置していると検出し、且つ、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置が同一ではなく、且つ、欠陥Qが2つの画像内に出現する位置の間のオフセットが最大オフセットZLを下回っている場合には、画像処理モジュールCLは、欠陥Qが基板JBの内部に位置していると検出する。
【0129】
欠陥Qが基板JBの内部の欠陥であるのか又は基板JB上の欠陥であるのかを検出した後に、画像処理モジュールは、欠陥Qが基板JBの画像TTT1〜TTT3内に出現する異なる特徴及び欠陥Qが基板JBの内部の欠陥であるのか又は基板JB上の欠陥であるのかに基づいて、欠陥Qを分類可能である。
【0130】
例えば、第2照明ユニットZD2が光を照射する角度が、基板JBの破れ泡が第2照明ユニットCD1によって取得される画像内において可視状態とならないように、セッティングされると仮定された場合に、欠陥Qが基板JBの画像TTT1内に出現するのが楕円であり、且つ、欠陥Qが基板JBの画像TTT2内に出現しない場合には、欠陥Qは、破れ泡として分類可能である。
【0131】
更には、例えば、欠陥Qが基板JBの画像TTT1及びTTT2内に出現するのが楕円であり、且つ、欠陥Qが基板JBの画像TTT3内に出現せず、且つ、欠陥Qが基板JBの内部の欠陥であると検出された場合には、欠陥Qは、基板JBの内部の非応力又は光学歪タイプの欠陥として分類可能である。
【0132】
(第3実施例の変形例)
当業者であれば、上述の第3実施例においては、第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合に、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合に、第2照明ユニットZD2を基板JBの表面B2の外側に配置することも可能である。
【0133】
当業者は、上述の第3実施例及びその変形においては、第5チャネルTD1、第6チャネルTD2、及び第7チャネルTD3は、異なる照明モードを使用しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、同一の照明モードを使用可能であり、且つ、第7チャネルTD3は、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2が使用しているものとは異なる照明モードを使用可能である。以下、この詳細について説明する。
【0134】
第1に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、明視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、暗視野照明を使用する。
【0135】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0136】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第2反射器FJ2に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0137】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器FJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0138】
第2に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、暗視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、明視野照明を使用する。
【0139】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0140】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱を通じて導出された後に第2反射器FJ2に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0141】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第3反射器FJ3に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器FJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0142】
第3に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、明視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、偏光視野照明を使用する。
【0143】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JPに照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって基板JBに照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0144】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第2反射器FJ2に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0145】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントPZ5、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントPZ6、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第5偏光コンポーネントPZ5は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第3照明ユニットZD3と基板JBの間に、配置され、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第6偏光コンポーネントPZ6は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第3撮像ユニットCD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に、第5偏光コンポーネントPZ5、基板JB、及び第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に第5偏光コンポーネントPZ5を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0146】
第4に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、暗視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、偏光視野照明を使用する。
【0147】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を包含可能であり、或いは、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第5チャネルTD1が第1照明ユニットZD1及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第5チャネルTD1が、第1照明ユニットZD1、第1反射器FJ1、及び第1撮像ユニットCD1を含む場合には、第1照明ユニットZD1は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1反射器FJ1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットZD1によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第1反射器FJ1に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第1反射器FJ1によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0148】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を包含可能であり、或いは、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第6チャネルTD2が第2照明ユニットZD2及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合には、第2照明ユニットZD2は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第2反射器FJ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットZD2によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第2反射器FJ2に進入する光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第2反射器FJ2によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0149】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントPZ5、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントPZ6、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第5偏光コンポーネントPZ5は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第3照明ユニットZD3と基板JBの間に、配置され、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第6偏光コンポーネントPZ6は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第3撮像ユニットCD3と基板JBの間に、配置され、且つ、第3撮像ユニットCD3は、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に、第5偏光コンポーネントPZ5、基板JB、及び第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に第5偏光コンポーネントPZ5を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントPZ6を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0150】
第5に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、偏光視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、明視野照明を使用する。
【0151】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントPZ1、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントPZ2、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1偏光コンポーネントPZ1は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第1照明ユニットZD1と基板JBの間に、配置され、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第2偏光コンポーネントPZ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第1撮像ユニットCD1と基板JBの間に、配置され、且つ、第1撮像ユニットCD1は、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネントPZ1、基板JB、及び第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントPZ1を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0152】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントPZ3、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントPZ4、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3偏光コンポーネントPZ3は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第2照明ユニットZD2と基板JBの間に、配置され、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第4偏光コンポーネントPZ4は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第2撮像ユニットCD2と基板JBの間に、配置され、且つ、第2撮像ユニットCD2は、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネントPZ3、基板JB、及び第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントPZ3を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0153】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射されると共に基板JBを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射され、基板JBを通じて透過すると共に、第3反射器FJ3に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器にFJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0154】
第6に、第5チャネルTD1及び第6チャネルTD2は、偏光視野照明を使用し、且つ、第7チャネルTD3は、暗視野照明を使用する。
【0155】
具体的には、第5チャネルTD1は、第1照明ユニットZD1、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントPZ1、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントPZ2、及び第1撮像ユニットCD1を包含可能である。第1照明ユニットZD1は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第1偏光コンポーネントPZ1は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第1照明ユニットZD1と基板JBの間に、配置され、第1撮像ユニットCD1は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第2偏光コンポーネントPZ2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第1撮像ユニットCD1と基板JBの間に、配置され、且つ、第1撮像ユニットCD1は、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に、第1偏光コンポーネントPZ1、基板JB、及び第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットZD1によって照射されると共に第1偏光コンポーネントPZ1を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントPZ2を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0156】
第6チャネルTD2は、第2照明ユニットZD2、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントPZ3、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントPZ4、及び第2撮像ユニットCD2を包含可能である。第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3偏光コンポーネントPZ3は、基板JBの1つの表面B1の外側に、且つ、第2照明ユニットZD2と基板JBの間に、配置され、第2撮像ユニットCD2は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、第4偏光コンポーネントPZ4は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に、且つ、第2撮像ユニットCD2と基板JBの間に、配置され、且つ、第2撮像ユニットCD2は、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に、第3偏光コンポーネントPZ3、基板JB、及び第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットZD2によって照射されると共に第3偏光コンポーネントPZ3を通じて透過した光の基板JBによる散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントPZ4を通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている。
【0157】
第7チャネルTD3は、第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を包含可能であり、或いは、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を包含可能である。第7チャネルTD3が第3照明ユニットZD3及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。第7チャネルTD3が、第3照明ユニットZD3、第3反射器FJ3、及び第3撮像ユニットCD3を含む場合には、第3照明ユニットZD3は、基板JBの表面B1又はB2の外側に配置され、且つ、拡散光又は非拡散光を基板JBに照射するべく適合されており、第3反射器FJ3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットZD3によって照射された光の基板JBによる散乱から導出された後に第3反射器FJ3に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットCD3は、基板JBの別の反対側の表面B2の外側に配置され、且つ、第3反射器FJ3によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている。
【0158】
当業者は、上述の第3実施例及びその変形においては、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3が、別個の撮像ユニットであるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCD3は、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、或いは、第1撮像ユニットCD1及び第2撮像ユニットCD2は、1つの且つ同一の撮像ユニットである。第1撮像ユニットCD1、第2撮像ユニットCD2、及び第3撮像ユニットCE3が、1つの且つ同一の撮像ユニットである場合には、第1撮像ユニットCD1によって取得される画像、第2撮像ユニットCD2によって取得される画像、及び第3撮像ユニットCD3によって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている。第1撮像ユニットCD1及び第2撮像ユニットCD2が1つの同一の撮像ユニットである場合には、第1撮像ユニットCD1によって取得される画像と第2撮像ユニットCD2によって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている。
【0159】
当業者は、本発明の精神を逸脱することなしに、本発明の実施例の様々な修正及び変更を実施可能であり、且つ、それらの修正及び変更も、本発明の保護範囲に含まれることを理解するであろう。従って、本発明の保護範囲は、添付の請求項に規定されているとおりである。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第1照明ユニットと、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットと、を含む第1チャネルと、
光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニットと、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットと、を含む第2チャネルと、
それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。
【請求項2】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットの光軸の夾角はゼロを上回っている請求項1に記載のシステム。
【請求項3】
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項2に記載のシステム。
【請求項4】
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項2に記載のシステム。
【請求項5】
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射される共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項2に記載のシステム。
【請求項6】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、
第1反射器は、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第1反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像及び第2撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項1に記載のシステム。
【請求項7】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得し、且つ、
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項6に記載のシステム。
【請求項8】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と第1撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項9】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と第1撮像ユニットとの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットとの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、又は第2照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項10】
第1照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項11】
第1照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項12】
第1チャネルは、第1反射器を更に有し、第1反射器は、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第1反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって第2画像を取得するべく適合されており、且つ、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1画像及び第2画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項1に記載のシステム。
【請求項13】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、且つ、
第2反射器は、第2照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第2反射器に進入した光を反射するべく、又は第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく、適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項14】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第2反射器は、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項15】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項13又は14に記載のシステム。
【請求項16】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、且つ、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、第2画像を取得するべく更に適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項17】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、第2反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、
第2反射器は、第2照明ユニットによって照射され、第3偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第2反射器に進入した光を反射するべく、又は第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第2反射器によって反射されると共に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得するべく適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項18】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項1に記載のシステム。
【請求項19】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つ表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項1に記載のシステム。
【請求項20】
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、予め規定された時間間隔において、同時に又は既定の期間を隔てて、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく更に適合されている請求項1に記載のシステム。
【請求項21】
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットのそれぞれのものは、2次元撮像ユニットであり、
画像構築モジュールは、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像が圧縮変形を具備している際に、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像を伸長させ、且つ、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像を伸長させた後に、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく、更に適合されている請求項1に記載のシステム。
【請求項22】
基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含む第1チャネルであって、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第1チャネルと、
第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含む第2チャネルであって、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第2チャネルと、
第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含む第3チャネルであって、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第3チャネルと、
それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく、適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。
【請求項23】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項24】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項23に記載のシステム。
【請求項25】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項23に記載のシステム。
【請求項26】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項23に記載のシステム。
【請求項27】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項28】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項27に記載のシステム。
【請求項29】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第2チャネルは、第2反射器にを更に含み、第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項27に記載のシステム。
【請求項30】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項27に記載のシステム。
【請求項31】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、且つ、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項32】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項31に記載のシステム。
【請求項33】
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項34】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項33に記載のシステム。
【請求項35】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項33に記載のシステム。
【請求項36】
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検出することにより、画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項37】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
【請求項38】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合される請求項37に記載のシステム。
【請求項39】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
【請求項40】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、
第3照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
【請求項41】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項42】
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項41に記載のシステム。
【請求項43】
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項41に記載のシステム。
【請求項44】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項41に記載のシステム。
【請求項45】
第1撮像ユニット、第2撮像ユニット、及び第3撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像、第2撮像ユニットによって取得される画像、及び第3撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項22に記載のシステム。
【請求項46】
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像及び第2撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項22に記載のシステム。
【請求項47】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットである請求項22に記載のシステム。
【請求項48】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項22に記載のシステム。
【請求項49】
基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第1照明ユニットと、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットと、を含む、ステップと、
第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニットと、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットと、を含む、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
【請求項50】
基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、第1照明ユニットと、第1撮像ユニットと、を含み、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、第2照明ユニットと、第2撮像ユニットと、を含み、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第3チャネルをセッティングするステップであって、第3チャネルは、第3照明ユニットと、第3撮像ユニットと、を含み、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、欠陥が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
【請求項1】
基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第1照明ユニットと、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットと、を含む第1チャネルと、
光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニットと、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットと、を含む第2チャネルと、
それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。
【請求項2】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットの光軸の夾角はゼロを上回っている請求項1に記載のシステム。
【請求項3】
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項2に記載のシステム。
【請求項4】
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項2に記載のシステム。
【請求項5】
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射される共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項2に記載のシステム。
【請求項6】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、
第1反射器は、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第1反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像及び第2撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項1に記載のシステム。
【請求項7】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得し、且つ、
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項6に記載のシステム。
【請求項8】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と第1撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項9】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と第1撮像ユニットとの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットとの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、又は第2照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項10】
第1照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項11】
第1照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。
【請求項12】
第1チャネルは、第1反射器を更に有し、第1反射器は、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第1反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって第2画像を取得するべく適合されており、且つ、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1画像及び第2画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項1に記載のシステム。
【請求項13】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、且つ、
第2反射器は、第2照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第2反射器に進入した光を反射するべく、又は第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく、適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項14】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第2反射器は、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項15】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項13又は14に記載のシステム。
【請求項16】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、且つ、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、第2画像を取得するべく更に適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項17】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、第2反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、
第2反射器は、第2照明ユニットによって照射され、第3偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第2反射器に進入した光を反射するべく、又は第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第2反射器によって反射されると共に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得するべく適合されている請求項12に記載のシステム。
【請求項18】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項1に記載のシステム。
【請求項19】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つ表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項1に記載のシステム。
【請求項20】
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、予め規定された時間間隔において、同時に又は既定の期間を隔てて、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく更に適合されている請求項1に記載のシステム。
【請求項21】
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットのそれぞれのものは、2次元撮像ユニットであり、
画像構築モジュールは、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像が圧縮変形を具備している際に、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像を伸長させ、且つ、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像を伸長させた後に、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく、更に適合されている請求項1に記載のシステム。
【請求項22】
基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含む第1チャネルであって、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第1チャネルと、
第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含む第2チャネルであって、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第2チャネルと、
第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含む第3チャネルであって、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第3チャネルと、
それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく、適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。
【請求項23】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項24】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項23に記載のシステム。
【請求項25】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項23に記載のシステム。
【請求項26】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項23に記載のシステム。
【請求項27】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項28】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項27に記載のシステム。
【請求項29】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第2チャネルは、第2反射器にを更に含み、第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項27に記載のシステム。
【請求項30】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項27に記載のシステム。
【請求項31】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、且つ、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項32】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項31に記載のシステム。
【請求項33】
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項34】
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項33に記載のシステム。
【請求項35】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項33に記載のシステム。
【請求項36】
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検出することにより、画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項37】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
【請求項38】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合される請求項37に記載のシステム。
【請求項39】
第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
【請求項40】
第3チャネルは、第3反射器を更に含み、
第3照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
【請求項41】
第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。
【請求項42】
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項41に記載のシステム。
【請求項43】
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項41に記載のシステム。
【請求項44】
第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項41に記載のシステム。
【請求項45】
第1撮像ユニット、第2撮像ユニット、及び第3撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像、第2撮像ユニットによって取得される画像、及び第3撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項22に記載のシステム。
【請求項46】
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像及び第2撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項22に記載のシステム。
【請求項47】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットである請求項22に記載のシステム。
【請求項48】
画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項22に記載のシステム。
【請求項49】
基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第1照明ユニットと、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットと、を含む、ステップと、
第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニットと、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットと、を含む、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
【請求項50】
基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、第1照明ユニットと、第1撮像ユニットと、を含み、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、第2照明ユニットと、第2撮像ユニットと、を含み、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第3チャネルをセッティングするステップであって、第3チャネルは、第3照明ユニットと、第3撮像ユニットと、を含み、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、欠陥が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図1G】
【図1H】
【図1J】
【図1K】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図5E】
【図5F】
【図5G】
【図5I】
【図5J】
【図5K】
【図5L】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図1B】
【図1C】
【図1D】
【図1E】
【図1F】
【図1G】
【図1H】
【図1J】
【図1K】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図5E】
【図5F】
【図5G】
【図5I】
【図5J】
【図5K】
【図5L】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【公表番号】特表2013−501211(P2013−501211A)
【公表日】平成25年1月10日(2013.1.10)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−521936(P2012−521936)
【出願日】平成22年2月26日(2010.2.26)
【国際出願番号】PCT/CN2010/070791
【国際公開番号】WO2011/011988
【国際公開日】平成23年2月3日(2011.2.3)
【出願人】(500374146)サン−ゴバン グラス フランス (388)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成25年1月10日(2013.1.10)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年2月26日(2010.2.26)
【国際出願番号】PCT/CN2010/070791
【国際公開番号】WO2011/011988
【国際公開日】平成23年2月3日(2011.2.3)
【出願人】(500374146)サン−ゴバン グラス フランス (388)
【Fターム(参考)】
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