【課題】シリコン材料表層における金属不純物を迅速かつ簡易的に感度良く分析する。
【解決手段】分析対象サンプルを小分けし、小分けサンプルを複数の処理容器に入れる。第１処理容器にＨＮＯ₃液を注入し、ＨＦ液を添加して第１エッチング液を調製し、サンプル表層の金属不純物を第１エッチング液中に含ませる。処理後の第１エッチング液を第２処理容器に注入し、ＨＦ液を添加して第２エッチング液を調製し、サンプル表層の金属不純物を第２エッチング液中に含ませる。第１処理容器から処理後サンプルを取出し、内部を洗浄した後の第１処理容器に新たな小分けサンプルを入れる。処理後の第２エッチング液を第１処理容器に注入し、ＨＦ液を添加して第３エッチング液を調製し、サンプル表層の金属不純物を第３エッチング液中に含ませる。全ての小分けサンプルに対して同じ処理を繰返す。容器から処理後のエッチング液を回収し、液中の金属不純物を定量分析する。 （もっと読む）

【課題】シリコン溶液の量や分析の対象の形状にかかわらず適用でき、短時間で容易に分析でき、しかも高精度で信頼性の高いシリコンウェーハ中の汚染物の分析方法を提供する。
【解決手段】溶解されたシリコンウェーハを含むシリコン溶液７を製造用シリコンウェーハ８上に載置する載置工程と、前記製造用シリコンウェーハ８上で前記シリコン溶液７を加熱することにより、前記シリコン溶液７中のシリコン成分を除去する除去工程とを備えるシリコンウェーハ６中の汚染物の分析方法とする。 （もっと読む）

【課題】重金属が微量であっても、高感度で定量・定性分析を行うことができる重金属抽出方法を実現する。
【解決手段】本発明の重金属抽出方法は、液体サンプル中の重金属を陽イオン交換樹脂に吸着させる吸着工程と、抽出対象以外の重金属を溶出する洗浄試薬を用いて、陽イオン交換樹脂から抽出対象以外の重金属を除去する第１の除去工程と、抽出対象の重金属を溶出する溶出試薬を用いて、陽イオン交換樹脂から重金属を溶出する第１の溶出工程とを含むので、重金属が微量であっても、高感度で定量・定性分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はＶＰＤユニットのみを分離して他の各ユニットと分離し、ウエーハ表面の汚染度をフッ酸で分解させてＮ_２ガスによる清浄が行われる独立的なＶＰＤユニットを提供する。
【解決手段】本発明による半導体ウエーハ汚染物質測定装置のＶＰＤユニットは、四角桶状の本体であって、該本体の内部に所定の空間を形成し、該本体の底側に各支え具が形成されると共に各ガス排出及び吸入ノズルが位置し、上面は透明に透視窓を形成して該透視窓の中心に内部の雰囲気制御用検出端子を形成し、一側面を開放してウエーハ投入口を形成するＶＰＤユニット本体（１００）；及び前記ＶＰＤユニットのウエーハ投入口を密閉するようにカバーすると共に開放されるドア（１１４）を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明はウエーハが回転プレート上で真空圧力の吸入、排出制御で吸着維持される。
【解決手段】本発明は、円形の固定ハウジング１１と、該固定ハウジング１１の内側で回転可能に設置されてその中心部で吸着通路１３を形成すると共に底部の真空ポート１６と連結され、外側の回転力によって回転する吸着プレート１４と、該吸着プレート１４を駆動する前記固定ハウジング１１の底部に設置され、前記吸着プレート１４に接続されるステップモーター１７から成るステージ本体１０；該ステージ本体１０の固定ハウジング１１の下部空間を形成する柱２２で支えられるベースプレート２０；該ベースプレート２０が上、下移動するその底部でシリンダーロッドに連結されるシリンダー２４；前記ステージ本体１０の外側でウエーハを支える各ジグ３０を含む。 （もっと読む）

【課題】少なくともＳｎとＧｅとを含有する合金の組成を、迅速かつ精度よく分析することができる、合金の組成分析方法及び組成分析装置を提供する。
【解決手段】この合金の組成分析装置１は、所定量の合金を無機酸で処理して、溶液部分と、Ｇｅ沈殿部分とに分離させる分離させる分離手段１２と、前記溶液部分及び前記Ｇｅ沈殿部分を、それぞれ組成分析する分析手段１５と、前記分離手段及び前記分析手段によって組成分析がなされた標準試料に基づいて、分析すべき分析試料の組成分析を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて行う試料分析手段２０とを有している。 （もっと読む）

【課題】従来、高純度のクロロシラン類中の無機系不純物元素の分析においては試料の加水分解反応は塩化水素、ケイ酸の生成と熱の発生を伴う激しい反応であり、効率良く安全に分解することが極めて困難であった。また気体試料の場合、微量不純物の検出のためには大量の試料を扱う必要があり、分解に時間がかかる問題があった。
【解決手段】本発明の分析法により、冷却固化させた試料と、同様に予め冷却固化させたフッ化水素酸、あるいは液体のフッ化水素酸を接触させることにより、クロロシラン類を安全で穏やかに短時間で分解できる。その後、副生成物を加熱気化により除去すると共に、微量不純物を濃縮することで高感度に不純物を分析できる分析試料の処理の提供を目的とする。 （もっと読む）

【課題】シリカフィラーを含む封止樹脂中の金属細片の大きさおよび個数を検出する方法を提供すること。
【解決手段】シリカフィラーを含む封止樹脂中に含まれる金属細片を検出する方法であって、前記封止樹脂を有機溶剤に溶解する工程、前記樹脂が溶解した前記有機溶剤中の前記シリカフィラーを酸で処理して前記シリカフィラーを選択的に溶解し、前記金属細片を単離する工程、前記金属細片の大きさおよび個数を測定する工程、を含む、検出方法。 （もっと読む）

【課題】 試料中の金属等の不純物を分析するために繰り返し使用可能なガラス状カーボン容器を提供することを目的とする。
【解決手段】 目的に応じた適当な大きさの樹脂ブロックを作製し、切削加工により目的の容器を得た後、焼成し、研磨することにより、（Ｒａ）０．１μｍ以下の液体保持用の容器を作製する。この方法によれば、仕様に合わせた個別の型を使用する必要がなく、かつ分析用治具として十分な純度を有するガラス状カーボンの治具が提供可能である。 （もっと読む）

【課題】ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニル樹脂などのプラスチック試料中に含まれる金属元素を分析する方法であって、簡便に効率よくプラスチック試料を溶解させ、試料中に含まれている微量の金属元素を精度よく分析できるようにしたプラスチック試料中金属元素の分析方法の提供を目的とする。
【解決手段】プラスチック試料中の金属元素をグラファイト原子吸光分析法により分析するプラスチック試料中金属元素の分析方法において、該プラスチック試料の溶解を、ヘキサフルオロイソプロパノール溶媒、あるいはヘキサフルオロイソプロパノールおよびテトラヒドロフランもしくはクロロホルムとの混合溶媒を用いて行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】注入口からの液の噴出を防ぐ。
【解決手段】一端を霧化室に接続されたＵ字状のドレインチューブ２０の他端にドレインポット２５を設け、内部にフロートを浮かべる。さらに、ドレインポットには、穴２１ａを有するふた２１を設ける。穴２１ａの大きさは、フロート２２よりも小さい。フロート２２は、ドレインチューブ内の液の移動に合わせて、ドレインポット２５内を上下する。液の急激に移動した場合、フロート２２が穴２１ａに当接し、穴２１ａを塞ぐ。 （もっと読む）

【課題】試料中の金属を極力多量の液体（加圧熱水）中に溶出させる金属溶出方法、その金属溶出方法を前処理として用いる金属分析方法、及び上記金属溶出方法を行うための金属溶出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料を加圧熱水中に分散させた状態で、加圧熱水と接触させることにより金属を溶出させる第一接触工程と、フィルターに捕捉された試料を更に加圧熱水と接触させることにより金属を溶出させる第二接触工程とを備える金属溶出方法。また、第一接触工程及び第二接触工程が加圧熱水を定常的に流した状態で行われる金属溶出方法。 （もっと読む）

【課題】カドミウム以外の金属イオンを除去しカドミウムを濃縮させるという前処理が迅速に実施できるカートリッジ、及び該カートリッジを用いた試料中のカドミウムを分析する方法を提供する。
【解決手段】収納部及び複数の口を有し該口以外は密閉されたカートリッジにおいて、該口の少なくとも１つの口は試料注入口であり、試料注入口の断面積は収納部の断面積よりも小さく、試料注入口と収納部との間にはフィルターが具備されており、収納部にはカドミウムを選択的に吸着する剤を担体に固定化した充填材が充填されてなるカートリッジ；並びに
該カートリッジに試料を通液し、0.05M以上の塩酸水溶液を通液したのち、硝酸水溶液を通液し、得られた硝酸水溶液による脱離分のカドミウム含有量を測定することを特徴とする分析方法。 （もっと読む）

【課題】 低コストでかつ構成が簡素である、サンプル液中の分析対象成分をオンサイトでリアルタイムに繰り返し分析する測定システムに有用な、サンプル液中の分析妨害成分をインラインで除去する分析妨害成分除去システムの提供。
【解決手段】 サンプル液中の特定成分をインラインで除去する成分除去システムであって、前記サンプル液をラインに導入する導入手段と、当該サンプル液中の前記特定成分をライン内で沈殿させる手段と、沈殿した前記特定成分をライン内で濾過する濾過手段と、前記濾過手段からの濾液を排出する排出手段と、前記濾過手段に蓄積した前記特定成分を再溶解させて当該濾過手段を洗浄する洗浄手段とを有する、成分除去システム。 （もっと読む）

【課題】製鉄プロセスで生成される製鉄スラグなどの酸化物系無機材料中の硫酸マグネシウムを精度良く、迅速かつ簡便に定量できる酸化物系無機材料中の硫酸マグネシウムの定量分析方法を提供する。
【解決手段】抽出溶媒による酸化物系無機材料試料中の硫酸マグネシウムの定量方法において、前記抽出溶媒としてエチレングリコールを用い、前記試料を含む抽出溶媒を攪拌しながらマグネシウムの抽出を開始し、前記硫酸マグネシウム中のマグネシウムが抽出完了後、該抽出溶媒中のマグネシウム濃度を測定し、該測定値を基に、前記試料中の硫酸マグネシウム含有量を求めることを特徴とする硫酸マグネシウムの定量方法。 （もっと読む）

【課題】有機物の付着による分解充填剤の機能低下を防止し、原子吸光分析時における有機物に起因した水銀濃度０値のドリフトを補正可能な排ガス中の水銀分析方法およびその装置を提供する。
【解決手段】分解温度を有機物の気化温度より高くしたので、排ガス中の二価水銀の金属水銀への分解時、有機物の表面付着による分解充填剤１６ｂの機能低下を防げる。また、ゼロ調整時には、吸光セル２１へ入る直前の排ガスを水銀除去器２８の金と接触させて水銀を除去し、有機物を含む排ガスを原子吸光分析するので、水銀除去器２８に活性炭を入れた従来技術のより長期間、有機物に起因した原子吸光分析器２９の水銀濃度０値のドリフト補正効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】簡易に安定な試料液を調製することができるケイ素化合物含有試料中の不純物分析用試料液の調製方法を提供する。
【解決手段】ケイ素化合物含有試料の不純物分析用試料液を、ケイ素化合物含有試料をアルカリ融解し、このアルカリ融解後の融成物をアルカリ性の水性溶液として調製する。こうすることで、簡易にかつホウ素などの不純物を安定して溶解する試料液を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二酸化ケイ素含有化合物及びポリビニルピロリドンを含有する組成物中の二酸化ケイ素とＮ−ビニル−２−ピロリドン重合物の簡便な分離方法、及び二酸化ケイ素含有化合物とＮ−ビニル−２−ピロリドン重合物を含有する組成物中に含まれる二酸化ケイ素の、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン重合物の妨害を受けることのない定量方法を提供する。
【解決手段】本発明は、二酸化ケイ素含有化合物及びＮ−ビニル−２−ピロリドン重合物を含有する組成物をメタノール及び／又はメタノール・水混合溶媒で洗浄する、二酸化ケイ素とＮ−ビニル−２−ピロリドン重合物の分離方法、及び当該分離方法により二酸化ケイ素とＮ−ビニル−２−ピロリドン重合物を分離した後、二酸化ケイ素含有化合物を含有する試料中の二酸化ケイ素含有化合物を、分析試料として溶解した二酸化ケイ素を使用する分析手段を用いて定量化する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】簡便で信頼性の高いボーリング孔を利用した地下水の連続サンプリング方法および装置を提供する。
【解決手段】液体試料１はポンプ２により吸引し、微粒子を排除するためフィルターユニット３を通過させた後、バルブ４を介して試料保管流路５に注入し、バルブ４およびバルブ６は開放状態にする。試料保管流路５には、直径６ｍｍ、長さ６ｍの糸巻き状に複数回巻かれているチューブを用いる。液体試料１を回収した後、バルブ４およびバルブ６を閉じた状態で、分析を行う場所まで移送する。その後、バルブ６を介して、水質分析装置７と接続する。その後、バルブ４およびバルブ６を開き、ポンプ２を用いて純水８をフィルターユニット３側から試料保管流路５に送液し、試料保管流路５に保存されていた液体試料を所定の試料保管流路長さに相当する分量毎に水質分析装置７に移送し、水質分析を行う。 （もっと読む）

【課題】試料の分解中に、試料がオーバーヒートしそうになった時に、即座に試料へのエネルギー供給を停止して、試料の変質を抑制することを可能とする、試料の分解方法および試料の分解装置を提供する。
【解決手段】試料に薬液を加えて密閉しマイクロ波を照射することを特徴とする試料の分解方法。反応容器を収容する空所を有するマイクロ波シールドと、該マイクロ波シールドの前記空所内に収容された反応容器内の温度を測定するための非接触式温度測定手段と、前記マイクロ波シールドの空所内に収容された反応容器内の圧力を測定するための圧力測定手段と、前記マイクロ波シールド内にマイクロ波を発生させるためのマイクロ波発生手段と、前記非接触式温度測定手段と前記圧力測定手段の情報を取得して前記マイクロ波発生手段の出力を制御するフィードバック手段とを備えていることを特徴とする試料の分解装置。 （もっと読む）