【課題】反射光学素子、光学ユニット、光学装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】反射光学素子４３は、露光光を反射させる第１面４７及び該第１面４７とは異なる第２面４９を有する入射側フライアイミラー４８と、入射側フライアイミラー４８の第２面４９を支持する支持面５０ａを有する支持部材５０と、入射側フライアイミラー４８の第２面４９及び支持部材５０の支持面５０ａのうち一方の面に設けられる突出部材７１と、入射側フライアイミラー４８の第２面４９及び支持部材５０の支持面５０ａのうち他方の面に設けられ、突出部材７１を収容する第１収容部７０と、を備え、支持部材５０は、突出部材７１及び第１収容部７０を介して入射側フライアイミラー４８との間で熱を交換する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも２つの交互材料の層を有する多層系を備えた反射面を基板上に含む紫外から極紫外までの波長範囲の反射光学要素、及び投影露光装置を提供する。
【解決手段】作動波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料の層（４１，４２）を有する多層系を備えた反射光学要素を提案し、作動波長である一定の入射角帯域幅分布を有する放射線は、反射光学要素上に入射することができ、反射面は、層（４１，４２）が第１の周期の厚み（Ｐ１）の交互材料を有する１つ又はそれよりも多くの第１の部分（Ａ１）と、交互材料の層（４１，４２）が第１（Ｐ１）及び少なくとも１つの更に別の周期の厚み（Ｐ２）を有する１つ又はそれよりも多くの更に別の部分（Ａ２）とを含み、反射面にわたる第１（Ａ１）及び更に別の部分（Ａ２）の配列は、入射角帯域幅分布に適応される。 （もっと読む）

【課題】反射層の裏側から反射層を介して反射鏡の表側に情報を表示する。
【解決手段】反射鏡１０では、反射膜２４が、珪素により形成されて、光透過性を有している。さらに、反射膜２４の裏側に設けられた表示装置２６が、反射膜２４へ向けて、警告情報を発光表示可能にされている。このため、表示装置２６から、反射膜２４、第２光干渉膜２２、第１光干渉膜２０、基板１２及び光触媒性親水膜１４を介して、反射鏡１０の表側に警告情報を表示できる。 （もっと読む）

【課題】熱に対して優れた安定性を持つミラー、およびそれを用いたＥＵＶ光生成装置を提供する。
【解決手段】ミラーは、基板１１１と、基板の主面上に形成され基板よりも高い熱伝導率を有する熱拡散層１１２と、熱拡散層上に形成され、熱拡散層よりも低い熱伝導率を有する高反射膜１１３と、を備える。これによりレーザ光照射部分ので発生した熱が熱拡散層１１２によって広く分布し、この結果、基板１１１全体を介して効率よく放熱される。 （もっと読む）

【課題】 特定の波長領域の光を選択的に指向反射する一方、その波長領域外の光を透過させる光学機能性フィルムなどとして好適な機能性積層体であって、外力や温度変化による膨張収縮などによって損なわれにくい機能性積層体、及びその機能性積層体を備えた機能性構造体を提供すること。
【解決手段】 機能性積層体として、所定の立体的形状に形成された無機物層を含有する機能性層１と；機能性層の２つの主面のそれぞれに密着し、機能性層１を狭持するように配置された第１の樹脂層２および第２の樹脂層３と；第１の樹脂層２の、機能性層１と接している面とは反対側の面、および第２の樹脂層の、機能性層１と接している面とは反対側の面にそれぞれ接して配置され、第１の樹脂層および前記第２の樹脂層に比べ弾性率が大きい、第１の支持体及び第２の支持体とを有する機能性積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】複合カラー分光システムの提供。
【解決手段】複合カラー分光システムは、光制御モジュール２０、導光モジュール３０、分光モジュール４０を備え、光制御モジュール２０は少なくとも１個の光源ユニット２１、及び少なくとも１個のレンズユニット２２を備え、光源ユニット２１は少なくとも２種の異なる波長を備える複数の光源の配列により構成し、しかも複数の光源は対称的に設置し、光源ユニット２１は２種の異なる波長を備える複数の入射光を、レンズユニット２２に入射させ、さらに光制御モジュール２０から出射させ、導光モジュール３０は第一入射面３１、導光構造３３、第一出射面３２を備え、第一入射面３１は光制御モジュール２０により出射された複数の入射光を受け取り、導光構造３３は複数の入射光を、第一出射面３２へと導き、導光モジュール３０から出射させ、分光モジュール４０に入射させ、分光モジュール４０により複数の入射光を分光後、分光モジュール４０から出射する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光源におけるＥＵＶコレクタの反射表面からデブリを除去するための方法および装置を提供する。
【解決手段】電流源（ＤＣ電圧源）２２０は、コレクタミラー１５０、ミラー１５０のための金属製バッキング材（アルミニウムまたはニッケル）に接続されてよい。ミラー１５０は、チャンバ２６の内側を満たす周囲ガス（ヘリウムガス）の温度よりも高い温度に加熱されてよい。デブリ洗浄のもう一つの側面、ＲＦ周波数電圧２３０およびチャンバ２６内の２３２で模式的に示すアンテナからの、ＲＦの導入が組込まれてもよい。ＲＦは、ミラー１５０または金属製バッキング材に接続されてもよく、この場合、適切な導電性材料製で且つアース電位に接続された暗シールドが、コレクタミラー１５０の背面を覆って形成されてよく、これは絶縁体（空気ギャップ）および電圧（ミラー１５０にも接続されたＤＣ電源２２０からのＤＣ）によってミラーから分離される。 （もっと読む）

【課題】光を上空に効率良く戻すことができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、帯状の形状を有するとともに、光が入射する入射面を有する光学層と、光学層内に形成された、コーナーキューブ形状を有する反射層とを備える。反射層は、入射角（θ、φ）で入射面に入射した光を指向反射し、コーナーキューブの稜線の方向が、帯状の光学層の長手方向と略平行である光学体である。（但し、θ：入射面に対する垂線ｌ₁と、入射面に入射する入射光または入射面から出射される反射光とのなす角、φ：コーナーキューブの稜線と、入射光または反射光を入射面に射影した成分とのなす角） （もっと読む）

【課題】 本発明は、可視光領域において、特定の波長領域の光を抑制することによって、相対的に他の波長領域の光を強調させ且つ反射光の彩度を高め、照明や表示装置、及び、それらにより照らされた物体の色相を変えることができる光反射板を提供する。
【解決手段】 本発明の光反射板Ａは、第一光反射層１の一面に、可視光領域の光を吸収する光吸収剤を含有する光吸収層２が積層一体化されていると共に、上記光吸収層２の一面に、合成樹脂及び光反射性充填材を含有する第二光反射層３が積層一体化されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、太陽光や人工光などの光源の光を反射して、可視光領域における特定波長領域の光を強調することによって、照明や表示装置、及び、それらにより照らされた物体の色相を変え、従来の白色及び銀色反射板では表現できなかった色相にすることができる光反射板を提供する。
【解決手段】 本発明の光反射板Ａは、第一光反射層１の一面に発光体を含有する発光体層２が積層一体化されていると共に、上記発光体層２の一面に、合成樹脂及び光反射性充填材を含有する第二光反射層３が積層一体化されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学体の両面いずれからの入射においても、入射角による色調変化を抑制することができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、凹凸面を有する第１の光学層と、凹凸面上に形成された波長選択反射層と、凹凸面を埋めるように波長選択反射層上に形成された第２の光学層とを備える。光学体は、入射角（θ、φ）で入射面に入射した光のうち、特定波長帯の光を正反射（−θ、φ＋１８０°）以外の方向に選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を透過する（但し、θ：入射面に対する垂線と、入射面に入射する入射光または入射面から出射される反射光とのなす角、φ：入射面内の特定の直線と、入射光または反射光を入射面に射影した成分とのなす角）。光学体は、５°以上６０°以下の入射角度で、光学体の両面のいずれか一方から入射し、光学体により反射された正反射光の色座標ｘの差の絶対値、および色座標ｙの差の絶対値が、光学体の両面のいずれにおいても、０．０５以下である。 （もっと読む）

【課題】保護層により封止した全固体型反射調光エレクトロクロミック素子及びそれを用いた調光部材を提供する。
【解決手段】透明基材の上に多層膜を形成した反射型調光素子であって、該多層膜が、少なくとも透明基材の上に、透明導電膜層、イオン貯蔵層、固体電解質層、バッファ層、触媒層、反射調光層、保護層を形成した多層構造を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ用の投影露光ツール（１００）で使用するための配置構成は、反射光学素子（１０；１１０）と放射検出器（３０；３２；１３０）を備える。反射光学素子（１０；１１０）は、光学素子（１０；１１０）の機械的強度を保証するキャリア要素（１２）と、キャリア要素（１２）上に配設された、使用放射（２０ａ）を反射するための反射コーティング（１８）とを備える。キャリア要素（１２）は、使用放射（２０ａ）と相互作用して二次放射（２４）を放出する材料からなり、二次放射（２４）の波長は、使用放射（２０ａ）の波長とは異なり、放射検出器（３０；３２；１３０）は、二次放射（２４）を検出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】９００℃，１００時間の熱処理によるＯＨ基濃度の減少量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とするチタニアドープ石英ガラス、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】火炎加水分解により合成微粒子を回転するターゲット上に堆積すると同時に溶融ガラス化してチタニアドープ石英ガラスを製造する方法において、バーナーの中心管に供給される酸素ガスがケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスの和のモル比で５以上であること、水素ガスがバーナーの一又は複数の水素ガス供給管から噴射されるに際しての線速がそれぞれ１００ｍ／ｓｅｃ以下であること、各ガスの供給流量の変動を±１％以内に制御すると共に、炉内に吸入する空気、炉からの排気及び炉周囲の外気の各々の温度の変動を±２．５℃以内に制御して、上記ターゲットを５ｒｐｍ以上の回転数で回転させ、上記微粒子をターゲット上に付着させるようにした製造条件による。 （もっと読む）

【課題】可撓性を損なうことがなく、熱、または熱と加圧とによる界面の凹凸形状の変形を抑制することができる光学フィルムを提供する。
【解決手段】本発明に係る光学体は、凹凸形状の界面を内部に有する光学層と、界面に設けられた無機材料を主成分とする中間層とを備える。光学層が、凹凸形状の第１の面を有する第１の光学層と、凹凸形状の第２の面を有する第２の光学層とを備える。界面は、対向配置された第１の面と第２の面とにより形成され、第１の光学層、および第２の光学層の少なくとも一方が、１００℃での貯蔵弾性率が３×１０⁷Ｐａ以上であり、２５℃での貯蔵弾性率が３×１０⁹Ｐａ以下である。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造できると共に、高い光学機能を実現し得る光学部品を提供する。
【解決手段】光学部品１は、第１の透光性部材１１と、第２の透光性部材１２と、光学的機能膜１３とを備えている。光学的機能膜１３は、第１の透光性部材１１と第２の透光性部材１２との間に設けられている。光学的機能膜１３は、第１の多層膜１３ａと、第２の多層膜１３ｂと、接着剤層１３ｃとを有する。第１の多層膜１３ａは、第１の透光性部材１１の上に形成されている。第２の多層膜１３ｂは、第２の透光性部材１２の上に形成されている。接着剤層１３ｃは、第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを接着している。 （もっと読む）

【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製造工程中に生じる反射率の低下を回復することができる電磁波反射部材の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、右円偏光成分または左円偏光成分の電磁波を反射する選択反射層を含有する選択反射層含有部材と、上記選択反射層の表面上に形成された第一粘着剤層と、上記第一粘着剤層の表面上に形成された第一透明外装基板とが、加熱および加圧により一体化された中間部材を作製する中間部材作製工程と、上記中間部材を、上記選択反射層の配向乱れを修正する温度以上の温度で加熱する修正加熱工程と、を有することを特徴とする電磁波反射部材の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

特にＥＵＶリソグラフィ装置用の応力低減型反射光学素子を構成する軟Ｘ線及び極端紫外線波長域内の作業波長用の反射光学素子であり、前記反射光学素子は、基板（２）上に前記作業波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料（４１，４２）からなる第１の多層膜系（４）を備え、該多層膜系が前記基板（２）に層応力を及ぼし、前記基板（２）上に周期的に交互の少なくとも２つの材料（６１，６２）からなる第２の多層膜系（６）を備え、該多層膜系が前記第１の多層膜系（４）と前記基板（２）との間に配置され、前記基板（２）に反対方向の層応力を及ぼし、前記第２の多層膜系（６）の前記少なくとも２つの材料の第１の材料（６１）が、前記第２の多層膜系（６）の少なくとも１つの他の材料（６２）の１ｎｍまでの厚さの層によって、前記第１の材料（６１）がアモルファス状態で存在するような間隔で遮断されている。第２の実施例では、前記第２の多層膜系（６）の一つの材料はニッケル又はニッケル合金である。
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【課題】光学部材の光学特性を高精度に調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に固定される第２永久磁石７２と、第２永久磁石７２に対向して配置される第１永久磁石７１と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、第１永久磁石７１を第２永久磁石７２に対して相対距離が変化するように変位させる変位機構８０とを備える。 （もっと読む）