【課題】本発明は、高分解能、高効率な近接場光プローブを提供することを目的とする。
【解決手段】基板表面に形成された幅が徐々に小さくなった平面状の散乱体11を用いて近接場光を発生させる。このとき散乱体11の面積を光スポットの面積より小さくし、さらに散乱体の材質、形状、寸法をプラズモン共鳴が発生するように設定することにより、近接場光強度を増強する。
【効果】 光の光利用効率の近接場光発生装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】より確実に標本を観察できるようにする。
【解決手段】コントローラ１２は、標本上の共振型スキャナ２６により励起光が走査される領域と、ガルバノスキャナ２５により刺激光が走査される領域とを一致させるために、ガルバノスキャナ２５の駆動信号を補正する補正値を求める。そして、ガルバノスキャナ２５および共振型スキャナ２６を同時に駆動させて、標本を共焦点観察する場合、コントローラ１２は、求めた補正値により駆動信号を補正し、補正後の駆動信号によりガルバノスキャナ２５を駆動させる。本発明は、共焦点顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】
励起光の波長の切換時に使用の光学素子の交換または特殊な調整を行う必要なく、波長の異なる励起光の差込入射が可能であるよう、蛍光励起に適する光源の光路、好ましくは、共焦レーザ走査顕微鏡の光路の光学装置を構成、改良することにある。
【解決手段】
少なくとも１つの光源（２）の励起光（３）を顕微鏡に差込入射し且つ物体（１０）で散乱、反射された励起光（３）を分離抽出するまたは物体（１０）から検知光路（１２）を介して来る光（１３）から励起波長を分離抽出する少なくとも１つのスペクトル選択素子（４）を有する形式の、蛍光励起に適する光源の光路、好ましくは、共焦レーザ走査顕微鏡の光路の光学装置は、簡単な構造で構成を変更できるよう、スペクトル選択素子（４）によって、波長の異なる励起光（３，９）を分離抽出できることを特徴とする。代替方策として、この種の光学装置は、スペクトル選択素子（４）を分離抽出すべき励起波長に設定できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端面部の画像取得において、複数の場所の像の向きがそろう光学系の装置の提供。
【解決手段】結像光学系は、集光レンズ２、視野絞り４、リレーレンズ５、ロンボイドプリズム６Ａ、および落射照明ユニット１０から構成され、ウエハ１の端面部である、上側周辺部＋上ベベル部、下側周辺部＋下ベベル部の像の偏向後の光が１つに合成されるように複数配置される。このとき、複数の結像光学系のそれぞれにおける光を偏向する回数は、偶数回または奇数回でそろっており、撮像素子７は、複数の結像光学系のそれぞれによる、偏向後の端部の各部位の像を同一の面で撮像する。 （もっと読む）

【課題】２つの異なる蛍光色素を用いて処理した蛍光サンプルを画像化し及び／又は測定するためのレーザスキャナ装置を提供する。
【解決手段】レーザスキャナ装置（１）は、異なる波長のレーザビーム（５４，５５）を供給するレーザ（５１，５２）および第１光学系（５３）と、光学偏向素子（５６）と、第１対物レンズ（５７）と、第２光学系（５８）と、発光ビーム束（５９，６０）を検出する２つの検出器（６１，６１’）とを備える。光学偏向素子（５６）は、介在角度（β）で配置された前側および後側のダイクロイック面（６３，６４）を持つウェッジ形状のダイクロイックミラー（６２）を備える。ミラー（６２）は、２つのレーザビーム（５４，５５）が一方の表面（６３，６４）でそれぞれ反射するように調整され、２つの焦光ポイント（６５）および２つの発光ビーム束（５９，６０）の空間分離を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】構造化照明を有する顕微鏡装置において、正確な位相変化量を計算する方法を提供する。
【解決手段】撮像手段の実視野範囲内において一様に反射光を生じる標準標本が、標本１３の位置において、光学系中に挿脱可能に配置されている（図示せず）。標準標本上に形成された構造化照明の強度分布を結像系を通して撮像手段で撮像する。その画像をフーリエ変換して、周波数と位相変化量を求める。この作業を構造化照明の位相を変化させるたびに行い、回折格子３のステップ移動量に対する、画像の位相変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】安全であり、かつ簡素な構成で利便性の高い顕微鏡を提供することができるようにする。
【解決手段】検出部材４７は、光路切替部材２９が回転されて、いずれかのプリズムが選択された状態となったときに予め設定された信号を出力する。制御部５５は、検出部材４７から出力される信号に基づいて、遮断部材５１を制御する制御信号を出力する。遮断部材５１は、制御部５５の制御に基づいて、レーザ照明装置２７から発せられるレーザ光を遮断する。制御部５５は、検出部材４７から予め設定された信号が出力されていない場合、遮断部材５１によりレーザ光を遮断させる。また、制御部５５は、検出部材４７から予め設定された信号が出力された場合、レーザ光の遮断を解除するように遮断部材５１を制御する。 （もっと読む）

【課題】放射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次元で偏向する走査ユニットを有する走査ヘッドに結合するための配置。
【解決手段】放射、好ましくはレーザ放射が、顕微鏡Ｍの対物レンズ４を通じて対象物５に焦点合せされ、少なくとも一つの可視光線ファイバ１４を通じて走査ヘッドＳが結合され、走査ヘッドにおけるファイバ端部において、ファイバ端部で発散して出る放射をコリメートするためのコリメート・レンズ１６が配置されており、放射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次元で偏向する走査ユニット３４を有する走査ヘッドＳに結合するための配置、走査ユニット付顕微鏡、および操作方法。 （もっと読む）

【課題】試料の損傷を極力少なくすることができ、且つ、操作性に優れた顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】顕微鏡システム１は、試料８に照明光を照射する落射照明用光源３と、対物レンズ１２等の各種光学部材を駆動する各種駆動手段と、試料８と対物レンズ１２との相対位置を変更する位置変更手段と、その各種光学部材のいずれかが駆動中であるか否か、及び、その相対位置が変更中であるか否かを検出することや、試料８への照明光を投光、遮断、又は減光するように制御すること等を行う顕微鏡コントローラ１５等を備える。 （もっと読む）

【課題】低倍率での観察を可能とし、かつ、同一の試料からの戻り光を複数の撮像手段により撮影する。
【解決手段】試料Ａを搭載するステージ２と、該ステージ２に搭載された試料Ａに対して照射する照明光を発生する照明光源３と、試料Ａからの戻り光を集光する対物レンズ４と、該対物レンズ４により集光された戻り光を複数に分岐するビームスプリッタ５と、該ビームスプリッタ５により分岐された戻り光をそれぞれ結像させる複数の結像レンズ１６，１７と、各結像レンズ１６，１７により結像された試料の観察像を撮影する複数の撮像手段１０，１１とを備える生体観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ボンディング装置用撮像装置において、高さ方向の段差の大きな半導体チップを精度良く撮像すると共にリードフレームの撮像時間の短縮を図る。
【解決手段】高倍率レンズ３４を経て複数の撮像面３６，３７に至り、高倍率レンズ３４からの距離が異なる位置にある複数の被写体撮像範囲に対応して高倍率レンズ３４から各撮像面３６，３７までの各光路長が異なる第１、第２の高倍率光路５１，５２を有する高倍率光学系と、低倍率レンズ３５を経て撮像面３８に至る低倍率光路５３を有し、各高倍率光路５１，５２よりも広い視野を備える低倍率光学系と、を備え、高倍率光学系の各撮像面３６，３７を持つ各撮像素子３１，３２は半導体チップ６３の画像を取得し、低倍率光学系の撮像面３８を持つ撮像素子３３はリードフレーム６１の画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】眼科医学での使用に適し、患者の目の前方部分の透明構造を良好なコントラストで可視化する手術用顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、照明装置（１１０）付き手術用顕微鏡（１００）に関する。照明装置（１１０）は、第１の照明光路（１１１）と第２の照明光路（１１２）により照明光を対象領域（１０５）へ導く。第１の照明光路（１１１）には光出射ユニットが設けられる。第２の照明光路にはインジケータ視野絞りが設けられる。第１の照明光路（１１１）は、光出射ユニットの光出射面又は、光出射面と共役である平面を第１の像面（３５０）で結像する照明光学部品を有する。本発明では、第２の照明光路（１１２）内に、インジケータ視野絞りを第１の像面と異なる第２の像面（２５０）内で結像する照明光学部品が設けられている。 （もっと読む）

【課題】省スペースで安価な構成であり、簡単にデジタル写真の撮れる顕微鏡用電子カメラを提供すること。
【解決手段】顕微鏡に装着される電子カメラ４０は、光路分割プリズムにより分岐された光像を撮像する撮像素子４３と、この撮像素子４３からの撮像信号を処理する信号処理部４４と、この信号処理部４４により信号処理された撮像信号に基づく画像データを記録する記憶部４９と、信号処理部４４により信号処理された撮像信号に基づく画像を表示するものであって接眼レンズ２１に近接した液晶モニタ４５と、撮像素子４３、信号処理部４４、記憶部４９及び液晶モニタ４５を一体的に設けるケーシング４０Ａとを具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ等の１個当りの発光エネルギーが小さな光源を複数用いて、高い効率で、かつ均一に被照射物に照射することができるようにして、省エネルギーで高性能な照明を実現することができる。
【解決手段】光源１１が半導体レーザ等コヒーレントな光の場合、光インテグレータに入射または出射する光を、断面が概ね正弦波状の高さ変化するように放射状に加工され、かつ回転駆動された変調器１６を通過させる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズを交換しないで、倍率及び／又は検出範囲を変えることのできる顕微測定装置を提供する。
【解決手段】鏡筒１１に対して固定され、対物レンズＬｏからの平行光線を集光するための第１の中間レンズＬ１と、前記対物レンズＬｏ及び前記第１の中間レンズＬ１を通る光を一部通過させ一部を曲げるハーフミラーＨＭと、前記ハーフミラーＨＭによって曲げられた光の通る位置に、当該光路Ｃに沿って移動可能に設置された第２の中間レンズＬ２と、前記第２の中間レンズＬ２の先に設けられ光路Ｃに沿って移動可能に設置された検出器１６と、前記サンプルＳからの光が第２の中間レンズＬ２によって絞られた集光点に、前記検出器１６の結像位置が合うように、前記第２の中間レンズＬ２と検出器１６を移動させる移動機構Ｍ１，Ｍ２と、前記移動機構Ｍ１，Ｍ２の移動量を調節する制御部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板に焦点が合っているか否かを検出するための煩雑かつ複雑な部品を必要としない方法及び装置を提供する。
【解決手段】基板がレンズのスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを検出するため、スキャトロメータの光学システムの後側焦点面の前後において、所定値以上の放射の断面エリアを検出する。好ましくは、後側焦点面の前後にある検出位置を、反射した放射のパスに沿って後側焦点面から等距離におくことによって、基板がスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを単純な比較により判断することができる。 （もっと読む）

【課題】観察画像の明るさを簡単に調整できる顕微鏡を提供することである。
【解決手段】表示部３００の輝度プロファイルウィンドウ３２には、輝度プロファイル３２ａと基準ライン３２ｂが表示され、基準ライン３２ｂは、輝度プロファイル３２ａの最大値の位置に表示される。カーソル３２ｃを基準ライン３２ａの位置に合わせ、カーソル３２ｃを上方向に移動させると、基準ライン３２ｃが上方向に移動し、それに伴って輝度プロファイル３２ａの最大値が上方向に移動する。これにより、観察画像３１の明るさを明るくする方向に調整できる。 （もっと読む）

一実施形態では、装置は、複数のディテクターとプロセッサーとを有する光学システムを含む。光学システムは、所与の時間で、各ディテクターで、第１の次元と第１の次元に実質的に直交する第２の次元とで、光源の画像を生成するように構成される。画像の各画像は、光源からの第１の方向の発光と、光源からの第１の方向とは異なる第２の方向の発光と、の干渉に基づく。プロセッサーは、画像に基づいて第３の次元で位置を計算するように構成される。第３の次元は、第１の次元と第２の次元とに実質的に直交する。
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【課題】広域画像の範囲を最低倍率の対物レンズで得られる視野に制限されない拡大画像観察装置等を提供する。
【解決手段】観察対象物を拡大表示する拡大画像観察装置であって、観察対象物の画像を取得するための光学撮像系と、観察対象物を低倍率で撮像した広域画像ＷＩを表示するための広域画像表示領域ＷＡと、高倍率で撮像した拡大画像ＭＩを表示するための拡大画像表示領域ＭＡを有する表示部と、複数の広域画像ＷＩを予め取得し、各々保持するためのメモリ部と、観察対象物を載置するための試料載置部２８と、試料載置部２８を光学撮像系に対して相対的に移動させるための移動機構とを備え、広域画像表示領域ＷＡに表示される広域画像ＷＩを切り替え可能に構成できる。これにより、複数枚の広域画像ＷＩを登録可能で、かつこれらを適宜切り替えて表示可能となり、一枚の広域画像の表示領域に制限されず、より広い範囲での視野探しが可能となる。 （もっと読む）

【課題】面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とを簡単に切り換えられる測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体Ｓを載置するＸＹステージ１０と、被検体Ｓを光学的に観察するための観察光学系２０と、被検体Ｓに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系３０と、被検体Ｓを照明する落射照明光学系４０と、指標投影光学系３０と落射照明光学系４０の光量の比率を連動して切り換える光量調節部５０とを有している。 （もっと読む）