【課題】同一光軸上で対向配置されてそれぞれの焦準機構により光軸方向に移動される対物レンズ同士の衝突を確実に防止し、その損傷を防止できる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 少なくとも一方のレンズ保持部材１２１に設けられて、焦準機構１２２による移動に伴い対物レンズ１０４，２０４同士が衝突する前にレンズ保持部材１２１，２２１同士の接近動作を規制する棒状スペーサ１３１を備えるので、同一光軸上で対向配置された対物レンズ１０４，２０４をそれぞれの焦準機構１２２，２２２により光軸方向に接近移動させたとしても、対物レンズ１０４，２０４同士が衝突する前に棒状スペーサ１３１がレンズ保持部材１２１，２２１同士の接近動作を規制することで、対物レンズ１０４，２０４同士の衝突を確実に防止できるようにした。 （もっと読む）

試料を検査する方法および装置を提供する。本装置は、第１照明源と、第１照明源から受け取った光エネルギを実質的に垂直な角度で前記試料に向かうように誘導する、中央掩蔽を提示する反射屈折対物レンズと、前記反射屈折対物レンズによって生じる前記中央掩蔽内に配置され、第２照明源からの追加照明を受け取って、前記試料に向けて追加照明の進路を変える、プリズムや反射面等の光学装置と、を含む。本方法は、第１照明源を用いて、前記試料の表面を各種の角度で照光することと、第２照明源を用いて前記表面を照光することとを含み、前記第２照明源による照光は、実質的に垂直な入射角度で行われ、また、反射、散乱、および回折されたすべてのリグを結像させることを更に含む。
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【課題】 複数波長の超短パルスレーザ光を標本に照射して、複数波長の多光子蛍光を観察することができる、小型で、しかも、コストの低い多光子励起走査型レーザ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 単一波長の超短パルスレーザ光Ｌ１を出射するレーザ光源５と、該レーザ光源５からの超短パルスレーザ光Ｌ１を入射させ、超短パルスレーザ光Ｌ１のスペクトルを拡散させる光ファイバ８と、該光ファイバ８から出射されたスペクトル拡散された超短パルスレーザ光Ｌ２を走査するレーザ走査部１２と、走査された超短パルスレーザ光Ｌ２を標本Ａに集光させる対物光学系１５と、標本Ａにおける超短パルスレーザ光Ｌ２の集光位置から発せられた多光子蛍光Ｆを検出する光検出器１８と、超短パルスレーザ光に対する群速度分散を補償する分散補償光学系３１とを備える多光子励起走査型レーザ顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】スキャナの偏向制限を誤って設定しても、スキャナが過電流によって過熱したり、そのため破損したりすることを防止する。
【解決手段】レーザ走査型顕微鏡、好ましくはライン走査機能を持つ顕微鏡において、少なくとも１つのガルバノメータ・スキャナ５１を用いて、照射光をサンプルに沿って案内する顕微鏡であって、スキャナが機械的な偏向制限機能を備え、電流増加を測定する手段５２，５４が設けられ、スキャナ５１の電圧が、閾値に達した場合、閾値以下となるまでスイッチ・オフされ、有利には、スキャナのスイッチ・オン／オフを表示する光学的および／または音響的表示装置が設けられる顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で正確な測長及び位置の確認が可能な測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、光学レンズからの光を取り込み、第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、電気信号に基づき第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴とする。本発明によると、１画面上で離れた複数の場所の測定を１つの光学系を用いることで可能となる。本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、測定装置を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】 蛍光撮影の感度を低下させることなく、撮像手段を共用して明視野撮影及び蛍光撮影が可能な顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 可視光を生成する明視野撮影用光源２と、励起光を生成する蛍光撮影用光源１１と、撮影対象物からの光を電気信号に変換し、画像データを生成するイメージセンサー８と、可視光をイメージセンサー８に伝搬する伝搬経路であって、励起光をイメージセンサー８に伝搬する伝搬経路を共通伝搬路Ｂ２とし、この共通伝搬路Ｂ２上における撮影対象物よりも下手に挿抜自在に配置され、蛍光撮影用光源１１からの光の光学特性を調整する励起フィルター２１、及び、特定波長よりも短い波長の光を吸収する吸収フィルター２３を有するフィルターユニット１４と、共通伝搬路Ｂ２に含まれない可視光の伝搬経路上に配置され、可視光よりも長い波長の光を吸収する赤外線カットフィルター４とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】コストが大きくかつ大掛かりな光学的モジュールを使用することなく、手術経過をできるだけ中断ないし阻害せずに執刀医（等）にデータを表示することが可能な手術顕微鏡等の光学システムの提供する。
【解決手段】支持アームを有する架台と、顕微鏡本体と、ディスプレイとを有するとりわけ手術用顕微鏡等の光学システムにおいて、ディスプレイ７ａ〜７ｄは、観察者１２の直接的視野内の前記顕微鏡本体２の外面の配設部位１７ａ及び／又はＸ−Ｙ連結装置６の（外面の）配設部位１７ｂ及び／又は顕微鏡担持アーム９の（外面の）配設部位１７ｃ及び／又は接眼鏡筒１０の近傍の配設部位１７ｄに配される。 （もっと読む）

【課題】複数の光源の出力を組み合わせるシステムを提供する。
【解決手段】システムは、複数の光源、および各光源からのビームを回転中の様々な時間に同じ方向へと反射するように、ある角度で配向された回転式折り曲げミラーを含み、投影光学システムが、ビームを基板へと案内する。回転式折り曲げミラーを空気支承部、磁気支承部または流体支承部に装着し、垂直に対して約４５°に配向させ、システムの光軸を折り曲げる任意選択の折り曲げミラーが、回転式折り曲げミラーと投影光学システムの間に配置され、ビームの方向を一定に維持するように、回転式折り曲げミラーと同期して逆回転することができる。 （もっと読む）

【課題】非常に微小な領域についての観察と同時に、ＣＡＲＳの時間分解分光計測を、従来と比較して少ない計測回数、時間で行える顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡７０、時間分解分光ユニット８０、導光手段９１，９２を有する。ユニット８０が、波長が異なる２つの光を発する光源５１，５２と、２つの光を光路が平行な同じ方向に導く合波手段５５と、合波手段５５からの光を２方向に分岐する手段６と、２つの光の光路長差を調整する手段５６と、試料へ照射した２つの光の周波数差に共鳴する試料内分子振動が誘起されて発生したコヒーレント光を、他方の光路を通る２つの光のいずれかと合波する合波手段３と、合波される光の光路長差を調整する手段１０と、前記合波手段３を介して形成された干渉縞を撮像する撮像素子４を備える。導光手段９１と撮像素子４の間に２次元光波変換光学系１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】目視観察と同時に目視観察像と異なる倍率の観察像を撮像装置により良好に取得することを可能にする顕微鏡を提供する。
【解決手段】倒立顕微鏡本体１はステージ２の下方にレボルバー５を有している。レボルバー５は複数の対物レンズ４を保持可能であり、レボルバー保持台６によって回転可能に支持されている。倒立顕微鏡本体１はレボルバー保持台６の下方に光路切換プリズム１３を備えている。光路切換プリズム１３は、観察位置に配置された対物レンズ４を通って延びる観察光路を、カメラポート１７を通って側方に延びるカメラ観察用光路と、下方に延びミラー２３によって折り返されて斜め上方に延びる目視観察用光路とに分割する。目視観察用光路上に目視観察用結像レンズ１５が、カメラ観察用光路上にカメラ観察用結像レンズ１６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】非常に微小な領域の観測と同時に、非常に短い時間領域で起こる物性現象を高精度に捉えられる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡７０と時間分解分光ユニット８０と導光手段９１、９２を有し、超短光パルス光源５と、超短光パルスを参照光とポンプ光とプローブ光に分岐する手段６と、プローブ光と参照光との合波手段３と、合波位置に到達するプローブ光と参照光との時間差調整手段１０と、プローブ光と参照光とによる干渉縞を撮像する素子４を備え、導光手段９１と素子４の間に２次元光波変換光学系１が配置されている。分岐手段６が、ポンプ光とプローブ光との空間分離手段と、試料に到達するポンプ光とプローブ光との時間差調整手段と、参照光とそれ以外の光を分岐する手段とを有し、さらに、前記空間分離手段で分離され、かつ、試料を通過した光からプローブ光のみを抽出する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光源光の利用効率が高く、しかも微小な対象物の鮮明な像が得られる照明装置を実現する。
【解決手段】光源、第１投影レンズ系及び第２投影レンズ系を備えた照明装置であって、第１投影レンズ系が、光源から出射された光を平行光に変換するための第１レンズ部材と、第１レンズ部材を通過した平行光のうち中心波長が２００〜４５０ナノメートル以内の範囲にあり、かつ、半値幅が１〜４０ナノメートル以内のスペクトル特性を有する光を選択的に通過させるための波長選択部と、波長選択部を通過した光を集光するための第２レンズ部材と、所定断面積の透過部を有し透過部に第２レンズ部材によって集光された光を入射部から入射させて出射するための調整部材とを含み、第２投影レンズ系が、調整部材から出射された光を再び集光して対象物に照射するレンズ系である照明装置を用いる。 （もっと読む）

ある媒体中にある対象物で、前記対象物と前記媒体の屈折率の間にミスマッチのある対象物内部の複数位置の干渉測定を実施するための干渉型顕微鏡であって、入力ビームを生成する光源；入力ビームを受光し、それから測定ビームを生成し、その測定ビームを、対象物中の選択されたスポットに結像し、前記選択されたスポットについて帰還測定ビームを生成し、前記帰還測定ビームと参照ビームを結合させて干渉ビームを生成するように構成される干渉計；および、干渉ビームを受光するように配置置される検出システムを含み、前記帰還測定ビームは、対象物から検出システムに至る経路に沿って移動し、前記干渉計は、帰還測定ビームの経路に配置置された物質から成る補償層を含み、前記補償層は、帰還測定ビームの経路にそって、前記対象物と前記媒体の間の屈折率ミスマッチを補償する屈折率ミスマッチを生成することを特徴とする、前記干渉型顕微鏡。
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【課題】 両眼視差に加えて、遠近感を付加することにより、肉眼視に近い、より自然な立体感で手術が行える医療用立体撮像装置を提供する。
【解決手段】 被写体αを立体撮影するための撮像光学系と撮像素子８ａ，８ｂを備えた医療用立体撮像装置１において、撮像光学系は、被写体の像を結像面に結像する対物光学系Ｌａ，Ｌｂを含み、撮像光学系の入射瞳位置を対物光学系Ｌａ，Ｌｂと被写体αとの間に配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】上下顕微鏡で画像を取得するときに、刺激を加えながら、細胞内の挙動を見るといったリアルタイムな画像取得が出来るレーザ走査型顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 レーザ光源（３，４）からの光束を対物レンズ（１２６，２２６）で標本（１）面上に集光し、前記標本（１）からの透過光、反射光又は前記標本から発生する蛍光を検出するレーザ走査型顕微鏡において、少なくとも１つのレーザ光源（３，４）から出力されたコヒーレント光を標本面上に対して走査する、前記標本の一方側と他方側にそれぞれ配置された観察用及び刺激用のレーザ走査光学系と、観察用のレーザ走査光学系に対する刺激用のレーザ走査光学系からの光の侵入を防止する手段（１９１，２９１）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】剛性と光学性能を劣化させることなく、複数の分岐光路を選択できる倒立顕微鏡を提供する。
【解決手段】ダイクロイックミラー１３５とダイクロイックミラー１１２とプリズム２０２は、光軸Ｏに沿って延びる主光路に対して分岐光路を作り出すための光路切換素子であり、対物レンズ１０４と結像レンズ１２５の間において光軸Ｏ上に挿脱される。ダイクロイックミラー１３５とダイクロイックミラー１１２とプリズム２０２によって作り出された分岐光路は、標本１０３の位置を光軸Ｏに沿って変更することを必要とせずに主光路に導入される。ダイクロイックミラー１３５とプリズム２０２によって作り出された分岐光路は顕微鏡本体１０１の内部を通っている。ダイクロイックミラー１３５とプリズム２０２は顕微鏡本体側面に設けられた開口部を通して顕微鏡本体１０１に着脱される。 （もっと読む）

本願発明によるコヒーレンス顕微鏡は、時間的にインコヒーレントな光を供給する光源（１）を備える。その他、この共焦点コヒーレンス顕微鏡は、スプリッタ（３）を備える。このスプリッタ（３）は、光源（１）から供給された光を、サンプル（１３）に導かれてサンプルに反射する測定光と、参照光とに分割する。さらには、重ね合わせ装置（２５、３１）と、センサライン（４１）とを設ける。この重ね合わせ装置は、サンプル（１３）に反射した測定光と参照光とを、空間的に重ね合わせる。センサライン（４１）は、重ね合わせによって生じた光を検出するものであって、少なくとも約６０ＫＨｚの読み出し速度を可能とするように設計されている。このような読み出し速度を得るために、例えばＣＣＤ素子（ＣＣＤ：Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）として与えられるセンサ素子が最大約１０００個配置されて構成される短いセンサライン（４１）、あるいはセンサ素子が最大約５００個配置されて構成される非常に短いセンサライン（４１）を採用することができる。上記の重ね合わせ装置は、測定光と参照光とを放射する放射装置（２５、３１）を備える。この放射装置およびセンサライン（４１）については、センサライン（４１）の少なくとも一部に重ね合わせられた光が照射されるとともに、放射装置（２５、３１）からセンサライン（４１）上のそれぞれの入射点までにおいて、測定光と参照光とが通過した距離の比がセンサライン（４１）上の入射位置に応じて変化するように構成される。
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【課題】 光パターンの形状を制限することなく０次光を低減できる光パターン形成技術を提供する。
【解決手段】 光パターンに対応する主位相パターンに、所定の波面歪みを補正する副位相パターンを足し合わせて位相パターンを作成する。平面波に波面歪みを与えて読出し光（２６）を生成する。位相変調型の空間光変調器（１２）に上記の位相パターンを入力するとともに、読出し光を空間光変調器に照射して、その位相パターンに応じて読出し光を位相変調する。位相変調された読出し光をレンズ（２２）でフーリエ変換し、出力面（２４）上に結像させる。読出し光に与えられる波面歪みによって０次光の結像度が低下し、０次光の輝度が出力面上で低減される。読出し光の０次光以外の成分に与えられる波面歪みは、副位相パターンによって補正される。これにより、出力面上における光パターンのぼけが防止される。 （もっと読む）

【課題】 補助者用顕微鏡のための少なくとも１つのステレオ観察光路の光学的及び機械的に連続的に回動可能な分岐射出を可能とする装置を提供すること。
【解決手段】 ステレオ手術用顕微鏡等の顕微鏡の主観察光路から少なくとも１つのステレオ観察光路を分岐射出するための装置であって、主顕微鏡（１）及び補助者用顕微鏡（８）と、主対物レンズ（２）の光軸（４）に対し所定の角度をなしてその軸が延在するズーム装置（６）と、ステレオ補助者用観察光路（９ａ、９ｂ）を分岐射出するためのビームスプリッタ（７）とを含んで構成される分岐射出装置において、前記ビームスプリッタ（７）は、前記主対物レンズ（２）と前記ズーム装置（６）との間に配され、かつ前記補助者用顕微鏡（８）と共に前記主対物レンズ（２）の光軸の周りで連続的に回動可能に構成されることにより任意の回転位置において光学的に使用可能に構成されることを特徴とする。
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【課題】 薄板のエッジ部分の複数の面を同時に観察でき、欠陥などを効率的にに検出できる顕微鏡および薄板エッジ検査装置を提供する。
【解決手段】 第１の結像光学系の光軸に対し、第２および第３の結像光学系の光軸が対称に配置された３つの結像光学系を有し、第２および第３の結像光学系のそれぞれの光軸をミラー５ｂ、５ｃとミラー８ｂ、８ｃで偏向して、これら３つの結像光学系の光軸が基準物体点と基準像点で互いに交わるように構成し、このうち、基準像点側に像合成プリズム９を配置し、それぞれの結像光学系からのウェハ６の像を合成し、リレーレンズ１０を有する観察光学系２００を介してＣＣＤ１２で撮像する。 （もっと読む）