【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも１つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも１つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 （もっと読む）

【課題】印刷検査によって取得した印刷状態計測情報を印刷品質向上のために有効活用することができる印刷状態計測結果の表示装置および表示方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷検査装置Ｍ２による印刷検査において基板３のランドに印刷されたペーストの平面形状における面積値の正規の印刷面積に対する比率を示す面積率を複数のランドのそれぞれについて求めた面積率計測データ２３ａを、表示用データ作成プログラム２３ｂに規定された所定の処理アルゴリズムにしたがってデータ処理して、基板に印刷されたペーストの印刷状態を視覚的に表示するための表示用データを作成し、作成された表示用データを表示フォーマットデータ２３ｃに規定される所定の表示フォーマットにしたがって表示パネル２６の表示画面に表示する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上の欠陥を撮像した画像を，ユーザが定義したクラスごとに自動で分類する装置において，異なる複数の観察装置で撮像した画像が混在して入力された場合，観察装置の違いによる画像の性質の差により，欠陥画像の分類正解率が低下することを防止する。
【解決手段】複数の観察装置で撮像した欠陥画像が入力となる画像自動分類装置において，レシピを作成する際に観察装置ごとに画像処理パラメータの調整と分類識別面の作成を行い，画像の分類時には，欠陥画像を撮像した観察装置を画像の付帯情報などをもとに特定し，画像を撮像した観察装置に応じた画像処理パラメータと分類識別面を用いて，画像処理と分類処理を行うようにした。また，観察装置ごとの画像処理パラメータ調整を効率的に行うために，教示された欠陥領域をもとに適切な画像処理パラメータを自動調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】広範囲領域でのスポット溶接の有無、およびスポット溶接位置の検査を可能とするスポット溶接検査方法および装置を提供する。
【解決手段】スポット溶接を施した溶接母材に対して斜光を照射する第１の投光機と、上方から溶接母材の画像を取得する撮像機と、第１の投光機および撮像機を搭載し、溶接母材に対する位置調整可能な走査装置と、撮像機からの画像情報を処理する処理装置から構成され、処理装置は、撮像機から得られた３階層レベルの輝度の第１の画像から、中間輝度レベルと中間輝度レベル以外の輝度の２階層レベルの輝度で構成された第２の画像を得、中間輝度レベル以外の輝度の部分をスポット溶接のエッジ部分とする第１の手段、第１の手段によるエッジ部分からスポット溶接の中心位置を決定する第２の手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 メモリ容量が問題とならない位置ずれ量の検出を行い、位置ずれ量に基づき基板の位置を補正し基板の外観検査を行う。
【解決手段】 参照テーブル４２４に基づいて、推定基準点位置設定部４１３により推定基準点位置および仮基準点位置設定部４１５により仮基準点位置が設定される。距離指標値算出部４１４が推定基準点位置と仮基準点位置との距離の標準偏差を求め、該標準偏差が最小となるときの回転角および仮基準点位置と基準点位置との位置差分値を位置ずれ量４２５として取得する。該位置ずれ量４２５に基づき被検査基板６の位置合わせを行うことで、メモリの使用容量を増やすことなく、確実に位置合わせを行うことができるとともに、外観検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 橋梁下面の外観検査を、作業員が容易かつ効率的に行うことができ、なおかつ一定以上の検査精度を確保することができる橋梁点検装置を提供する。
【解決手段】 橋梁１００上に配置される支持体２と、支持体２に支持される形で橋梁１００上からその側方に向けて延出し、橋梁１００の側方外側を回り込む形で、延出先端部のカメラ４を橋梁１００の下面よりも下側に位置させる屈曲変形可能なアーム部材３を備え、カメラ４によりによって橋梁１００の下面を少なくとも正対方向Ｑとは異なる斜め方向Ｐから撮影された場合であっても、その橋梁下面画像を補正して、正対方向Ｑから見た正対画像とすることができ、これを表示出力することができる。 （もっと読む）

【解決手段】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａを撮影して、該ライン２Ａの欠け２Ｂを検査する物品検査方法に関する。
カメラ５が撮影した検査画像Ｇからライン２Ａを示すライン領域Ａを抽出したら、上記ライン領域Ａの外郭となる輪郭線をその形状を保ったまま所定の方向に移動させて、隣接するライン領域Ａとの隙間がなくなるように該ライン領域Ａを拡張させる。
そして上記検査画像Ｇに、拡張させたライン領域Ａに該当しない空白領域Ｂが存在する場合、ライン２Ａに欠け２Ｂが存在すると判定する。
【効果】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａの欠け２Ｂを検査する場合に、モデルデータと撮影した検査画像Ｇとの位置合せを不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により良否判定に用いる画像と目視による外観検査に用いる画像とを取得できるとともに、半田付け部の立体形状を容易に認識可能な外観検査用画像を取得できる半田付け部の検査装置、検査方法、検査プログラムおよび検査システムを提供する。
【解決手段】良否判定用画像に基づいて半田付け部の良否を判定し、良否判定結果に応じ、同一の検査装置を用いて、検査対象の半田付け部に複数の異なる方向から照明光を順次照射して複数の外観検査用画像を順次取得する。これらの画像を順次表示することにより、半田付け部の立体形状を容易に認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスなどパターンを有するウェハ，液晶基板およびメディア等の欠陥の高精度な異物検出方法および異物検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の第１の特徴は、検査対象基板に光を照射する照射光学系と、前記検査対照基板からの光を検出する検出光学系と、前記検査対象基板からの回折光を遮光する空間フィルタとを有する検査装置において、前記空間フィルタは、複数の遮光材と、前記遮光材の形状，角度、または間隔の少なくとも１つを変化させる制御部材と、前記制御部材を制御する制御部と、を有することにある。 （もっと読む）

【課題】
本発明はレジスト膜の面ムラをリアルタイムあるいは簡単にレジスト膜の面ムラを検査できるレジスト膜面ムラ検査装置及び検査方法を及びＤＴＭ製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は表面ディスクの表面に塗布されたレジスト膜の表面に検査光を照射し、該レジスト膜表面から正反射光を検出し、その二次元像を出力することを特徴とする。
また、本発明では前記特徴に加え、前記出力は前記２次元検出結果をその検出レベルに応じて濃淡画像あるいは色相画像として表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像と判定結果とを重ね合わせた画像を保存して画面に表示する描画処理の処理負荷を軽減し、結果的に描画時間の遅れによる作業性の低下を抑制する。
【解決手段】良否判定部３は、撮像装置１で撮像した検査対象物の画像データを用いて外観の良否判定を行う。結果画像生成部４は、良否判定の結果を示す画像データである結果画像データを生成する。登録画像生成部５は、結果画像データを検査対象物の画像データと重ね合わせた登録画像データを生成する。画像記憶部６は登録画像データを保存し、表示処理部７は登録画像データをモニタ装置８の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生数などの欠陥情報を分かり易く伝えることで、問題点の検知を迅速に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１０の検査対象面を撮像するカメラ２と、カメラ２に接続され、カメラ２からの映像信号に基づいて検査対象物１０の良否判定を行う画像処理装置１とを備える。画像処理装置１は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出して検査条件Ｃ１に基づいて良否判定を行うとともに、欠陥画素の位置情報、画像データ、及び、良否判定結果を記憶する。画像処理装置１は、装置本体１ｂ及びモニタ１ａを備え、記憶した欠陥がその位置情報に基づいて欠陥の発生頻度を装置本体１ｂが算出し、指定した欠陥発生頻度の画素領域を、画素の濃淡または色相のうち少なくともいずれか一方を変化させて、検査対象物１０の画像と重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】検査負荷を軽減すること。
【解決手段】検出装置は、画像表示装置が色を表示する際に用いる原色ごとに、全表示領域にわたって原色を点灯した該画像表示装置の画像を撮像する。そして、検出装置は、原色ごとに撮像された画像である第一の撮像画像各々から、画像表示装置の各画素のうち周辺より暗い画素である暗点の位置を検出する。そして、検出装置は、検出した各暗点の位置に対応する前記画像表示装置の対応領域を撮像時の点灯色で点灯させる点灯パターンを作成する。そして、検出装置は、作成した点灯パターンに基づいて点灯した前記画像表示装置の画像を撮像し、撮像した画像である第二の撮像画像のうち対応領域に対応する画像部分から、暗点の位置または該暗点の個数を検出する。 （もっと読む）

【課題】ブレードを撮像した画像におけるブレードの領域を検出することができる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像から、テンプレート画像に対して所定のフレーム数だけ離れた参照画像を抽出する。ＣＰＵ３４ｃは、テンプレート画像と参照画像との差分を抽出し、その差分に基づいてブレード領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】目視観察用のモニター装置を用いて、大型基板上の欠陥部位を観察するに当たり、当該部位が該モニター画面上のどこにあるのか容易に認識できる手段及びこの手段を備える目視検査システムを提供する。
【解決手段】自動欠陥検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、目視検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、蓄積された前記パターンの欠陥に関する情報を目視検査支援システムに備わるモニター装置で閲覧する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの撮像映像を目視検査装置に備わるモニター装置に表示する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの欠陥部位を、前記欠陥情報データベースに蓄積された情報に基づいて、レーザポインタにより照射する手段と、を備えることを特徴とする目視検査システム。 （もっと読む）

【課題】 ＡＯＩ装置にて挙げられた欠陥候補の真偽判定のための手間と時間を可及的に軽減することができる基板の欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】 ユーザは、ガイド表示として表示された各欠陥候補に関する特徴情報に基づいて１の欠陥候補を選択し、その欠陥候補の実画像を前記画像表示器の画面上において観察することで、当該選択された欠陥候補が疑似欠陥か真の欠陥かを判別できるようにされており、さらにＡＯＩ装置により生成保存される特徴情報には、当該欠陥候補のそれぞれの画像を含む局部領域画像が含まれており、かつ欠陥候補表示手段は、各欠陥候補毎に、その欠陥候補に対応する前記局部領域画像を画像表示器の画面上に表示する。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を含む可能性がある検査対象であっても、高精度の検査を実現する。
【解決手段】画像検査装置は、検査対象を撮影するＣＣＤカメラ３と、検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部４０３と、輪郭抽出部４０３によって得られた２値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを１つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理部４０４と、ラベリング処理部４０４で抽出された連結した輪郭の数を数える計測部４０５と、計測部４０５で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定部４０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】シートボードの表裏の目立たない欠陥の検出を、従来の自動検出方法に代え、あるいは、これに加え、モニターを介した目視観察を行なうことによって、簡単且つ精確に行なうことを可能にする、シートボード検査装置における画像信号処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】背景色がほぼ一定のシートボード５を移動させつつラインセンサカメラ１、２により撮像し、撮像により得られた信号を処理した処理信号をモニター９、１０にて映像化し、モニター９、１０の画像を目視して欠陥を検出することを可能にするためのシートボード検査装置における画像信号処理方法であって、撮像信号の処理は、背景色の最多階調信号に近い階調信号部分を強調する処理である。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査結果の視認性を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置は、略円盤状に形成されたウェハの周部または周部近傍を表面検査する検査部と、検査部による表面検査の結果に関するグラフを作成するグラフ作成部と、検査部による表面検査に関する情報を表示する表示部とを備え、表示部は、ウェハの形状を模した略円形の図形Ｃ１を表示するとともに、当該図形Ｃ１の周部に、グラフ作成部により作成された棒グラフＣ２を、検査部により表面検査されたウェハの周部の周方向位置と対応させて放射状に表示するように構成される。 （もっと読む）