【課題】長さの短い検査システムを用いつつ広い視野を確保でき、光学材料の内部状態を正確に検査できる検査方法、ならびに短時間で高品質の光学素子を製造できる光学素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光学材料ＯＭの内部状態を検査する検査方法は、光源２１からの拡散光を光学材料ＯＭに照射し、この光学材料ＯＭを透過した透過光に基づいて光学材料ＯＭの内部状態を検査する工程を有する。また、本発明に係る光学素子の製造方法は、この検査方法を用いて光学素子の候補体である光学材料ＯＭの内部状態を検査し、この内部状態が所定基準を満たすことに基づいて、候補体から光学素子を選別する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】正確に、かつ短時間に空間フィルタの設定を行なうことができ、検出感度の低下防止も可能な表面欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】それぞれ異なるパターンピッチを有する複数の領域からの光像が混在した回折光像710aを表示し、選択した領域のパターンピッチ702aと算出された回折光ピッチ702bが表示される。回折光ピッチ702bに合わせたピッチのゲージ710b、701cが回折光像710aに重畳して表示させる。ゲージ710b、710cは回折光像710cのピッチに合わせられるように作業者が移動でき、ゲージ710b、710cを合わせたピッチの画像が抽出され、別の表示領域に表示される。異なるパターンピッチを有する複数の領域のそれぞれに対して実行し、それぞれのパターンピッチとそれに対応する画像を表示する。表示した画像等に従い、選択した回折光を除去可能なように空間フィルタの間隔を設定できる。 （もっと読む）

【課題】高感度で検査を行うことができる検査装置、検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、対物レンズ７と、対物レンズ７の視野の一部である第１の領域を、第１の偏光方向の直線偏光で照明し、対物レンズの視野内において前記第１の領域と異なる第２の領域を第１の偏光方向と異なる第２の偏光方向の直線偏光で照明する反射照明光学系５１と、第１の領域において、試料で反射した反射光を検出するＴＤＩカメラ１１ａと、第２の領域において、試料で反射した反射光を検出するＴＤＩカメラ１１ｂと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 下水本管内を迅速に撮影できる撮影装置の提供。
【解決手段】 電源用バッテリー１ 、照明装置４、前方撮影装置３、上方撮影装置５を有する浮体６を有し、下水管９の流水１０に装置を浮かべて、その自然流により流下させる。このとき、前方撮影装置３、上方撮影装置５により下水管９内を定時間間隔または連続的に撮影記録するとともに、各撮影画像に撮影時の時刻を記録する。 （もっと読む）

【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高感度で欠陥検査を行うことができる検査装置、及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかると、対物レンズ１３と、対物レンズ１３の視野の一部である検査領域５２を照明する反射照明光学系６１と、検査領域５２と検査領域５１とを照明する透過照明光学系６２と、透過照明光学系６２に設けられ、検査領域５２に入射する透過照明光の光強度を検査領域５１に入射する透過照明光の光強度よりも低くする部分透過板４と、検査領域５２において、透過照明光学系６２からの透過照明光のうち試料を透過した透過光と反射照明光学系６１からの反射照明光のうち試料で反射した反射光とを検出するＴＤＩカメラ１６ｂと、検査領域５１において、透過照明光学系からの光のうち試料を透過した透過光を検出するＴＤＩカメラ１６ａと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】
一台の検査装置で従来の連続記録磁性媒体の磁気ディスクの表面欠陥の検査とディスクリートトラック方式、パターンドメディア方式の磁気ディスクの表面欠陥の検査を行うことを可能にする。
【解決手段】
連続記録磁性媒体の磁気ディスクの表面欠陥を検査するときには連続記録磁性媒体検査用のしきい値と比較して欠陥を検出し、ディスクリートトラック方式又はパターンドメディア方式の磁気ディスクの表面欠陥の検査するときにはディスク表面からの反射光を検出した信号のレベルに基いてデータ領域とサーボ領域とを識別し、それぞれの領域からの反射光検出信号を領域に応じたしきい値処理をして欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】
装置を大型化することなく、欠陥からの散乱光をより広い領域で効率よく集光して検出することにより微細欠陥を感度よく検出することを可能にする装置及びその方法を提供する。
【解決手段】
試料の表面にレーザを照射する照明手段と、試料からの反射光を検出する反射光検出手段と、検出信号を処理して試料上の欠陥を検出する信号処理手段とを備えた試料の表面の欠陥を検査する装置において、反射光検出手段を、試料からの反射光のうち正反射光を除いた散乱光を非球面フレネルレンズを用いて集光して検出する散乱光検出部を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】
磁気ディスクの両面を同時に検査することを可能にして、検査のスループットを向上させる。
【解決手段】
磁気ディスクの表面の傷や欠陥を光学的に検出する表面側欠陥検出手段と、磁気ディスクの裏面の傷や欠陥を光学的に検出する裏面側欠陥検出手段とを備えた磁気ディスクの両面欠陥検査装置において、裏面側欠陥検出手段に光路切替え部を設けて、レーザ光源から発射されたレーザを反射してレーザの光路を磁気ディスクの裏面の方向に切替えるとともにフレネルレンズで集光された散乱光を反射して集光された散乱光の光路を第１の光電変換器の方向に切替えるようにして、磁気ディスクの裏面側の狭い空間でも光学的に欠陥を検出することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】製造ライン内に組み込まれたインライン基板検査装置の光学系の校正作業を製造ラインを停止させることなく実施できるようにする。
【解決手段】この発明は、上流ラインから下流ラインヘ基板の受け渡しを行う機能を有する検査ステージもしくは搬送コンベア等の検査エリア以外の場所に光学系の校正作業を実施するための校正作業（メンテナンス）エリアを設け、光学系の移動ストロークをこの校正作業エリアまで移動可能とし、光学系の校正作業を検査エリア外で実施可能とした。校正作業エリアでは、実際の基板の移動と同じ状態で移動する標準粒子付基板を用いて検査することによって光学系の校正作業を正確に行なうようにした。標準粒子付基板の高さを検査エリア内の基板の高さに合わせるようにして、校正作業を正確に行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】 被検体の表面に段差があっても、光学系の調整なしで、より正確に表面欠陥を検出することができる。
【解決手段】 光源からの光を被検体の表面に照明する照明部と、被検体表面からの反射光を捕捉する光学系と、光学系により捕捉された反射光の一部を通過させるアパーチャと、アパーチャを通過した反射光の強度を検出する検出部を具備し、光学系が、被検体の表面の位置から光学系の焦点距離となる位置に、且つ光学系の光軸に垂直な面が照明部の照明光の光軸と平行となる角度で配置し、アパーチャを、光学系に対し被検体の表面位置とは反対の側で、光学系の焦点距離の位置で、且つ反射光が通過する位置に配置した。 （もっと読む）

【目的】検査処理の運用をできるだけ妨げないでレーザ光源の保守を行う検査システムを提供する。
【構成】パターン検査システム１００は、レーザ光源装置１０３と、前記レーザ光を照明して、被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得装置１５０と、前記光学画像を入力し、前記光学画像を比較対象画像と比較する比較装置１４０と、前記レーザ光源装置と前記光学画像取得装置とを制御する制御装置１６０と、を備え、制御装置１６０は、定期的に前記レーザ光源装置からレーザ光源装置１０３の保守動作の必要性の程度を示す識別子と前回保守動作を行なってからの経過時間とを入力し、前記識別子と前記経過時間との少なくとも１つに基づいて保守動作実行コマンドを前記レーザ光源装置に出力し、前記レーザ光源装置１０３は、前記保守動作実行コマンドに基づいて、前記レーザ光源装置１０３の保守動作を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
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【課題】エッジ画像に含まれるエッジの位置関係を用いてエッジを連結することにより、クラックに相当するエッジをノイズから精度よく分離する。
【解決手段】エッジ抽出手段１１は、検査対象物Ｗを撮像した濃淡画像からエッジを抽出し、候補領域抽出手段１２は、エッジ抽出手段１１により抽出したエッジ上の画素のうち規定の条件を満たす画素群をクラック候補領域として抽出する。クラック候補領域が複数抽出された場合には、ラベリング手段１３が、各クラック候補領域にそれぞれラベルを付与し、クラスタリング手段１４が、着目する各一対のクラック候補領域の位置関係に基づいて両クラック候補領域が１つのクラックに属すると判断すると両クラック候補領域を連結する。判定手段１５は、連結されたクラック候補領域の長さ寸法が規定の基準値よりも大きいときに検査対象物にクラックが生じていると判定する。 （もっと読む）

【課題】部品数の増加及び装置の大型化を伴うことなく、短時間でビーム照射位置の調整が可能なビーム調整装置を実現する。
【解決手段】調整用ミラー１９ａ、１９ｂはチルト機構１０１により回転され、シフト機構１０２により直線的に移動される。光１８はビーム調整機構１０で調整後、集光レンズ移動機構１２１でレンズ１２を移動させレンズ１２通過後の光及びレンズ１２を通過しない光がＣＣＤカメラ１３に照射される。レンズ１２とＣＣＤカメラ１３の受光面との距離は焦点距離でありレンズ１２中心とＣＣＤカメラ中心との位置を合せておく。チルト調整量を算出しビーム調整機構１０で平行光となるように補正し、その後にレンズ１２を通過させずにＣＣＤカメラ１３に光を入射させビームのシフト調整量を算出しビーム調整機構１０でＣＣＤカメラ１３の中心に光が収束するようにビームのシフト、チルトを補正する。 （もっと読む）

【課題】海島型複合繊維を溶融紡糸する紡糸口金の内部に装着された数万本にも及ぶパイプに関して、少なくともパイプ曲りの発生を自動で検出することができる紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法を提供する。
【解決手段】直管型パイプが口金板に対して垂直に多数立設された口金板を装着する紡糸口金に対して各パイプのポリマー流路である貫通孔を通過した検査光をカメラで撮影して、撮影した画像データを二値化処理などの画像処理を行って各パイプの先端部のポリマー流路の中心座標を算出し、算出した中心座標が設計時の値よりもずれているかどうかを判断して、パイプ曲りの有無を検出する紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートの検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異物の粒径を検査面の全領域に亙ってより正確に求める。
【解決手段】異物検査装置は、被検物の表面に光を投光する投光器と、前記投光器によって前記表面に投光された光の散乱光の強度を前記表面の２次元座標と関係付けて検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて前記表面に存在する異物の粒径を決定する処理部とを備える。前記検出器により検出された散乱光の強度と異物の粒径との関係は前記表面の２次元座標に応じて異なっている。前記処理部は、前記検出器によって検出された異物の２次元座標に応じて、前記検出器により検出された散乱光の強度を異物の粒径に変換するための変換カーブを決定し、前記決定された変換カーブを用いて、前記検出器により検出された散乱光の強度を異物の粒径に変換する。 （もっと読む）

マスク検査中に、ウェーハ露光中に同じく発生する欠陥を識別する必要がある。従って、レジスト内に生成される空間像と検出器上に生成される空間像とは、できる限り同じでなければならない。同等の像生成を提供するために、マスク検査中に照明及び物体側の開口数は、使用されるスキャナに適合される。本発明は、照明を可変的に設定するためのマスク検査顕微鏡に関する。マスク検査顕微鏡は、物体平面に配置されたレチクル（１４５）の構造（１５０）の像をマスク検査顕微鏡の視野平面に生成するように機能する。マスク検査顕微鏡は、投影光を放出する光源（５）と、少なくとも１つの照明ビーム経路（３，８７，８８）と、物体平面に対して光学的に共役な照明ビーム経路（３，８７，８８）の瞳平面（１３５）内に投影光の結果的強度分布を生成するための絞りとを含む。本発明により、絞りは、投影光の結果的強度分布が、最小強度値と最大強度値の間に少なくとも１つの更に別の強度値を有するような方法で具現化される。 （もっと読む）

【課題】
検査レンズの波面収差は欠陥検出感度を低下させる傾向があり、波面収差の装置間差が、検査感度一致度を下げる原因の一つとなっていた。特に検査レンズの外側は波面収差が大きくなる傾向があるため、(a)像高が高い場合、(b)光が低仰角方向へ強く散乱される欠陥を検出する場合、収差の影響を受けやすくなる。
【解決手段】
本発明では上記課題を達成するために、以下の手段を備えたシステムとして構成されるようにした。
(1)：レーザ等の光源、及び照明光学系、
(2)：検出光学系レンズの波面収差を測定可能な瞳面観測系、もしくは波面収差測定方式、
(3)：収差の大きい瞳面上の領域を遮光可能な2次元空間フィルタ、
(4)：(2)及び(3)を持つ散乱光を検出するための１つまたは複数の欠陥検出光学系及び光検出器、
(5)：波面収差測定に用いる点光源。 （もっと読む）