【課題】排気ガスに含まれているＰＭを直接的に集塵するとともに、その濃度を検知することができる検知装置及び方法を提供すること。
【解決手段】電源部１０と、排気管内に設置され、一対の平行平板からなる電極部１１と、電源部１０により電極部１１に対して所定の電圧が印加され、排気管内の排気ガスに含まれている粒子状物質（ＰＭ）を電極部１１に付着させた後、電極部１１の電気的特性を測定し、測定された電気的特性から排気管内の排気ガスに含まれている粒子状物質の濃度を検知する検知部１２と、を備える。 （もっと読む）

例示的な一実施形態は、半導体の製造中に、半導体ウェハ（１０２）またはリソグラフィマスク（２０２）などの平坦リソグラフィ物体と、チャック（１０４）との間の不要パーティクル（１２２）の存在を検出するための方法（５００）である。例示的な方法は、この実施形態においては、前記半導体ウェハ（１０２）などの前記平坦リソグラフィ物体を前記チャックの上に配置するステップ（５０４）を含む。前記方法は、前記チャック（１０４）と半導体ウェハ（１０２）間のキャパシタンスの、前記不要パーティクルにより引き起こされる変化を測定する（５０６）など、前記チャックと前記平坦リソグラフィ物体により、両者の間に形成される少なくとも１つの電気的特性の変化を測定するステップを含む。
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ガラス及び石英ガラスナノポアの表面の化学的修飾は、ナノポア全体への局在化された二重層形成及びそれに続くイオンチャネル記録のために理想的な表面特性をもたらす。表面修飾無しでは、ナノポア開口部を覆って広がるように、ガラス毛管上に支持された二重層を形成することができる。穏やかな疎水性表面への表面特性変化は、ガラス上部に脂質単層を作り、そして同時にナノポア開口部を覆う二重層をもたらし、脂質二重層領域において単一のタンパク質イオンチャネルを効率的に囲い込む。修飾ナノポアを覆う二重層構造は、電流がタンパク質イオンチャネルだけを流れるようなものである。タンパク質イオンチャネルは、ポア開口部上部の二重層の中へ拡散することができるが、この領域を離れて脂質単層に入ることはできない。ナノポア開口部を覆って形成される二重層は、高い電気的崩壊電圧を示し、機械的振動に対して安定であり、そして長寿命である。
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【課題】滅菌または殺菌化学物質の濃度のリアルタイムモニタリング及び電子制御のシステムを提供する。
【解決手段】半導体感知素子を滅菌チャンバ１内に搭載する。受信ユニットは、固体感知素子をモニタリングし、例えば温度、圧力、相対湿度、空気流速、酸化物質濃度およびこれらの組合せである環境パラメータ値の第１の組における滅菌剤のベースライン濃度に対応するベースライン電気的特性値を格納する。受信ユニットは、リアルタイムな半導体感知素子の電気的特性の変化をベースライン特性値と比較して、これにより、滅菌剤濃度のリアルタイムな指標を提供する。滅菌装置制御部１２は、この受信ユニットからのリアルタイムの滅菌剤濃度に従って、滅菌チャンバ中の滅菌剤の濃度および他の滅菌システムパラメータを制御する。 （もっと読む）

【課題】プローブ固定化基体の製造過程において全数検査を行い、製造されたプローブ固定化基体が全て良好な測定精度を有することを可能にする、プローブ固定化基体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】生体分子を検出するための生体分子プローブ固定化基体の製造方法であって、標的生体分子と相互作用し得る生体分子プローブを、基体に備えられた電極に固定する工程と、該基体の電極に固定された生体分子プローブ量を電気化学的に測定し、固定量が所定の範囲外である電極を除外する工程とを具備することを特徴とする、生体分子プローブ固定化基体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ｃＭＵＴ（容量型マイクロマシン加工トランスデューサ）技術に基づくセンサーを提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサーは、複数のセンサー素子のアレイを含むが、センサー素子を１つのみ含んでもよい。センサー素子は、支持フレームによって基材上に支持された機能性膜を含む。これらの機能性膜、支持プレーム、及び基材は、共に真空ギャップを形成する。センサー素子は、このセンサー素子を開回路共振周波数状態下又はその付近で作動させるように構成された電気回路に接続している。機能性膜の機械的共振周波数は、膜への物質の結合に応答する。したがって、センサーは、センサー素子の機械的共振周波数に応答するセンサー出力を提供する検出器をも含む。 （もっと読む）

【課題】 トナー電荷測定器において、画像形成装置の現像器に隣接あるいは内蔵できる小型の帯電量測定器を提供することを目的とする。
【解決手段】 互いに平行に配置され四重極棒状電極と、四重極の径方向に電場を発生させる交直重畳電源と、四重極を囲むチャンバと、棒状電極間に、帯電したトナーを導入するチャンバのトナー導入手段と、棒状電極間を軸方向に沿って通過したトナー粒子を排出するチャンバに設けたトナー排出手段と、前記棒状電極間を軸方向に通過できなかったトナー粒子排出用のチャンバ側壁に設けられた非通過トナー排出手段と、軸方向に沿って通過したトナー排出手段から出てきた帯電トナー粒子を捕捉する四重極の軸上のトナー排出手段の下流に配置されたファラデーカップと、当該ファラデーカップに蓄えられた電荷を定量するエレクトロメータとで構成されたことを特徴とするトナー電荷測定装置を主たる構成にする。 （もっと読む）

【課題】 ポンプなど機構的に複雑な試料供給手段を必要とせず、単純な構造でメンテナンスが容易、かつ、高感度な微生物検査チップを提供する。
【解決手段】 検査対象となる微生物を含む試料液を保持するリザーバ部３と、リザーバ部３に保持された試料液を回収する回収部６と、リザーバ部３が保持する試料液を、毛細管現象により回収部６へ導入する細管部５と、細管部５に設けられた、微生物を測定するための誘電泳動電極４と、誘導泳動電極４に交流電圧を印加してインピーダンス変化の測定を行う測定本体８との電気的接続を行う外部端子７とを備える。 （もっと読む）

【課題】、特定の添加元素を含むスクラップシリコンを容易に、短時間でかつ確実に選別する方法を提供する。
【解決手段】各スクラップシリコンをエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（ＥＤＸ）による非破壊分析にかけ、得られたスペクトルデータから前記特定の添加元素を含んでいるか否かを判定し、この判定結果に基づいて特定の添加元素を含むスクラップシリコンを選別する。また、各スクラップシリコンの電気抵抗率を測定し、その測定結果からスクラップシリコンに含まれる添加元素の濃度を推定する。 （もっと読む）

【課題】 飛灰中に含まれる水分量を正確に計測することができ、これにより、飛灰を混練する工程および炭酸化する工程前のそれぞれにおいて、適正な水分量を添加することができ、安定した水分量を有し、また、炭酸化工程後のｐＨを安定的に維持して鉛等の溶出を確実に防止することのできる飛灰の処理方法を提供する。
【解決手段】 水分を添加しながら飛灰を混練する工程を包含する飛灰の処理方法において、飛灰の電気抵抗を計測し、飛灰中の水分濃度と飛灰の電気抵抗との相関関係に基いて、飛灰中の水分濃度を所望の濃度に調整することにより飛灰を混練する工程を行う。 （もっと読む）

血液検体の自動分析方法は：単一の希釈・分析タンク内で、前記血液検体、希釈液および：赤血球を細胞溶解するための少なくとも１つの化合物；色素形成錯体の形のヘモグロビンを安定化するための少なくとも１つの化合物；を含有する分析溶液を形成し、この分析溶液について前記タンク内で赤血球の細胞溶解の後に分光測光によりヘモグロビンの割合を測定し、そして、前記タンク内のこの分析溶液の適量を採取して、それに対して光学手段による白血球弁別を行うことからなり、その特徴は、この分析溶液は、更に、白血球を保護するための少なくとも１つの化合物（少なくとも４つの主要な白血球サブ母集団を分別するのを可能にする）を含有する。この方法を実施するための血液学装置も開示されている。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の良否を高速に検査できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象である液晶パネル（ガラス基板）１０の上部にセンサ１を固定して、その検査対象１０をエアフローにより浮上させて非接触検査を行う際,測長部４によるレーザ測長によりセンサ１と液晶パネル１０間の距離を計測し、その結果をもとにセンサ側からも、エアー噴出部１１によるエアー噴出を行ってセンサ１と液晶パネル１０間の間隔（ギャップ）を制御する。 （もっと読む）

【課題】 正及び負の誘電率異方性を持つネマティック液晶材料の物理特性を決定することができるネマティック液晶材料の決定装置を提供すること。
【解決手段】 垂直配向を施した基板で負の誘電率異方性を持つネマティック液晶材料を狭持する液晶テストセル１４に一つあるいはそれ以上の単発パルス電圧を印加する電圧印加手段１１と、液晶テストセルに一つあるいはそれ以上の単発パルス電圧を印加し、前記液晶テストセルに流れる過渡電流波形を測定する測定手段１６〜１８と、前記液晶テストセルに一つあるいはそれ以上の単発パルス電圧を印加したときに流れる過渡電流波形を理論的に計算する計算手段２０と、両過渡電流波形が整合したときの物理特性を前記液晶テストセルの液晶材料の物理特性と決定する決定手段２０と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 画像形成装置が設置された環境に影響されることなく、媒体に含まれる水分量を正確に求めることを可能とした水分量判定装置、画像形成装置を提供する。
【解決手段】 画像形成装置は、水分量検出センサ８０、制御部９００を備える。制御部９００のＣＰＵ９０１は、搬送路の静電容量領域に用紙が無い状態のときの水分量検出センサ８０から取得した周波数データに基づき、温度テーブルを参照し、温度を判定する。また、ＣＰＵ９０１は、静電容量領域に用紙が無い状態のときの水分量検出センサ８０から取得した周波数データと、静電容量領域に用紙が有る状態のときの水分量検出センサ８０から取得した周波数データと、判定温度に基づき、水分量テーブルを参照し、用紙に含まれる水分量を判定する。 （もっと読む）

【課題】 粒子捕捉手段で捕捉した粒子の高濃度化の効果を減殺することなく、粒子センサの正確なキャリブレーションを行うに十分な時間を確保できるセンサ配置位置を実現する。また、流速に依存しない出力値を得る。
【解決手段】 流体が流れる配管１５の近傍または内部に第１粒子捕捉手段を設け、流れの方向１６の下流側の配管１５の近傍または内部に粒子センサ１２および第２粒子捕捉手段２８を配置する。第１粒子捕捉手段１１によって流体内に存在する粒子１７を所定時間捕捉し、これを解放すると共に第２粒子捕捉手段２８による粒子１７の捕捉を開始する。その後、粒子センサ１２のキャリブレーションを実行し、観測領域１８に到達した粒子１７の数量を粒子センサ１２で計量する。 （もっと読む）

【課題】 操作性よく、短時間で精度よくＣＮＴ配合比を計測する。
【解決手段】 あらかじめ配合比のわかっている複数の、ＣＮＴと樹脂等の他素材との複合材であるＣＮＴ複合材サンプルに電極を取り付け、ＬＣＲメータに接続してＣＮＴ複合材サンプルに高周波電圧を印加して、ＬＣＲメータにより各ＣＮＴ配合比におけるＣＮＴ複合材サンプルのキャパシタンスを計測しておき、被検体ＣＮＴ複合材に電極を取り付け、ＣＮＴ複合材サンプルと同様にして被検体ＣＮＴ複合材のキャパシタンスを計測し、前記あらかじめ求めたＣＮＴ複合材サンプルのキャパシタンスとＣＮＴ配合比との関係に基づいて、前記計測した被検体ＣＮＴ複合材のキャパシタンスから被検体ＣＮＴ複合材のＣＮＴ配合比を求める。 （もっと読む）

ここに記載されているのは、ガス混合器における粒子の濃度を決定するガスセンサ、例えばすすセンサに対するセンサ素子であり、ここでこのセンサ素子は、電気的に絶縁された基板に被着された少なくとも１つの第１測定電極（１４，１６）と、少なくとも１つの第２測定電極（１４ａ，１６ａ）とを有している。ここでは第１および第２測定電極（１４，１４ａ，１６，１６ａ）に電圧を加えることができる。第１測定電極（１４，１６）は、決定すべき粒子が拡散可能な多孔質材料（１８，２０）によって少なくとも部分的に覆われている。
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本発明は分析される試料内のリガンド（２）の濃度を決定する方法に関する。坦体（３）上にはリガンド（２）と特異的結合ができるレセプタ（４）が固定される。少なくとも１つの面分布センサ（１２）により、レセプタ（４）を有する坦体（３）の表面の面分布のための少なくとも１つの測定値が検出される。その後、試料はレセプタ（４）と接触される。少なくとも１つの検出器（１１）により、リガンド（２）とレセプタ（４）との間の結合頻度を表す測定値が検出される。面分布及びリガンド−レセプタ−結合の頻度の測定値に基づき、試料内のリガンド（２）の濃度が決定される。
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自動車のパティキュレートフィルタ（１３）の状態を判定する装置であって、電気測定装置をすすの堆積を測定するすすセンサとして備えた装置が開示される。この測定装置は、回路構造（２２、２３）を有する電気的構成要素と、測定手段（２４）とを含んでおり、回路構造（２２、２３）は、構成要素の電気的又は磁気的パラメータを特性化する電界又は磁界を励起するために用いられ、この電界又は磁界はすすの堆積によって変化する。測定手段（２４）は、構成要素の電気的又は磁気的パラメータをすす堆積の尺度として記録するために用いられる。本発明によれば、電界がパティキュレートフィルタ（１３）の部分容積領域を貫通しかつその部分容積領域が構成要素の一部分となるように、回路構造（２２、２３）が配置される。
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本発明は、溶融金属中の粒子の検出及び測定に用いられる液体金属清浄度分析器（ＬｉＭＣＡ）における電磁ノイズの拾得を低減するための方法及び装置を提供する。溶融金属中に挿入された第１の電極は、溶融金属中に挿入されている第２及び第３の電極とは電気的に絶縁されている。溶融金属及び粒子は、電気的な絶縁体中の通路を通って、第１の電極と第２及び第３の電極との間を通る。第２及び第３の電極は、第１の電極に対して、第２及び第３の電極に電流が供給されたときに、第１の電極と第２の電極との間に対称的な電流ループを形成するのに十分な形態を有している。電流はウルトラ・コンデンサから供給される。対称的な電流ループにおける電磁ノイズが検出され、電磁ノイズの増幅を低減するように逆方向に付加される。
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