【課題】静電気により、薄膜トランジスタの電気的な特性が著しく変動して設計範囲を逸脱することを抑止し、半導体装置の製造における歩留まり向上を図ることを課題の一とする。
【解決手段】加熱処理で基板に静電気が帯電することを防ぐ、また、半導体装置の製造工程において基板に帯電した静電気を好適に低減するため、薄膜トランジスタが作製された基板を導電性を有する容器内に収納して加熱処理を行う。また、加熱処理を行う加熱装置は、接地電位と電気的に接続し、且つ、容器、及び基板も接地電位と電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】表示品位の良好な液晶表示装置を提供する。
【解決手段】第１基板と、前記第１基板と対向するように配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に挟持された液晶層と、を備え、前記第１基板は、マトリクス状に配置された複数の画素電極と、前記複数の画素電極が配列する行方向に沿って延びる複数の対向電極と、を備え、前記対向電極は、絶縁層を介して複数の前記画素電極と対向するように配置された第１対向電極と、前記第１対向電極と絶縁層を介して対向するように配置され、前記絶縁層に設けられたコンタクトホールを介して前記第２電極と電気的に接続された第２対向電極と、を備え、前記第２対向電極は、前記第１対向電極よりも配線抵抗が小さい液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】安定した電気特性を持つ、酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタを有する、信頼性の高い半導体装置の作製方法の提供を目的の一とする。
【解決手段】酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタを有する半導体装置の作製において、酸化物半導体膜を形成した後、水分、ヒドロキシ基、または水素などを吸蔵或いは吸着することができる金属、金属化合物または合金を用いた導電膜を、絶縁膜を間に挟んで酸化物半導体膜と重なるように形成する。そして、該導電膜が露出した状態で加熱処理を行うことで、導電膜の表面や内部に吸着されている水分、酸素、水素などを取り除く活性化処理を行う。 （もっと読む）

【課題】蒸着温度が高い場合であってもリフトオフプロセスにおいて十分に剥離することのできるフォトレジストを用いた３Ｍａｓｋ方式の表示素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板にアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、感放射線性化合物（Ｂ）、酸化防止剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｄ）を含むフォトレジストによりレジストパターンを形成する工程（ａ）と、前記工程（ａ）で得られたレジストパターンが形成された基板に対して金属を物理蒸着する工程（ｂ）と、前記レジストパターン及び前記レジストパターン上に蒸着した金属を除去するリフトオフ工程（ｃ）とを含む。 （もっと読む）

【課題】たとえガラス基板を薄型化してもＴＦＴ回路層にクラックが生じるのを回避させた表示装置の提供。
【解決手段】液晶を挟持して対向配置される一対の基板とを具備し、
一対の前記基板のうちの一方の基板の液晶側の面にＴＦＴ回路層が形成され、
少なくとも前記一方の基板はガラスで構成され、ＴＦＴ回路層は前記一方の基板上に樹脂層を介在させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の反り変形が十分に抑制された回路部品の製造方法を提供すること。
【解決手段】偏光フィルム層が設けられた非接着領域、及び当該非接着領域に隣接する接着領域を有する基板に、回路パターンが形成された電極面を有するチップ部品を接続してなる回路部品の製造方法であって、熱硬化性接着剤を介在させた状態で上記電極面が上記接着領域に対向するように上記チップ部品を上記基板に配置する配置工程と、上記接着領域と上記チップ部品とをステージ及び加熱ヘッドで挟み込むことにより熱圧着する熱圧着工程と、を備え、上記熱圧着工程において、上記基板の少なくとも上記非接着領域を非接触加熱手段によって加熱することを特徴とする回路部品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】塗布形成により薄く、かつ深さ方向に焼結が進行した半導体膜を製造することができる半導体膜の製造方法、その方法により得られた半導体膜を有する半導体基板、及び該半導体基板を備えた電子部材を提供する。
【解決手段】基材上に、半導体微粒子分散体を含む塗布液を塗布又はパターン状に印刷して塗布液層を形成した後、この塗布液層を焼成処理して半導体膜を形成する半導体膜の製造方法であって、該半導体微粒子分散体が半導体微粒子とカルボン酸無水物類とを含み、マイクロ波エネルギーの印加により発生する表面波プラズマに該塗布液層を晒すことにより、該塗布液層の焼成処理を行うことを特徴とする半導体膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】液晶分子の応答伝播に要する時間の遅延を改善し、表示品位の良好な液晶表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第１電極ＰＥを含む第１基板１０１と、第１電極ＰＥと対向した第２電極ＣＥと、第２電極ＣＥ上に配置されたリブ１０４と、端部が第１電極ＰＥと対向するように第２電極ＣＥ上に配置された絶縁層１０６と、を含む第２基板１０２と、第１基板１０１と第２基板１０２との間に挟持された液晶層ＬＱと、を備え、第１電極ＰＥは、その端縁から内側に延びる複数のスリットＳＬＴを備え、スリットが延びる方向における第１電極ＰＥの端縁とリブ１０４が配置された位置との間の領域において、絶縁層１０６の端部Ｐ２の位置と、スリットＳＬＴが延びた先端Ｐ１の位置とが離間するように、絶縁層１０６と複数のスリットＳＬＴとが配置されている液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減することができ、かつ、歩留まりの高い薄膜トランジスタを提供することにある。
【解決手段】本発明の実施の形態１に係る薄膜トランジスタの製造方法は、絶縁基板１０の上に少なくともゲート電極１１、ゲート絶縁層１２、半導体層１３、ソース電極１４、ドレイン電極１５及び保護層１６を具備する薄膜トランジスタの製造方法であって、保護層１６が真空紫外光ＣＶＤ法により形成されるものであり、ゲート絶縁層１２の上の全面に保護層１６となる膜を成膜する工程と、保護層と１６なる膜をパターニングなしにエッチングしソース電極１４とドレイン電極１５の表面を露出させ保護層１６のパターンを形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】液晶ライトバルブ等の電気光学装置において、光リーク電流の発生を抑制することによって、表示画像の高品位化を図る。
【解決手段】電気光学装置は、基板（１０）上に、走査線（１１）と、データ線（６）と、第１チャネル領域（３０ａ２）、第１ドレイン領域（３０ａ３）、及びデータ線に接続された第１ソース領域（３０ａ１）を有する第１半導体層（３０ａ）、並びに第１ゲート電極（３０ｂ）を有する第１トランジスタ（３０）と、第２チャネル領域（３１ａ２）、第２ドレイン領域（３１ａ３）、及び第１ドレイン領域に接続された第２ソース領域（３１ａ１）を有する第２半導体層（３１ａ）並びに第２ゲート電極（３１ｂ）を有する第２トランジスタ（３１）と、第１ドレイン領域に接続された第１画素電極（９ｂ）と、第２ドレイン領域に接続された第２画素電極（９ａ）と、第１ドレイン領域に接続された第１蓄積容量（７０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、安定した接続が可能なTCPへのACFの貼付装置を提供。
【解決手段】TCPテープリール１１からのTCPテープ12は、セパレータ１２ｂとキャリアテープ１２aからなり、このキャリアテープ１２aに連続的に形成されているTCPの端子列に対して、ACF貼付ユニットを構成する上刃１５a〜１５n及び下刃１６a〜１６nを用いて、ACFを直接貼り付ける。このときのACFの貼付け長さは、TCPの規定寸法以上とすることで、その後、打抜ユニットを構成する上型17及び下型１８でTCPを打ち抜くことにより、端子列が存在するTCPの辺の全幅に亘ってACFの貼付を可能とする。 （もっと読む）

【課題】外部へ放出されるノイズ（電磁波）が低減された液晶表示装置を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ２及び画素電極２２と、信号線３と、走査線４と、信号線３を駆動する信号線駆動回路９、及び走査線４を駆動する走査線駆動回路１０が形成されたＴＦＴ基板１と、ＴＦＴ基板１に対向して設けられると共に共通電極６が形成された共通電極基板５と、画素電極２２と共通電極６の間に形成された液晶層７とを含む液晶表示装置であって、信号線駆動回路９及び走査線駆動回路１０に対向するよう配設され、信号線駆動回路９及び走査線駆動回路１０から放射される電磁波をシールドする接地電極１５を備えたことを特徴とする液晶表示装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】横電界方式の液晶表示パネルのアレイ基板側の配向膜が平坦になるようにして、
表示ムラ、フリッカー、コントラストの低下が抑制されるようにすること。
【解決手段】横電界方式の液晶表示パネル１０Ａのアレイ基板ＡＲは、液晶層ＬＣに電界
を印加する下電極２１及び上電極２４と、配向膜２７Ａが形成され、ここでは上電極２４
にはスリット状開口２５が形成されている。そして、上電極２４上には、表示領域全面を
覆うように平坦化絶縁膜２６Ａが形成され、配向膜２７Ａは平坦化絶縁膜２６Ａの表面に
形成されている。 （もっと読む）

【課題】大型基板への薄膜製造における条件確認プロセスにおいて、通常の生産時の成膜条件を乱すことなく、簡便な方法で条件確認ができるように、新たな基板保持具を提案し、従来の方法よりコストダウンを図ること。
【解決手段】薄膜を製造するための基板を保持する基板保持具であって、周縁部を規定する枠部２と、周縁部の間を対向側に差し渡す桟部３とを有し、成膜条件を確認するための測定片用基板保持部６と固定爪部７とからなる測定片用基板ホルダ４を、前記桟部および／または前記枠部に前記固定爪部を用いて装着することを特徴とする基板保持具。 （もっと読む）

【課題】透光性基板下のバックライトからの迷光が光電変換素子へ入射するのを防止しながら、光電変換素子へ入射する光の光量を増加させる。
【解決手段】透光性基板上の光電変換素子上を覆うカラーフィルターと、隣接する画素の光電変換素子上を覆うカラーフィルターが、側面で光の進行方向に対して重なることにより遮光膜を形成する。また、カラーフィルター上にマイクロレンズを設けることで、本来、感知されない光を光電変換素子上に集光させることにより、光変換素子へ入射する光量を増加させる。 （もっと読む）

【課題】高密度で微細なパターンの断線を低温プロセスによって修正可能な回路基板の欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】基板１上に形成された配線３の断線箇所Ｄを含む基板１の露出面領域に、光照射によって濡れ性が変化する物質を用いた濡れ性調整層５を成膜する。次の第２工程では、濡れ性調整層５における断線個所Ｄに対応する部分、またはそれ以外の部分に光を照射する。これにより濡れ性調整層５における断線個所に対応する部分の電極形成液に対する濡れ性を、それ以外の部分よりも高くする。その後断線個所Ｄに対応する濡れ性調整層５部分上に電極形成液を供給して乾燥させる。これにより、断線個所Ｄに電極形成液を乾燥させた修正電極パターン７を形成する。 （もっと読む）

【課題】装置全体の薄型化を可能とした表示装置および当該表示装置を有する携帯端末を提供する。
【解決手段】複数の画素１１が行列状に配置されてなる画素部１２とこの画素部１２に対して画素信号を書き込むべく駆動する駆動系（１３，１４）とが形成された第１の基板と、この第１の基板に対して対向配置された第２の基板と、これら基板間に保持された液晶層とを具備する液晶表示装置において、駆動系（１３，１４）を制御する制御系（２３，２４，２５）を、半導体チップで第１の基板上にＣＯＧ法によって実装するようにする。 （もっと読む）

【課題】第１機能層上に設ける第２機能層の厚みムラが抑制される機能層付き部材を提供する。
【解決手段】機能層付き部材１０は、支持体１６と、支持体上に第１領域１２Ａ及び該第１領域の外周に沿った溝１４を介して該第１領域から分離して配置されている第２領域１２Ｂを有し、前記支持体とぬれ張力が異なる第１機能層１２と、第１機能層上の少なくとも第１領域上に形成されている第２機能層とを有する。また、機能層付き部材４０は、支持体１６と、支持体上に配置されてなり、支持体とぬれ張力が異なる第１機能層４２と、第１機能層の外周に沿って配置され、該第１機能層よりもぬれ張力が高い高ぬれ張力層４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】加熱処理を施した後も安定したトランジスタ特性を有する酸化物薄膜トランジスタ、その製造方法及び酸化物薄膜トランジスタを用いたディスプレイを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の第１実施形態の酸化物薄膜トランジスタ１は、酸化物半導体層９上面に積層するゲート絶縁層５を、ＰＶＰおよびフッ素系界面活性剤を含む構成とすることにより、良好かつ安定した特性を有するとともに、デバイス形成時に加熱処理を行った場合にも、特性の変化が殆どない酸化物薄膜トランジスタ１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】画像の表示を明るくするとともに、表示品位の良好な電気光学装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】電気光学装置は、一対の基板３２，５０と、一対の基板３２，５０間に挟持された電気光学層４６と、を有し、一方の基板３２に、トランジスター３８と、トランジスター３８に対応して設けられた反射電極４０ａと、隣り合う反射電極４０ａ間に、一対の基板３２，５０間のギャップを規定し、誘電体多層膜からなるスペーサー７２と、を備える。 （もっと読む）