本発明は、複数の相互に平行なメサ形状半導体領域（１）を含み、メサ形状半導体領域は、半導体本体（１１）の表面の上に形成され、第一端部で第一導電性接続領域（２）に接続され、第二端部で第二導電性接続領域（３）に接続され、感知されるべき物質を含む気体又は液体が、メサ形状半導体領域（１）の間を流れることができ、感知されるべき流体は、複数のメサ形状半導体領域（１）の電気特性に影響を及ぼすことができ、半導体本体（１１）の表面で、第一接続領域が形成され且つそこに接続され、第一端部を用いて、複数のメサ形状半導体領域が形成され、次に、第二接続領域が形成され、それらの第二端部で、複数のメサ形状半導体領域に接続される、物質を感知するための半導体センサ装置を製造する方法に関する。本発明によれば、複数のメサ形状半導体領域（１）の形成後、これらの領域（１）の間の自由空間が、充填材料（４）で充填され、充填材料は複数のメサ形状半導体領域（１）の材料及び半導体センサ装置（１０）の他の境界部分に対して選択的に取り除かれることができ、引き続き、伝導層（３０）が、結果として得られる構造を覆って蒸着され、構造から第二接続領域（３）が形成され、然る後、充填材料（４）は選択的方法で取り除かれ、それによって、複数のメサ形状半導体領域（１）の間の空間が再び自由にされる。このようにして、センサ装置（１０）は、工業規模に容易に適用される方法で製造され、高い歩留まりをもたらす。
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【課題】 湿度の検出感度が高く、小型化が可能な湿度センサを実現する。
【解決手段】
湿度センサ１は、基板１１の基板面１１ａ上に設けられた湿度検出部１０と、出力部１９と、ヒータ制御部１８と、から構成されている。湿度検出部１０は、基板１１の基板面１１ａ上に、ヒータ１２、絶縁膜１３、下部電極１４、感湿部材１５及び上部電極１６を順に積層して構成されている。本発明に係る湿度センサ１によれば、湿度検出部１０の上部電極１６と出力部１９とを、基板１１上に形成されたバンプ２０ｓを介して電気的に接続することができるので、出力部１９を半導体プロセスにより同一基板上に形成することができる。従って、出力部１９を別部材として設ける必要がないので、湿度の検出感度が高く、小型化が可能な湿度センサ１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 極微量の化学物質、特にDNAの構成物質である核酸化合物との水素結合相互作用を直接電流変化として捉えることを可能とするナノギャップ電極を有する検出素子及び検出方法を提供する
【解決手段】
検出対象物化学物質と、結合する部位を有するセンサー分子を、ナノギャップ電極表面に結合させた検出対象化学物質の検出素子であって、センサー分子は、一方の端部にナノギャップ電極表面に固定化するための部分構造及び他方の端部に検出対象化学物質と結合するレセプター部分構造を有するワイヤ状分子であり、かつ、分子長が２ナノメートル以下であって、前記電極のギャップ巾が最大１０ナノメートル以下であることを特徴とする化学物質の検出素子。 （もっと読む）

【課題】有機材料の内部の欠陥情報などを知る。
【解決手段】有機材料の評価装置であって、有機デバイスへ所定の波長の単色光を所定のタイミングと強度で照射する単色光照射部２６と、所定のタイミングと電圧強度で電圧を印加する電圧パルス発生部２０と、所定のタイミングで有機材料のインピーダンスを検出するインピーダンス計測部２２を備える。装置制御部４０が、それらの各部での条件、測定を制御し、入射単色光と印加パルス電圧とインピーダンスとの対応関係を検出する。例えば、入射光のエネルギに対する有機材料のキャパシタンスの変化量を求めることで有機材料のバンドギャップ内準位の欠陥などに起因した深い準位を評価でき、デバイスの特性・信頼性を評価することが可能となる。 （もっと読む）

誘導センサは、誘導性ループを含むインダクタと、ループを機械的に結合させる少なくとも１つのヒンジとを含む。ヒンジの操作は、ループの位置を変化させ、センサのインダクタンスの変化を生じさせる。センサ材料は、センサ材料の寸法変化がヒンジを操作し、ループの位置の変化を生じさせるように、ループに対して配向されてもよい。
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【課題】き裂内の水質に関する状態量を精度良く測定することができ、き裂進展速度のより精度の良い推定を可能にする隙間水質測定方法及び隙間水質測定装置を提供する。
【解決手段】隙間水質測定装置１８の隙間水質センサ３６は、隙間１を形成する隙間形成部３２ａ，３２ｂを含む隙間形成部材３１を有し、電極２ａ，２ｂを電気的に絶縁した状態で隙間形成部３２ｂに取り付けている。電極２ａ，２ｂは、電極２ａは隙間１の開口部３３に配置され、配置され、電極２ｂは隙間１の先端部３４に配置されている。隙間水質測定装置１８の測定器３７は電流計５、及び配線４ａ，４ｂを含む電気ケーブル４を有する。配線４ａは電極２ａに接続され、配線４ｂは電極２ｂに接続されている。電流計５は電極２ａと電極２ｂの間を流れる電流を測定する。 （もっと読む）

【課題】酸、アルカリ水溶液等の薬液濃度を導電率から測定する際に、薬液濃度と導電率との関係がリニアな特性を有し、高精度な濃度測定が継続的に可能な薬液用濃度計を提供する。
【解決手段】測定用管路２内に、管路中心を通り管路軸に対して垂直方向に管路を横断する耐薬液用材料からなる一対の定電流供給用電極１１ａ，１１ｂおよび一対の電圧測定用電極１２ａ，１２ｂを配置し、４電極法によって導電率を測定する。そして、電圧測定用電極１２ａ，１２ｂの１本当たりの被測定薬液に接する部分の表面積Ｓ₁に対する測定用
管路２の管路軸に対する垂直面の断面積Ｓ₂の比Ｓ₂／Ｓ₁を０．８以上とした。 （もっと読む）

【課題】配水管を流れる液体の導電率を検知できる非電極導電率測定システムの提供。
【解決手段】非金属流水式非電極導電センサーは、流体ループを形成するための一次及び二次工程流体流通経路の配水管を備える。少なくとも一つの駆動環状体と一つの検知環状体が、流体ループにある配水管を囲む。流体ループを経由する工程流体と接触する金属電極を必要とすることなく、検知環状体に電流を誘起するように、電圧が駆動環状体に供給される。少なくとももう一つの駆動環状体や検知環状体は、誘起を強化するように流体ループに配置される。随意的に、一つかそれ以上の検知コイルが、ストレイ電気騒音を消すように流体ループの外部にある配水管の周辺に配置される。配水管に沿って設置されうる導体により、その抵抗の変化で流体漏洩が検知される。 （もっと読む）

【課題】放電部の煤を焼失させるようにヒータを設けてなる煤センサにおいて、放電部との関係でヒータを設ける位置に工夫を凝らし、放電部にて煤以外の導電性に寄与する粒子の影響を受けることなく放電するように構成する。
【解決手段】煤センサは、金具部材１００、電気絶縁材料からなる筒部材２００及びロッド部材３００を備えている。筒部材２００は、金具部材１００の主体金具１１０内に同軸的に支持されている。ロッド部材３００は、筒部材２００内に嵌装されて、中心電極３２０にて、当該筒部材２００の先端から延出している。ここで、中心電極３２０は、電極部３２１にて、金具部材１００の外側電極１２０の電極部１２２に対向している。ヒータ４００は、筒部材２００の先端側部位６３０の外周面にその先端側にて貼着されている。ヒータ４００の発熱抵抗部４３１の下縁部４３５と中心電極３２０の電極部３２１の先端部との間には、２５（ｍｍ）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】電気的絶縁体上に電極を設ける構成に工夫を凝らし、電極の電気的絶縁体に対する密着性を強固に確保するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、電気的絶縁基板１０の右側表面部位に設けたガラス層２０を有する。櫛歯状の両電極３０、４０は、ガラス層２０の表面に設けられている。感応層５０は、両電極３０、４０を覆蓋するようにガラス層２０の表面に積層されている。 （もっと読む）

【課題】貴金属触媒を用いることなく安価に製造できるガス検知素子及びその製造方法を得る。
【解決手段】陽極酸化アルミナ（陽極酸化膜）２と、陽極酸化アルミナ２にその厚み方向に形成された複数の細孔３と、該細孔３の内周に付着された酸化錫（酸化物半導体）４と、陽極酸化アルミナ２の表裏面にそれぞれ形成され、酸化錫４と電気的に接続された端子電極５，６とで構成したガス検知素子。 （もっと読む）

【課題】電界効果型トランジスタ（ＦＥＴ）を用いたＦＥＴ型ガスセンサの加熱電力を最小化し、長寿命化を図る。
【解決手段】ＦＥＴのゲート絶縁膜上に成膜される感応電極３１に二つの端子１０、１１を設け、異なる電位を与えて電流を流す。加熱が必要な感応電極３１自体に電流を流すことで感応電極３１が発熱体となるので、最も効率よくＦＥＴ型ガスセンサを加熱できる。また、端子１０、１１は温度検出部の一部を構成し、加熱された感応電極３１の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】正確性及び信頼性を向上することができる水滴検出センサ、水滴検出装置及び水滴検出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】フィルム２と、フィルム２上に設けられ、端子５に接続される第１電極３と、フィルム２上であって第１電極３と所定距離離間した位置に設けられ、端子６に接続される第２電極４とを備え、第１電極３及び第２電極４間の静電容量変化を測定して車両のウィンドウガラスに付着した水滴を検出する雨滴検出センサ１であって、フィルム２及び第１電極３及び第２電極４は、可撓性を有するとともに、フィルム２の第１電極３及び第２電極４が配置された面に、雨滴検出センサ１をウィンドウガラスに対して固定する接着層７を備えた。 （もっと読む）

【課題】成膜後の熱処理条件に依存することなく、一部の結晶粒のみの巨大化、および感温抵抗体の表面粗さの増大を抑制しつつも、結晶粒の平均粒径を増加させることで、高感度化を達成し得る薄膜センサを提供すること。
【解決手段】絶縁基板と、該絶縁基板上に積層された白金族金属の結晶からなる感温抵抗体とを有し、前記感温抵抗体の層の面垂直方向（ＮＤ方向）に対して１０°以内に配向している前記結晶の（１１１）面の割合が、９９％以上であることを特徴とする薄膜センサ。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガスセンサを用い、従来に比して小型化および低コスト化を図ったガス検知装置およびガス検知方法を提供すること。
【解決手段】ガス検知装置は、吸着燃焼式ガスセンサ４０の感応素子部Ｒｓおよび補償素子部Ｒｒに、低温駆動するためのＬレベルおよび高温駆動するためのＨレベルの駆動電圧を交互に印加する駆動手段５２と、高温駆動時の感応素子部Ｒｓからの検出電圧を基準電圧と比較し、その比較結果により第１のトリガ信号を生成する第１のトリガ信号生成手段５５と、高温駆動時の補償素子部Ｒｒからの検出電圧を基準電圧と比較し、その比較結果により第２のトリガ信号を生成する第２のトリガ信号生成手段５６と、第１のトリガ信号と第２のトリガ信号の両トリガ信号の時間間隔を計数する計数手段５０とを備え、計数手段の計数結果に基づいて、ガス濃度を検知する。 （もっと読む）

【課題】地層の比抵抗が小さい場合に、ケーシングパイプ１０を用いる流電電位法による比抵抗測定方法の探査精度を改善する。
【解決手段】ケーシングパイプ１０内に電流源を挿入して、電流源深度を変更しつつ又は／及び地表測線に沿う付加電流源を設けて及び／又はケーシングパイプ１０内に一定間隔で電流源を配設してケーシングパイプ１０に通電することで比抵抗トモグラフィ測定を実施すると共に、そのデータ解析においては、線要素およびジョイント要素を使ってケーシングパイプ１０の挙動を適切に評価しつつ解析を行うか、別途ケーシングパイプ１０内で計測した電流分布のデータを基に解析を行うかいずれか／又は両方を組み合わせた方法によって、地下の２次元又は３次元的な比抵抗分布を精度よく求める。 （もっと読む）

【課題】最内層が破損したかどうかを容易に判断することができ、包装容器のコストを低くすることができるようにする。
【解決手段】最外層４５、紙基材４６、導電性を有するバリヤ層４８及び最内層４９を備えた包材４１から成り、流動性食品を収容した包装容器の、流動性食品と電気的に接続された第１の導通部に当接させられる第１の電極と、包装容器の、バリヤ層４８の所定の部分から成る第２の導通部に当接させられる第２の電極と、第１、第２の電極間に電圧を印加したときの、電気変量に基づいて最内層４９が破損したかどうかを判断する破損判定処理手段とを有する。第１、第２の電極間に電圧を印加したときの、電気変量に基づいて最内層４９が破損したかどうかを判断するようになっているので、オペレータの主観に基づいて最内層４９が破損したかどうかを判断する必要がない。 （もっと読む）

【課題】アモルファスカーボン電極を使用した場合にも、電極が破損損傷したり、表面が傷つくことがなく、電極とリード線との接触部分における導通抵抗が小さく、安定した電気的接続を維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供する。
【解決手段】電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した。 （もっと読む）

【課題】湿度感知部品の電極構造を提供する。
【解決手段】主に基板表面の湿度感知区中に相互に対応する陽極作業電極と陰極作業電極を形成する。該陽極作業電極と該陰極作業電極の表面上にはそれぞれ陽極導電層と陰極導電層を形成し、該陽極導電層と該陰極導電層上及び該基板全体の表面が湿度感知膜で覆う。該基板はセラミック材料或いは高分子材料を使用し製造し、該陽極作業電極と該陰極作業電極は銅、ニッケル、銀、プラチナ、金、パラジウム、ルテニウムから選択し製造する。該陽極導電層、該陰極導電層は（一）カーボンブラック或いはグラファイトと高分子材料の複合材料、或いは（二）導電高分子、或いは（三）惰性金属から選択し製造する。 （もっと読む）

【課題】電解質膜２０の膜厚方向の伝導度を、湿度の影響を反映させて測定する伝導度測定用電極１を提供すること。
【解決手段】伝導度測用電極１は、電解質膜２０の両面上に対向して配置し、電解質膜２０の膜厚方向の伝導度を測定するための１対の電極１からなる。前記電極１は、電解質膜２０の表面と接触する導電性電極部２と、前記導電性電極部２の外周に形成され、水蒸気透過性多孔質部材からなり、電解質膜を両面から挟持する非導電性多孔質挟持部３とを備える。前記導電性電極部２が電解質膜２０と接触する接触面部４と、前記非導電性多孔質挟持部３が電解質膜２０と接触する接触面部５とは、同一平面を構成する。非導電性多孔質挟持部３としては、例えば、多孔質セラミックスを用いる。 （もっと読む）