【課題】 ウエハ表面上の欠陥及びエラーを十分なコントラストで提示可能にするウエハ検査方法及びシステムを提供すること。
【解決手段】 とりわけ露光エラーのようなマクロ欠陥を検出するためのウエハ（１６）の検査方法であって、ウエハ表面（１７）の少なくとも１つの被検領域がビーム源（２２）によって照明され、該ウエハ表面の被検領域の画像がカメラ（７）によって撮像され、該ウエハ表面の被検領域が得られた画像に基づいて検査される方法において、前記ウエハ表面（１７）の前記被検領域は、テレセントリックに照明されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
赤外ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤを複数個所定パターンで配置した光源を使用することにより、輝度調整や交換頻度を低減させてメンテナンス作業を簡単かつコスト安価に行うことができる農産物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】
照明手段から搬送手段上の検査位置にある農産物に光を照射した状態で撮像手段を用いて農産物を撮像し、その撮像データからＩＲ値による農産物の輪郭切り出しを行うと共に、切り出した輪郭内の少なくともＲ、Ｇの各値から農産物の外観を計測する農産物の外観計測装置であって、照明手段は、赤外ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ及び緑色ＬＥＤが一組として所定の配列で複数組み合わされていることを特徴とする。照明手段の各色ＬＥＤは、マトリックス状もしくは千鳥状に配列され、検査位置で各色ＬＥＤの全てが一括して点灯・消灯される。 （もっと読む）

【課題】 印刷物の検査を行うために、その画像を撮影するときに、枚葉紙のバタつきを押さえる印刷物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 印刷物の被検査面の画像を撮影する撮影手段を設けるとともに、撮影される検査位置に対し、搬送方向の前方斜め上より空気を吹付ける第１吹付け手段４と、搬送方向の後方斜め上より空気を吹付ける第２吹付け手段５と、少なくとも前記第１吹付け手段４及び前記第２吹付け手段５から排出された空気を、双方の吹付け手段に挟まれた前記検査位置の上方より吸気する吸気手段６とを配する （もっと読む）

【課題】要求される検出されるべき欠点のサイズが小さくなったとしても、積層フィルムに欠点がある場合には、その存在を正確に検出することのできる積層フィルムの欠点検査装置を提供すること。
【解決手段】接着剤付き積層フィルムに存在する２種類以上の欠点を同時に検出する欠点検査装置であって、被検出部が反射率０〜２０％のフィルム搬送ロール上にあり、該フィルム搬送ロール上にある接着剤付き積層フィルムに光を照射し、その反射光を電気信号に変換・処理することにより欠点を検出する機構を有してなることを特徴とする積層フィルムの欠点検査装置。 （もっと読む）

従来使用していた検査装置および検査方法では、反射された可視光または紫外光を使用し、それによりたとえばウェハの微細構造サンプルを解析している。本発明の目的は、この装置の可能な用途を増やすことにあり、すなわち構造的な詳細を明らかにすることである。たとえば、塗装材料や中間材料が不透明であることから可視光または紫外光で見ることができないように両面を塗膜化されたウェハなどが対象となる。上述の目的は、反射光として赤外光を使用する一方で、光を透過させることにより実現される。すなわち、赤外線画像のコントラストを大きく改善し、サンプルを、反射または透過赤外光および反射可視光で同時に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】例えば、球面形状のフロントガラス又はその他の物質表面上の傷の信頼できる検出を実現すること
【解決手段】本発明は、物質、特にガラスの表面（２）上の傷を検出するための装置、及びそれに対応する方法に関する。該装置は、照明ユニット（３）と記録ユニット（４）を有する。前記照明ユニット（３）と前記記録ユニット（４）は、物質表面（２）上の走査線（６）を記録し、前記表面（２）に対して変位可能である。より正確に傷を特定するために、照明装置（３）は、少なくとも１つのライトストリップ（９）と好ましくは少なくとも１つの光源（１６）を有する。前記ライトストリップ（９）は、前記走査線（６）を横切る平行光プールを生成する。前記プールは前記走査線（６）に沿って拡散又は疑似拡散となる。前記光源（１６）は、前記走査線（６）を横切る拡散光又は疑似拡散光を生成する。 （もっと読む）

複合建造物上の損傷および欠陥の位置を示すための光を用いる方法は、一般に、複合建造物上の１つ以上の欠陥位置を規定する位置データに電子的にアクセスすることを含む。位置データは、材料配置機械が複合建造物を製造するために用いることができる数値制御（ＮＣ）データを含む部品構成ファイルから抽出することができる。この方法はさらに、位置データによって規定される欠陥位置を示すために、自動的に、少なくとも１つの光源に複合建造物への光の方向付けをさせることを含む。したがって、光は、手動の欠陥修理および／またはオペレータによるＦＯＤ除去などの後の行為のために欠陥位置を容易に確認することを可能にする。
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本発明は、形成物に対して相対的に動く材料（０３）の表面（０２）の上で照明形成物（１）を生成するための光学システムに関するものである。本発明によると、制御装置（２３）によりパルス駆動される複数の光源を備える照明装置（０６）が、前記形成物を生成するための光（７）を放出し、検出装置（８）が前記照明装置（０６）の前記光源から放出される光を検出し、前記制御装置（２３）は個々の光源（０７）又は１つのグループの光源を制御し、少なくとも１つの光源のターンオン時間（ｔ３）が前記検出装置の露光時間（ｔ１）と同期化されており、前記光源（０７）の前記ターンオン時間（ｔ３）は前記検出装置（０８）の前記露光時間（ｔ１）よりも短く設定されている。 （もっと読む）

【解決手段】電気回路検査方法であって、第1の時間の間に、電気回路の少なくとも一部から反射した光を検出することにより、第１の画像において前記電気回路の少なくとも一部を光学的に検査する工程と、第２の時間の間に取得された第２の画像において前記電気回路の少なくとも一部から蛍光により発光した光を光学的に検査する工程と、前記電気回路の少なくとも一部から反射した光を検出することにより前記電気回路の少なくとも一部を光学的に検査する前記工程と前記電気回路の少なくとも一部から蛍光により発光した光を光学的に検査する前記工程の双方から幾何学的に一致する指標に基づいて、前記電気回路に含まれる欠陥を特定する工程とを含む。
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本発明は、少なくとも第１の波長（たとえば可視光、赤外線、紫外線、Ｘ線）で容器を照射する照射手段と、照射と容器の少なくとも一部との相互作用があった後に照射サンプルを記録する記録手段と、第１の記録手段に対して容器の方向を決定する方向決定手段と、記録の間、第１の記録手段に対して容器の方向を一致させてサンプルと所定の参照とを比較する比較手段とを備える、たとえばラベルおよび／もしくは浮き彫りパターンを備えた装飾的な外観を有する、ビールもしくはソフトドリンクなどの飲料などの液体用の容器の考えられる汚染の存在を検出する装置に関する。
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【課題】例えば欠陥を探しての試料の検査のあいだ、試料を照射する方法および装置を提供する。
【解決手段】ある局面において、照射装置は、それぞれ第１端および第２端を有する光ファイバの束を含む。照射装置は、１つ以上の入射ビームを、光ファイバの１つ以上の対応する第１端に選択的に伝達することによって、選択された１つ以上の入射ビームがファイバの１つ以上の対応する第２端から出力されるようにする照射セレクタをさらに含む。照射装置は、ファイバの対応する１つ以上の第２端から出力された選択された１つ以上の入射ビームを受け取り、選択された１つ以上の入射ビームを試料に向けて導くレンズ構成も含む。レンズ構成およびファイバは、ファイバの第２端において試料の画像化平面を画像化するよう互いに対して構成される。ある局面において、入射ビームはレーザビームである。本発明の具体的な応用例において、試料は、半導体デバイス、半導体ウェーハ、および半導体レチクルからなるグループから選択される。 （もっと読む）

例えば、卵または果物のような実質的な球面を有する物体を検査するためのデバイス（１）であり、物体を観察するための光学的観察手段（８）を備える。デバイスは、物体を支持するための支持面（１０）を有する。物体を照明するための光源が設置されている。デバイスは、また、支持面（１１）上に位置する反射壁部（３ａ，４ｂ，４ａ）を含むボックス（２）を備える。光源および観察手段（８）はボックス（２）内に収容されている。複数の物体を支持面（１０）上に相互に隣接して置くことができ、うまく均一に照明することができる。 （もっと読む）

【課題】 管引きされるガラス管を管引き成形ライン上で連続して異物等の検査を行う。
【解決手段】 連続成形を行う管引き成形ライン３に設置され、管軸方向に連続移送されるガラス管１５を撮影する撮像装置２０と、この撮像装置２０に対しガラス管軸を挟み対向配置された光源１９と、この光源１９で光照射されたガラス管１５の撮像装置２０による撮影画像を画像処理し異物不良等を検出する画像処理装置２３を備えた装置で、画像処理装置２３は、検査枠５３が、撮影画像５０のガラス管１５肉厚部の肉厚遮光部分５１よりも内方側の透光部分５２に、肉厚遮光部分５１から所定距離Ｒだけ離して設定されていて、該検査枠５３内にある異物等の遮光画像５８を画像処理して不良検出するものであり、検査枠５３が、該ガラス管１５蛇行時の肉厚遮光部分５１の位置変動に追随して所定距離Ｒを維持するよう設定されている。 （もっと読む）

光透過性を有する容器２に液体３を充填した被検査体１を検査するシステム２０であって，被検査体１を保持し，保持した被検査体１を傾斜もしくは倒立させて再び元の姿勢に戻す反転装置５１と，前記反転装置５１によって傾斜もしくは倒立させて再び元の姿勢に戻した直後の被検査体１を撮像する撮像装置９１〜９６と，前記撮像装置９１〜９６による画像を処理して被検査体１の良否を判定する撮像処理装置１００とを備える。前記反転装置５１は，被検査体１の上端部を保持するチャック５５と，前記チャック５５を水平方向の回転中心軸Ｏ２を中心として回転させるチャック回転機構５６を備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながら集光効率を向上させることができ、しかも照明ムラのほとんど無いライン光照射装置を提供する。【解決手段】複数の光ファイバ４の光導出端部４ａを一列に密に配列してなる光射出部２１及びその光射出部２１の前方であって前記列方向Ｐに沿って延伸するように配置した柱状レンズを対で有し、線状に収斂するライン光ＬＬを射出する複数の発光部２と、光照射対象であるワークＷに対向して配置され、そのワークＷを観測するための観測孔３ａ、３ｂが貫通させてあるものであって、前記各発光部２から射出されるライン光ＬＬの光軸面が所定線上で交わるようにそれら発光部２を保持する保持体３とを具備させた。 （もっと読む）

システムの表面検査は、第１の斜めの照明光線を用いると共に順次にまたは同時に第２の照明を表面に当てることもできる。反射または散乱される放射線は、好ましくは三つの集光チャンネルによって集光されると共に三つの対応する検出器アレイによって検出されるが、別の数のチャンネルと検出器アレイを使用してもよい。一つまたは両方の照明光線は、検査される表面上のラインへと焦点が合わされ、また各ラインは三つまでまたはそれ以上の検出・集光チャンネルにおいて一つ以上の検出器アレイ上に作像される。ラインに直交した方向においてラインと被検査表面との間で相対運動が惹起され、それによって高い解像度と感度を維持している間に、処理能力を増やす。両方の照明光線から散乱または反射される放射線を検出することにより同じ検出チャンネルが用いられる。一つ以上の異なった空間周波数で回折を瀘過するためにフーリエフィルタが用いられてもよい。
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【課題】 暗くなる箇所が発生することなく、どの箇所においても均等に照らすことができる表面検査用照明装置を提供する点にある。
【解決手段】 多数の発光体が線状に配置された線状光源１４の光照射側に集光手段１６を配置してなる照明部３の複数のそれぞれを、検査対象物のほぼ同一箇所に対して照射し、該照明部３の各発光体ＶＬ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置と該別の照明部３の各発光体ＶＲ１が検査対象物を照射するそれぞれの位置とが照射する線状の発光体群の長手方向において異なるように複数の照明部３の各発光体ＶＬ１、ＶＲ１を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）