説明

Fターム[2H025AA01]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 目的 (13,098) | 感度 (1,798)

Fターム[2H025AA01]に分類される特許

101 - 120 / 1,798


【課題】本発明の課題は、高感度で、且つ保存安定性に優れたフォトマスクブランクスを提供することにあり、また、該フォトマスクブランクスを用いて作製された解像度、及び画像エッジ部の直線性の高いフォトマスクを提供することにある。
【解決手段】透明基材上に、増感色素、重合開始剤、エチレン性不飽和基を有する化合物、バインダーポリマー、遮光材料を含む感光性組成物層を有するフォトマスクブランクスであって、前記増感色素が一般式(S1)〜(S5)で表される特定の化合物群より選ばれる少なくとも1種である。
(もっと読む)


【課題】高感度であり且つセーフライト性、保存安定性に優れたフォトマスクブランクス、及び、該フォトマスクブランクスを用いて作製された、解像度が高く、画像エッジ部の直線性に優れたフォトマスクを提供する。
【解決手段】基板上に、(A)分子内に下記一般式(I)で表される部分構造を有する増感色素と、(B)重合開始剤と、(C)エチレン性不飽和結合を有する化合物と、(D)バインダーポリマーと、(E)遮光材料と、を含む感光性組成物層を備えるフォトマスクブランクス。一般式(I)中、Rはアルキル基を示し、Rは水素原子又は1価の置換基を示す。
(もっと読む)


【課題】高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム(浮きかす)の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】染料、一般式(I)又は一般式(II)で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法。
(もっと読む)


【課題】遮光材料を大量に含有する場合であっても露光により高感度で硬化し、且つ保存安定性に優れたフォトマスクブランクス、及び、該フォトマスクブランクスを用いて作製された、高解像度で画像形成が可能であり、画像エッジ部の直線性の高いフォトマスクを提供する。
【解決手段】基板上に、(A)下記式(I−1)〜(I−3)等で表される少なくとも1つの光学増白剤、(B)重合開始剤、(C)エチレン性不飽和結合を有する化合物、(D)バインダーポリマー、および、(E)遮光材料を含む感光性組成物層を有するフォトマスクブランクス。式(I−1)〜(I−3)等で表される化合物は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基等により置換されていてもよい。
(もっと読む)


【課題】高感度で硬化し、未硬化部の除去性に優れ、良好なパターン形成性を有する光硬化性組成物、及びカラーフィルタ用光硬化性組成物を提供すること。
【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される化合物、(B)光重合開始剤を含有することを特徴とする光硬化性組成物〔一般式(1)中、Zは酸基を有する2価の連結基を表し、X及びXは各々独立に置換基を有していてもよい2価の連結基を表し、R及びRは各々独立に水素原子又はメチル基を表す。〕。
(もっと読む)


【課題】低残留応力と良好な機械物性を有するポリマーを提供する。
【解決手段】ポリマーは、下記式(1):


{式中、Rは、脂肪族環を有する4価の有機基であり、そしてRは、4価の芳香族環含有有機基である。}で表される繰り返し単位を一つの構成成分とするポリマーであって、ポリマー骨格に脂肪族環及びフェノール性水酸基を有するポリイミドとポリベンゾオキサゾール前駆体を共重合して得られるポリマー。 (もっと読む)


【課題】高い感度と解像性を備えるとともに、アルカリ現像可能な感光性組成物の提供。
【解決手段】溶剤と(2-ヒドロキシフェニル)ジフェニルメタノール誘導体でアモルファス性を示す、例えば4−(4'''−{2−[ヒドロキシ−(2−ヒドロキシフェニル)−フェニル−メチル]}[1,1’;4’,1”]ビフェニル)−(2−ヒドロキシフェニル)−フェニル−メタノールや下式で示される化合物をマトリックス化合物として含有する感光性組成物。
(もっと読む)


【課題】 アルカリ現像性が良好であり、高解像度と高感度を両立するフォトスペーサ用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】
(メタ)アクリロイル基を有していてもよい親水性樹脂(A)、紫外線吸収剤(B)及び光ラジカル重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、前記紫外線吸収剤(B)を感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づいて0.5〜10重量%含有し、前記親水性樹脂(A)中の(メタ)アクリロイル基濃度が1.5mmol/g未満である場合は、さらに多官能(メタ)アクリレートモノマー(D)を必須成分として含有してなり、感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく(メタ)アクリロイル基濃度が1.5〜6.0mmol/gであるアルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)である。 (もっと読む)


【課題】ラインエッジラフネスを低くし、ガス発生量を減らし、高い感度や高い熱安定性などの特性を有する化学増幅型レジスト組成物とそれに用いられる光酸発生剤を含有した新規な高分子化合物を提供する。
【解決手段】化学式1で表される化合物。


(化学式1) (もっと読む)


【課題】
フレキシブルプリント配線基板に適した機能性と塗膜性能のバランスの良いソルダーレジスト用感光性熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物を提供可能な化合物を提供することにある。
【解決手段】
本発明の多分岐ポリエステル(メタ)アクリレート化合物(A)は、多分岐ポリエステルポリオール(a)と不飽和基含有モノイソシアネート(b)と多塩基酸無水物(c)とを反応させて得られることを特徴とする。また、本発明の化合物の好ましい実施態様において、多分岐ポリエステルポリオール(a)と不飽和基含有モノイソシアネート(b)の反応物に、多塩基酸無水物(c)を反応させて得られることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高感度であり、設計寸法通りの高精細なパターンを形成でき、また、画素上のスカム(浮きかす)の発生を抑制することができる感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】顔料、一般式(I)又は一般式(II)で表される化合物、及び、光重合開始剤を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、並びに、前記感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ及びその製造方法。
(もっと読む)


【課題】赤外線レーザによる画像形成が可能であり、画像部の耐薬品性、耐傷性に優れた強固な被膜を形成しうるとともに、非画像部における現像性、現像ラチチュードが良好であり、さらに、現像後に高温で加熱処理した場合に、著しく耐刷性が向上する平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】支持体上に、(A)側鎖にヒドロキシ基を有する(メタ)アクリルアミド構造単位を有する高分子化合物を含有する下層と、(B)側鎖にカルボキシル基を有するマレイミド構造単位を有する高分子化合物、及び(C)光を吸収して熱を発生する化合物を含有する記録層と、を順次備える平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】光感度に優れ、無電解めっき耐性及び剥離特性の双方に優れた硬化物を得ることが可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分が、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、アルコキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート化合物、及びノニルフェニルポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート化合物を含み、(C)成分が、アクリジン化合物を含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】高感度であり、基板依存性がなく、塩基性基板を用いた場合でもプロファイル形状の優れたポジ型レジスト組成物及びこのポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する
【解決手段】ニトロ基及び酸基を有する化合物(N)を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物及びこのポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法 (もっと読む)


【課題】高感度で、200℃以下の低温焼成によって機械的強度と屈曲性に優れた硬化膜を得ることのできるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリイミド樹脂、(b)ノボラック樹脂、(c)熱架橋性化合物、(d)光酸発生剤、(e)溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物であって、(c)熱架橋性化合物の含有量が、樹脂(a)および(b)の総量100重量部に対して15〜80重量部であり、(c)熱架橋性化合物が少なくとも(c1)一般式(1)で表される化合物またはその縮合体、および(c2)下記一般式(2)で表される化合物またはその縮合体を含有し、(c1)と(c2)の含有量比(c1)/(c2)が50/50〜90/10(重量比)であるポジ型感光性樹脂組成物。
(もっと読む)


【課題】 はく離片を細分化(はく離後のレジスト片のサイズを小さく)させることができ、且つ耐めっき性に優れ、感度、解像度及び密着性に優れる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供する。
【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)バインダーポリマーが、少なくとも(メタ)アクリル酸及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリル酸エステルを共重合成分として含む感光性樹脂組成物。さらに、(D)密着性付与剤として、(D−1)ベンゾトリアゾール及び(D−2)一般式(I)で表されるカルボキシベンゾトリアゾール誘導体を含有すると好ましい。 (もっと読む)


【課題】現像性、感度、耐刷性及び網点再現性に優れ、現像時の現像液における現像カスの生成が少ない平版印刷版原版、並びに、平版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、(i)バインダーポリマー、(ii)エチレン性不飽和化合物、及び、(iii)重合開始剤を含有する感光層を有し、前記(ii)エチレン性不飽和化合物が、下記式(1)で表される化合物を含有することを特徴とする平版印刷版原版、並びに、並びに、平版印刷版の製造方法。式(1)中、Lは(m+n)価の連結基を表し、Dは下記式(A)〜(D)で表される基よりなる群から選ばれた基を表し、mは1以上の整数を表し、nは2以上の整数を表す。
(もっと読む)


【課題】平坦性、低誘電性、吸水性、耐溶剤性、透明性及び耐熱透明性に優れるばかりでなく、密着性にも優れる樹脂膜、この樹脂膜を得るための、ろ過性に優れる感放射線樹脂組成物、及びこの樹脂膜を有する電子部品を提供する。
【解決手段】樹脂(A)、感放射線化合物(B)、及び溶剤(C)を含有してなり、樹脂(A)が、特定の5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミド誘導体を含む単量体組成物を重合して得られる重合体であることを特徴とする感放射線樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】画像部の耐薬品性、耐傷性に優れ、また、現像性も良好であり、さらには、現像後に高温で加熱処理した場合、著しく耐刷性が向上する赤外線レーザ用感光性平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上に、特定構造の(メタ)アクリル酸誘導体モノマーに由来する単位を有する高分子化合物、アミノメチル構造含有基を側鎖に有する高分子化合物及び赤外線吸収剤を含有する下層と、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂を含有する上層と、をこの順に有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】放射線に対する透明性が高く、感度、ドライエッチング耐性等のレジストとしての基本物性に優れ、且つ、解像度、焦点余裕度、パターン形状に優れる。
【解決手段】酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤と、溶剤とを含有する感放射線性樹脂組成物において、上記樹脂は、特定構造の酸解離性基を有する繰り返し単位を含む共重合体を含有し、酸解離性基を有する繰り返し単位は、共重合体を構成する全繰り返し単位に対して、55モル%を超えて含有し、共重合体は、樹脂全体に対して、90質量%以上含有する。 (もっと読む)


101 - 120 / 1,798