【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。
【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 各々、赤、緑及び青の光を反射する積層反射フィルムを得、更に、これらの積層反射フィルムを積層することにより、任意の色を反射する多層光学フィルムを得ること。
【解決手段】 （１）２種の超薄膜層、即ち第１基層と第２基層が交互に１００〜５００層積層されており且つその両端面には超薄膜層より厚いスキン層を有する積層反射フィルムであって、第１基層はアクリル系樹脂からなり、第２基層は、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート弾性体及び／又はポリエチレンテレフタレートとポリエチレングリコールとのブロック共重合体及び線状低密度ポリエチレンのポリマーブレンドからなり、縦方向及び横方向への延伸工程を経て製造されたものである、赤色の積層反射フィルム、緑色の積層反射フィルム及び青色の積層反射フィルム、及び（２）これらの積層反射フィルム中の少なくとも２種を積層してなる多層光学フィルムである。 （もっと読む）

【課題】光触媒親水層の層厚の変動に対する反射光の色調の変動を小さくする。
【解決手段】反射鏡１０では、基板１２の表面に反射膜１４が設けられ、反射膜１４の表面に光干渉膜１６が設けられ、光干渉膜１６の表面に光触媒親水膜１８が設けられている。ここで、光干渉膜１６が光触媒親水膜１８より屈折率を高くされており、特に光干渉膜１６の膜厚を調整することで、光干渉膜１６の表面で反射される光と反射膜１４の表面で反射される光との干渉を調整できて、反射鏡１０の反射光の波長のピークを調整できる。このため、光触媒親水膜１８の膜厚の変動に対する反射鏡１０の反射光の色調の変動を小さくできる。 （もっと読む）

【課題】シリコーンオイルの光酸化による膜形成において、電気絶縁に富み、全波長域で透明で、かつ耐熱性や耐水性に優れた大面積薄膜を短時間に作成する方法を提供する。
【解決手段】シリコーンオイル内部に酸化剤を過不足なく貯蔵または補給するために、光励起中の光酸化反応を常時モニターして、酸化剤の飽和蒸気圧を制御する方法と光酸化反応を効果的に行うための真空紫外光源を提供することで解決する。試料や反応雰囲気を冷却し、シリコーンオイル内部の酸化剤を飽和蒸気圧以下に抑え、さらに真空紫外光源の発熱や反射鏡あるいは電極の酸化を共に防止する目的で、反射鏡と電極を一体化してその内部を冷却すると同時に、当該反射鏡とランプ放電管外壁をシリコーンオイルで光接着し、かつ試料の背面に真空紫外線波長域に感知する蛍光剤層を置くことにより、その発光強度に応じて光酸化反応の進行過程を監視して酸化剤の投入制御や励起光の制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】十分な反射率を保持しつつ、着色時及び消色時の応答性に優れるエレクトロクロミックミラーを提供すること。
【解決手段】本エレクトロクロミックミラー１０は、パラジウムを５ａｔ％以上１５ａｔ％以下で含む銀合金からなり、クラックの発生が抑制された導電性反射膜１８と、還元反応することで着色されるエレクトロクロミック膜１６と、を備えることで、十分な反射率を保持しつつ、着色時及び消色時の応答性に優れるものとなる。 （もっと読む）

【課題】素子最表面に位置する基板と空気層との界面で全反射される光を減らすことにより、外部に取り出される光の取り出し効率の向上を実現する。
【解決手段】面状発光素子の光取出し面側に配することで光の取出し効率の向上を図る光学部材１０を、屈折率の異なる材料（高屈折率材料１１、低屈折率材料１２）を光取り出し面の法線Ｖに対し斜めに積層して構成し、光学部材１０が無い場合には空気層１０５との界面で全反射される光を光学部材１０に入射させ、その後、反射・散乱させることで光の取出し効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、可視光領域において、特定の波長領域の光を抑制することによって、相対的に他の波長領域の光を強調させ且つ反射光の彩度を高め、照明や表示装置、及び、それらにより照らされた物体の色相を変えることができる光反射板を提供する。
【解決手段】 本発明の光反射板Ａは、光反射層１の一面に光吸収層２が積層一体化されてなる光反射板であって、上記光吸収層２は、合成樹脂１００重量部、可視光領域の光を吸収する光吸収剤、及び、光反射性充填剤０．０５〜５０重量部を含有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射率の熱的安定性を向上させることができる反射型マスクブランクを提供すること。
【解決手段】基板と、当該基板上に形成されて露光光を反射する多層反射膜２と、当該多層反射膜上に形成されて露光光を吸収する吸収体膜とを有する反射型マスクブランクであって、上記多層反射膜は、シリコン層７とモリブデン層６とを交互に積層した材料から構成され、上記シリコン層７とモリブデン層６との間に、モリブデンと炭素を含む材料からなる拡散防止層８、例えば炭化モリブデン、炭化二モリブデンまたはそれらの窒化物からなる拡散防止層が形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成を採らずにスペックルノイズの発生を確実に抑制する。
【解決手段】青色レーザ光を発生する半導体レーザ部21、及び該青色レーザ光を用い、波長を変化させずに出射する期間と波長を変換して赤色光または緑色光を出射する期間とを周期的に繰返すカラーホイール24を含む光源部17と、カラーホイール24で青色光を出射する期間中、半導体レーザ部21を間欠駆動する投影光処理部36及びＣＰＵ37と、画像信号を入力する入力系11，12と、光源部17から出射する光を用い、入力する画像信号に対応したカラーの光像を形成して投影する投影系13〜16，18，19とを備える。 （もっと読む）

一定の外面形状を有し、反射コーティングが設けられるように意図され、かつミラー基板を意図されるように使用する際に高い負荷を受ける帯域として規定される、表面区域（surface region）を有する、ＥＵＶリソグラフィに使用されるミラー基板用の、高シリカ含有量を有するチタンドープガラス（ガラス）のブランクを製造する既知の方法に基づき、低コストで製造することができるにもかかわらず、均一性並びにブリスタ及び脈理がないことについて高い要件を満たすブランクを提供するために、（ａ）外面形状を包含するのに十分な大きさよりも大きい寸法を有するチタンをドープした高品質のガラスの前部体を作製する方法工程と、（ｂ）チタンドープガラスから円筒形の支持用基体（supporting body）を作製する方法工程と、（ｃ）前部体と支持用基体とを結合させる方法工程であって、複合体を形成する、前部体と支持用基体とを結合させる方法工程と、（ｄ）複合体を加工する方法工程であって、ミラー基板用ブランクを形成する、複合体を加工する方法工程とを含む手法が提案され、ここで、前部体を作製する工程は、ケイ素含有化合物の火炎加水分解によってストランドの形態で得られる出発用基体（starting body）をねじり加工して、前部体ブランクを形成することを伴う均一化プロセスを含み、支持用基体は、前部体よりも均一性の低い一体構造のガラスブロックとして形成される。 （もっと読む）

【課題】液晶用バックライトの輝度を向上させて、液晶画面をより鮮明かつ見やすくすることができる反射シートを提供すること。
【解決手段】本発明の反射シートは、少なくともポリプロピレン樹脂（Ｄ）を含有する表層部と、ポリプロピレン樹脂（Ａ）、該ポリプロピレン樹脂（Ａ）と非相溶性である少なくとも１種の樹脂（Ｂ）、及び相溶化剤としての熱可塑性エラストマー（Ｃ）、を含有し、内部に孔を有する内層部と、を備え、表層部及び内層部の少なくとも２層から構成されるとともに、内層部１００重量部に対して熱可塑性エラストマー（Ｃ）０．３重量％〜２０重量％を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置で使用するミラーであって、基板及び反射コーティングを備え、反射コーティング自体はさらに第１層群及び第２層群を備えるミラーに関する。この場合、第２層群は、基板と第１層群との間に配置される。さらに、第１層群及び第２層群の両方が、上下に配置された複数の交互の第１層及び第２層を備え、第１層は第１材料を含み、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線に関する第１材料の屈折率は、第２層に含まれる第２材料の屈折率よりも高い。この場合、第１層群は、２１個以上の数の層を備えるよう構成されることで、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線の照射時に第２層群に達する放射線が２０％未満となるようにし、第２層群は、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する。これにより達成されるのは、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する第２層群が、ミラーの反射率特性に大きな影響を及ぼさないことである。 （もっと読む）

本発明は、コリメータレンズ（１３）および集束レンズ（１４）を含み、コリメータレンズ（１３）および充足レンズ（１４）がＺｎＳからなるとともに少なくとも５mmの周辺厚さを有する、レーザービームを集束させるためのヘッドに関する。さらに、４０から５０°の入射角（α）にて作用する折り畳み反射鏡（１５）が前記集束ヘッド内のレーザービームの経路における、コリメーティングレンズ（１３）と集束レンズ（１４）との間に設けられる。本発明はさらに：、１.０６から１.１０μｍの波長および０.１から２５kWの出力を有する固体レーザー（ＳＬ）装置と、本発明に係る集束ヘッドと、そして、固体レーザー（ＳＬ）装置から集束ヘッドにレーザービームを伝達するように、固体レーザー（ＳＬ）装置を集束ヘッドに接続する伝達ファイバー（ＣＦ）を備えるレーザービーム切削機器に関する。
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本発明は、ＥＵＶ波長領域に対する反射コーティングと、基板とを具えるミラーであって、基板の表面領域は反射コーティングの下側でこの反射コーティングに沿って均一に延在しているとともに、基板の表面から見て５μｍまでの深さｄを有している当該ミラーに関するものである。この場合、この表面領域はこの表面領域以外の残りの基板よりも２％だけ高い密度を有する。本発明は更に、上述した表面領域を同様に有する基板に関するものである。本発明は更に、イオン又は電子を照射することにより、上述した表面領域を有する上述したミラー及び基板を製造する方法に関するものである。
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【課題】第一には所望の分光放射分布の波長領域の分光強度を他の領域へ影響を及ぼすことなく調整ができると共に、急峻な分光強度の変化特性にも対応できる光学機構を備えた光源装置を提供すること、更には光源ランプのスペクトル特性の器差や経年変化があってもそれを補正することができる光源装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の分光放射分布の調整が可能な光源装置は、所望の分光放射分布に光源装置からの出力光の分光放射分布を一致させる手段として光源と光学素子が組み合わされたものにおいて、単数または複数の特定波長帯域を透過または反射する斜入射多層膜ミラーを使用して光源からの該特定波長帯域を該斜入射多層膜ミラーの反射、透過により除去する手段と、これに新たに用意した光量が調整された光を前記斜入射多層膜ミラーで透過、反射により合波する手段を備え、前記特定波長帯域の光を適度に補うことにより光源装置の出力光の分光放射分布の調整を可能とした。 （もっと読む）

【課題】真空成形の加熱時のドローダウンが小さく真空成形性に優れ、拡散反射率が良好な熱可塑性樹脂シートを提供する。
【解決手段】（Ａ）１９０℃におけるメルトフローレートが０．３〜１．０ｇ／１０分であるエチレンプロピレンブロック共重合体６０〜８０質量％と、（Ｂ）１９０℃におけるメルトフローレートが０．１〜１．０ｇ／１０分である高密度ポリエチレン２０〜４０質量％とを含む。そして、（Ｃ）酸化チタンを、前記（Ａ）と（Ｂ）の合計質量に対して５〜１０質量％含む。好ましくは、樹脂シートの表面にシボ加工が施されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で照明ムラや観察像のムラを低減することができる汎用性の高い光学系、照明装置および顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】反射部材１３，１５を用いて少なくとも１回の反射を行う照明光学系１１において、照明光を反射させる反射部材１３，１５の反射面Ａ，Ｂ前面を、照明光学系１１が配置される雰囲気の屈折率よりも大きな屈折率を有する透過部材１３ｂ，１５ｂで覆う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線領域において用いる光学素子において、入射角度に依存した反射率の低下を防止する。
【解決手段】基板１１にＭｏ層１２とＳｉ層１４の交互層からなる反射多層膜を有する光学素子において、Ｍｏ層１２とＳｉ層１４の層間に拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３を設ける。Ｘ線の入射角度が光学素子の面内で矢印Ａの方向に増大する場合に、拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３の膜厚に同じ方向の分布を持たせることにより、拡散防止効果を増大させて、Ｘ線の入射角度による反射率の低下を抑制する。 （もっと読む）

本発明は、フィルム複合体及び、太陽放射光の要求された反射（全ての太陽光反射）を可能な限り持続的に保証することを視野に入れた太陽光反射板におけるミラーフィルムとしての該フィルム複合体の使用に関する。殊に本発明は、フィルム複合体における、特に高いＵＶ安定性及び高い耐候安定性を有するポリメチル（メタ）アクリレート（ＰＭＭＡ）を基礎とするカバーフィルムの使用に関する。そのうえ本発明は、光学寿命、耐候性の改善及び層間剥離の防止のための、太陽光反射板において使用されるような前記太陽光ミラーフィルムのＵＶ保護パッケージ及び耐候保護パッケージに関する。本発明はそのうえ、太陽光ミラーフィルムの耐引掻性、防汚及び耐化学性に関しての表面調質に関する。 （もっと読む）

【課題】反射光の角度依存性を抑制し、コントラストを向上した投射画像の表示を可能とするプロジェクションシステムを提供する。
【解決手段】外光ＯＬの光源スペクトルにおけるピーク波長よりも低波長側に発光ピークを有する光源を備えたプロジェクターＰＪと、プロジェクターＰＪから射出される投射光Ｌを用いて投射画像を表示するスクリーン１Ａと、を備え、スクリーン１Ａは、投射光Ｌが投射される被投射面１ａに、特定の波長帯域の光を反射する選択反射層４を有し、特定の波長帯域は、プロジェクターＰＪの光源の発光ピークと重なるとともに、外光ＯＬの光源スペクトルにおけるピーク波長とは重ならない波長帯域に設定されており、 特定の波長帯域の幅は、スクリーン１Ａへの入射光の入射角度に応じて算出される特定の波長帯域の波長シフト量に基づいて設定されている。 （もっと読む）