【課題】 高温燃焼ガスや屋外における太陽光線の影響を受けることなく広範囲の温度で動作する炉の温度を正確に測定可能にする単一の赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】 赤外線撮像装置は、開口１４を有するハウジング１２を含み、光学構造物４０を通る光路に沿って入射する赤外線を導く。光学構造物４０は、３から１４μｍまでのスペクトル帯域幅を有するよう最適化され、広い温度範囲の全ての赤外線を通過されるに十分な３から１４μｍまでの帯域幅を有するスペクトルＵＦＰＡディテクタ４８へ入射させる。赤外フィルタ構造物４４は、３から８μｍまでの範囲および８から１４μｍまでの帯域幅を有する少なくとも２個の赤外線フィルタ７８Ｆ、８０Ｆを含み、光路に選択的に挿入される。
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【課題】 ハロゲンランプを熱源としたウエハー加熱装置で、ウエハーの温度を放射温度計で測定する時、ハロゲンランプ光に外乱影響される事無く、ウエハー温度測定が出来る事を特長とする温度測定方法及び装置を供すること。
【解決手段】 ハロゲンランプから放射される光の波長をフィルターで一部カットし、そのカットされた波長域を利用して、その波長域を測定波長とする放射温度計を用いて温度測定することを特長とする。 （もっと読む）

【課題】 温度センサーが燃焼ガスから直接影響を受けず、故障しにくいとともに、過昇温度になりにくく、信頼性の高い鍋底温度検出装置を提供する。
【解決手段】 下方から照射されるガス炎によって熱せられる鍋底に当接可能な集熱板２９と、上方開口縁部を前記鍋底に当接して前記集熱板２９を包囲するとともに、前記集熱板２９の下面から放射される赤外線が通過する空間を前記ガス炎から仕切る上方，下方防熱筒２６，２２と、前記上方，下方防熱筒２６，２２の下方側に位置し、前記上方，下方防熱筒２６，２２を通過した赤外線を受光して温度を検出する非接触温度センサー３０と、からなる。 （もっと読む）

【課題】撮像範囲を撮像者に限らずその周辺の人も同時に把握できるようにし、しかも複数台の撮像装置で被写体を撮像する場合に被写体像以外の像の写り込みが発生しないようにする。
【解決手段】撮像用カメラ１２のズーム状態取得部１２ｂからズーム倍率を検出し、検出されたズーム倍率に基づいて赤外線投射器１３の枠サイズ算出部１３ａにより撮像カメラ１２の撮像範囲を表す枠のサイズを算出する。そして、この算出された枠サイズをもとに枠画像作成部１３ｂにおいて枠画像を作成し、この作成された枠画像に対応する赤外線枠３を枠画像投射部１３から被写体２に向け投射する。また、赤外線カメラ１４により上記赤外線枠３を含むそれより大きな範囲を撮像して、この撮像された赤外線画像を赤外線画像表示器１５に表示するようにしたものである。 （もっと読む）

【目的】 使用環境による影響に左右されず、優れた長期安定性を有する標準放射温度計を提供する。
【構成】 測定対象からの光は、対物レンズ６に集光され、絞りアパチャミラー８上に結像する。絞りアパチャミラー８には、視野を限定する小さな穴８ａが開口しており、この穴８ａを通過した光のみがコンデンサレンズ９及び干渉フィルタ１０を通過し、シリコン検出素子１１に導かれる。干渉フィルタ１０は、ＴｉＯ₂ とＳｉＯ₂ の多層膜からなり、アモルファスで、且つ、緻密な構造であり、使用環境での水分の侵入による吸湿を低減し、分光透過特性が長波長側へシフトしにくくする。 （もっと読む）

【課題】正確な温度を安定して計測可能で、かつ計測対象の視野確認を簡単に行なうことができるスラグ温度計測方法及び該計測装置を提供する。
【解決手段】炉内のスラグ液面から放射される赤外光によりスラグ液面温度を計測するスラグ温度計測装置１０において、前記赤外光とともに可視光を含む光が導入される筐体１１を有し、該筐体内には穴部１３ａを有する可視光分離ミラー１３が光路上流側に配置され、前記穴部を通る光軸上に位置し前記光のうち赤外光を複数の光路に分配するビームスプリッタ１５と、該分配された赤外光が異なる波長毎に入射する複数のサーモパイル１８、１９と、が光路下流側に配置され、前記複数のサーモパイル１８、１９の出力電圧からエネルギ比を算出してスラグ液面温度を計測する信号処理装置２０が設けられるとともに、前記可視光分離手段により屈折された可視光により計測視野を視認可能な視認窓２１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】溶融金属の実効放射率が変動およびランス先端の開口部へのメタルの付着などの外乱要因により入射光の光量が変動しても正確な溶融金属の温度計測ができる溶融金属の温度計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ランス先端の送酸孔部を直接観察可能な位置に計測孔（窓）６を設け、耐圧ガラスによる計測窓が形成され、計測孔（窓）部に光学分岐手段７を設置し、ランス先端から入射し計測孔に伝播した光を２分岐している。分岐された光の一方は、撮像用レンズ８およびＣＣＤセンサ（カメラ）９により構成される撮像手段に入力され、ランス先端の送酸孔部の撮像を行い、光学分岐手段７の他方の光は、分光計測センサ１３の受光部１２に入射され、入射光の分光輝度計測を行う。 （もっと読む）

【課題】 単一枚の半導体基板の表裏両面の有効活用により、製作コストの著しい低減化並びに薄型化、小型化を達成しつつ、検出性能の向上を実現することができるようにする。
【解決手段】 シリコン基板２の表裏面のうち一方の面に異種金属の接合によるサーモパイル７などを用いた赤外線センサ部３がダイヤフラム１１上に支持させて形成されているとともに、他方の面に光学干渉多層からなる受光波長選択用光学フィルタ４が形成されている。
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【課題】 石英ガラスよりなる部材の外表面の温度を高い精度で測定することのできる放射温度測定装置を提供することにある。
【解決手段】 放射温度測定装置は、特定の波長領域の光を透過するフィルタと、当該特定の波長領域を含む波長領域の光に対して有効感度を有する検出器とを備えてなり、石英ガラスよりなる部材を測定対象体とするものであって、前記フィルタが、波長５．０〜７．４μｍの領域の光を透過するものであり、前記検出器が、少なくとも波長５．０〜７．４μｍの領域の光に対して有効感度を有するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

熱シールの欠陥を監視および検出するための装置は、熱イメージ装置と、コントローラと、出力デバイスとを備えている。熱イメージ装置は、少なくとも直前に作成された少なくとも一つの熱シールを有する目的物を輸送するプロセスラインに沿って備え付けられている。コントローラは、熱シールの熱イメージデータを受け取るための熱イメージ装置に通信可能に接続されている入力部と、出力部とを備えている。コントローラは、熱シール上の高温ゾーンおよび低温ゾーンのうち少なくとも一つを検出するようにプログラムされている。出力デバイスは、コントローラの出力部に通信可能に接続され、シール検出の結果を示すようになっている。 （もっと読む）

【課題】 被測温鋼材表面と放射温度計との間に存在する外乱水による熱放射光の散乱等に起因した測温誤差を抑制する。
【解決手段】 被測温鋼材Ｍ表面から放射された熱放射光を被測温鋼材Ｍに対向配置した放射温度計で検出することにより、被測温鋼材Ｍの表面温度を測定する方法であって、前記放射温度計で検出される熱放射光の光路が通る領域における光路安定領域Ｓ１と光路不安定領域Ｓ２との界面と前記放射温度計の光軸との交点Ｐを基準とした被測温鋼材Ｍエッジ部Ｅの最小の拡がり角θを７５°以上に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 樹脂の化学状態変化を正確に把握する。
【解決手段】 赤外吸収スペクトルにより樹脂の化学状態変化を測定する際に、樹脂から検出される赤外線のうち、樹脂に入射した赤外光からの透過光と、樹脂から放出される放射赤外光とを分離し、透過光の変化のみを利用して樹脂の状態変化を追跡する。 （もっと読む）

放射線検出器10は、真空室20を規定するベース2およびウインドウ16を有している。真空室20内には、温度制御されたフィルタ32と、それとの間にギャップｈを規定する焦点平面アレイ（ＦＰＡ）22とが設けられている。フィルタ32は、非情景ソース38、40からＦＰＡ22への伝熱を阻止するために読出し集積回路（ＲＯＩＣ）24および熱電素子28にヒートシンクされる。温度制御されたフィルタ32はまた、関心を払われている所望の波長領域外の放射線の全てのソースを反射するためにバンドパスフィルタを有することができる。温度制御されたフィルタ32はＦＰＡ22と実質的に同じ温度に維持される。 （もっと読む）

基板処理装置は、基板を処理する処理炉以外の場所で処理前および処理後の少なくとも一方の基板表面の放射率を測定する放射率測定部材（２１、２２、２３）と、測定結果を保存する記憶部１１とを備えている。 （もっと読む）