【課題】ミラー基板に回動可能に設けられたミラーと電極基板に設けられた電極とを、高い位置（間隔）精度で近設させた状態が、より容易に得られるようにする。
【解決手段】支持基板１０１と、支持基板１０１の上に支持部（枠部１２６）で支持されて回動可能なミラー１２５を有するミラー基板１０２と、ミラー１２５に対向して配置された制御電極部１３２を有してミラー基板１０２の下部の支持基板１０１の上に固定された電極基板１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動の際のギャップ量の変動が抑えられたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０と中間スペーサー１５０と複数の接合部材１７０とを有している。中間スペーサー１５０は、チップ１１０と基板１３０とに接して配置されており、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間隔を一定に維持している。中間スペーサー１５０は複数の貫通孔１５４を有し、接合部材１７０は貫通孔１５４の中にそれぞれ配置され、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを電気的に接続しているとともに機械的に接合している。中間スペーサー１５０はこれを貫通する複数の吸引孔１５６を有し、電極基板１３０はこれを貫通する複数の吸引孔１３４，１３６を有している。吸引孔１３６と吸引孔１５６は互いに空間的につながっている。 （もっと読む）

【課題】バンプを介して基板上に素子を搭載した電子部品において、素子をバンプに接合する際に生じる応力が素子に作用することを抑制し、電子部品の品質のばらつきを抑え、製造歩留まりを向上させる。
【解決手段】第１平面を有する基板１１と、前記基板１１の第１平面に固定された第１バンプ１４と、前記基板１１の第１平面に固定され、第１バンプ１４の周囲に配置された第２バンプ１８と、前記基板１１の第１平面に非接触かつ相対する位置で、前記第１バンプ１４及び前記第２バンプ１８に固定された素子１２と、前記第１バンプ１４、前記基板１１及び前記素子１２に接触する接着領域とを備える。 （もっと読む）

【課題】光干渉変調器ディスプレイを照明するためのシステム、方法、及び装置を提供する。
【解決手段】光源から光干渉変調器構造の中へと光を向けるために反射構造、散乱中心、及び蛍光材料又は燐光材料を含む光リダイレクタを備える。光源１００から発せられた光２０２が前面光プレート２００に入り、反射構造体２１０の傾斜面２０４で素子３１０に向けて方向を変えるように前面光プレート２００の構造が最適化される。光干渉変調素子３１０の中へと向きを変えられた光２０２の大部分は、光干渉変調素子３１０で反射され、基板３００及び前面光プレート２００を通って外に伝達される。前面光プレート２００に使用される材料は、プラスチック又はガラスのような任意の好適な透明又は部分透明材料であることが出来る。 （もっと読む）

【課題】少なくとも先行技術の光学デバイスと同じほどコンパクトな光学デバイスであって、少ない挿入損失、少ないクロストーク効果および少ない高さを以て同一の機能の実施を可能とし、且つ、マルチプレクサおよびデマルチプレクサ以外の光学的機能の実施に関して更に融通性が高いという光学デバイスの提供。
【解決手段】コンパクトな分散システム１３０は、入力要素１２２の端面と出力要素１２１の端面との間における波長選択的な信号の対合を確実とし、また、平面ミラー１４０、凹状ミラー６０、平面回折格子５０を備える。入力要素１２２から伝搬するビーム、および、出力要素１２１へと伝搬するビームが、平面ミラー１４０により影響されない様に、平面ミラー１４０のサイズが２本の平行な直線１１１、１１２に対して制限されている。 （もっと読む）

【課題】優れた光学特性を発揮することができる光学デバイスおよび光学ユニットを提供すること、さらに、この光学デバイスまたは光学ユニットを備え、高品位な画像を形成することができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１Ａは、光反射性を有する光反射部２２１Ａが設けられた可動板２２Ａと、可動板２２Ａに連結され、可動板２２Ａを回動可能に支持する１対の連結部２３Ａ、２４Ａと、可動板２３Ａ、２４Ａを回動させる駆動手段と、光反射部２２１Ａに対向するように設けられ、光反射部２２１Ａで偏向または走査する光の通過を許容しつつ迷光を遮光する遮光部材４Ａとを有する。 （もっと読む）

本発明に係るカバーは、マイクロシステムをカプセル化するために役立つ。カバーは、単数若しくは複数のカバーユニットを有するか、又は単数若しくは複数のカバーユニットからなり、少なくとも１つのカバーユニットは、変形によって形成される少なくとも１つの第１の凹部を有しており、第１の凹部は少なくとも部分的に、２５ｎｍ以下の二乗平均平方根粗さを有する少なくとも１つの光学窓により画成されている。さらに本発明の対象は、光学部品を製造する方法である。本発明に係る方法は、特に、ウエハレベルでのカプセル化を可能にする本発明に係るカバーを製造するためにも適している。
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【課題】 アクチュエータアレイ用の基板とミラー面用の基板を別に製造することなく、効率の良く形状可変ミラーを製造する。
【解決手段】 形状可変ミラーの製造方法において、圧電膜と、圧電膜の下に配置された第１の電極と、圧電膜の上に配置された第２の電極と、を有する圧電アクチュエータが基板上に複数配置されたアクチュエータアレイを準備する工程と、最終的に除去される犠牲層を形成する工程と、犠牲層に孔を形成し第２の電極の少なくとも一部を露出させる工程と、露出した第２の電極の上に柱部を形成するために、犠牲層に形成された孔を柱部用材料で埋没させる工程と、犠牲層及び柱部の上面を平坦化させる工程と、平坦化した犠牲層及び柱部の上面にミラー面を形成する工程と、ミラー面が形成された後，犠牲層をエッチング法により除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】第一の部材と第二の部材のギャップ量の変動が抑制された、所望の熱信頼性が確保されたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、電極基板１３０と、スペーサ１５０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダ１７０とを有している。スペーサ１５０は、マイクロミラーチップ１１０に面接触する上側平面１５０ａと、電極基板１３０に面接触する下側平面１５０ｂとを有し、両者は互いに平行である。スペーサ１５０は、ハンダ１７２を収容する一つの位置決め用貫通穴１５２と、ハンダ１７４を収容する複数の貫通穴１５４，１５６，１５８とを有している。位置決め用貫通穴１５２はハンダ１７２のＸＹ方向の移動を拘束する。貫通穴１５４，１５６，１５８はハンダ１７４のＸＹ方向の移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】波長ブロッカ、波長選択スイッチおよび可変分散補償器などの光信号処理装置においては、各波長チャンネルの透過帯域や信号処理帯域が広い。液晶素子などの位置調整のため、光パワーメータ測定では、透過帯域の中心波長のずれを正確に検出し、調整することが難しかった。光信号処理装置の製造、調整工程において、光スペクトラムアナライザを用いて位置調整をするには測定時間がかかり調整の自動化も難しかった。
【解決手段】本発明の光信号処理装置は、光信号を変調する信号処理素子に、幅の狭い位置調整用マークを備える。位置調整用マークを透過する試験光信号の光パワーを検出して、信号処理素子の位置を調整する。位置調整用マークの電極の幅は、試験光信号のビーム径程度以下であることが好ましい。位置調整用マークは、要素素子と同様の構成を持つものでも良いし、光信号を遮断するマスクでも良い。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ等の機能素子への影響を抑えることができる小型な３次元モジュールを提供する。
【解決手段】電極基板３０と駆動基板４０を接合させる基板間接合部材２１は、導電性応力吸収部材４６と応力吸収接合部材６０を有し、導電性応力吸収部材４６は、電極基板３０と駆動基板４０を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板４０が熱や外力等によって反って駆動基板４０に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形し、応力吸収接合部材６０は、電極基板３０と駆動基板４０を機械的に接合する。 （もっと読む）

【課題】低電圧で液体、固体、粉体等の物質の位置及び形状を制御することができる物質の位置及び形状制御装置並びに物質の位置及び形状制御方法を提供する。
【解決手段】エレクトレット層１０と制御電極１２ａ，１２ｂとが対向配置されており、このエレクトレット層１０と制御電極１２ａ，１２ｂとの間に、制御対象である物質１４が配置される。制御電極１２ａ，１２ｂには、エレクトレット層１０と制御電極１２ａ，１２ｂとの間の静電エネルギーを制御する制御装置１８が接続されており、この制御装置１８は、キャパシタ２０及び切替装置２２を含んで構成されている。切替装置２２は、制御電極１２ａ，１２ｂとキャパシタ２０及び接地との間の接続状態を切り替える。これにより、エレクトレット層１０と制御電極１２ａ，１２ｂとの間の静電エネルギーを変更して、高電圧を使用せずに物質１４を移動させることができる。 （もっと読む）

本発明の代表的な実施形態は、調節可能な液体レンズを組み込む光源及び視聴スクリーン上に画像を投影するためにレーザ光源によって生成される光を変調するように構成される空間光変調器を有する投影システムを提供する。調節可能な液体レンズは、焦点距離、レンズ外部の光学素子に対する整列若しくは位置、光を拡散する能力、及び／又は偏光回転角を変えるように構成される。
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【課題】コントローラを有する複数のアクチュエータまたはコントローラにより制御可能な複数のアクチュエータを制御する。
【解決手段】アクチュエータ（２１）の少なくとも幾つかのグループがコントローラ（３０）により個別に制御可能であり、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに、少なくとも１つの記憶素子（２４）が割り当てられており、この記憶素子が、１つ以上のアクチュエータを制御するための少なくとも１つのパラメータを記憶することができ、これにより、少なくとも２つのパラメータが、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに割り当てられ、アクチュエータの１つの位置がそれぞれのパラメータに割り当てられる。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティング現象を利用した液体レンズから構成され、高い光学パワーを得ることができる構成、構造を有する光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置は、（Ａ）液体レンズから成る第１円柱レンズ１１が複数、並置された第１円柱レンズ群、（Ｂ）第１円柱レンズ１１と平行に配列され、液体レンズから成る第２円柱レンズ１２が複数、並置された第２円柱レンズ群、並びに、（Ｃ）第１面３１、第２面３２、側面３３及び仕切り面３４を有するハウジング３０を備えており、第１面３１、仕切り面３４及び側面３３によって構成された第１室１３には、第１の仕切板３５が配設され、液体レンズを構成する第１の液体２１及び第２の液体２２によって占められおり、第２面３２、仕切り面３４及び側面３３によって構成された第２室１４には、第２の仕切板３７が配設され、液体レンズを構成する第３の液体２３及び第４の液体２４によって占められている。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティング現象を利用して光の散乱状態を容易に制御し得る光散乱装置を提供する。
【解決手段】光散乱装置は、第１支持体１１、第２支持体１２、接合部材１３、第１電極２１、絶縁膜２２、第２電極２３、並びに、絶縁性の第１の液体３１及び導電性の第２の液体３２を具備し、第１電極２１は所定の形状にパターニングされており、第２電極２３はベタ電極であり、電極２１，２３に電圧が印加されていないとき、第１の液体３１及び第２の液体３２は層状の状態にあり、且つ、第１の液体３１は絶縁膜２２と接し、第２の液体３２は第２電極２３と接しており、電極２１，２３に電圧が印加されたとき、第１の液体３１は絶縁膜２２と接した状態で滴状となり、第２の液体３２は、第２電極２３と接し、且つ、絶縁膜２２とも接した状態となり、滴状の第１の液体３１によって入射光が散乱される。 （もっと読む）

【課題】温度による光変調器の誤作動を除去でき、かつ光変調器モジュールに電源印加直後に光変調器の動作を速やかに安定化することができる、マイクロヒータを備えた光変調器モジュールを提供する。
【解決手段】本発明による光変調器モジュールは、光源から入射された光を変調して出射する光変調器と、前記光変調器に設けられるマイクロヒータと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、第１光ファイバーを接続する第１コリメーター装置及び第２光ファイバーを接続する第２コリメーター装置を有する光学回転継手に関する。この場合、この第２コリメーター装置は、第１コリメーター装置に対して回転軸線の周りに回転可能に軸支されている。これらのアクチュエーター装置は、２つの軸線に沿って調整可能な１つのアクチュエーターを有するコリメーターを備える。機械公差が補正され、これらのコリメーター装置間の光学減衰量が最少であるように、制御ユニットがこれらのアクチュエーターを制御する。
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変調パルス光ビーム（２０）を供給するための装置は、定パルス繰返し周波数でパルス光ビームを供給するための光源（１６）及び複数のビーム強度変調器（１８ａ〜１８ｅ）を有する。パルス光ビームの光路にあって、軸を中心に回転可能なビーム偏向素子（１２）が、複数のビーム強度変調器のそれぞれに向けて次々に巡回態様でパルス光ビームを振り向ける。ビーム偏向素子と同期して軸を中心に回転可能なビーム再結合素子が、ビーム強度変調器のそれぞれからの変調光を結合して定パルス繰返し周波数で変調パルス光ビームを形成する。少なくとも１つのビーム指向補正装置が軸を中心にする少なくとも１つの回転位置においてビーム偏向素子とビーム再結合素子を光学的に共役させる。
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【課題】 良品歩留まりの高い状態で可動する微細なミラーを備えた光スイッチ装置が製造できるようにする。
【解決手段】 ミラー基板１００のミラー１０５が形成された表面に、粘着力が変化する粘着層を備えたマウントフィルム（第１粘着フィルム）１０６を貼り付けて保護した状態で、ミラー基板１００を切断分割してミラーチップ１０９を形成し、マウントフィルム１０６の粘着層の粘着力を低下させてからミラーチップ１０９を取り外す。 （もっと読む）