【課題】ウェーハの表面を検査する装置及び方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの広帯域スペクトルによりウェーハの画像領域を照明する照明手段、照明に基づくウェーハの画像領域の多色イメージングのための検出器を備えた光学画像手段、及び複数の狭帯域スペクトルを選択する画像手段を具備したフィルタ装置を有するウェーハの表面を検査する装置と、複数の狭帯域スペクトルを共通の強度レンジに平均化し、少なくとも１つの広帯域スペクトルによりウェーハの画像領域を照明し、照明に基づいて画像領域から複数の狭帯域スペクトルを映すステップを有するウェーハの表面を検査する方法が実現する。 （もっと読む）

【課題】 多種の測定方法に対応でき、省スペース、低コスト、操作簡便な分析装置を提供する。
【解決手段】 測定対象物１０４を測定チャンバー１０５中に含有した分析用媒体１０１は、分析装置中（図示せず）にセットされ、測定チャンバー１０５は、光源１０６から発せられる光１０８で照射され、その光１０８は測定チャンバー１０５を通過して検出器１０７に到達する。このとき、測定対象物１０４の測定方法に応じて、検出器１０７と分析用媒体１０１との間に配置された光遮蔽手段１０９により検出器１０７へ到達する光１０８の範囲を制限できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】蛍光タンパクを導入した生細胞のように制約の多い細胞の撮像に関して、複数の生細胞を長期培養しながら、照明光による細胞へのダメージを最小限に抑え、複数の時刻の複数の視野で露出適正な細胞画像の撮像を可能にする。
【解決手段】露出検出設定部３０９によって視野毎に過去に撮像した撮像済みの細胞画像の輝度値に基づいて次回撮像時の露出条件を設定し、次回撮像時には各視野毎に設定されたそれぞれの露出条件に従い撮像部２０１で細胞を撮像するようにすることで、複数の視野に跨る多数の細胞を視野毎に適正な露出で撮像することができ、このためにも、露出計測のため専用の余分な照明光の照射を要せず、本来の細胞撮像のための照射で済み、細胞に与えるダメージを最小限に抑えることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ゲル状物体およびゾル状物体のゲル状態またはゾル状態またはゾル−ゲル状態変化について非破壊且つ非接触で迅速且つ高精度に評価することができる物体の評価方法および評価装置を提供する。
【解決手段】 ゲル状またはゾル状の物体１にコヒーレントな光２を照射する光源３と、前記光２の結像面における光強度分布を断続的にまたは連続的に測定するセンシング手段４と、前記センシング手段４から出力された測定時刻の異なる２以上の前記光強度分布信号を比較・演算して光強度分布の時間的な変動を求め、当該光強度分布の時間的な変動に基づいて前記物体のゲル状態またはゾル状態またはゾル−ゲル状態変化を評価する信号処理装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】内部に屈折率分布を有する透明体の屈折率分布を測定する際、画像撮影装置から出力される受光データに雑音が発生しても高精度に測定する。
【解決手段】屈折率整合液２が収容された屈折率整合液槽３と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体４と、屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置５と、屈折率整合液中に浸漬された透明体及び画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置６とからなる光学系において、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を画像撮影装置で複数回撮像してそれぞれの受光データを出力し、各受光データを１つの投光画像データになるように雑音処理を行い、当該雑音処理により生成された１つの投光画像データから透明体の歪み量を解析することで透明体の屈折率分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】 試料からの微弱な散乱光を、超小角領域まで精度よく検出できる光散乱測定装置を提供する。
【解決手段】 レーザー光源１１と、レーザー光源１１からの光を集光する第１のレンズ１２と、ピンホールｄを有するピンホール板１３と、第１のレンズ１２からピンホールｄを介して入射した光を平行光にする第２のレンズ１４と、第２のレンズ１４から入射した平行光を検出器１７の検出面に備えられたビームストッパー１６で焦点を結ぶように集光する第３のレンズ１５とを設ける。また、ピンホールｄとビームストッパー１６とを光学的に共役な位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモン励起用の複数の照射光束を形成する過程で光束分岐する際の光量損失が少なく、かつ各照射光束を高精度にアライメントすることが可能で、小型化も容易な光束分岐出力装置および複数光束出力型の測定装置を得る。
【解決手段】光束分岐出力装置３において、出射モジュール９から空間に出射された１つの光束を分岐させる分岐光学系１７は、第１、第２および第３の光束分岐手段１１，１２，１３により構成されている。第１の光束分岐手段１１は４個のプリズム単体Ｐ_１〜Ｐ_４により、第２の光束分岐手段１２は２個のプリズム単体Ｐ_５，Ｐ_６により、また第３の光束分岐手段１３は１２個のプリズム単体Ｐ_７〜Ｐ_１８により、それぞれ構成されており、１つの光束を測定光束用と参照光束用との各一対の１２組の光束に分岐する。 （もっと読む）

【課題】 精密計測装置に用いることができる計測素子を提供する。
【解決手段】低コヒーレント光を含む光源と、該光源からの光線を２本の光線に分岐する光分岐／合流部と、分岐された光線の一方が照射される対象物が設置されるステージ部と、前記光分岐／合流部と前記ステージ部との光路の間に設けられた光を集光する集光部と、分岐された光線の他の一方が照射されるミラー部とを有し、前記対象物からの反射光（１）と前記ミラーからの反射光（２）を前記光分岐／合流部により再度合流させて干渉させ、前記対象物またはミラーの位置を、移動させることにより、前記対象物からの反射光（２）の光路長が同一となる位置を、光路長が同一の時に振幅が最大になる干渉波形の包絡線にフィッティングした理論曲線のピークの位置から求め、さらに、前記干渉波形の位相差から対象物の位置を特定することを特徴とする、計測素子。 （もっと読む）

【課題】 計測する出力光のダイナミックレンジが大きい場合でも被測定試料の光吸収係数を決定することができる吸収計測装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る吸収計測装置１は、測定光７０を出力する光源１０と、それぞれの反射面が０より大きな角度を有して対向して配置された第１の鏡２１と第２の鏡２２とを有し、測定光７０を入射して多重反射を経て複数箇所から出力する共振器２０と、第１の出力光７１を検出して第１の検出信号を出力する第１の検出手段３０と、第１の検出手段３０より感度が高く、第１の出力光３０よりも共振器２０内における反射回数の多い第２の出力光７２を検出して第２の検出信号を出力する第２の検出手段４０と、第１の検出信号と第２の検出信号とに基づいて第１の鏡２１と第２の鏡２２との間に入れられた被測定試料の光吸収係数を決定する決定手段５０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 監視カメラ等の撮像手段を用いながらも、外光の影響及び種々の変動要因の影響を低減することができ、これにより、視認状況を示す測定結果を高い精度で得る。
【解決手段】 指標６は、発光可能な第１の領域と、この領域から位置のずれた非発光の第２の領域とを有する。監視カメラ１は、前記第１及び第２の領域を撮像する。処理装置３は、第１の領域の発光時に得られた画像に基づく発光時第１領域撮像輝度情報Ｌ及び発光時第２領域撮像輝度情報Ｖと、第１の領域の非発光時に得られた画像に基づく非発光時第１領域撮像輝度情報Ｌ０及び非発光時第２領域撮像輝度情報Ｖ０とを、取得する。処理装置３は、第１領域差分輝度情報Ｌｒ＝Ｌ−Ｌ０と第２領域差分輝度情報Ｖｒ＝Ｖ−Ｖ０との比Ｌｒ／Ｖｒを取得し、この比Ｌｒ／Ｖｒに応じて視程を得てこれを出力する。 （もっと読む）

【課題】 微小な病変も容易に検知できる歯の光干渉トモグラフィー装置を提供する。
【解決手段】 可変波長光発生装置１１と、可変波長光発生装置１１からの光を測定光と参照光とに分割する第二のカプラ１３と、第二のカプラからの測定光を口腔内の歯１００に照射すると共に、歯１００から反射した信号光を捕捉するプローブ３０等と、信号光と参照光とを合波する第三のカプラ１６と、可変波長光発生装置１１からの光を目的とする波長領域となるように可変波長光発生装置１１を制御すると共に、可変波長光発生装置１１から発生させた光の波長領域及び信号光の強度に基づいて、歯１００の特性を求める演算制御装置２１等とを備えると共に、演算制御装置２１が、異なる複数の波長領域の光を発生させるように可変波長光発生装置１１を制御すると共に、信号光の強度を各波長領域ごとに求めることにより、歯１００の特性を求める。 （もっと読む）

【課題】 計測する出力光のダイナミックレンジが大きい場合でも被測定試料の光吸収係数を決定することができる吸収計測装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る吸収計測装置１は、対向して配置された第１の鏡２１と第２の鏡２２とを有する共振器２０と、共振器２０への入射角が０より大きな角度を有する測定パルス光７０を第１の鏡２１へ入射させる光源１０と、共振器２０の複数箇所から出力される出力光のうち第１の出力光７１を検出して第１の検出信号を出力する第１の検出手段３０と、第１の検出手段３０より感度が高く、第１の出力光７１よりも共振器２０内における反射回数の多い第２の出力光７２を検出して第２の検出信号を出力する第２の検出手段４０と、第１の検出信号と第２の検出信号に基づいて第１の鏡２１と第２の鏡２２との間に入れられた被測定試料の光吸収係数を決定する決定装置５０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
小型化を考慮しながら画質を向上できるようにする。
【解決手段】
筺体２の上面２Ａのうち、短手他端ＥＤ２の近傍に載置部７を設け、当該載置部７に対向する撮像開口部３と、短手一端ＥＤ１との間に反射板６を設けると共に、当該撮像開口部３下方における筺体２の内部に、載置部７に載置された指ＦＧを経由して反射板６により折り曲げられた近赤外光を、血管画像信号Ｓ１として出力するＣＣＤ撮像素子４を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 偏光分離素子の屈折率変調量を精度良く特定し、効率良く評価する評価装置及び評価方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 レーザ光源２１から偏光分離素子１０にレーザ光を照射して回折効率を測定する。この際に、温度制御手段２５を用いて偏光分離素子１０の温度を制御する。これにより、屈折率変調量と回折効率の関係（結合波理論）、及び回折効率の温度特性から、回折効率に対応する屈折率変調量を特定することが可能となり、偏光分離素子１０の屈折率変調量を算出することが可能となる。 （もっと読む）

患者を監視するシステム及び方法は、反射回避及び他の像形成モードを使用する。潅流、酸素飽和、酸素入手性、等に関する情報を得ることができる。システムの実施形態は、光源と、光源からの光を検査基質に投影し、その検査基質により反射される光を伝送するように構成された光搬送本体と、この光搬送本体と光学的通信状態にある分析区分とを備えている。光源をパルス付勢して、システムにより発生されるビデオ像のクオリティを改善することができる。 （もっと読む）

病原体検出装置は、環境空気を収容するためのサンプル領域と、サンプル領域の片側にあり、サンプル空気を通過するように収束光線を指向し、それによりサンプル領域中に存在する種々の寸法の粒子により光線の一部が種々の角度に散乱し、光線の散乱されない部分が散乱されないままである光源と、サンプル領域の反対側にあり、少なくとも光線の散乱されない部分を遮光し、少なくとも散乱光の部分を光路に沿って指向させる光線遮光装置とを有する。該検出器は各パルスが粒径に比例する高さを有する出力パルスを生成し、パルス高さ判別器は所定時間における空気サンプル中で検出される空中浮遊粒子の粒径分布を得る。約１〜７μｍの範囲の所定病原体寸法の粒子数が所定の通常レベルを超えると警告信号を発生する。
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【課題】 生体や溶液中の特定成分を測定するための従来の光学測定装置には、外乱光による生体情報測定への悪影響が発生することがあるという課題があった。
【解決手段】 発光された光を入射する光入射面１１、生体組織が接触する生体組織測定部１３、および生体組織が接触した生体組織測定部１３で反射された光、または生体組織が接触した生体組織測定部１３を介して生体組織を通過してきた光を出射する光出射面１２を有するプリズム１００と、生体組織測定部１３を露出させ、プリズム１００の外周部の全部または一部を包囲するように設けられたプリズムカバー１４とを備えた、生体情報測定用光学部材である。 （もっと読む）

【課題】
高い走査速度と改善されたＳ／Ｎ比で検出する走査顕微鏡の提供。
【解決手段】
本発明は、対象物（１）を結像するための走査型顕微鏡であって、光源（２）と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択素子（８）と、ほぼ無段階に可変調整可能なスペクトル選択性検出装置（４）と、光源（２）から対象物（１）まで延在する照明ビーム路（３）と、対象物（１）から検出装置（４）まで延在する検出ビーム路（５）とを有し、スペクトル選択素子（８）により光源の光が対象物照明のために選択可能であり、スペクトル選択素子（８）により、対象物（１）で反射および／または散乱された光源（２）の選択光が検出ビーム路（５）から分離可能であり、検出ビーム路（５）に延在する光の少なくとも１つの波長領域がスペクトル選択性検出装置（４）により検出可能である走査型顕微鏡に関する。そして対象物（１）を高い走査速度と改善されたＳ／Ｎ比の下で検出するために、照明ビーム路（３）と検出ビーム路（５）とは共焦点スリットスキャナのように構成されている。
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【課題】記録媒体上の画像の光沢感を、目視評価とほぼ一致させて、客観的数値によって評価する方法及び装置を提供する。
【解決手段】評価方法は、式（１）：
Ｃ＝Ｓ／（Ｗ−Ｒ） （１）
（Ｃは光沢鮮明度、Ｓは写像性値、Ｗは全幅光沢度、Ｒは限幅光沢度）
によって計算される光沢鮮明度（Ｃ）に基づいて評価する。装置１０は、記録画像サンプル２又は標準鏡面板の載置台１、載置台上の記録画像サンプル又は標準鏡面板に光を照射することのできる光源１１、載置台上の記録画像サンプル又は標準鏡面板からの反射光を受光することのできる受光器２１、及び写像性値測定モードでは、受光器の前に移動可能な光学クシを設けることができ、限幅光沢度測定モードでは、受光器の前に限幅スリットを設けることができ、全幅光沢度測定モードでは、限幅スリットを受光器の前から取り除くことができる反射光測定補助手段２２を有する。 （もっと読む）

【課題】 単一枚の半導体基板の表裏両面の有効活用により、製作コストの著しい低減化並びに薄型化、小型化を達成しつつ、検出性能の向上を実現することができるようにする。
【解決手段】 シリコン基板２の表裏面のうち一方の面に異種金属の接合によるサーモパイル７などを用いた赤外線センサ部３がダイヤフラム１１上に支持させて形成されているとともに、他方の面に光学干渉多層からなる受光波長選択用光学フィルタ４が形成されている。
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