【課題】検査対象に応じて照明法を簡便に変更できるとともに、従来に比べて小型で単純化された構造の検査装置を提供する。
【解決手段】光源１、１′、１″は、いずれも複数の面発光レーザ素子を用いて構成されている。光源１は任意の偏向方向の光を発生し、この光は照明光学系３を介してマスク２２に垂直に照射される。光源１′も任意の偏向方向の光を発生するが、この光は照明光学系３を介してマスク２２に斜めに照射される。光源１″は所定の偏向方向の光のみを発生し、照明光学系３を介してマスク２２に垂直または斜めに照射される。これらの光源は、マスク２２に応じて交換可能に配置されており、制御計算機９の制御の下で光源制御部２４によって自動的に交換される。 （もっと読む）

【課題】形状の異なるモジュールであっても確実に欠陥部分を抽出する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】リング照明でモジュールＭへ投光して撮像された第１の画像１０Ａの所定以上の輝度を有する領域を抽出する第１のステップを行い、抽出された所定以上の輝度を有する領域において所定の大きさ以上の面積を有する領域を第１の画像１０Ｂより除去する第２のステップを行い、第１の画像１０Ｃから直線または曲線形状で抽出された領域を除去する第３のステップを行い、モジュールＭをリング照明により投光して撮像された第２の画像１１Ａにおける第２のステップと第３のステップとにより第１の画像１０Ａから除去された領域に対して、第１のステップ、第２のステップ、第３のステップを再び実施する第４のステップを行うことにより、不要な高輝度領域を削除して欠陥部分８、１２のみを抽出することにより形状の異なるモジュールＭでも検査が可能になる。 （もっと読む）

試料を検査するシステムを提供する。システムは、光エネルギーの複数チャネルを生成するように構成した照射サブシステムを有して、各チャネルにおける光エネルギーは、少なくとも一つの他のチャネルにおける光エネルギーと異なる特性（種類、波長）を有するよう生成する。光学系は、複数チャネルの光エネルギーを受光し、複数チャネルの光エネルギーを複合して空間的に分離した複合光エネルギービームに複合させ、空間的分離した複合光エネルギービームを試料に向けて方向付けするように構成する。データ取得サブシステムは、少なくとも一つの検出器を有し、複数チャネルの光エネルギーに対応する複数の受光チャネルに反射光エネルギーを分離して受光チャネルを検出するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】基板検査に対する基板検査装置の稼働率向上のために、スループットを向上させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】レシピサーバが、レシピの初期設定として被検査体の検査領域を設定する検査領域設定工程を実行し、レシピサーバが、撮像のための光学条件を設定する光学条件設定工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによって設定された検査領域および光学条件を含む暫定レシピを用いて被検査体を撮像して画像データを取得する画像取得工程を実行し、レシピサーバが、基板検査装置によって取得した画像データを用いて暫定レシピをチューニングして調整レシピを作成するレシピチューニング工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによってレシピチューニングした調整レシピに基づいて、被検査体を検査する検査工程を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置であって、リング状板部材の表面を画像数を絞り込んで撮像することを可能にする。これにより、演算処理装置における画像処理時間の短縮化を実現して、表面欠陥部を高速・高解像で検出できると共に、カメラ及びコンピューターシステムの低価格化を可能にする。
【解決手段】リング状板部材３０の載置部と、その部材の表面を撮像する電子撮像装置３を有する画像検出機構部１と、撮像装置から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部２と、画像検出機構部をリング状板部材のリング中心を中心に回転させる駆動装置と、を有し、画像検出機構部は、リング状板部材のリング幅Ｗに対応した領域を撮像装置の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ一回転駆動されることでリング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】
欠陥の種類に応じて散乱光分布が変化する。このため、検査対象欠陥の散乱光が強い領域を暗視野検出光学系にて捕捉することにより検出感度の高い欠陥検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】
検査対象欠陥の散乱光が強い領域が暗視野検出系の開口部と重なるように照明光の方位を選択可能とし、且つ欠陥検出上のノイズとなるパターン正反射光と暗視野検出系の開口部が重ならないことを両立する欠陥検出技術である。 （もっと読む）

本発明は、暗視野検査装置に関するものであって、本発明に係る暗視野検査装置は、ベース上の被検査体側に光を照射する照明部と、前記被検査体によって反射されて入射される光または前記ベースを透過して入射される光を前記被検査体側にさらに反射する反射部と、前記被検査体によって散乱された光を受光して、前記被検査体を撮像する撮像部とを備え、前記照明部から照射された光のうちの一部は、前記被検査体によって散乱されて前記撮像部に入射され、前記照明部から照射された光のうちの他の一部は、前記反射部に入射され、前記反射部によって前記被検査体側にさらに反射された光は、前記被検査体によって散乱されて前記撮像部に入射されるように、前記照明部、前記反射部、及び前記撮像部が配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物（例えば、半導体基板上の絶縁膜）に対してＣＭＰなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチと付着する異物とを弁別して検査することができるようにした表面検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、研磨または研削された絶縁膜の表面に発生したスクラッチや異物に対してほぼ同じ光束で落射照明と斜方照明とを行い、該落射照明時と斜方照明時との間において浅いスクラッチと異物とから発生する散乱光強度の変化を検出することによって浅いスクラッチと異物とを弁別し、さらに、前記落射照明時における散乱光の指向性を検出することによって線状スクラッチと異物とを弁別することを特徴とする表面検査方法およびその装置である。 （もっと読む）

【課題】洗浄で壜が濡れている場合においても、良好な擦傷検出を行う。
【解決手段】ランプ２１は、壜１の壜口を通して壜１の内部に挿入される。ランプ支持部２２は、ランプ２１への給電線を備え、ランプ２１を壜１の内部に支持する。カメラ１０は、エリアＣＣＤを備えており、壜１の外部に配置されている。また、遮光板２３は、ランプからの直接光がカメラ１０に受光されないように、壜１とカメラ１０の間に配置されている。壜１に擦傷部２がある場合には、一部の光は擦傷部２で拡散され、その一部はカメラ１０のエリアＣＣＤに入射し、明るい画像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】正解パターン画像と検査対象画像とのマッチング精度を向上させることが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮像部１１にて撮像された合焦高さ位置の異なる複数枚の正解パターン画像を正解パターン画像保存部１３２に保存し、ピント合わせ部１３６は、正解パターン画像保存部１３２に保存された複数枚の正解パターン画像に基づいて、検査対象画像のピント補正処理を行い、欠陥検出部１３７は、正解パターン画像保存部１３２に保存された複数枚の正解パターン画像と、ピント合わせ部１３６にてピント補正処理が行われた検査対象画像との比較結果に基づいて、検査対象パターンの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】
基板の表面上に存在する異物と結晶欠陥、或いは異物とスクラッチの判別精度の向上。
【解決手段】
光学系５ａ，６ａは、基板Ｗの表面にレーザー光を照射し、該レーザー光の散乱光を異なる角度で受光して、第１及び第２の受光信号Ｄ１，Ｄ２を出力する。データ処理手段４では、前記第１及び第２の受光信号Ｄ１，Ｄ２のレベルの相関関係を定義する基準関数を設定し、該基準関数を比較基準として前記第１及び第２の受光信号Ｄ１，Ｄ２のレベルを比較し、この比較結果に基づき前記半導体基板の表面に存在する欠陥が複数の種類の異なる欠陥のいずれかに該当するかを判別する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の感度を高めると同時に、誤検出を低減して欠陥検出の精度を高める。
【解決手段】暗視野光学系２は、被検査物である透明基板１の暗視野像を得る。処理部５は、暗視野光学系２により得られた暗視野像に基づいて、透明基板１の表面における欠陥の候補を検出する。微分干渉光学系３は、処理部５により検出された欠陥の候補を含む透明基板１の微分干渉像を得る。処理部５は、微分干渉光学系３により得られた微分干渉像に基づいて、前記欠陥の候補がその周囲に対して凹をなすか凸をなすかを判定し、当該候補が凹をなすと判定すると当該候補を欠陥であるとし、当該候補が凹をなさないと判定すると当該候補は欠陥ではないとする。 （もっと読む）

【課題】ディスク表面に発生する線状，円弧状欠陥に対して、周期的に発生する線状，円弧状欠陥と、孤立に発生する線状，円弧状欠陥とを分類して検出する。
【解決手段】ディスク表面を送光系（101、102）により投光し、その正反射光、散乱光を受光系（102、103、104、105、202）によって受光し、その信号に対して２次元周波数フィルタ処理(4013)により欠陥の顕在化を行う。次に、線状，円弧状欠陥の特徴量である，欠陥幅，長さ等のパラメータにより欠陥判定処理(4015)を行い、線状，孤立欠陥候補を抽出する。次に、周期性特徴量である、欠陥の発生方向，欠陥同士の間隔，発生座標等のパラメータにより周期性判定処理(4016)を行うことによって、周期的に発生する線状，円弧状欠陥と、孤立に発生する線状，円弧状欠陥とを分類して検出する。 （もっと読む）

【課題】フィゾー型干渉計を用いた装置を用いて、微小径略半球レンズの面精度測定とレンズ表面の欠陥観察とを高精度に行うことの可能な面精度測定及び表面欠陥観察装置、並びに面精度測定及び表面欠陥観察方法を提供する。
【解決手段】フィゾー型の干渉計光学系を用いた、被検レンズ７の被検面の面精度測定と被検面の欠陥観察をする装置である。被検レンズ７の位置調整に際し、被検レンズ７の位置を確認可能に構成された第一の光束制御板８_１と、中心に開口部８_２ａ、周囲に遮蔽部８_２ｂを有する第二の光束制御板８_２と、中心に遮蔽部８_３ａ、周囲に開口部８_３ｂを有する第三の光束制御板８_３とを有し、これらの光束制御板のうち所望の光束制御板を干渉計光学系の参照面５ａからの反射光の集光点Ｐ_１を含む干渉計光学系の光軸Ｚ_１に対して垂直な仮想平面上に挿脱可能な光束制御手段８を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハの位置が変動した場合でも、受光光学系を高価にすることなく、小さな欠陥を検出可能なウエハ端面検査装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ１１の瞳位置に開口絞り１２が設けられており、撮像面１６は対物レンズ１１の瞳位置と共役な位置に設けられている。欠陥Ｃ、Ｄから放出された光は、視野絞り上では、対応する異なった位置Ｃ’、Ｄ’に結像するが、第２リレーレンズ１５により、それぞれ平行光とされ、撮像面１６を照明する。撮像面１６には、対物レンズ１１の瞳像が結像する。よって、図に示すように、欠陥Ｃ、Ｄから放出された光は、撮像面１６の同じ位置を照明する。すなわち、照明光が照明する位置が変わっても、その反射光が撮像面１６を照明する位置は変わらない。すなわち、ウェハ１の反りや径方向のシフト等に起因して、照明光がウェハ１を照明する位置が異なっても、撮像面１６で受光される位置は変わらない。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持部などの保持機構で保持した状態であっても、誤認識なくワークの良否判定を行う。
【解決手段】検査装置１では、ワーク２を照明する円環状の光源部３３を有する照明部３と、ワーク２を撮影する撮影部４とが設けられ、ワーク２を保持する保持部５が、照明部３と撮影部４との間に固定もしくは移動可能に配され、照明部３の光源部３３からワーク２に照射した光の照射方向上から外れた位置に、撮影部４が配されている。そして、ワーク２に異物を含む不確定な物がある場合、光源部３３からワーク２に照明した光は、異物を含む不確定な物によりその光路が変更されて撮影部４にて撮影される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができるデバイス外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となるデバイス１００のガラス面／センサー面を暗照明及び明照明で照明して所定の倍率で撮像した基準画像を作成し、基準画像と検査対象となるデバイス１００を同一の条件で撮像した検査画像から差分画像を作成し、差分画像の予め設定されたマスク範囲にある異物の位置及び面積を含む異物一覧情報を保存し、予め設定された閾値等により異物の判定を行う。保存された異物一覧情報に基づいて、所定の第一の撮像条件で撮像し、異物の面積が予め設定された閾値等に合えば、異物の位置で第一の撮像条件とは異なる第二の撮像条件で撮像し、新たに作成した差分画像を検査して異物に関する情報を更新する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、フィルムの正常な箇所と欠陥とで光の透過率に差が出ないフィルム表面の微少な欠陥を検出するフィルム検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置１０は、フィルム１２の凸欠陥２０ａを検出する第１系統１４と、凹欠陥２０ｂを検出する第２系統１６とを含む。また、第１系統１４および第２系統１６で検出した値は、コンピュータ１８で演算処理され、欠陥の判定がおこなわれる。検査されるフィルム１２は光を透過する位相差フィルムなどの高機能フィルムである。 （もっと読む）

【課題】 基板に形成された微小な線状のキズを確実に検出することのできる基板検査装置。
【解決手段】 基板（３０）の異物を検査する基板検査装置は、基板を照明する照明系（１；１ａ，１ｂ）と、照明系により照明された基板上の領域を暗視野観察する撮像系（２）と、撮像系の透過視野背景および反射視野背景に配置された低反射遮光部材（３，４）とを備えている。基板は光透過性を有し、低反射遮光部材は透過視野背景の全体および反射視野背景の全体を覆うように配置されている。 （もっと読む）

【課題】被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となるホルダ及び検査装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３は、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際に用いられるものであって、ガラス基板Ｓを支持する本体１０を備え、本体１０が紫外光を吸収する材料で形成されて紫外光を透過しないようになっており、本体１０の反射型暗視野照明装置側の表面１０ａには、ＡＲコート１４が設けられている。つまり、ホルダ３は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置から照射された紫外光がホルダ３を透過したりするのを防止でき、ガラス基板Ｓを撮像時においてノイズが検出されるのを抑制できる。 （もっと読む）