【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥（気泡）検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第１レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構７と、第２レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、測定対象物１００の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構７で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部５４を備える。 （もっと読む）

【課題】微細化あるいはハイアスペクト化された凹部を有する構造体に対するパターン検査の精度を向上させることができるパターン検査方法およびパターン検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明の実施態様によれば、構造体が有する凹部にＸ線または真空紫外線を集光させ、前記集光させた前記Ｘ線または前記真空紫外線を前記凹部の内部において伝播させて前記凹部の底面に到達させ、前記底面で反射または前記底面を透過した前記Ｘ線または前記真空紫外線の強度を検出することにより前記凹部の欠陥の有無を検査することを特徴とするパターン検査方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】半導体基板裏面に形成された基板一体型ＳＩＬの実効半径を大きくすることが可能な裏面解析用搭載型レンズ又は裏面解析方法を提供すること。
【解決手段】半導体装置（２）の基板裏面（２ｂ）に形成した半球状の基板一体型ＳＩＬ（２ｃ）の上に搭載して使用するための裏面解析用搭載式レンズ（１）である。この裏面解析用搭載式レンズは、中実の球体の一部を１つの平面で切除した残部の形状を含み、該切除面（１ｂ）にさらに半球状の凹み（１ｃ）を有する。 （もっと読む）

【課題】ラップフィルム等の透明あるいは半透明のフィルムをロール状に小巻にしたフィルム・ロールの内部に発生する巻皺を検査する。
【解決手段】搬送コンベアに保持されたラップフィルム等が小巻されたフィルム・ロールを一定速度で搬送する過程で、ラインセンサにより画像を撮像する構成とし、入射した光がフィルム・ロールの内部で発生した巻皺等によって拡散され、正常であれば暗くなっているはずの部分が皺の影響により明るく映っていないか判断する。対象となる検査領域は、入射光がフィルム・ロールの表面で正反射している輝線の部分ではなく、そこから数画素離れた、隣接する暗くなっている領域に設定する。この領域に通常より明るい画素があれば、それは巻皺の存在を示している可能性があるので、予め設定された閾値と比較し、その画素数の総計がある基準を上回ると、巻皺があると判定し、該フィルム・ロールを不良品とする。 （もっと読む）

【課題】貼り合せ板状体の周辺部に不透光領域があっても、接着剤内の気泡や異物とともにその周辺部における接着剤の状態が現れ得る検査画像を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、貼り合せ板状体１０の第１板状体１１側から当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段５１と、貼り合せ板状体１０の第２板状体１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明する第２照明手段５２とを有し、第１照明手段５１は、貼り合せ板状体１０の上方から、貼り合せ板状体１０の表面における撮影ラインＬ_Cから所定距離だけ離れて当該撮影ラインＬ_Cに沿った方向に延びる所定領域Ｅ_Lを斜めに照明し、第１照明手段及５１及び第２照明手段５２による照明がなされている状態で、ラインセンサカメラ５０が貼り合せ板状体１０を走査することにより検査画像を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】 多様な種類のボトルに適用可能であり、ボトル底面に存在する欠陥の有無を高精度に判定することができる、透明体ボトルの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 開口部１０３を有する透明体ボトルの底外面１０２に向けて第１の周波数の拡散光を照射可能な第１光源部３と、前記透明体ボトルの底外面１０２に向けて第２の周波数の平行光を照射可能な第２光源部４と、前記透明体ボトルの開口部１０３に隣接し、前記第１光源部３及び第２光源部４から照射された光を判別して、前記開口部１０３を通して前記底内面を撮像するエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記透明体ボトルの底面の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン形成や色の変化を設けない無地の有効面全面に亘って均質な表面を有するように形成された基板において、局部的に発生する光学的に不均質な欠陥を検出して分類する一般的で容易に実現できる欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】カメラ画像情報の２値化処理により検出した１次欠陥画素情報にその周囲の画素の輝度情報を加えた欠陥像の２次判定を行うことにより、分類することを特徴とする欠陥検査方法であって、前記１次欠陥画素情報の周囲の画素の輝度情報が、１次欠陥画素の輪郭に沿って正の整数ｎ個分拡張した数のカメラ画素で囲った領域における輝度情報であり、前記欠陥像の２次判定のための条件としてｎを設定できる。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】内部空間形成体内側の観察対象部にレーザ光を結像させつつ、レーザ光の結像サイズを調節可能であるとともに、レーザ投光装置を狭隘な点検穴から内部空間形成体内へ挿入できるようにする。
【解決手段】内部空間形成体３内へレーザ光を投光するレーザ投光装置２０は、バリフォーカル光学系７を有する。バリフォーカル光学系７は、複数のレンズ体１１ａ，１１ｂ，１１ｃを有する。各レンズ体は、レンズ１２と、該レンズを保持するとともに光軸方向に移動可能な保持移動片１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、を有する。アクチュエータ１９ａ，１９ｂ，１９ｃが、ぞれぞれ、光軸方向に保持移動片を駆動することにより、内部空間形成体３内側でのレーザ光の結像位置と結像サイズを調節する。各保持移動片において対応するアクチュエータから駆動力を受ける駆動力伝達部分１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１は、周方向において互いにずれており、各アクチュエータは、光軸方向から見て、対応する駆動力伝達部分に重なる。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を確実に検出し得る欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光強度分布が全方向において周期的に徐々に変化している照明パターンにより、被検査体１２の被検査面２０を照明する照明部１８と、照明部の照明パターンにより被検査面を照明した状態で、被検査面を撮像する撮像部２２と、撮像部により取得された被検査面の画像に基づいて、被検査面における欠陥を検出する処理部３２とを有している。 （もっと読む）

【課題】本発明はカラーフィルタ基板の自動欠陥検査装置で、前記カラーフィルタ基板上の欠陥を平面の面積サイズ判定だけでなく、同時に高さ方向の欠陥判定を行うことで、極めて効率のよい欠陥検査が行える立体欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カラーフィルタ基板の平面方向と高さ方向の欠陥を同時に検出する立体欠陥検査装置であって、前記カラーフィルタ基板を載置しＸＹ平面上を搬送させる搬送手段と、前記カラーフィルタ基板上をカメラと光源が同期かつ軸移動可能な撮像手段と、前記撮像手段により得られた撮像データに対して演算処理を行う画像処理手段と、前記画像処理手段で得られた立体欠陥データにより前記カラーフィルタ基板の合否判定を行う手段を具備することを特徴とする立体欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】遠隔操作を必要とせず、しかも細い管路内でも種々の検査を行うことができ、応答が速く、かつ、人手を要することのない完全な自走式の管路内進行装置を提供する。
【解決手段】複数のユニット１〜９が揺動可能に連結手段１０により連結され、複数のユニットは、壁面の状態を検出する探査ユニット１と、管路の内壁と係合したり、解除したりする支持ユニット２と、自動停止センサ３と、支持ユニット２のアームを制御するロックユニット４と、自動停止センサ３に接続される第１のガイドドライバユニット５ａと、曲管センサ（検出ユニット）６と、検出ユニット６に接続される第２のガイドドライバユニット５ｂと、各ユニットを前進または後進させる駆動ユニット７と、コントローラユニット８と、コントローラユニット８およびガイドドライバユニット５ａ、５ｂを経由して各ユニットに電源を供給するバッテリーユニット９を有している。 （もっと読む）

【課題】検査装置の透過光量分布のデータを用いて転写用マスクの内部欠陥等を検出する。
【解決手段】Ｄｉｅ−ｔｏ−Ｄｉｅ比較検査法を適用し、薄膜の第１領域に対して検査光を照射して第１の透過光量分布を取得し、第２領域に対しても、検査光を照射して第２の透過光量分布を取得し、第１の透過光量分布と第２の透過光量分布との比較から算出される差分光量値が第１しきい値以上であり、かつ第２しきい値未満である座標をプロットした所定範囲差分分布を生成し、所定範囲差分分布でプロットの密度が高い領域が検出されない転写用マスクを選定する。 （もっと読む）

【課題】表面に微細な凹凸形状等の地合パターンを有するシート材の欠陥を、迅速かつ再現性良く検査する方法を提供する。
【解決手段】焦点調整用シート材を欠陥検査位置に載置し、カメラの焦点を合わせる第１のフォーカス工程、前記焦点調整用シート材から当該カメラの焦点をずらすように調整する第１のデフォーカス工程、第１のフォーカス工程における焦点位置Ａから第１のデフォーカス工程における焦点位置Ｂまでの距離ｄを計測及び記録する工程、被検査シート材を第１のフォーカス工程と同一又は異なる欠陥検査位置に載置し、その地合パターンにカメラの焦点を合わせる第２のフォーカス工程、及び当該カメラの焦点を、第２のフォーカス工程における焦点位置Ａ’から、前記距離ｄ分ずらした焦点位置Ｂ’に合わせる第２のデフォーカス工程、及び焦点位置Ｂ’に焦点を合わせたカメラで被検査シート材の欠陥を検査する工程、を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】光弾性を有する板状体の欠陥を良好に検出可能な欠陥検出装置を提供することができる。
【解決手段】欠陥検出装置は、光弾性を有する板状体Ｐに光を透過させることにより、該板状体Ｐの欠陥を検出する。欠陥検出装置は、板状体Ｐより前に光が透過する直線偏光子２と、板状体Ｐより後に光が透過する１／４波長板３ａと、１／４波長板３ａより後に光が入射し、透過軸が１／４波長板３ａの遅相軸に対して４５度傾いている直線偏光子３ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数のろ過膜板が搭載されるろ過装置において、亀裂や膜形成不具合などの欠陥の有るろ過膜板を自動的に特定することができる画像処理によるろ過膜板検査装置を提供することにある。
【解決手段】水槽内の液体に浸漬して配置された複数のろ過膜板を撮影する上部カメラ１１と、複数のろ過膜板を上部カメラにより撮影した基準画像と、複数のろ過膜板へ気体を圧送しつつ上部カメラにより撮影した入力画像とを比較して、差分画像を作成する差分処理部１３と、差分画像に対して二値化処理を行うことにより二値画像を作成する二値化処理部１４と、二値画像に基づき変化が発生した画素の分布を計算して分布データを出力する変化分布計算部１５と、分布データに基づき、欠陥の有るろ過膜板を特定して結果データを出力する欠陥有無判断部１７とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】デバイス作製時に耐圧不良やリーク不良を起こさず、低コストで低酸素濃度のウェーハを提供することを目的とする。
【解決手段】チョクラルスキー法により育成されたシリコン単結晶インゴットから切り出されたシリコン単結晶ウェーハであって、該シリコン単結晶ウェーハが、酸素濃度８×１０^１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３（ＡＳＴＭ ’７９）以下のシリコン単結晶インゴットから切り出され、選択エッチングによりＦＰＤ欠陥及びＬＥＰ欠陥が検出されず、かつ、赤外散乱法によりＬＳＴＤが検出される欠陥領域を含むものであることを特徴とするシリコン単結晶ウェーハ。 （もっと読む）

【課題】 食品を包装するフィルム状の包装袋を有する被検査物の噛み込みやシワに起因するシール不良等をシール部の折れ曲がりの影響を受けることなく、極めて良好に検査できる実用性に秀れた光学検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送機構に設けられる間隙部１０においてこの搬送機構により搬送される被検査物７に照明光を照射する照明部３と、前記間隙部１０の下方から前記被検査物７を撮像する撮像部２と、該撮像部２で撮像した前記被検査物７の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、該画像処理部で行った画像処理の結果を表示する表示器８とを備えた光学検査装置１であって、前記照明部は搬送機構の上方に設けるとともに、前記照明部３の発光面９が間隙部１０の間隙距離よりも搬送流れ方向に広く設ける。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の内部に存在するクラック等の欠陥を正確に検出可能とする、シリコン基板の検査装置および検査方法を得ること。
【解決手段】赤外照明手段１とシリコン基板５との間の光路中に設けられ、直線偏光成分４を射出する第１の直線偏光フィルタ３と、シリコン基板５を透過した直線偏光成分４’を撮像する第１の撮像手段９および第２の撮像手段１１と、シリコン基板５と第１の撮像手段９との間の光路中に設けられ、シリコン基板５の基板面に平行な方向に偏光方向が設定された第２の直線偏光フィルタ８と、シリコン基板５と第２の撮像手段１１との間の光路中に設けられ、基板面に垂直な方向に偏光方向が設定された第３の直線偏光フィルタ１０と、第１の撮像手段９から入力された画像データと、第２の撮像手段１１から入力された画像データとを比較演算する画像処理手段１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分解能よりも小さいサイズの欠陥を検出可能であって、より簡易な構成でより短い検査時間で欠陥を検出し得る内部欠陥検査装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明の内部欠陥検査装置Ｄａは、検査対象の物体ＳＭを透過可能な波長の照明光を放射する光源部１と、光源部１から放射された照明光を検査対象の物体ＳＭに照射する照明光学系２と、検査対象の物体ＳＭの光学像を形成する撮像光学系３ａと、撮像光学系３ａによって形成された光学像を光電変換することによって光学像の画像信号を生成する撮像素子４ａおよび画像処理部７１ａと、この生成された光学像の画像信号に基づいて検査対象の物体ＳＭを提示する出力部６とを備え、照明光学系２と撮像光学系３ａとは、暗視野光学系を形成している。 （もっと読む）