化学的および生物学的な化学種を検出し、かつ放射線の変化を検出するソリッドステート電界効果トランジスタセンサが開示される。デバイスは、多孔性または構造化されたチャネルの区画を含むことにより、デバイス感度を向上させる。感知された生物学的、化学的または放射線の変化がチャネルのコンダクタンスの指数関数的な変化を引き起こすように、デバイスはフルデプレート型モードにおいて動作する。一実施形態において、チャネルの上に重なる誘電体層と、該誘電体層の上に重なる材料の層とをさらに備え、該材料の層は、放射性、化学的および生物学的な化学種から成るグループから検出される標的化学種と相互作用し、該材料の層は、連続的な層または離散的なアイランドのいずれかである。
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湿度センサ（１）は、その表面にモイスチャーフィルム（５ａ，５ｂ）のための収容領域（４）を有している；その層厚（６ａ，６ｂ）は、収容領域（４）の周囲の相対湿度に依存する。湿度センサ（１）は信号源を有しており、その信号源は、モイスチャーフィルム（５ａ，５ｂ）に制御電圧を印加するために、少なくとも１つの供給箇所（１１）において収容領域（４）に隣接する、少なくとも１つの制御電極（１０）と接続されている。湿度センサ（１）は、少なくとも１つの電位センサを有しており、その電位センサが、収容領域（４）の下方に、少なくとも１つの供給箇所（１１）から離間した、少なくとも１つのセンサ領域（９）を有している。センサ領域（９）は、センサ領域と収容領域（４）との間にある絶縁層（３）によって収容領域（４）に対して次のように、即ち電位センサによってモイスチャーフィルム（５ａ，５ｂ）の層厚と制御電圧とに依存する電位が容量的に検出可能であるように、電気的に絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】寿命の向上と同時に水素ガスに対する初期感度を向上させた、改良された水素ガス感知半導体センサを提供する。
【解決手段】本発明は、触媒金属層（１）、半導体層（２）、および触媒金属層（１）と半導体層（２）との間に配置された絶縁層（３）を含む水素ガス感知半導体センサに関する。触媒金属層（１）には、外面（４）、および少なくとも１つの水素原子吸着表面部（８）を含む内面（７）が含まれる。各水素原子吸着表面部（８）は、絶縁層（３）に隣接して配置されている。外面（４）の表面面積は、少なくとも１つの水素原子吸着表面部（８）全ての全表面面積より少なくとも１００％大きい。本発明はまた、センサを含むプローブ、センサを含む水素ガス検出システム、ならびにガスサンプルにおける水素ガスの存在の検出および／または濃度の測定のためのセンサの使用に関する。 （もっと読む）

【課題】電界効果型トランジスタ（ＦＥＴ）を用いたＦＥＴ型ガスセンサの加熱電力を最小化し、長寿命化を図る。
【解決手段】ＦＥＴのゲート絶縁膜上に成膜される感応電極３１に二つの端子１０、１１を設け、異なる電位を与えて電流を流す。加熱が必要な感応電極３１自体に電流を流すことで感応電極３１が発熱体となるので、最も効率よくＦＥＴ型ガスセンサを加熱できる。また、端子１０、１１は温度検出部の一部を構成し、加熱された感応電極３１の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 センシング電極部や基板接続用の接続用電極といった電極部が、測定環境下に露出するのを防止し、かつ感湿部の開口度をあげることでセンサの応答性を高め、信頼性の高い湿度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップの一面3側はその全面を測定環境下にさらし、一面5側には半導体膜6を形成後、センシング電極7,8、および該センシング電極からの信号を処理するための信号処理回路部9が形成されている。配線部材11によりターミナル基板1を通し、外部と電気的に接続されている。センシング電極7,8および信号処理回路部9は耐湿性材料よりなる保護膜10により被覆保護されている。 （もっと読む）

【課題】ガス流量を計測し、無線で管理装置にガス供給情報を通知する無線通信端末を大掛かりな設置や固定を必要とすることなく盗難を予防する。
【解決手段】無線通信端末をガスホースに取り付け、透過ガスのガス濃度を検出するガスセンサを設け、このガスセンサにより計測されたガス濃度が所定値以下になると無線通信部によるデータ通信が停止されるように制御する。これにより無線通信端末が盗難されて、他に不正使用されることが防止できる。 （もっと読む）

ガス分析装置は、導電性チャネルに基づく有機半導体（６）とゲート（２）との間にキャビティ（７）を有するトランジスタを有する。動作中、キャビティ（７）に案内されたガスサンプルからの成分は、有機半導体（６）の露出された吸収感応性表面部分において吸収されることが可能である。検出器（１３）は、露出表面部分において吸収された成分によりもたらされるトランジスタの閾値電圧における変化を検出する。この変化の検出に応じて、検出器は、サンプルにおける成分の濃度を表す測定信号を生成する。
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【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 低消費電力でコンクリート構造物の状態を正確に検出する。
【解決手段】 鉄筋コンクリート構造物の表面または内部の健全度を検出する複合センサモジュールであって、前記鉄筋コンクリート構造物の耐久性または施工性に関わる状態量を検出する１種以上の第１のセンサ（１０）と、前記状態量に影響を与える因子の物理量を検出する１種以上の第２のセンサ（２０）と、前記第２のセンサによる検出結果に基づいて前記第１のセンサによって検出された状態量を補正して補正データを出力するデータ処理部（１０１）と、データ処理部（１０１）から出力された補正データを読取装置に対して無線送信する無線通信部（１０２）と、を備える。 （もっと読む）

誘導方式で電力を供給され、音響テレメトリによりデータを送信する、医薬包装内の環境条件を判定するためのリモートセンサ。本発明は、さらに、センサからデータを受信するように構成することもできる電力供給装置を備える。
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特異検体ではなく一般検体である、バッジなどの携帯でき着用できる化学物質検出デバイスであって、該デバイスは既知および未知の空中の化学的な危険について人員に知らせ、人員を保護する理想的な方法を提供する。本発明のデバイスは安価で、低電力要求で、着用可能でも良く、一般的な化学的危険を検出し警報を出すように設計しても良い。本発明のデバイスはその一態様において、二または三以上のセンサーデバイス；それぞれのセンサーデバイスに連結し、環境の状態および状況を決定するためにそれぞれの二または三以上のセンサーデバイスからの信号を処理するように構成されたプロセッシングモジュール；および環境の状態または状況についての情報を使用者に伝達する通信モジュール、を含む。 （もっと読む）

【課題】高感度の検出を可能にするＥＦＴ式バイオセンサの提供。
【解決手段】本発明のバイオセンサは、半導体基板にソース領域、ドレイン領域およびゲート領域を備えるように構成された電界効果トランジスタ式センサであり、メソ細孔を有し且つ該メソ細孔の壁面に酸化スズの微結晶を含むように構成された多孔質体を該ゲート領域に備え、且つ、該多孔質体がＸ線回折分析において１ｎｍ以上の構造周期性に対応する角度領域に少なくとも一つの回折ピークを有する。 （もっと読む）

ＦＥＴ型ガスセンサーのセンサーシグナルを感応性層での仕事関数の変化により生じさせ、その際、前記仕事関数の変化の読み出しに対して付加的に感応性層の容量の変化を評価する、ＦＥＴ型ガスセンサーでガスを測定する方法。
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統合センサデバイス及び該デバイスを製造する方法は、半導体基板のＭＯＳ回路と、配線導体を有する配線層と、絶縁誘電体とからなり、前記配線層は基板上に設けられてＭＯＳ回路を相互接続し、前記配線層には配線誘電体に埋め込まれた電極を有するセンサが組み込まれ、かつＭＯＳ回路はセンサ電極からの信号を処理するためのプロセッサを有する。
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ガス流の成分を感知するシステム、方法であり、システムは、（ａ）熱伝導性で、電気的に絶縁性である回路基板、（ｂ）前記基板に取り付けられ、前記成分を感知することができるガス感知素子、（ｃ）前記基板に取り付けられ、ガス感知素子と電気的特性が一致し、前記成分に反応しない基準素子、（ｄ）ガス感知素子と基準素子を相互接続する電子回路を備えるシステムである。そして、前記回路は、素子の両方を作動させ、素子間の電圧差を測定する。前記電圧差は、ガス流の成分の濃度に比例する。
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