【課題】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハに含まれる不純物量を、効率的かつ高精度で測定可能とするために、最小限の工程で、測定試料を調製して分析する半導体ウエハの不純物分析方法を提供する。
【解決手段】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハ表面に、フッ化水素酸の濃度が０．３１〜０．００６３％、硝酸の濃度が６７．４〜６８％である混酸を接触させて溶解した回収液を加熱濃縮して、シリコン成分およびゲルマニウム成分を揮発させたものを測定試料として、高周波誘導結合プラズマ質量分析装置または原子吸光分析装置にて不純物分析を行う。 （もっと読む）

【課題】はんだ合金の構成元素含有量を迅速に定量する。
【解決手段】錫と銀を含有するはんだ合金の構成元素含有量を定量分析する方法において、はんだ試料を硝酸により分解する工程と、その分解溶液中の構成元素を定量分析する工程を具備することを特徴とするはんだ合金の構成元素の定量方法。これによって、不溶性成分を生成することなくはんだ試料を分解可能であり、はんだ合金の構成元素を迅速かつ正確に定量することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安価な石英容器を使用し、かつ容器に焼き付いた灰分を容易に溶解させ、分析時間の短縮が可能で、しかも、高度に試料中の金属不純物を分析できる分析方法を提供する。
【解決手段】試料を灰化処理し、得られた灰分を酸で溶解させて回収した後、回収したサンプルを分析することにより、試料に含まれる金属不純物の量を分析する方法において、石英容器中で試料を灰化処理し、得られた灰分をフッ化水素酸で溶解させて回収することを特徴とする金属不純物の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】 鉛蓄電池の負極板活物質中のリグニンを、正確に定量することができる分析方法を提供する。
【解決手段】 負極板の活物質を粉砕し、酢酸と過酸化水素水とを加えて溶解し、硫酸を加え、遠心分離法で硫酸鉛を沈殿させる。鉛元素を除去した上澄み溶液に、水酸化ナトリウム水溶液と二酸化マンガンとを加えて過酸化水素を分解し、ろ過して、ろ液を作製する。作製したろ液を、紫外可視分光光度計を用い、２９２ｎｍ付近の吸収波長で吸光度を測定し、測定値と検量線とを比較をして、リグニン量を定量する。 （もっと読む）

【課題】 最小限の機器を用いてコストの増大を抑えつつ、製造プロセスの圧力条件いかんにかかわらず最適な測定環境圧力のもとで高感度・高精度な分析を実現でき、かつ、分析計自体の耐久性向上も図れるようにする。
【解決手段】 減圧下の製造プロセスを経たプロセスガスを吸引し排気する排気系統２に介在される真空ポンプ３を、ガス排気方向に直列配置して各圧縮室６隔壁９で区画してなる複数段のルーツポンプ３Ａ〜３Ｅから構成し、これら複数段のルーツポンプ３Ａ〜３Ｅにおける圧縮室６の排気口の何れか一つに選択的に接続可能とした赤外線ガス分析計４によりガス成分を測定するように構成している。
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【課題】船底防汚塗料を塗布した複数の試料についての溶出試験を、同時に、かつ、効率よく行うことによって、正確な試験結果が得られるようにした船底防汚塗料の溶出試験装置を提供すること。
【解決手段】エージング液Ｗを貯留するようにしたエージング槽１と、このエージング槽１の上部に配設し、船底防汚塗料を塗布した複数の試料Ｔを並べて装着することができるようにした試料保持部２と、試料Ｔを装着した試料保持部２を各試料保持部２の鉛直軸を中心として回転駆動する回転駆動手段３と、この試料保持部２を昇降させる昇降手段４と、エージング槽１の内部に配設し、試料保持部２に装着した各試料Ｔに対応する位置に溶出試験用容器Ｃを設置できるようにした溶出試験用容器設置部材５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 ナノレベル構造組成観察用試料の作製方法に関し、試料にダメージを与えることなく、より容易に保護層を除去する。
【解決手段】 試料母体の表面に保護層２を形成したのち、保護層２上から加工を施すことによって試料母体を針状試料１に加工する際に、針状試料１の頂部から遊離した保護層成分４を検出することによって加工の終点を検出する。 （もっと読む）

【課題】
カルボニル化合物とカルボン酸の測定を同時に行うことができる方法、それに用いられる吸着剤、及びそれを用いた捕集管を提供すること。
【解決手段】
２，４−ジニトロフェニルヒドラジンとリン酸を含浸させた担体を有し、リン酸は、担体に対し０．２〜２（容量／重量）％の範囲内で含有されている吸着剤とする。また、２，４−ジニトロフェニルヒドラジンにカルボン酸及びカルボニル化合物を反応させる工程、該反応したカルボン酸及びカルボニル化合物を定量する工程、を有するカルボン酸及びカルボニル化合物を同時定量する方法とする。 （もっと読む）

【課題】元素分析前処理用容器であって、耐熱性と、耐酸性等の耐薬品性に優れ、かつ熱処理に最適な元素分析前処理用容器、及びこれを用いた元素分析方法を提供する。
【解決手段】元素分析の前処理で、少なくとも測定試料を溶剤で溶解する際に使用される容器であって、該容器の内容積に対する容器の熱容量の比の値が０．５ｃａｌ／（℃・ｃｃ）より小であり、又は該容器の肉厚に対する熱伝導率の比の値が０．０１ｃａｌ／（ｓｅｃ・℃・ｃｍ）（ｃｍ）以上であり、かつ容器の材質がセラミックである元素分析前処理用容器。 （もっと読む）

【課題】元素分析前処理用容器であって、耐熱性と、耐酸性等の耐薬品性に優れ、かつ高純度で容器由来の試料の汚染が殆どないとともに、特に放射性元素の分析に好適な元素分析前処理用容器、及びこれを用いた元素分析方法を提供する。
【解決手段】 元素分析の前処理で、少なくとも測定試料を溶剤で溶解する際に使用される容器であって、該容器のアルファー線放出量が０．１ＣＰＨ／ｃｍ^２以下であり、かつ容器の材質がセラミックである元素分析前処理用容器。 （もっと読む）

【課題】 含有砒素の毒性を正確に評価するべく化学形態別砒素分析を行えるように、砒素の化学形態を変化させず且つ各形態の回収率が揃うように固体試料を溶液化した試料溶液を調製する。
【解決手段】 秤量した試料にまず硝酸を添加して約１５０℃で加熱処理し（Ｓ１〜Ｓ３）、窒化物による褐色煙の色が薄くなったならば（Ｓ４、Ｓ５）、溶液に過塩素酸と硝酸とを添加して（Ｓ６）、従来の酸加熱分解法による加熱温度（３００℃以上）よりも低い約２４０℃で加熱処理する（Ｓ７）。この加熱処理によって硝酸は迅速に揮発するが、有機態砒素化合物の分解はあまり進まないので化学形態は維持される。そして、過塩素酸による白煙が出て残液量が添加した過塩素酸の約半分まで減ったならば（Ｓ８〜Ｓ１０）、加熱を終了し（Ｓ１１）、適宜蒸留水でメスアップして試料溶液を調製する。 （もっと読む）

【課題】空気を巻き込み難く、液体試料が漏出しにくく、取り扱い易く、周囲を汚染しない顕微鏡標本用プレートを提供する。
【解決手段】ガラス板２の表面に、内側凹状溝３ａ及び外側凹状溝３ｂにより囲まれた液体塗沫部４を設けたことを特徴とする。液体塗沫部４の尿沈渣等の液体試料が塗沫されるが、液体試料は内側凹状溝３ａで堰止められ、内側凹状溝３ａで堰止められない液体試料は外側凹状溝３ｂで堰止められ、周囲への漏出、汚染が防止される。 （もっと読む）

【課題】 有機系樹脂組成物を簡便に分解溶液化でき、樹脂組成物中の重金属元素を高精度で分析できる重金属元素の定量法を提供する。
【解決手段】 有機系樹脂組成物を有機物分解溶媒で分解溶液化すると共に、これをろ過して分析用の溶液を得る湿式分解工程と、湿式分解工程で得られた溶解残分を灰化し、得られた灰化物を再度有機物分解溶媒で分解溶液化すると共に、これをろ過して分析用の溶液を得る乾式灰化工程とからなり、湿式分解工程および乾式灰化工程で得られたそれぞれの溶液中の重金属元素を定量し、両者の分析結果を合計する方法である。 （もっと読む）

【課題】 １枚のシリコンウェーハであっても全部を分解した後、短時間で濃縮し、かつ、確実に不純物を回収し得るシリコンウェーハの不純物分析方法の提供。
【解決手段】 １枚のシリコンウェーハの全部又は一部分を、過酸化水素水と硫酸との混酸に浸漬した後、直ちにフッ化水素酸と硝酸との混酸の加熱によって発生する蒸気により溶解し、得られた溶液を加熱濃縮して高周波誘導結合プラズマ質量分析法又は原子吸光分析法により分析する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板を効率よく分解することができる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置１は、ドラフト内に設置されており、内部にシリコン基板２１と、分解液２２とが充填される容器１１と、加熱部１２と、支持板１３とを備える。支持板１３上にシリコン基板２１を設置し、容器１１内に配置する。支持板１３は、容器１１の容器本体１１１内に所定の角度を持って傾斜して配置されており、分解液２２の液面と平行に配置されていないので、分解液２２の気化を妨げることがない。これにより、シリコン基板２１の分解を効率よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】容器の構造を複雑化させずに、シリコン基板の分解速度を高めることができる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置１は、シリコン基板２１を分解するものであり、内部にシリコン基板２１と、分解液２２とが充填される容器１１を備える。この容器１１には孔１１３が形成されており、容器１１内部の気体は孔１１３を介して、外部に排出される。従って、容器１１からは、シリコン基板２１の分解反応に伴って発生する副生成ガスである二酸化窒素や、ＳｉＦ_４が排出されることとなり、シリコン基板の分解速度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの表面及び内部のほぼ全ての不純物を、非破壊で、簡単に、穏和な条件下で、短時間に抽出除去する方法を提供する。また、抽出された不純物を定量分析する方法を提供する。
【解決手段】シリコンウェハを、希薄酸水溶液からなる抽出液に浸漬し、この抽出液を加熱してシリコンウェハの不純物を抽出液中に抽出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、精米等のとぎ汁のＣＯＤ測定を簡略な操作にて自動的、且つ、迅速に行うことが可能なＣＯＤ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明のＣＯＤ測定装置は、装置本体２に設けた精米等の穀類試料を定量供給する試料供給手段３１と、水を供給する水供給手段１１と、水の温度を測定する温度測定手段９１と、装置本体２に設けた空気を供給する空気供給手段２１と、水、空気雰囲気下で、定量供給される穀類試料に対する曝気懸濁を行う撹拌槽４１と、撹拌槽４１にて曝気懸濁された穀類試料から穀類のとぎ汁を得るとぎ汁調製手段５１と、調製した穀類のとぎ汁を収納する試料セル６１と、試料セル６１内のとぎ汁に対して２波長光による吸光度計測を行う計測手段７１と、計測手段７１からの計測信号に基づき穀類のとぎ汁の測定温度におけるＣＯＤ値及び２０℃換算の補正ＣＯＤ値を求めるＣＯＤ演算手段１１１と、計測済みの穀類のとぎ汁を廃棄する廃棄手段８１と、を有するものである。 （もっと読む）