本発明は、移動素子を有するマイクロメカニカル装置に関し、該装置は該移動素子に規定量の熱を投入する制御可能加熱装置を備え、該装置はさらに、瞬時温度に応じて、及び／又は投入される瞬時の熱量に応じて、加熱装置を制御するよう設計された制御部（５）を有する。例えば、該装置は電磁放射線を投射するよう設計でき、この場合の該移動素子は、放射源（１）から発せられる放射線を投射面（３）に向けて偏向させるビーム偏向部（２）の形態をなす。さらに、本発明は電磁放射線の投射に対応する方法にも関する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのレーザ光源２と、前記レーザ源２から放射されるレーザビームで投影領域を走査するよう構成される走査ユニット７とを有する投影装置に関する。前記レーザビームは、少なくとも前記走査ユニット７を出るときに発散レーザビームであるよう適応され、前記発散レーザビームを集束させる又はコリメートするための再集束光学素子９、１３が、ビーム方向における前記走査ユニット７の後ろに配設される。提案投影装置では、投影ビームを見たときの目の損傷のリスクが減らされる。
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【課題】スクリーンに画像光を走査投射して画像を表示する際に、外乱光の影響を抑える。
【解決手段】画像光２０１をスクリーン３００上に走査投射して画像を表示する画像投射方法において、スクリーン３００の画像光２０１が走査されている領域３１２の反射率を、画像光が走査されていない領域３０１〜３１１及び３１３〜３１６の反射率と比較して高く制御することにより画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】プレーナ型電磁アクチュエータの製造コストを上昇させることなく、可動板の大型化を可能にする電磁アクチュエータ構造を提供する。
【解決手段】可動板１０を、駆動コイル４を形成したフレキシブルシート１１、剛体の回動板１２及びミラー板１３で構成し、回動板１２中心部の第１の溝部１２ａにトーションバー３の中央部３ｂを貼り付け、トーションバー３の軸部３ｃを回動板１２の第２の溝部１２ｂ内で浮遊状態とする。回動板１２の上面にミラー板１３を組付け、駆動コイル４を形成したフレキシブルシート１１を回動板１２の下面に貼り付けて可動板１０を組み立てる。これにより、可動板１０の中心部にトーションバー３が連結し、可動板１０の下側にトーションバー３を潜り込ませるようにした。 （もっと読む）

【課題】全方位３６０°であって垂直方向９０°以上の全空間を走査することが可能な光走査光学素子、２次元走査ミラー装置及びそれを用いた光走査装置。
【解決手段】光ビームを発生する光源ユニット２と、光ビームの伝播軸上であって中心軸１上に配置された２次元光走査手段３と、２次元光走査手段３により走査され光ビームの中心軸１に沿う方向の走査角を拡大する走査角変換手段４とを含み、中心軸１の周り３６０°、中心軸１を含む断面内９０°以上を走査可能な光走査装置。 （もっと読む）

【課題】
走査部としてのミラーの反射面の形状とミラーの反射面における光のスポット形状とを適合させることにより、ミラーを小型化するとともに、ミラーの共振周波数を向上させ、解像度が高い映像を表示することが可能な走査型画像表示装置を提供することにある。
【解決手段】
光ビームを出射するレーザ光源と、前記レーザ光源からの光ビームを、第１の方向と、前記第１の方向と略垂直である第２の方向に回動して走査する走査部とを備え、前記第１の方向の回動幅は、前記第２の方向の回動幅よりも大であって、前記走査部の近傍において、前記光ビームの断面形状は、前記第２の方向よりも前記第１の方向に長い辺を有する楕円状の断面形状を有し、前記辺は、前記走査部の第１の方向と略平行である。 （もっと読む）

【課題】ワークに対するレーザ光の照射位置の温度ドリフトを防止することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】ケース１１の内部にレーザ光源１２と、ガルバノミラー１３、偏向機構１４及びガルバノモータ１５よりなる光走査手段Ｍとを収容する。前記ガルバノモータ１５に駆動回路２６を接続する。前記ケース１１内に収容された制御装置２１の制御部２２にエージング制御部４３及びレーザ光照射停止部４４を設ける。そして、ワークに対するマーキング（加工）動作が行われる以前に、レーザ光源１２を停止し、前記エージング制御部４３からの制御信号により前記駆動回路２６を駆動し、光走査手段Ｍをエージングし、光走査手段Ｍの温度を予め適正温度に上昇させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の走査領域を予め設定された矩形形状とすることができるビーム照射装置およびレーザレーダを提供する。
【解決手段】レーザ光源（半導体レーザ１０１）と、レーザ光源から出射されたレーザ光が入射されるミラー１３と、ミラー１３を第１の回動軸と当該第１の回動軸に垂直な第２の回動軸をもってそれぞれ第１および第２の方向に回動させる駆動機構（ミラーアクチュエータ１００）と、駆動機構を制御してレーザ光を２次元方向に走査させる制御回路（ＤＳＰ制御回路２０１、等）を備える。制御回路は、レーザ光の走査領域が矩形形状となるよう、ミラーを第１の方向および第２の方向に回動制御する。 （もっと読む）

【課題】蛍光顕微鏡に使用されている蛍光キューブを切換えることで、共焦点顕微鏡から全反射蛍光顕微鏡に切換え可能な顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光源３２，４２からのレーザ光束を標本に照射する照明光学系と、前記標本からの蛍光を検出する蛍光検出光学系と、前記照明光学系内に配設され、前記レーザ光束を前記標本へ導く複数の蛍光キューブ６１と、対物レンズ１６とを備えた顕微鏡装置１において、前記蛍光キューブの少なくとも１つは、前記レーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行になるようにし、かつ前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置Ｐの光軸から離れた所定の位置に集光するための光学手段６０を有する顕微鏡装置１。 （もっと読む）

【課題】復路の時間短縮を容易にし、測定に用いる光を照射する時間の比率を高くし、無駄時間を少なくすることができ、また、光を照射する時間の比率を高くしても、小型で、低価格な光スキャン装置及び該装置を搭載した測距装置を提供すること。
【解決手段】光スキャン装置は、レンズ３４を備えたホルダ６１と、該ホルダ６１をレンズ３４の光軸に垂直方向に移動可能に支持するワイヤバネ１０８と、レーザダイオード５５とを具備し、該レーザダイオード５５からの光をレンズ３４に通し、該レンズ３４を移動させて障害物２０５を走査する。レンズ３４の移動を第１の方向への移動と該第１の方向と反対の第２の方向への移動とした場合に、レンズ３４を第１の方向へ移動させるときに走査する光で障害物２０５の検知を行い、ワイヤバネ１０８が撓んでいないときにレンズ３４の光軸がレーザダイオード５５の光軸に対して第２の方向にずれている。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出射するレーザ発振器と、レーザ発振器から出射されたレーザビームが一対の第１経路のうち少なくとも一つの経路に沿って進むように選択的に分配するための第１分配手段と、第１経路のうち何れか一つの経路を経由したレーザビームが一対の第２経路のうち少なくとも一つの経路に沿って進むように選択的に分配するための第２分配手段と、第１経路のうち他の一つの経路を経由したレーザビームが一対の第３経路のうち少なくとも一つの経路に沿って進むように選択的に分配するための第３分配手段と、分配手段を経由したレーザビームを加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための４個のスキャナ対と、スキャナ対を経由したレーザビームが入射され、それぞれのレーザビームを所定直径のスポットに集束させて基板上に照射するためのスキャンレンズと、を備えるレーザ加工装置である。 （もっと読む）

【課題】試料における集光位置の深さが変動することによる散乱の変化に関わらず、簡易に鮮明な蛍光画像を取得する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源と、該レーザ光源から出射されたレーザ光を試料Ａ上において走査させる走査部と、走査されるレーザ光の試料Ａ内における集光位置の深さを調節する集光深さ調節部と、試料Ａ内におけるレーザ光の集光位置から発せられる蛍光を検出する蛍光検出部と、集光深さ調節部によるレーザ光の試料Ａ内における集光位置の所定の基準深さの絶対高さＺ_１０を記憶する基準深さ情報記憶部と、レーザ光の各集光位置における、基準深さの絶対高さＺ_１０に対する相対高さｄ_１〜ｄ_５とレーザ光源、走査部または蛍光検出部の少なくとも１つの設定値ＨＷ_１〜ＨＷ_５とを対応づけて記憶するハードウェア設定記憶部とを備える走査型光学装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】印字データのデータ形式を印字作業が可能なＸ，Ｙ座標データに変換する作業を容易に行うことができるとともに、設備コストを低減することができるレーザマーキング装置を提供する。
【解決手段】レーザマーキング装置１３の取込手段２１によって取り込まれた印字データのデータ形式を識別手段２５によって識別し、この印字データが印字作業が可能なデータ形式のＸ，Ｙ座標データＤｘｙではない場合に、該印字データをデータ形式変換回路２７によって、前記Ｘ，Ｙ座標データＤｘｙに変換する。この変換されたＸ，Ｙ座標データＤｘｙに基づいてアクチュエータ１７ａ，１７ｂを制御し、レーザ発振器１４から発振されたレーザ光線をＸ，Ｙ方向に走査して、製品１２の表面に予め設定された図形データを刻印する。 （もっと読む）

【課題】非線形結晶内での単位時間あたりの局所的なエネルギー密度の上昇を抑える。
【解決手段】基本波レーザ光源１０から出た基本波５０は、集光レンズ２０によって集光されて、分極反転構造をもつ非線形結晶１１に入射する。基本波５０の集光位置を走査ミラー２１で変位させることにより、非線形結晶１１内の単位時間あたりの局所的なエネルギー密度の上昇を抑える。 （もっと読む）

【課題】温度上昇を防止することにより稼働率を向上させることができる電磁アクチュエータおよびレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】回転子を軸方向の中央部に保持させた揺動軸１を回転子の両側に配置した一対の軸受５ａ、５ｂで支持し、軸受５ａ、５ｂを固定子を保持させた円筒状のハウジングに支持させて回転子を外筒４とブラケット２，３とからなるハウジングで覆うと共に揺動軸１の一方の軸端に角度検出手段を配置して揺動軸１の回転角度を検出するようにした電磁アクチュエータにおいて、外筒４の外部と内部を接続するガス流入口１８とガス排出口１９を設ける。この場合、角度検出手段をＯリング２５と隔壁２２によりハウジングの外部に対して気密的に覆うカバー１３を設け、このカバー１３をハウジングに接続することができる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物上に形成された１次パターニングラインに基づいて、２次パターニングラインを高速かつ高精度に加工することが可能なレーザ加工方法および装置を提供する。
【解決手段】 被加工物（１）に対してレーザ光を走査し、前記被加工物上に形成されている１次パターニングラインを基準とした所定の位置に２次パターニングラインを形成するレーザ加工装置において、前記被加工物の被加工面に対してガルバノスキャンミラー（１４）を用いてレーザ光を走査するためのレーザ光学系と、１次パターニングラインと前記被加工物の被加工面でのレーザ反射光とを撮像する撮像手段（１７）と、前記撮像手段により撮像して得られた画像上で１次パターニングラインとレーザ反射光の相対位置を検出し、検出された相対位置と、１次パターニングラインを基準とした２次パターニングラインの所定の位置とを比較して補正量を検出する補正量検出手段（２１）と、前記補正量に基づいて、レーザ光の走査位置を補正可能である。 （もっと読む）

【課題】所定の画素パターンを有する画像を表示したときであっても、画像に縞模様が現れることを抑制することができる光走査装置及びそれを備えた画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光束の走査方向に応じたクロック周期のドットクロックを、基本クロックであるマスタクロックを走査位置に応じた分周数で分周することにより生成するドットクロック生成器を備え、このドットクロック生成器は、一走査ラインにおいて連続する２以上のドットクロックからなるドットクロックの組の分周数列パターンと同一の分周数列パターンが複数回繰り返されるドットクロック群について、各組を生成するために必要な分周数の合計値を一定に維持しつつ各組のドットクロックの周期パターンを変更する。 （もっと読む）

【課題】ズーム機能を備え、小型化、かつ、低コスト化を図るとともに、利便性に優れたプロジェクタを提供すること。
【解決手段】光を射出する光源装置１１と、該光源装置１１から射出された光を画像情報に応じて変調する空間光変調素子３０と、空間光変調素子３０により変調された光を中間像として結像させるズーム光学系を有する倍率調整部と、前記中間像を被投射面上に投射する投射手段４３とを備え、倍率調整部のズーム光学系４１が、中間像の倍率を変化させることによって、少なくとも被投射面５０に投射される投射画像の少なくとも一方向の倍率を変化させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高画質、高解像度を実現する二次元光走査装置を提供する。
【解決手段】ビーム状の光を出射する光源１０、光源１０から出射された光を主走査方向及び副走査方向に偏向走査する偏光器２０、偏光器２０で走査された光が走査面５に形成する走査線のうち隣接する走査線の副走査方向の間隔を検出する走査線検出手段３０及び制御部４０を備える。制御部４０において、偏光器２０の２軸方向の走査周波数ｆ_x、ｆ_yと走査面５の更新周波数Ｆとが以下の式１に示す関係となるように偏光器２０の偏向角度を制御するとともに、走査線検出手段３０で検出された走査線の副走査方向の間隔が所定の値になるように偏光器２０の偏向角度の位相を制御する。
ｆ_x＝ｎ_x×Ｆ、ｆ_y＝ｎ_y×Ｆ （ｎ_x、ｎ_yは、互いに素の整数）・・・式１
これにより、周波数の差を低減した粗密のない走査線軌跡を形成することができ、走査面５上に高画質、高解像度の表示を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 扇状にレーザー光を走査するレゾナントスキャナーのミラー部の角度を傾動可能とし、レーザー光の扇状の走査面を傾動させて３次元領域の走査を可能とするレゾナントスキャナーを提供する。
【解決手段】 ミラー部１によりレーザー光を走査するレゾナントスキャナーＲであって、前記ミラー部１を傾斜させる傾動手段Ｋを具備する。前記ミラー部１により、前記レーザー光は扇状に走査され、前記傾動手段Ｋにより、前記レーザー光の扇状の走査面が傾動される。前記傾動手段Ｋは、前記ミラー部１に当接するミラー傾斜シャフト３と、前記ミラー傾斜シャフト３を往復動させるカム７と、前記カム７を回転させるステッピングモーター９を具備する。 （もっと読む）