【課題】インピーダンスセンサの検出感度のばらつきを小さくして、検出精度を向上させる。
【解決手段】本発明のインピーダンスセンサは、液体や気体の中に入れて液体や気体の混合比率等を検出するものにおいて、基板と、基板の表面に設けられた一対の櫛歯状電極と、基板の表面に櫛歯状電極を覆うように設けられた保護膜とを備え、保護膜として比誘電率が６以上の材料を使用するように構成した。この構成によれば、検出感度のばらつきを小さくすることができて、検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】過剰なエネルギー消費を防止すると共に、装置構成の複雑化および大型化を防止しつつ、ガスセンサの破損、劣化、検出精度の低下を防止する。
【解決手段】制御器１０は、ガスセンサ１５への電力供給の開始時刻から、状態センサ３７により検出されるガス検出室２６内の温度（センサ周辺部温度Ｔｓ）が予め設定された目標温度に到達する時刻に亘る期間において、センサ周辺部温度Ｔｓに基づきヒータ３６の動作を制御する第１制御モードと、センサ周辺部温度Ｔｓが目標温度に到達した以後、センサ周辺部温度Ｔｓ、および、温度センサ４１により検出されるガスセンサ１５よりも上流側での被検出ガスの温度（上流ガス温度Ｔｇ）に基づき、センサ周辺部温度Ｔｓが上流ガス温度Ｔｇよりも所定温度（例えば、０℃以上かつ５℃以下の所定温度）以上高くなるようにして、ヒータ３６の動作を制御する第２制御モードとを、順次実行する。 （もっと読む）

【課題】ナノメータレベルの微小粒径の充填剤がポリマー材料中に添加されたポリマー／充填剤複合材料において、その充填剤の分散状況の評価を迅速かつ容易に行うことのできる微粒子分散状況の評価方法を提供する。
【解決手段】ポリマー／充填剤複合材料からなる被測定サンプル１０中をアセトフェノンがセンサー用シート１１に設けられる高圧電極１２Ａとセンサー用シート１１表面との界面に達することに基づいてセンサー用シート１１の伝導電流を増加させるまでの時間を測定するようにしたので、ポリマー／充填剤複合材料に含まれる無機充填剤の添加量、分散状態が適正であるか否かの評価を迅速かつ容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガスセンサ素子において、ガス感度および耐衝撃性を損なうことなく、検知素子と補償素子をワンチップに収め、実装が容易に行えること。
【解決手段】絶縁基板にある孔の端部に曲面形状を有する切り込みを有することで、通電中に架橋部が膨張することによって生じる応力集中を緩和でき、また孔の開口部面積が拡大することから、最終的に形成されるガスセンサは、耐衝撃性と検知対象ガスに対する応答速度が向上する。 （もっと読む）

【課題】高感度化が可能な検出素子を提供する。
【解決手段】検出素子１０は、基体１，４と、絶縁部材２，３と、支持体５と、電極６，７とを備える。絶縁部材２は、基体１の一主面に形成され、凹部を有する。絶縁部材３は、絶縁部材３および基体４に接して形成される。基体４は、支持体５の一主面に形成される。電極６は、基体１の絶縁部材２が形成された面と反対面に形成される。電極７は、基体４に接続されるように支持体５の表面５Ａ、側面５Ｂおよび裏面５Ｃに形成される。その結果、検出素子１０は、絶縁部材２，３によって囲まれた間隙部８を備える。また、基体１は、絶縁部材２，３および支持体５（石英）を介して基体４と結合される。そして、電圧が電極６，７間に印加されたときに基体１，４間に流れる電流が測定され、間隙部８に入った検出対象物が検出または分析される。 （もっと読む）

本発明の態様は、一種以上のガスを検知するためのガスセンサ及び方法に関する。一態様では、デバイスの感度及び種選択性が検出電極の別々の対の間で調整できるように、同一または異なる温度に保持された検出電極アレイを含む。具体的な態様では、燃焼排ガス及び／または化学反応副生成物をモニターするためのガスセンサアレイに関する。本発明に関連するデバイスの態様は高温で操作し、且つ化学的に過酷な環境に耐えることができる。デバイスの態様は、単一基板上に作られる。デバイスはこれらが単一基板上の一つのアレイの一部であるかのように、個別の基板上に作り、個々にモニターすることもできる。本デバイスは、同一環境内に検出電極を含むことができ、これにより電極を同一平面上とすることができるので、製造コストを低く維持できる。本デバイスの態様は、表面温度制御により、感度、選択性及び信号干渉に対し改良点を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 ２種類のガスの検出を正確に行え、ヒータの消費電力が大きくなったり、感応センサが大型化するのを抑制できる感応センサを提供する。
【解決手段】 内層にヒータ１７を有するベース１と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の一方の面１ａ上に形成された第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂと、第１の一対の薄膜対向電極１９Ａ，１９Ｂにそれぞれ接続された第１の一対の薄膜配線パターン２３Ａ，２３Ｂと、第１の一対の対向電極１９Ａ，１９Ｂに跨るように形成された第１の感応膜２５と、ヒータ１７に対応する位置において、相互に対向するようにベース１の他方の面１ｂ上に形成された第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂと、第２の一対の薄膜対向電極１１９Ａ，１１９Ｂにそれぞれ接続された第２の一対の薄膜配線パターン１２３Ａ，１２３Ｂと、第２の一対の対向電極１１９Ａ，１１９Ｂに跨るように形成された第２の感応膜１２５とを有している。 （もっと読む）

【課題】微小な電極基板上の電極パターンの損傷や汚れの付着を防止し、かつ電極への被検査溶液の供給率の低下を抑える構造を有する電極カバー及び測定装置を提供すること。
【解決手段】基板２と、電極３と、電極３の基板２とは対向する方向に設けられたカバー５を有し、カバー５が空隙６を介して電極３を覆い、空隙６が開口７、８により外部と接続する構造を有し、カバー５により電極３への接触や汚れの付着を防ぎ、また、開口７、８より被検査溶液が空隙６へ流出入することで電極近傍への被検査溶液の連続的な供給が可能となり測定感度の低下を抑えられる。 （もっと読む）

【課題】正確に検出対象ガスの濃度を検出しつつ省電力化及び小型化を図ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】センサ部２は、検知対象ガスと接触燃焼して温度が変化する。加熱回路３が、検出対象ガスと接触燃焼する温度にセンサ素子を加熱する。ＣＰＵ５１が、加熱回路３の加熱時に測定したセンサ部２の温度Ｔ_ONと、加熱回路３の非加熱時に測定したセンサ部２の温度Ｔ_OFFと、の差（Ｔ_ON−Ｔ_OFF）に基づいて検出対象ガスの濃度を検出するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の微小な欠陥を検出することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定物（半導体ウェハ１０上に設けたレジスト膜１２）の静電容量を測定する静電容量センサ１５と、前記被測定物の底面と前記静電容量センサとの間の距離を測定する測長センサ２０（測定光源２１，受光部２２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱電式ガスセンサにおいて、センサの感度の高いものを提供すること。
【解決手段】この熱電式ガスセンサは、基板１２と、基板１２の上面に形成された熱電膜１３と、熱電膜１３の上面側の所定箇所に形成された被検出ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱する触媒１６を含んで構成される。基板１２は、セラミックスからなる焼成体である。熱電膜１３は、厚さ方向にて単一の扁平な粒子から構成され、且つ電子伝導度の高い結晶面を含むように配向された部分を有する。熱電膜１３には平面視にて粒子間の一部に隙間が形成され、熱電膜１３と基板１２との境界には側面視にて一部に隙間が形成されている。これにより、基板１２及び熱電膜１３の熱伝導率を小さくでき、触媒反応に対して発生する熱電膜１３内の温度差を大きくできる。加えて、熱電膜１３の電子伝導度が高くなり、熱電膜１３における温度差に対する発生電圧を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】タンパク質、核酸、炭水化物、脂質およびステロイド等の検体を検知する。
【解決手段】ナノワイヤを含む電子デバイスが、その製造方法および用途とともに記載される。ナノワイヤはナノチューブおよびナノワイヤでよい。ナノワイヤの表面は選択的に官能基化されている。ナノ検出器デバイスが記載される。タンパク質、核酸、炭水化物、脂質およびステロイド等の検体によりゲート制御される電界効果トランジスタのアレイより構成されたナノセンサである。 （もっと読む）

【課題】最小限の加熱操作で従来では望むことの出来ない高感度な検出が可能なガスセンサー素子を提供する。
【解決手段】半導体基板上にショットキー電極とオーミック電極とが配置され、ガスの存在を感知したときに生じるショットキー電極とオーミック電極間の電流−電圧特性の変化によってガスの存在を検知する原理のガスセンサー素子であって、ガスセンサー素子は、ショットキー電極と基板との界面に絶縁膜が設けてある。 （もっと読む）

【課題】シート状や布状や膜状の測定対象物の電気抵抗の測定を正確かつ安定に行なうことができる抵抗測定方法およびその抵抗測定方法が適用された検査部品プロセスを提供する。
【解決手段】第１のステップで、導電板、例えば表面に膜が形成された亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂを２枚用意して、これら２枚の亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂで伸縮可能な導電性材料１０を挟むとともに、２つの亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂの間隔を規制するスペーサ１１を挟み、導電性材料１０の少なくとも片側には、測定対象物、例えば導電性の布を挟みこむ。次の第２のステップで、測定対象物を介在させて導電性材料１０を挟んだ状態の２つの亜鉛めっき鋼板１ａ，１ｂの間の電気抵抗を測定する。 （もっと読む）

【課題】水による誤作動を防止するガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のガスセンサ１は、外部からガス導入用開口部３ｂを介して被検知ガスが導き入れられるガス検出室３ａを有する素子収納部３と、素子収納部３のガス検出室３ａに配置されたガス検出素子５と、ガス導入用開口部３ｂに設けられた熱伝導性メッシュ部材６と、熱伝導性メッシュ部材６に固定され、熱伝導性メッシュ部材６を水の蒸発温度以上に加熱するヒータ８と、ヒータ８の発熱を制御するヒータ制御手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】経年劣化しにくい湿度検出素子を提供する。
【解決手段】表面に複数の溝が設けられた第1の電極板2、第1の電極板2の複数の溝が設けられた表面上に配置された感湿膜3、及び感湿膜3上に配置された第2の電極板4を備える。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドを構成する個々のＣＮＴ−ＦＥＴにばらつきが有っても、ばらつきのない測定値が得られるようにすること。
【解決手段】ＣＮＴ−ＦＥＴバイオセンサ装置１は、ソース−ドレイン間にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を形成したカーボンナノチューブ電界効果トランジスタ（ＣＮＴ−ＦＥＴ）でなるセンサヘッド２と、濃度が未知の蛋白質又はＤＮＡを測定して得られた上記センサヘッド２の出力値から上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する演算部３とを備え、上記演算部３は、濃度の変化に対して同一出力しか得られない濃度の上記蛋白質又はＤＮＡを予め測定して得られた上記センサヘッド２の出力値を記憶する記憶部３０を備え、上記記憶部３０に記憶された出力値を用いて、上記センサヘッド２の出力値を校正して、上記蛋白質又はＤＮＡの濃度値を演算する。 （もっと読む）

改善された生物学的アッセイのための電場を用いる方法および機器を開示する。電場はウェルをもつ装置を横切って適用され、これらは反応体を受け取り、これらは電荷を運ぶ。このように、装置は、第１および第２の電極間の制御可能な電源を用い、それは所定の電極に正電荷および負電荷を提供するために制御可能である。電場の制御された使用によって、流体チャネルにおける流体中の荷電種を、電極間の電場によって、ウェル中にか、またはそれから外に方向つける。本方法は、微小流体工学装置でのような、流体の輸送、およびＤＮＡの配列決定、合成またはその他のような種々のアッセイ手順に従う反応種の電場誘導された移動に関与する。
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【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極２ａ，２ｂと、ＣＮＴを誘電泳動してマイクロ電極２ａ，２ｂに架橋したセンサ素子と、ＣＮＴ表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するＰｄ粒子とを備え、マイクロ電極２ａ，２ｂ間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ１であって、表面を修飾するＰｄ粒子が、Ｐｄの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのＣＮＴとＰｄの酸化還元反応で析出するＰｄ粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるＰｄと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したＰｄ粒子とを含むことを主要な特徴とする。 （もっと読む）