【課題】縦横にリブが設けられた容器に充填された飲料に混入する異物であっても高精度かつ高速に検査可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】内容物が充填された透過性を有する容器Ｂの側面側からの画像を取得し、その画像に基づいて容器Ｂ内の異物の有無を検査する異物検査装置１において、容器Ｂの中心軸線ＡＸに対して垂直な方向から撮像する中央カメラ４ｂと、中央カメラ４ｂの撮像方向に対して所定角度上方向にずれた位置から撮像する上方カメラ４ａと、中央カメラ４ｂの撮像方向に対して所定角度下方向にずれた位置から撮像する下方カメラ４ｃと、容器Ｂを挟んで各カメラ４の対向に設けられた光源３と、を備え、各カメラ４には、容器Ｂの正面像Ｆと、正面像Ｆに対して所定角度左側にずれた左側面像Ｌと、正面像Ｆに対して所定角度右側にずれた右側面像Ｒと、を同時に撮像するための光学系５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 複数の受光器を備えた異物検査装置において、異物のみを正確にかつ漏れなく検査可能とする。
【解決手段】
本発明の異物検査装置は、被検物の表面に投光された光の表面における散乱光を受光する第１及び第２の受光器が出力する信号の強度分布に基づいて異物の有無を判定する制御器を備える。前記制御器は、第１の受光器の仮の第１走査開始位置に対する第２の受光器の仮の第２走査開始位置の位置関係を変更しながら異物検査を複数回行わせ、複数回の異物検査のそれぞれについて、第１の受光器が出力する信号の強度分布と第２の受光器が出力する信号の強度分布との重なり度合いを算出し、重なり度合いが最大である仮の第１走査開始位置と仮の第２走査開始位置との位置関係に基づいて、被検物の表面を検査するための第１及び第２の受光器それぞれの走査開始位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】細かな欠点の輪郭や、欠点箇所の中に存在する高い空間周波数のコントラストを高精度に検出する欠点検査装置および欠点検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物に光を投射する投光手段と、該被検査物を介した透過光または反射光を受光する受光手段と、該受光手段が受光した透過光または反射光に基づいて前記被検査物の欠点を検査するデータ処理手段とを有する検査装置であって、
前記受光手段は、受光中心光軸からの距離が大きくなるにしたがって、光透過率が小さくなることを特徴とする欠点検査装置。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＤの滅点と塵埃を識別することができるディスプレイ検査装置を提供する。
【解決手段】 複数の異なる原色を発色する素子が画素ごとに配列され、素子が発色する輝度に基づきカラー表示するディスプレイを検査するディスプレイ検査装置であって、ディスプレイ２とＣＣＤ３１とを搭載し、ディスプレイ２とＣＣＤ３１との位置関係を維持しつつ素子の配列の並び方向に移動可能な移動部３２と、ディスプレイ２上に表示された像を折り返してＣＣＤ３１に伝送する伝送部（ミラー３４、等倍結像用レンズ３５）と、移動部３２の移動前に、ＣＣＤ３１が伝送部によって伝送された像を撮像した画像と、移動部３２の移動後に、ＣＣＤ３１が伝送部によって伝送された像を撮像した画像とで、ディスプレイにおける素子の点欠位置に差がある場合、点欠を異物による点欠とする制御部３３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査用照明光の波長変動の影響を受けない正確な検査が可能であり、且つ、複数の検査装置間で検査結果のバラツキがない検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、照明光学系１０と、照明光の照射を受け該照明光の波長に応じ予め設定された物理的変調を生じさせた光を出射させる基準変調部と、照明光の照射を受けウエハ５および基準変調部で物理的変調を受けて出射された光を受光する撮像装置３０と、撮像装置３０で受光したウエハ５で物理的変調を受けた検査光に基づいてウエハ５の検査を行う欠陥検出部３９と、検査の状態を検出する検査状態検出部３８とを備え、撮像装置３０で同時に受光可能な範囲内に、ウエハ５で物理的変調を受けた検査光と基準変調部で物理的変調を受けた検査光とが入るようにウエハ５と基準変調部とを配置し、検査状態検出部３８は基準変調部で物理的変調を受けた検査光に基づいて前記検査の状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な構成でかつコストをさほど高めることなく、ワークの表面及び裏面を高精度に観察することを可能とするワークの表面及び裏面観察装置を提供する。
【解決手段】第１，第２の面４ａ，４ｂを有する透光体４の第２の面４ｂに光を反射させる反射層５が形成されており、第１の面４ａ上にワーク２が載置され、反射鏡３と隔てられて凸レンズ６が設けられており、凸レンズ６及び反射鏡３の少なくとも一方を光軸６ａに沿って移動させるように移動装置８が設けられており、移動装置８により、凸レンズ６とワーク２の表面２ａとの間の距離が凸レンズ６の焦点距離となる第１の間隔と、凸レンズ６から透光体４を通り、反射層５で反射され、ワークの裏面２ｂに焦点を結ぶ第２の間隔との間で光軸に沿って凸レンズ６及び／または反射鏡３が移動装置８により移動される、ワークの表面及び裏面観察装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、被検査体全面において短時間で不良領域を検出でき、かつ検出結果を検査工程以降の工程に反映することのできる検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明は、基体の表面に微細な凹凸パターンを形成した被検査体に放射波を照射する照射機構と、被検査体を透過した放射波を検出する検出機構を備えた検査装置、検査方法において、前記照射機構は前記被検査体の表面または裏面のいずれか一方に配置され、前記検出機構は被検査体を介して照射機構とは相対する面に配置されており、検出機構で得られた被検査体の面内の透過率分布から凹凸パターンの不良領域を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤検出を低減して欠陥検出の精度を高め、しかも検査時間の短縮とコスト低減とを同時に図る。
【解決手段】照明光学系は、光を焦点面上に集光して被検査物１００に照射するとともに前記焦点面上の集光点を走査させる。光分割部２０は、被検査物１００から得られる光を分割する。第１の光検出部２１Ａは、集光レンズ３１Ａ、光制限部３２Ａ及び光検出器３３Ａを有し、分割後の一方の光を検出する。第２の光検出部２１Ｂは、集光レンズ３１Ｂ、光制限部３２Ｂ及び光検出器３３Ｂを有し、分割後の他方の光を検出する。光制限部３２Ａと共役な平面と光制限部３２Ｂと共役な平面とは、前記焦点面の付近において、互いに光軸方向にずれている。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンからアシストパターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、を備えているアシストパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、アシストパターンをデセンス領域に設定するデセンス領域設定部と、デセンス領域において、パターンの比較検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】画素分解能を高め、また、放射線によるノイズを排除することで、欠陥検出能力の高いパターン欠陥検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】第１の方向に沿って第１の画素ピッチで配列した複数の第１の画素を有し、被検査体の光学像の第１の画像データを出力する第１のセンサと、第１の方向と略直交する第２の方向に並列して設けられ、第１の方向に沿って第１の画素ピッチで配列し且つ第１の方向において第１の画素位置から第１の画素ピッチの１／Ｎ（Ｎは１以上の整数）だけずれた位置に配置された複数の第２の画素を有し、被検査体の光学像の第２の画像データを出力する第２のセンサと、第１の画像データ及び第２の画像データに基づいて被検査体の欠陥を検出する欠陥検出部と、を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンから特定パターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、を備えているパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像の光学画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、特定パターンを特定検査実行領域に設定する特定検査実行領域設定部と、特定検査実行領域において、光学画像取得部で取得した光学画像のパターン検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】プリンティング状態の検査に必要な時間、工程及び費用を減少させ、また、検査の結果を後続プリンティング工程に反映する。
【解決手段】インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムは、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に裝着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ジョイスティックやトラックボールを使った煩雑な作業を簡易化することが出来、操作性を大幅に向上し得る試料検査装置を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、ＣＣＤカメラ及び照明装置を備えた顕微鏡１、この顕微鏡１を制御する画像処理装置８、被検査対象３を検査位置に移動する検査ステージ２、この検査ステージ２を駆動・制御するステージ駆動・制御装置４及び検査システム全体を制御するシステム制御装置６で構成される。画像処理装置８は、マウス等の入力装置８ａ及び処理画像を表示するモニタ９を備え、モニタ画面上に表示された目標画像が入力装置８ａにより指定され、且つ目標画像の移動先が画面上で指定された際に、前記指定された２個所の座標の差分を求め、該差分だけ検査ステージ２を移動させて目標画像を指定位置に移動表示する。 （もっと読む）

【課題】被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類できるようにする。
【解決手段】光源装置４からの光をポラライザー５を介して偏光を与えて被検査体Ｗに対し斜め方向に入射させ、その散乱光ＳＢを暗視野に配置された偏光分離素子９を有するＣＣＤ撮像装置７で撮像し、得られたＰ偏光成分画像とＳ偏光成分画像とについて成分光強度を得て、それらの比としての偏光方向を求める。被検査体に応力を印加していない状態と、応力を印加した状態の光散乱体の撮像により得られた画像から成分光強度、偏光方向を求め、所定の閾値と対比することにより欠陥の検出、分類がなされる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の精度を高めつつ、効率良く欠陥を検出する。
【解決手段】表面欠陥検査装置は、被検査物１の表面１ａを撮像する撮像部２と、撮像部２により得られた画像に基づいて被検査物１の表面１ａの欠陥を検出する処理部４と、を備える。撮像部２は、受光面１１ａに形成された像を撮像する撮像素子１１と、受光面１１ａに被検査物１の表面１ａの像を形成する光学系１２とを有する。光学系１２の光軸Ｏが被検査物１の１ａ表面の法線Ｎ１に対して傾けられる。受光面１１ａの法線Ｎ２が光学系１２の光軸Ｏと平行である場合に比べて、受光面１１ａの周辺部での光学系１２による被検査物１の表面１ａのデフォーカス量が低減されるように、受光面１１ａの法線Ｎ２が光学系１２の光軸Ｏに対して相対的に傾けられる。 （もっと読む）

検査される対象の対象物の画像を得て、これを提供するための光学検査プローブを提供する。光学検査プローブは、対象物の画像を撮るための画像化組立体と、対象物の方に向けられる光ビームを生成するための照明組立体とを備える。光学検査プローブは、光ビームが、第１の焦点面で焦点に収束するように構成される。
（もっと読む）

【課題】、二枚貝の検査を非破壊で行うにあたり、コンピュータ等の制御部で品質の判別を自動的に行うことが容易であるとともに、その処理が簡略化された二枚貝の検査方法及び検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】二枚貝に赤外線を含む光を照射し、照射した光の内で二枚貝を透過した透過光又は二枚貝から反射した反射光を受光し、受光した透過光又は反射光における１０４０乃至１１４０ナノメートルの範囲の所定波長成分の強度である第１強度と、前記受光部で受光した透過光又は反射光における１１５０乃至１３７０ナノメートルの範囲の所定波長成分の強度である第２強度とを比較することにより二枚貝の品質を検査する。 （もっと読む）

【課題】対象線材の特性や種類に制限なく採用でき、安価で高速走行する線材に対しても検査可能な検査手段を備えた金属線状材の疵検査装置、及び連続加工装置を提供する。
【解決手段】線状材Ｗを軸心として回転する回転体でなり、かつ線状材に直交する照射光を照射する光源部１６と、その照射光と線状材からの反射光が、線状材の横断面視で９０゜を超え１８０゜未満の角度θで受光する位置に配置した受光センサー１７を備えてなる回転基体１１と、その系外に設けられた照射光の供給源、並びに受光センサーによる受光データを解析して表面疵に変換するデータ解析部との系外装置における回転基体との電気的接続が、接触又は非接触方式によるコードレス化によって回路形成されるとともに、回転基体は、金属線状材の送給速度に応じて可変かつ一方向に回転可能に構成したことを特徴とする金属線状材の疵検査装置と、その装置を用いた連続加工装置である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成の受光光学系であって、光ＮＡ化が可能な受光光学系を有する欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 ロッドレンズ５に入射した散乱光は、ロッドレンズ５の側面５ｃで全反射を繰り返しながら、第１の表面５ａと反対側にある第２の表面５ｂに導かれ、第２の表面５ｂからロッドレンズ５の外部に放出されて、受光素子６により受光される。ロッドレンズ５は、その両端面が第１の表面５ａ、第２の表面５ｂとなっている。第１の表面５ａ、第２の表面５ｂは通常、平面である。そして、第１の表面５ａの面積Ｓ１の方が、第２の表面５ｂの面積Ｓ２よりも大きくされている。よって、広い面積を有する第１の表面５ａで受光を行うので、大きなＮＡを持たせることができる。 （もっと読む）

【課題】構造の継手部にある直径数ミリの穴内部全面を非破壊で直接横から正確に等距離から自動的または手動で検査をすることができる。
【解決手段】プローブ１１を検査対象の穴５内部に挿入し、上方から光を当ててプローブ先端のプリズム２６を介して穴側面を照らし、穴側面から反射した光を対物レンズ１３で集めＣＣＤカメラ１５により記録し、プローブを回転させて穴内部全面について画像を記録し、画像処理装置１６により検査対象の穴内部の画像を連続した一枚の画像に記録し、画像処理により損傷、亀裂、腐食等の有無や大きさや深さなどの程度およびその正確な位置を検査する。 （もっと読む）