【課題】作業者の手などが誤ってガス導入口に触れてこれを塞いだとしても、ガス検知が中断されることのない吸引式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】ガスＧが導入されるガス導入口３と、ガスＧが排出されるガス排出口２４と、ガス導入口３とガス排出口２４とを連通するガス流路Ｐと、ガス導入口３を介してガス流路ＰにガスＧを吸引するガス吸引手段２３と、ガス流路Ｐに吸引されたガスＧを検知するガス検知素子２２と、ガス流路Ｐの閉塞状態を検知する閉塞検知手段２５と、閉塞検知手段２５が閉塞状態を検知するとガス吸引手段２３による吸引動作を停止させる制御部２６とを備える吸引式ガス検知器であって、ガス導入口３とは別にガス流路Ｐと外部とを連通する貫通部４を、ガス検知素子２２、ガス吸引手段２３、及び閉塞検知手段２５よりもガス流路Ｐの上流側に設けてある吸引式ガス検知器。 （もっと読む）

【課題】環境中のシリコーンに起因する接触燃焼式ガスセンサの感度低下に対応すること。
【解決手段】被毒物質が存在する環境の可燃性ガスの濃度を接触燃焼式ガスセンサＳにより検出するガス測定装置において、前記可燃性ガスの濃度の時間積を演算して感度を補正する感度補正手段２と、前記可燃性ガスの濃度の時間積と前記接触燃焼式ガスセンサＳの感度補正係数との関係を格納し、前記可燃性ガスの濃度の時間積に基づいて前記接触燃焼式ガスセンサの感度を補正するための感度補正係数を出力するデータ記憶手段３と、感度補正手段３からのデータを濃度として出力する濃度表示手段４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】寿命を確保しつつ、被検出ガスを検出可能となるまでの起動時間の短いガスセンサを提供する。
【解決手段】水素濃度に対応した第１信号を出力する第１センサＳ１と、水素濃度に対応した第２信号を出力し、第１センサＳ１に対して耐久性が高くかつ起動の遅い第２センサＳ２と、第１センサＳ１及び第２センサＳ２への通電を制御すると共に、第１信号又は第２信号に基づいて水素濃度を検知するマイコン５１と、を備え、マイコン５１は、起動信号を検知した場合、第１センサＳ１及び第２センサＳ２への通電を開始し、第１センサＳ１が水素を検出可能となってから第２センサＳ２が水素を検出可能となるまで、第１信号に基づいて水素濃度を検知し、第２センサＳ２が水素を検出可能となった後、第２信号に基づいて水素濃度を検知し、第１センサＳ１の印加電圧を通常の電圧Ｖ１よりも低い所定電圧（０Ｖ）にする。 （もっと読む）

【課題】ホイートストンブリッジ回路とマイクロコンピュータとを備える演算制御装置において、装置全体の信頼性を高めることを目的とする。
【解決手段】マイコンのＣＰＵは、起動スイッチがオンされることによって直流電源からマイコンおよび通電制御回路に給電されると（Ｓ２１０）、マイコン内の各部を初期化することで起動する（Ｓ２２０）。そして、切替スイッチに切替信号を出力することで、切替スイッチの各スイッチの一方をオンに動作させ、他方をオフに動作させることにより（Ｓ２３０）、切替抵抗部における固定抵抗体のいずれか一方を導通状態に切り替えるとともに、他方を非導通状態に切り替える（Ｓ２４０）。その後、スイッチング回路に作動許可信号を出力することで、通電制御回路の作動（ひいてはブリッジ回路の作動）を許可する（Ｓ２５０）。これにより、マイコンの起動中に、通電制御回路が作動を開始してしまうことを確実に防止できる。 （もっと読む）

【課題】水素センサシステムの校正を精度良く行う。
【解決手段】水素センサシステムは、雰囲気中の水素濃度に応じた出力を示す水素検知素子と、水素検知素子の出力を水素濃度に対応付けるための対応データを記憶する記憶手段と、対応データに基づいて水素検知素子の出力を水素濃度に変換する制御手段とを有しており、制御手段は、水素検知素子の雰囲気が大気状態とみなし得る所定のタイミングで計測された出力に基づいて、水素濃度がゼロの場合の特性を示すゼロ点のズレを補正するゼロ点補正を行い（ステップＳ４）、水素検知素子の劣化度合いに関係するパラメータに基づいて、出力に対する水素濃度の比率を調整する（ステップＳ６）。 （もっと読む）

【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】水素センサの水素検出感度を良好に回復可能な水素検出システムを提供する。
【解決手段】水素を燃焼させて燃焼熱を生成する触媒金属から形成された検知素子を有し、検知素子の変化値（抵抗値）に基づいて水素濃度を検出する水素センサ１０Ａと、検知素子を加熱する加熱手段と、水素タンク１２１と、水素タンク１２１の水素を検知素子に案内する水素案内配管と、水素案内配管に設けられたクリーニング弁１２４と、クリーニング弁１２４と検知素子との間で水素をカソードオフガスで希釈する第１希釈部と、加熱手段及びクリーニング弁１２４を制御するＥＣＵ１５０と、を備える水素検出システムである。ＥＣＵ１５０は、クリーニング時、検知素子の温度が水素の燃焼熱によって付着したシリコンの脱離する脱離温度以上になるように、クリーニング弁１２４によって第１希釈部から検知素子に向かう水素濃度を制御する。 （もっと読む）

【課題】検出時間を短縮でき、しかもコストを抑えることができるガス検知システムを提供する。
【解決手段】検知素子Ｓと温度補償素子Ｒとにより構成された接触燃焼式の水素センサ１０において、水素濃度が所定水素濃度未満の場合には、切替スイッチＳＷを固定抵抗Ｒｍ３側に切り替えて、温度補償素子Ｒを熱伝導式で作動させて水素濃度を検出し、水素濃度が所定水素濃度以上の場合には、切替スイッチＳＷを検知素子Ｓ側に切り替えて、温度補償素子Ｒおよび検知素子Ｓを接触燃焼式で動作させて水素濃度を検出する制御装置１９を備える。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの異常判定の精度を向上させることができるガスセンサの制御装置を提供する。
【解決手段】同一構成の常用検知素子回路５０Ａと基準検知素子回路５０Ｂを有する検出部５０と接続され、定期的に基準検知素子回路５０Ｂを起動して常用検知素子回路５０Ａと基準検知素子回路５０Ｂの双方の出力値を比較して、常用検知素子回路５０Ａが正常に出力しているかどうかを判定する異常判定部２１ａを有するガスセンサの制御装置１００において、基準検知素子回路５０Ｂの起動時に当該基準検知素子回路５０Ｂに印加される電圧によって基準検知素子５２が所定の検知可能温度に到達するまでの温度変化が、常用検知素子回路５０Ａの起動時に当該常用検知素子回路５０Ａに印加される電圧によって常用検知素子５１が所定の検知可能温度に到達するまでの温度変化よりもゆるやかになるように基準検知素子回路５０Ｂに印加される電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】 比較的製造が容易で、信頼性が高く高感度で長寿命の接触燃焼式ガスセンサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 相互に熱隔離した検知素子１及び参照素子２を対にして備える接触燃焼式ガスセンサにおいて、検知素子１は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を混合した反応膜１ａを備え、参照素子２は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を含まず前記反応膜１ａと熱容量が等しい非反応膜２ａを備え、検知素子１及び参照素子２に、各々の電極線４に繋がる端子５を備える接触燃焼式ガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度が低い場合であっても検知感度が高く、且つ応答性に優れ、更にケイ素化合物等の被毒物質により被毒されにくい接触燃焼式ガスセンサ用の検知用素子を提供する
【解決手段】本発明に係る検知用素子１は、測温抵抗体と触媒燃焼体２とを備える。前記触媒燃焼体２が可燃性ガスの燃焼反応を促進する触媒活性を有する。前記触媒燃焼体２上で可燃性ガスが燃焼するとそれにより生じる熱で前記測温抵抗体が加熱されて前記測温抵抗体の電気抵抗値が変化する。この電気抵抗値の変化によって前記可燃性ガスが検知される。前記触媒燃焼体２が、樹枝状又はひげ状の電着物から構成される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式のガスセンサを用いたガス分析装置において、センサ抵抗Ｒ_S とリファ抵抗Ｒ_R の温度を精度良く制御して、低濃度の検出やガス種同定の能力を向上させる。
【解決手段】ブリッジ電圧Ｖ_B に対してリファ抵抗Ｒ_R に直列に接続された固定抵抗（温度測定用抵抗）Ｒ₂ の端子間電圧Ｖ₂ を計装アンプａｐ２で検出する。分圧回路３によりブリッジ電圧Ｖ_B の分圧電圧（分圧抵抗Ｒ₄ の端子間電圧）と固定抵抗Ｒ₂ の端子間電圧Ｖ₂ の差Ｖ₁ を計装アンプａｐ１で検出する。電圧Ｖ₂ を電圧Ｖ₁ で割り算し、温度に対応するデータを得る。マイクロコントローラ２により、ガス計測時に実時間で温度に対応するデータを検出し、ブリッジ電圧Ｖ_B を制御する。センサ抵抗Ｒ_S に直列に接続された固定抵抗Ｒ₁ を温度測定用抵抗として同様な処理をしてもよい。 （もっと読む）

【課題】複数の発熱抵抗体を有する可燃性ガス検出装置において、発熱抵抗体の異常の検知精度を向上させる。
【解決手段】通常動作期間（０〜Ｔ１，Ｔ３〜Ｔ１’）は、第１発熱抵抗体３４１を使用して、被検出雰囲気の可燃性ガスのガス濃度Ｘ１を検出し、判定動作期間（Ｔ１〜Ｔ３，Ｔ１’〜Ｔ３’）だけ、第２発熱抵抗体３４２も使用してガス濃度Ｘ２を検出し、両検出結果Ｘ１，Ｘ２を比較することで、第１発熱抵抗体３４１の異常の有無を判定する。しかも、通常動作期間では、第１発熱抵抗体３４１のみ通電し、判定動作期間では、第１発熱抵抗体３４１および第２発熱抵抗体３４２を、一方への通電時には他方が非通電（通電停止）となるように、交互に通電制御を行う。 （もっと読む）

【課題】高湿度環境で湿度（水分子）の影響を受けずに使用可能な応答性が良好な熱伝導式水素ガスセンサを実現する。
【解決手段】参照ガスが流れる第１室と試料ガスが流れる第２室を有する恒温ベースと、前記第１室に配置され前記参照ガスに関連する抵抗値を検出する参照側抵抗体と、前記第２室に配置され前記試料ガスの濃度に関連する抵抗値を検出する試料側抵抗体からなり、前記恒温ベースは前記参照側抵抗体と前記試料側抵抗体の温度を所定の温度に維持するような温度に制御され、前記参照側抵抗体と前記試料側抵抗体の抵抗値の差に基づいて試料ガスの濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】クラックが生じる可能性を低減できる多数個取り基板を提供する。
【解決手段】基板として取り出されるべき基板領域Ｅ_１１〜Ｅ_７４が複数形成された多数個取り基板１であって、第１主面２ａ、および第１主面２ａの反対側に設けられた第２主面２ｂを有する絶縁体２と、複数の基板領域Ｅ_１１〜Ｅ_７４のそれぞれに対応して絶縁体２の第１主面２ａに設けられており、検出対象ガスに対して活性であるガス感応体を載置するための載置部３と、複数の基板領域Ｅ_１１〜Ｅ_７４のそれぞれに対応して絶縁体２に埋設された抵抗体４と、平面視して複数の基板領域Ｅ_１１〜Ｅ_７４のそれぞれを覆うように絶縁体２の第２主面２ｂに設けられており、かつ載置部３に対して熱を与えるためのシート状の発熱体５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】商用交流電源で動作し、センサ出力に基づいてガスセンサのエアベースを補正するガス漏れ警報器において、電源電圧の変動があっても精度よいエアベース補正を行うことを課題とする。
【解決手段】差込プラグ３から商用交流電源をトランス４に供給し、トランス４で降圧された交流電圧をガスセンサ２に供給する。トランス４の電源電圧Ｖｄを制御部１に供給する。ガスセンサ２のレファ素子Ｒｒ及びセンサ素子Ｒｓの接続点と、抵抗Ｒ１及び抵抗Ｒ２の接続点との間に発生するセンサ出力Ｖｓを差動増幅器Ａ１で増幅し、制御部１に供給する。整流回路８で整流して警報ブザー５及びＬＥＤ６に供給する。１０分間隔でセンサ出力Ｖｓをサンプリングして、複数点のデータで補正エアベースを演算する。電源電圧Ｖｄの変動量が８Ｖ以上の場合にマスクモードに設定し、３秒間のマスク時間の間に検出したセンサ出力Ｖｓはエアベース補正用の候補データリストから外す。 （もっと読む）

【課題】同じ電源によりガスセンサ２、警報ブザー５及びＬＥＤ６へ給電し、警報時に警報ブザー５とＬＥＤ６とを交互に駆動して警報を出力するガス漏れ警報器において、警報時に安定したセンサ出力を得ることで誤動作を防止する。
【解決手段】トランス４で降圧された交流電圧をガスセンサ２に供給する。ガスセンサ２のレファ素子Ｒｒ及びセンサ素子Ｒｓの接続点と、抵抗Ｒ１及び抵抗Ｒ２の接続点との間に発生するセンサ出力Ｖｓを差動増幅器Ａ１で増幅し、制御部１に供給する。トランス４の交流電圧を整流回路８で整流して警報ブザー５及びＬＥＤ６に供給する。警報時に、所定の周期でＬＥＤ６の点灯と警報ブザー５の鳴動を繰り返す。ＬＥＤ６が点灯しているタイミングでセンサ出力Ｖｓをサンプリングして警報状態の遷移を判定し、警報停止等の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】混合ガスからエタノールのみを選択的に高感度に検知することが可能な接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】センサ抵抗７Ｒｓが、Ｌａ_２Ｏ_３を含むＰｔ／Ａｌ_２Ｏ_３でなるセンサ触媒層８で覆われてなるセンサ素子部５と、リファレンス抵抗７Ｒｒが、Ｃｒ_２０_３を含むＰｔ／Ａｌ_２Ｏ_３でなるリファレンス触媒層９で覆われてなるリファレンス素子部６と、を備え、センサ素子部５とリファレンス素子部６とがパルス駆動されることで、混合ガスからエタノールのみを選択的に検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来から、薄膜型ガスセンサにおける薄膜熱感知体は、ドライエッチング加工によって形状に不均一が生じ、センサチップによってガス検知感度がばらつくという問題があった。このばらつきを補正するため、実装段階で補正アンプを搭載しているが、これによりガスセンサパッケージが肥大化するという問題があった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、梁部に複数の薄膜熱感知体、電極パッドを設け、それらを金属薄膜抵抗体で繋いでいる。薄膜熱感知体を選択することにより、ドライエッチング加工の不均一によって生じる薄膜熱感知体の抵抗値を補正することができる。したがって、ガス検知感度のばらつきを、センサチップ上で補完し、個体差を解消することができる。 （もっと読む）